JPS63173208A - 磁気ヘツド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は磁気ヘッド及びその製造方法に係り、特に擬似
ギャップ効果による記録再生特性の劣化を防止し得る磁
気ヘッド及びその製造方法に関する。

従来の技術 例えば小型ビデオテープレコーダ、回転ヘッド式のデジ
タルオーディオチーブレコーダ等の高抗磁力磁気テープ
（メタルテープ等）を使用する）８気記録再生装置には
、フェライト材と金属磁性体材料とより構成される、所
謂複合構造の磁気ヘッドが使用されている。この種の磁
気ヘッドの一例を第１０図（Ａ）、（Ｂ）に示す。同図
に示されるように磁気ヘッド１はフェライトコア部２ａ
。

２ｂと金属磁性体材料（例えばセンダスト（商標）等）
よりなる金属磁性膜３ａ、３ｂとにより構成されており
、フェライトコア部２ａ、２ｂ間に金属磁性膜３ａ、３
ｂが介在し、かつ金属磁性膜３ａ、３ｂ問に磁気空隙部
（磁気ギャップ部）４が形成された構造とされている。

磁気ヘッド１が上記構成とされるのは次の理由による。

即ちメタルテープ等の高抗磁力を有する磁気テープに記
録を行なう際、フェライトのみからなる磁気ヘッドでは
その飽和磁束密度が低いため、磁気テープが確実に磁化
されない欠点がある。これを解決するために、直接磁気
記録に寄与するギャップ部近傍部分にスパッタリング等
の手法により高飽和磁束密度を有する金属磁性体相別を
配設し、発生磁界を大とすることにより高抗磁力磁気テ
ープに良好な磁気記録を行ない得るよう構成されている
。

発明が解決しようとする問題点 上記従来の磁気ヘッド１は、記録時においては充分その
目的を達成できる。しかるに、この構成の磁気ヘッド１
は、第１１図に示されるように磁気ギャップ４近傍にお
いてフェライトコア部２ａ。

２ｂの境界縁及び金属磁性膜３ａ、３ｂの境界縁が夫々
平行となっている。このため、本来の磁気ギャップ（図
中矢印之で示す）の他に図中矢印１−で示す部分が所Ｗ
Ｉ擬似ギャップとして作用してしまい、これに起因して
再生出力−周波数特性に、第１２図に示されるようにう
ねりが生じてしまい、良好な再生特性を得られないとい
う問題点があった。

そこで本発明では、フェライト面を異方性１ツヂングに
より処理し、これに金属磁性体膜を配設することにより
、上記問題点を解決した磁気ヘッド及びその製造方法を
捉供することを目的とする。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明では、磁気空隙を構
成する側の面を＜１．１．１）としており、この（１，
１，１）面に異方性ピットを形成してなる一対のフェラ
イトコアと、フェライトコアの（１，１，１）面に異方
性ピットを被覆して被膜形成された金属磁性体膜とによ
り磁気ヘッドを構成し、突き合わされる金属磁性体膜間
に磁気空隙部を形成すると共に、記録媒体との摺接面に
おけるフェライトコアと金属磁性体膜の境界部が異方性
ピットにより非直線状となるよう構成した。

また本発明になる磁気ヘッドの製造方法としては、一対
の７１ライトコアの突き合せ面を夫々（１，１，１＞面
とし、この突ぎ合せ面に異方性エツチングを行ない異方
性ピットを形成した後、異方性ピットを被覆して突き合
せ面に金属磁性体膜を形成し、続いて金属磁性体膜を対
向させてギャップ材を介して一対のフェライトコアを突
き合わせて磁気空隙部を形成することにより磁気ヘッド
を製造した。

作用 磁気ヘッド及びその！！１３４方法を上記構成とするこ
とにより、フェライト材と金属磁性体膜の境界部は非直
線となり磁気空隙部に対し平行となることはない。かつ
上記境界部の非直線形状は、フェライトを異方性エツチ
ングするのみの容易な加工手段により形成することがで
きる。

実施例 次に本発明になる磁気ヘッド及びその製造方法の一実施
例について説明する。第１図（Ａ）。

（Ｂ）は本発明になる磁気ヘッド５の平面図及び正面図
である。同図に示す磁気ヘッド５は大略してフェライト
コア半休６ａ、６ｂ、金属磁性体膜７ａ、７ｂ（図中梨
地で示す）、磁気ギャップ部（磁気空隙部）８Ｗより構
成された、所謂複合体構造の磁気ヘッドである。一対の
フェライトコア半休６ａ、６ｂは高周波特性にすぐれた
単結晶フェライトよりなり、また夫々の接合面６ａ−１
゜６ｂ−１は（１，１，１）面となるよう構成されてい
る。この接合面５ａ−１，６ｂ−１には予め異方性エツ
チングが施されており、その表面には三角錐状の微細な
突起或は凹み（以下異方性ピットという）が形成されて
いる。

