JPH05334979A - 荷電ビーム用レンズ構体 - Google Patents
荷電ビーム用レンズ構体Info
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- JPH05334979A JPH05334979A JP4140600A JP14060092A JPH05334979A JP H05334979 A JPH05334979 A JP H05334979A JP 4140600 A JP4140600 A JP 4140600A JP 14060092 A JP14060092 A JP 14060092A JP H05334979 A JPH05334979 A JP H05334979A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電極の光軸方向位置及び同心度とも高精度な
アライメントを実現する荷電ビーム構体を提供する。 【構成】 円筒状の内面を有するハウジング５０内に開
口電極３１〜３５が配置されている。４６は各四極子電
極５１〜５４間の回転を規制するための通しシャフトで
あり、３１〜３５は開口電極である。開口電極３１〜３
５間には、上面と下面の平行度が高精度となるように製
作された第１のスペーサ３６〜３９が配置されており、
開口電極３１〜３５の軸方向位置が規制されている。開
口電極３５とハウジング５０との間には第３のスペーサ
５９によって所定の位置に位置づけられたボール状のセ
ラミック製第２スペーサ４４が配置され、開口電極３５
は軸方向位置とは独立に、ハウジングに対して高精度で
軸合わせされる。
アライメントを実現する荷電ビーム構体を提供する。 【構成】 円筒状の内面を有するハウジング５０内に開
口電極３１〜３５が配置されている。４６は各四極子電
極５１〜５４間の回転を規制するための通しシャフトで
あり、３１〜３５は開口電極である。開口電極３１〜３
５間には、上面と下面の平行度が高精度となるように製
作された第１のスペーサ３６〜３９が配置されており、
開口電極３１〜３５の軸方向位置が規制されている。開
口電極３５とハウジング５０との間には第３のスペーサ
５９によって所定の位置に位置づけられたボール状のセ
ラミック製第２スペーサ４４が配置され、開口電極３５
は軸方向位置とは独立に、ハウジングに対して高精度で
軸合わせされる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は複数の電極または磁極を
備えた荷電ビーム用のレンズ構体に関する。
備えた荷電ビーム用のレンズ構体に関する。
【０００２】
【従来の技術】荷電ビーム装置におけるビーム光学系で
は、各レンズ間の軸合わせ精度及び各レンズを構成する
電極または磁極相互の軸合わせ精度が荷電ビームの集束
特性を大きく左右するため重要である。
は、各レンズ間の軸合わせ精度及び各レンズを構成する
電極または磁極相互の軸合わせ精度が荷電ビームの集束
特性を大きく左右するため重要である。
【０００３】レンズ特性を左右する正確な軸合わせ（ア
ライメント）精度はレンズを構成する電極または磁極の
工作精度のみならず、レンズ構造に大きく依存する。荷
電ビームの飛翔方向を光軸（Ｚ軸）とすると、電子ビー
ムやイオンビーム装置で従来から使用されている荷電ビ
ーム用のレンズの多くは、光軸に対して軸（回転）対称
な形状を有する磁界レンズや電界レンズである。
ライメント）精度はレンズを構成する電極または磁極の
工作精度のみならず、レンズ構造に大きく依存する。荷
電ビームの飛翔方向を光軸（Ｚ軸）とすると、電子ビー
ムやイオンビーム装置で従来から使用されている荷電ビ
ーム用のレンズの多くは、光軸に対して軸（回転）対称
な形状を有する磁界レンズや電界レンズである。
【０００４】図１は電界レンズの一例として、三枚電極
レンズの構造を示したものである。図中、１１，１２，
１３がビーム軸に対して軸対称な電極である。１４は中
央電極１２を上下の電極から絶縁して電圧を印加できる
ようにするための絶縁リングである。このレンズにおい
ては、電極１１，１３はアース電位である。中央電極１
２の取り付けにあたっては、絶縁リング１４の両端をメ
タライズ処理し、絶縁リング１４の一端に熔着された金
属リング１５と電極１１の一端を嵌合させると共に、絶
縁リング１４の他端に同様に熔着された金属リング１６
と電極１２を嵌合させるようにしている。そして、この
レンズにおいては、それぞれの嵌合部の同心度とそれぞ
れの嵌合部と電極開口部の同心度とによって軸合わせ精
度が規制されている。ここで１７は電圧印加用のシャフ
トである。