金属磁性体ｍ７ａ、７ｂは、例えばセンダストよりなり
スパッタリング等の薄膜形成技術を用いて上記接合面６
ａ−＋、６ｂ−＋に、異方性ピットを被覆して所定厚さ
に形成された後、磁気ギャップ部８を構成する面を研摩
加工されてなる。金属磁性体膜７ａ、７ｂは飽和磁束密
度が大であるため、メタルテープのように高抗磁力を有
する磁気テープに対して確実に磁気記録再生を行なうこ
とができる。

上記のように金属磁性体膜７ａ、７ｂを被膜形成された
フェライトコア半休６ａ、６ｂは、所定厚さ寸法に形成
された石英ガラス等のギャップ材９を介在させて突き合
わされ磁気ギャップ部８が構成されている。

ここで、フェライトコア半休５ａ、５ｂと金属磁性体膜
７ａ、７ｂの境界部分に注目する。館記したようにフェ
ライト半休６ａ、５ｂの接合面６ａ””ｌ　、６ｂ−＋
には異方性ピットが形成され、フェライトコア半休６ａ
、６ｂと金属磁性体膜７ａ、７ｂの境界部分は不規則な
凹凸が生じている（図ではこの様子を極端に拡大して示
している）。従って、第１図（Ａ）に示されるように磁
気テープ（図示せず）との摺接面５ａにおいて、上記境
界部は直線状とはならずジグザグ状となる。このため、
磁気ギャップ部８と境界部は平行とはならず、フェライ
トコア半体６ａ、６ｂと金属磁性体膜７ａ、７ｂの夫々
の境界部間が擬似ギャップとして機能することはない。

これにより、再生出力−周波数特性におけるうねりの発
生を防止し青、良好な再生特性を得ることができる。１
尚、５ｂはコイルを巻回するためのコイル巻回用溝であ
る。

次に本発明になる磁気ヘッドの製造方法の一実施例につ
いて、その製造手順に沿って説明する。

第２図に示される１０ａ、１０ｂは所定形状に焼結形成
された単結晶フェライトよりなるコアブロッ’ｙ’Ｔ：
アリ、接合面１０　ａ　−＋　、　１０　ｂ　−＋　カ
（１，１，，１）面となるよう構成されている。この接
合面には、例えば５０％ＨＣ，ｉを用いて異方性エツチ
ングが行なわれる。この異方性エツチングでは、主とし
て（１，Ｏ，Ｏ）面にてエツチングが進行するため、接
合面１０ａ−＋　、１０ｂ−１は三角錐状な微細な突起
（異方性ピット）が多数形成される。即ち、接合面１ｏ
ａ−１，１０ｂ−１は多数の凹凸を有した面となる（第
３図に示す）。

上記の如く異方性ピットが形成されたコアブロック１０
ａ、１０ｂの内一方のコアブロック１０ａには、第４図
に示されるようにコイル巻回用溝１１が刻設される。続
いて各コアブロック１０ａ。

１０ｂの接合面ｉｏａ　　＋　、　１０ｂ−１ニは高飽
和磁束密度を有する金属磁性体であるセンダストが、例
えばスパッタリング等の薄膜形成技術を用いて被膜形成
される。従って、第５図に示されるように接合面１０ａ
−１，１０ｔ）−＋上には異方性ピットを被覆して金属
磁性体膜１２ａ、１２ｂ（図中梨地で示す）が形成され
る。この際、金属磁性体膜１２ａ、１２ｂの表面は、第
５図に示されるように異方性ピットに対応して凹凸が生
じている。この凹凸を有した金属磁性体膜１２ａ。

１２ｂの表面には鏡面研摩加工が行なわれ、コアブロッ
ク１０ａ、１０ｂは第６図に示される状態となる。

上記の如く形成されたコアブロック１０ａ。

１０ｂは、磁気ギャップの構成部に所定厚さ寸法を有す
る石英ガラス等のギャップ材（図示せ！ｆ）を介装して
突き合わされ、例えば底融点ガラスを用いて接合して第
７図に示される磁気ヘッドブロック１３が形成される。

この磁気ヘッドブロック１３は所定のトラック幅に対応
した厚さ寸法でコアスライスされ、更に磁気記録媒体と
の摺接面となる上面にＲ研摩が施され、第１図に示す磁
気ヘッド５が形成される。

上述した製造方法により形成される磁気ヘッド５は、前
記したようにフェライトコア半休６ａ。

６ｂと金属磁性体膜７ａ、７ｂの境界部は異方性ピット
によりジグザク状の非直線形状となっており、直線状の
磁気ギャップ部８に対し平行となるようなことはない。

従って、各境界に挾まれる部分が擬似ギャップとして機
能することはない。また′！ｊ造方法においては、コア
ブロック１０ａ。

１０ｂの接合面１ｏａ−１，１０１）−＋を（１゜１．
１）面とし、これに異方性エツチングを施す以外は、従
来の製造手段をそのまま適用できる。

接合面１０ａ−１、ｌ０Ｅ）　−＋を（１，１，１）面
とするのは周知のように極めて容易であり、かつ異方性
エツチングも比較的容易な作業である。

また従来のＶＪ造方法においても、金属磁性体膜の形成
前に接合面の研摩加工を行なっていたため、賃方性エツ
ヂングの工程を含めたことにより工程が増すようなこと
はない。