レンズの構造を示したものである。図中、１１，１２，
１３がビーム軸に対して軸対称な電極である。１４は中
央電極１２を上下の電極から絶縁して電圧を印加できる
ようにするための絶縁リングである。このレンズにおい
ては、電極１１，１３はアース電位である。中央電極１
２の取り付けにあたっては、絶縁リング１４の両端をメ
タライズ処理し、絶縁リング１４の一端に熔着された金
属リング１５と電極１１の一端を嵌合させると共に、絶
縁リング１４の他端に同様に熔着された金属リング１６
と電極１２を嵌合させるようにしている。そして、この
レンズにおいては、それぞれの嵌合部の同心度とそれぞ
れの嵌合部と電極開口部の同心度とによって軸合わせ精
度が規制されている。ここで１７は電圧印加用のシャフ
トである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の装置に
おいては、軸合わせ精度は、幾つかの嵌合部の嵌め合い
精度及び電極や磁極の開口部間の同心度精度に依存し、
これらの嵌合部での誤差の累積によって高精度化の達成
が困難であった。本発明はこのような従来の欠点を解決
し、レンズ極間の間隔を高精度に設定できると共に、各
レンズ極が高精度に軸合わせされた荷電ビーム用のレン
ズ構体を提供することを目的としている。
おいては、軸合わせ精度は、幾つかの嵌合部の嵌め合い
精度及び電極や磁極の開口部間の同心度精度に依存し、
これらの嵌合部での誤差の累積によって高精度化の達成
が困難であった。本発明はこのような従来の欠点を解決
し、レンズ極間の間隔を高精度に設定できると共に、各
レンズ極が高精度に軸合わせされた荷電ビーム用のレン
ズ構体を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そのため本発明は、電極
または磁極となる複数のレンズ極と、円筒状の内面を有
し前記複数のレンズ極を収容するハウジングと、前記複
数のレンズ極間に配置されこれらレンズ極の軸方向の位
置を合わせるための第１のスペーサと、前記ハウジング
の内面と前記レンズ極の円形外周面との間に配置された
ボール状または円柱状の複数の第２のスペーサを備え、
第２のスペーサが前記レンズ極を取り囲んで配置される
ことにより前記レンズ極が前記ハウジングに対して軸合
わせされている荷電ビーム用レンズ構体を特徴としてい
る。
または磁極となる複数のレンズ極と、円筒状の内面を有
し前記複数のレンズ極を収容するハウジングと、前記複
数のレンズ極間に配置されこれらレンズ極の軸方向の位
置を合わせるための第１のスペーサと、前記ハウジング
の内面と前記レンズ極の円形外周面との間に配置された
ボール状または円柱状の複数の第２のスペーサを備え、
第２のスペーサが前記レンズ極を取り囲んで配置される
ことにより前記レンズ極が前記ハウジングに対して軸合
わせされている荷電ビーム用レンズ構体を特徴としてい
る。
【０００７】
【作用】第１のスペーサを前記複数のレンズ極の光軸方
向位置を規定するように複数のレンズ極間に配置させる
と共に、前記第２のスペーサのそれぞれを前記レンズ極
の外周面とハウジングの円筒状内面に接触させるように
配置させる。第１のスペーサを平行度良く所定の厚みで
製作することにより各レンズ極の光軸方向位置が高精度
に規定されると共に、高精度に製作することが容易なボ
ール状または円柱状の第２のスペーサによって光軸方向
の位置合わせとは独立に各レンズ極の同心度を得る。そ
れにより、光軸方向位置合わせ及び軸合わせを共に高精
度に達成する。
向位置を規定するように複数のレンズ極間に配置させる
と共に、前記第２のスペーサのそれぞれを前記レンズ極
の外周面とハウジングの円筒状内面に接触させるように
配置させる。第１のスペーサを平行度良く所定の厚みで
製作することにより各レンズ極の光軸方向位置が高精度
に規定されると共に、高精度に製作することが容易なボ
ール状または円柱状の第２のスペーサによって光軸方向
の位置合わせとは独立に各レンズ極の同心度を得る。そ
れにより、光軸方向位置合わせ及び軸合わせを共に高精
度に達成する。
【０００８】
【実施例】図２は、三枚電極を備えたレンズ構体に本発
明を適用した実施例を示すためのものである。２１，２
２，２３はビーム軸に対して軸対称な電極である。２
４，２５はリング状の第１のスペーサであり、第１のス
ペーサ２４，２５は絶縁物で形成されている。第１のス
ペーサ２４，２５は電極間隔を規制するためのスペーサ
としての役割と電極間を絶縁する役割を有している。２
６，２７，２８は電極相互の同心度を得るための第２の
スペーサであり、ボール状をしている。２９はレンズ系
を固定するための筒状ハウジングである。電極２１，２
３の電位はアース電位であり、ハウジング２９が金属製
である場合には、ボール状の第２のスペーサ２６，２８
は金属製でもよい。ハウジング２９をセラミックなどの
絶縁物で製作することによって、同心度を得るための第
２のスペーサの直径を小さくし、それにより全体の寸法
を小さくすることができる。また、電極の同心度を得る
ための第２のスペーサは、電極の軸合わせのために各電
極につき３個以上必要である。電極に電圧を印加するた
めのリード線等は図示していないが、第２のスペーサの
取付け位置でハウジング２９に穴加工を施して取り付け
ることが可能である。
明を適用した実施例を示すためのものである。２１，２
２，２３はビーム軸に対して軸対称な電極である。２
４，２５はリング状の第１のスペーサであり、第１のス
ペーサ２４，２５は絶縁物で形成されている。第１のス
ペーサ２４，２５は電極間隔を規制するためのスペーサ
としての役割と電極間を絶縁する役割を有している。２
６，２７，２８は電極相互の同心度を得るための第２の
スペーサであり、ボール状をしている。２９はレンズ系
を固定するための筒状ハウジングである。電極２１，２
３の電位はアース電位であり、ハウジング２９が金属製
である場合には、ボール状の第２のスペーサ２６，２８
は金属製でもよい。ハウジング２９をセラミックなどの
絶縁物で製作することによって、同心度を得るための第
２のスペーサの直径を小さくし、それにより全体の寸法
を小さくすることができる。また、電極の同心度を得る
ための第２のスペーサは、電極の軸合わせのために各電
極につき３個以上必要である。電極に電圧を印加するた
めのリード線等は図示していないが、第２のスペーサの
取付け位置でハウジング２９に穴加工を施して取り付け
ることが可能である。
【０００９】このような構成において、第１のスペーサ
２４，２５により各電極２１，２２，２３それぞれの軸
方向位置は高精度に規制される。また、電極２１とハウ
ジング２９との間の間隙に第２のスペーサ２６が双方の
面に接触するように配置され、しかも第２のスペーサ２
６は電極２１を取り囲むように３個以上配置されるた
め、電極２１の軸方向の位置決めとは独立に軸合わせが
なされる。各電極２２，２３もそれぞれ第２のスペーサ
２７，２８によって全く同様に軸合わせされるため、各
電極２１，２２，２３はハウジング２９に対して高精度
に軸合わせされる。
２４，２５により各電極２１，２２，２３それぞれの軸
方向位置は高精度に規制される。また、電極２１とハウ
ジング２９との間の間隙に第２のスペーサ２６が双方の
面に接触するように配置され、しかも第２のスペーサ２
６は電極２１を取り囲むように３個以上配置されるた
め、電極２１の軸方向の位置決めとは独立に軸合わせが
なされる。各電極２２，２３もそれぞれ第２のスペーサ
２７，２８によって全く同様に軸合わせされるため、各
電極２１，２２，２３はハウジング２９に対して高精度
に軸合わせされる。
【００１０】上述した実施例は軸対称レンズ構体に関す
るものであったが、軸非対称レンズ構体に対しても本発
明は適用できる。軸非対称レンズの代表例として四極子
レンズがある。四極子レンズは光軸に平行に４個の電極
や磁極を配置したレンズである。電界あるいは磁界の主
成分が光軸に対して垂直であるため、四極子レンズは強
いレンズ作用が得られることが特徴である。その反面、
一段の四極子レンズは、ＸＺ面では発散（凹）レンズ作
用、ＹＺ面では集束（凸）レンズ作用を有する極端な非
対称レンズである。このため、ビームを軸対称に集束さ
せるには、通常３個以上の四極子を組み合わせた多段レ
ンズ構体とする必要がある。
るものであったが、軸非対称レンズ構体に対しても本発
明は適用できる。軸非対称レンズの代表例として四極子
レンズがある。四極子レンズは光軸に平行に４個の電極
や磁極を配置したレンズである。電界あるいは磁界の主
成分が光軸に対して垂直であるため、四極子レンズは強
いレンズ作用が得られることが特徴である。その反面、
一段の四極子レンズは、ＸＺ面では発散（凹）レンズ作
用、ＹＺ面では集束（凸）レンズ作用を有する極端な非
対称レンズである。このため、ビームを軸対称に集束さ
せるには、通常３個以上の四極子を組み合わせた多段レ
ンズ構体とする必要がある。
【００１１】四極子レンズ系では、八極子レンズ作用と
組み合わせることによって、一般に、軸対称レンズでは
補正することのできない開口収差（球面収差と同義）を
補正することが可能である。四極子は八極子と組み合わ
せなくとも、四極子と光軸を同じくする開口電極と組み
合わせることによって八極子レンズ作用を励起すること
ができる。