前記説明より明らかなように、複合体製造の磁気ヘッド
５において、フェライトコア半休５ａ。

６ｂと金属磁性体膜７ａ、７ｂの境界部が磁気ギャップ
８に対し非平行となるよう構成することにより再生特性
を向上できる。境界部を磁気ギャップ部に対し非平行と
する手段としては、フェライトコア半休の接合面に例え
ば角状の溝を機械的な加工により形成することが考えら
れる。しかるに、このような機械的な加工では複数の満
を加工するには適さず、徒に加工工程を複雑とすると共
に生産性を低下させてしまう。これに対し、本発明にな
る製造方法ではフェライトの有する結晶構造を利用し、
異方性エツチングを行なうことにより、容易に非直線状
の接合面１０ａ−１，１０ｂ−＋を形成することができ
る。これにより、録再特性の良好な磁気ヘッド５を生産
性をもって製造することができる。

尚、上記実施例においては、５０％ＨＣｌ１を用いて異
方性化学エツチングを行なったが、これに限るものでは
なく、他のエツチング液を用いてもよく、更に異方性を
示す他の食刻手段、例えば気相での化学エツチング、プ
ラズマ・イオンビーム等を用いた異方性を示す物理エツ
チング、或は上記各手段を併用しても良い。水用ＷＵ書
において異方性エツチングという古は上記各手段を含む
ものとする。

また本発明になる磁気ヘッドの他実施例として、第８図
に示されるように、磁気ギャップ部８の両側部にガラス
を配設したトラック絞り部１４ａ。

１４ｂを形成した磁気ヘッド１５としても良い。

更に第９図に示されるように、金属磁性体膜１６を主磁
極として垂直磁気記録用の磁気ヘッド１７として使用す
る態様も可能である。

発明の効果 上述の如く本発明になる磁気ヘッド及びその製造方法に
よれば、フェライトコアと金属磁性体膜の境界部は異方
性ピットによりジグザグ状の非直線状となるため磁気ギ
ャップ部と平行となるようなことはなく、よって境界部
に挾まれる部分が擬似ギャップとして礪能することもな
く、うねりのない滑らかな再生周波数特性を得ることが
でき、かつ異方性ピットの形成は接合面を（１，１，１
）面に選定し、これに異方性エツチングを施すだけの容
易な作業であるため製造工程を徒に複雑とするようなこ
とはなく、上記のように良好な特性を有する磁気ヘッド
を生産性をもって製造することができる等の特長を有す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）、（Ｂ）は本発明になる磁気ヘッドの一実
施例の平面図及び正面図、第２図乃至第７図は本発明に
なる磁気ヘッドの製造方法の一実施例を製造手順に沿っ
て説明するための図、第８図及び第９図は夫々本発明に
なる磁気ヘッドの他実施例を示す平面図、第１０図（Ａ
）は従来の磁気ヘッドの一例の平面図、第１０図（Ｂ）
は第１０図（Ａ＞におけるＡ−Ａ線に沿う断面図、第１
１図は第１０図（Ａ）に丞される磁気ギャップ部を拡大
して示す図、第１２図は従来の磁気ヘッドを使用した院
生じたうねりを説明するための再生出力−周波数特性を
示す図である。 ５．１５．１７・・・磁気ヘット、６ａ、６ｂ−ｙエラ
イトコア半体、５ａ−１、６ｔ）−＋・・・接合面、７
ａ、７ｂ・・・金属磁性体膜、８・・・磁気ギャップ部
、１０ａ、１０ｂ・：ｌアブミｙり、１０ａ−Ｉ＋１０
ｂ−＋−接合面、１２ａ、１２ｂ、’Ｉ６・・・金属磁
性体膜、１３・・・磁気ヘッドブロック、１４ａ。 １４ｂ・・・トラック絞り部。 特許出願人　ミツミ電機株式会社 第１図 （Ａ）５ （Ｂ）５ 第２図　　　　　　第３図 第４図 ｂＱ　　　１５　　　　　　　　ｂＤ 第１０図 （Ａ）１ ］ 第１２図 第　１冒　図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁気空隙を構成する側の面を（１、１、１）面と
   しており、該（１、１、１）面に異方性ピットを形成し
   てなる一対のフェライトコアと、該フェライトコアの（
   １、１、１）面に該異方性ピットを被覆して被膜形成さ
   れた金属磁性体膜とにより構成され、突き合わされる該
   金属磁性体膜間に該磁気空隙部を形成すると共に記録媒
   体との摺接面における該フェライトコアと該金属磁性体
   膜の境界部が該異方性ピットにより非直線状となるよう
   構成してなる磁気ヘッド。
2. （２）一対のフェライトコアの突き合せ面を夫々（１、
   １、１）面とし、該突き合せ面に異方性エッチングを行
   ない異方性ピットを形成した後、該異方性ピットを被覆
   して該突き合せ面に金属磁性体膜を形成し、該金属磁性
   体膜を対向させてギャップ材を介して該一対のフェライ
   トコアを突き合わせて磁気空隙部を形成してなることを
   特徴とする磁気ヘッドの製造方法。