組み合わせることによって、一般に、軸対称レンズでは
補正することのできない開口収差（球面収差と同義）を
補正することが可能である。四極子は八極子と組み合わ
せなくとも、四極子と光軸を同じくする開口電極と組み
合わせることによって八極子レンズ作用を励起すること
ができる。
【００１２】図３は四極子と開口電極から構成される開
口収差補正レンズ構体に本発明を適用した場合の実施例
を示すものである。このような多段軸非対称レンズで
は、僅かなミスアライメントから残留収差が大きくな
り、また、ミスアライメントに起因する機械的な収差に
よって補正特性が著しく損なわれるため高精度なレンズ
系の実現が不可欠である。
口収差補正レンズ構体に本発明を適用した場合の実施例
を示すものである。このような多段軸非対称レンズで
は、僅かなミスアライメントから残留収差が大きくな
り、また、ミスアライメントに起因する機械的な収差に
よって補正特性が著しく損なわれるため高精度なレンズ
系の実現が不可欠である。
【００１３】図３において、３１，３２，３３，３４，
３５は中央部に開口を有する開口電極である。３６，３
７，３８，３９は四極子電極の位置決めと開口電極の間
隔を規制する第１のスペーサである。この第１のスペー
サはセラミックで形成されており、円筒状をしている。
図３のＡ−Ａ´断面を示す図４から明らかなように、第
１のスペーサ３９はハウジング５０の内面に接して８本
備えられている。他の第１のスペーサ３６，３７，３８
も全く同様に８本ずつ備えられている。
３５は中央部に開口を有する開口電極である。３６，３
７，３８，３９は四極子電極の位置決めと開口電極の間
隔を規制する第１のスペーサである。この第１のスペー
サはセラミックで形成されており、円筒状をしている。
図３のＡ−Ａ´断面を示す図４から明らかなように、第
１のスペーサ３９はハウジング５０の内面に接して８本
備えられている。他の第１のスペーサ３６，３７，３８
も全く同様に８本ずつ備えられている。
【００１４】４０，４１，４２，４３，４４は第２のス
ペーサである。これら第２のスペーサはセラミックで形
成されており、ボール状をしている。図３のＢ−Ｂ´断
面を示す図５から明らかなように、第２のスペーサ４４
は第３のスペーサ５９に収容されることにより、開口電
極３５の外周面とハウジング５０の内面に接触するよう
に開口電極３５を取り囲んで位置づけられている。上記
接触を可能にするため、第３のスペーサ５９の径方向の
幅は第２のスペーサ４４の径より小さく設定されてい
る。第２のスペーサ４４と同様に第２のスペーサ４０，
４１，４２，４３は、それぞれ第３のスペーサ５５，５
６，５７，５８に収容されている。
ペーサである。これら第２のスペーサはセラミックで形
成されており、ボール状をしている。図３のＢ−Ｂ´断
面を示す図５から明らかなように、第２のスペーサ４４
は第３のスペーサ５９に収容されることにより、開口電
極３５の外周面とハウジング５０の内面に接触するよう
に開口電極３５を取り囲んで位置づけられている。上記
接触を可能にするため、第３のスペーサ５９の径方向の
幅は第２のスペーサ４４の径より小さく設定されてい
る。第２のスペーサ４４と同様に第２のスペーサ４０，
４１，４２，４３は、それぞれ第３のスペーサ５５，５
６，５７，５８に収容されている。
【００１５】第２のスペーサ４０，４１，４２，４３，
４４は開口電極３１，３２，３３，３４，３５の同心度
を得るための位置決めと開口電極３１，３２，３３，３
４，３５を絶縁するために兼用されている。ハウジング
５０に内接して金属製の通しシャフト４６，４７，４
８，４９が四極子電極５１，５２，５３，５４の段間の
回転エラーを規制するために設けられている。従って、
前記開口電極３５は図５から明らかなように、シャフト
４６，４７，４８，４９を通すため切り欠いた形状を有
している。開口電極３１，３２，３３，３４も全く同様
である。
４４は開口電極３１，３２，３３，３４，３５の同心度
を得るための位置決めと開口電極３１，３２，３３，３
４，３５を絶縁するために兼用されている。ハウジング
５０に内接して金属製の通しシャフト４６，４７，４
８，４９が四極子電極５１，５２，５３，５４の段間の
回転エラーを規制するために設けられている。従って、
前記開口電極３５は図５から明らかなように、シャフト
４６，４７，４８，４９を通すため切り欠いた形状を有
している。開口電極３１，３２，３３，３４も全く同様
である。
【００１６】金属製シャフト４６，４７，４８，４９の
径と前記第１のスペーサ３６，３７，３８，３９の径は
同一にされており、前記図４から明らかなように、金属
製シャフト４６，４７，４８，４９と前記８本の第１の
スペーサ３９はハウジング５０の内面に接触して並んで
配置されている。開口電極３４と３５の間に配置される
四極子電極５４のそれぞれは、隣接し合う第２のスペー
サ３９によって形成される凹部に接触する状態で取り付
けられることにより精度良く位置づけられている。他の
四極子電極５１，５２，５３も全く同様に取り付けられ
ている。これら四極子電極５１，５２，５３，５４の位
置決めの詳細については、特公昭６３−３１８９５号に
開示されている。
径と前記第１のスペーサ３６，３７，３８，３９の径は
同一にされており、前記図４から明らかなように、金属
製シャフト４６，４７，４８，４９と前記８本の第１の
スペーサ３９はハウジング５０の内面に接触して並んで
配置されている。開口電極３４と３５の間に配置される
四極子電極５４のそれぞれは、隣接し合う第２のスペー
サ３９によって形成される凹部に接触する状態で取り付
けられることにより精度良く位置づけられている。他の
四極子電極５１，５２，５３も全く同様に取り付けられ
ている。これら四極子電極５１，５２，５３，５４の位
置決めの詳細については、特公昭６３−３１８９５号に
開示されている。
【００１７】上述した構成において、上面と下面の平行
度が充分なものとなるように第１のスペーサ３６，３
７，３８，３９を製作し、これらを各開口電極の段間に
介在させて開口電極を積層する。その結果、開口電極３
１，３２，３３，３４，３５の光軸方向位置は高精度で
規定される。また、開口電極３１，３２，３３，３４，
３５の円形の外周面とハウジング５０の円筒状内面との
間に第２のスペーサ４１，４２，４３，４４，４５が配
置されるが、第２のスペーサを真球度および寸法公差が
０．１μｍより小さくなるように製造することは容易で
あるため、各開口電極３１，３２，３３，３４，３５は
充分な精度で軸合わせされる。
度が充分なものとなるように第１のスペーサ３６，３
７，３８，３９を製作し、これらを各開口電極の段間に
介在させて開口電極を積層する。その結果、開口電極３
１，３２，３３，３４，３５の光軸方向位置は高精度で
規定される。また、開口電極３１，３２，３３，３４，
３５の円形の外周面とハウジング５０の円筒状内面との
間に第２のスペーサ４１，４２，４３，４４，４５が配
置されるが、第２のスペーサを真球度および寸法公差が
０．１μｍより小さくなるように製造することは容易で
あるため、各開口電極３１，３２，３３，３４，３５は
充分な精度で軸合わせされる。
【００１８】なお、上述した実施例は本発明の実施例の
一部に過ぎず、本発明は変形して実施できる。例えば、
上述した実施例は複数の電極を備えた荷電ビーム用レン
ズ構体に本発明を適用した例であったが、複数の磁極を
備えた荷電ビーム用レンズ構体にも本発明は同様に適用
できる。
一部に過ぎず、本発明は変形して実施できる。例えば、
上述した実施例は複数の電極を備えた荷電ビーム用レン
ズ構体に本発明を適用した例であったが、複数の磁極を
備えた荷電ビーム用レンズ構体にも本発明は同様に適用
できる。
【００１９】また、上述した実施例においては、第２の
スペーサをボール状に形成するようにしたが、このボー
ルと同じ径を有する円筒状に形成するようにしても良
い。また、ハウジングはレンズ構体の為に専用に設けて
も良いし、荷電ビーム装置の鏡筒をハウジングとしても
良い。
スペーサをボール状に形成するようにしたが、このボー
ルと同じ径を有する円筒状に形成するようにしても良
い。また、ハウジングはレンズ構体の為に専用に設けて
も良いし、荷電ビーム装置の鏡筒をハウジングとしても
良い。
【００２０】
【発明の効果】第１のスペーサが前記複数のレンズ極の
光軸方向位置を規定するように複数のレンズ極間に配置
されていると共に、前記第２のスペーサを前記レンズ極
の外周面とハウジングの円筒状内面に接触させることに
より前記レンズ極が前記ハウジングに対して軸合わせさ
れるように構成されているため、第１のスペーサを平行
度良く所定の厚みで製作することにより各レンズ極の光
軸方向位置を高精度に規定することができると共に、高
精度に製作することが容易なボール状または円柱状の第
２のスペーサをハウジングとレンズ極との間に介在させ
ることによって、光軸方向とは独立に、ハウジングに対
する各レンズ極の同心度をとるようにしているため、工
作精度や組み立て誤差の累積が生じることがない。その
ため、本発明により、光軸方向及び同心度ともアライメ
ントを高精度に達成する荷電ビーム用レンズ構体を実現
することができる。
光軸方向位置を規定するように複数のレンズ極間に配置
されていると共に、前記第２のスペーサを前記レンズ極
の外周面とハウジングの円筒状内面に接触させることに
より前記レンズ極が前記ハウジングに対して軸合わせさ
れるように構成されているため、第１のスペーサを平行
度良く所定の厚みで製作することにより各レンズ極の光
軸方向位置を高精度に規定することができると共に、高
精度に製作することが容易なボール状または円柱状の第
２のスペーサをハウジングとレンズ極との間に介在させ
ることによって、光軸方向とは独立に、ハウジングに対
する各レンズ極の同心度をとるようにしているため、工
作精度や組み立て誤差の累積が生じることがない。その
ため、本発明により、光軸方向及び同心度ともアライメ
ントを高精度に達成する荷電ビーム用レンズ構体を実現
することができる。
【図１】三枚電極を備えた軸対称な従来の荷電ビーム用
レンズ構体の一例を示す図である。
レンズ構体の一例を示す図である。
【図２】三枚電極を備えた軸対称な荷電ビーム用レンズ
構体に本発明を適用した実施例を示すための図である。
構体に本発明を適用した実施例を示すための図である。
【図３】四極子と開口電極を備えた軸非対称な収差補正
レンズ構体に本発明を適用した実施例を示すための図で
ある。
レンズ構体に本発明を適用した実施例を示すための図で
ある。
【図４】図３のＡ−Ａ´断面を示すための図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ´断面を示すための図である。
１１，１２，１３，２１，２２，２３ ビーム軸に対し
て軸対称な電極 １４ 絶縁リング １５，１６ 金属リング １７ 電圧印加用シャフト ２６，２７，２８，４０，４１，４２，４３，４４ 第
２のスペーサ ２９，５０ ハウジング ３１，３２，３３，３４，３５ 開口電極 ２６，２７，２８，３６，３７，３８，３９ 第１のス
ペーサ ４６，４７，４８，４９ シャフト ５１，５２，５３，５４ 四極子電極 ５５，５６，５７，５８，５９ 第３のスペーサ
て軸対称な電極 １４ 絶縁リング １５，１６ 金属リング １７ 電圧印加用シャフト ２６，２７，２８，４０，４１，４２，４３，４４ 第
２のスペーサ ２９，５０ ハウジング ３１，３２，３３，３４，３５ 開口電極 ２６，２７，２８，３６，３７，３８，３９ 第１のス
ペーサ ４６，４７，４８，４９ シャフト ５１，５２，５３，５４ 四極子電極 ５５，５６，５７，５８，５９ 第３のスペーサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡山 重夫 茨城県つくば市梅園１丁目１番４ 工業技 術院電子技術総合研究所内 (72)発明者 伊藤 匡 東京都昭島市武蔵野２丁目６番38号 日本 電子テクニクス株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 電極または磁極となる複数のレンズ極
と、円筒状の内面を有し前記複数のレンズ極を収容する
ハウジングと、前記複数のレンズ極間に配置されこれら
レンズ極の軸方向の位置を合わせるための第１のスペー
サと、前記ハウジングの内面と前記レンズ極の円形外周
面との間に配置されたボール状または円柱状の複数の第
２のスペーサを備え、第２のスペーサが前記レンズ極を
取り囲んで配置されることにより前記レンズ極が前記ハ
ウジングに対して軸合わせされていることを特徴とする
荷電ビーム用レンズ構体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4140600A JPH05334979A (ja) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | 荷電ビーム用レンズ構体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4140600A JPH05334979A (ja) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | 荷電ビーム用レンズ構体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05334979A true JPH05334979A (ja) | 1993-12-17 |
Family
ID=15272478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4140600A Withdrawn JPH05334979A (ja) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | 荷電ビーム用レンズ構体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05334979A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001222970A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-08-17 | Axcelis Technologies Inc | イオン注入装置用の電極アセンブリおよび静電四極レンズアセンブリ |
| JP2003502802A (ja) * | 1999-06-14 | 2003-01-21 | ツェーエーオーエス コレクテッド エレクトロン オプチカル システムズ ゲーエムベーハー | 粒子レンズの色収差を除去する静電修正器 |
| JP2005108842A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Ims Nanofabrication Gmbh | 粒子光学静電レンズ |
| US9287084B2 (en) | 2014-02-28 | 2016-03-15 | Hitachi High-Technologies Corporation | Aberration corrector and charged particle beam apparatus using the same |
| US9343260B2 (en) | 2011-03-30 | 2016-05-17 | Hitachi High-Technologies Corporation | Multipole and charged particle radiation apparatus using the same |
| CN113421688A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-09-21 | 江阴贝斯特众自动化设备有限公司 | 带有磁极定位环的四极透镜组件和该定位环安装方法 |
-
1992
- 1992-06-01 JP JP4140600A patent/JPH05334979A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003502802A (ja) * | 1999-06-14 | 2003-01-21 | ツェーエーオーエス コレクテッド エレクトロン オプチカル システムズ ゲーエムベーハー | 粒子レンズの色収差を除去する静電修正器 |
| JP2001222970A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-08-17 | Axcelis Technologies Inc | イオン注入装置用の電極アセンブリおよび静電四極レンズアセンブリ |
| JP2005108842A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Ims Nanofabrication Gmbh | 粒子光学静電レンズ |
| US9343260B2 (en) | 2011-03-30 | 2016-05-17 | Hitachi High-Technologies Corporation | Multipole and charged particle radiation apparatus using the same |
| US9287084B2 (en) | 2014-02-28 | 2016-03-15 | Hitachi High-Technologies Corporation | Aberration corrector and charged particle beam apparatus using the same |
| CN113421688A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-09-21 | 江阴贝斯特众自动化设备有限公司 | 带有磁极定位环的四极透镜组件和该定位环安装方法 |
| CN113421688B (zh) * | 2021-06-17 | 2024-04-09 | 江苏贝思特众自动化设备有限公司 | 带有磁极定位环的四极透镜组件和该定位环安装方法 |
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|---|---|---|---|
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