JPH05338182A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH05338182A JPH05338182A JP17477592A JP17477592A JPH05338182A JP H05338182 A JPH05338182 A JP H05338182A JP 17477592 A JP17477592 A JP 17477592A JP 17477592 A JP17477592 A JP 17477592A JP H05338182 A JPH05338182 A JP H05338182A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive
- flow path
- path plate
- piezoelectric body
- ink
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 精密で、かつ信頼性の高いインクジェットヘ
ッドを得る。 【構成】 図（ａ）において、積層された圧電体１に溝
加工を施し、薄膜部材５として高分子材料の透湿性の低
い材質のものを接合する。図（ｂ）において、圧電体１
の溝部２に粘度の低い樹脂等をダンパー６として充填す
る。図（ｃ）において、凹溝部９を圧電体１の駆動部に
対応するように成形した流路板７の形成面に接着剤８を
塗布する。図（ｄ）において、図（ａ）の圧電体１と薄
膜部材５に、図（ｃ）の接着剤を塗布した流路板７を接
合する。
ッドを得る。 【構成】 図（ａ）において、積層された圧電体１に溝
加工を施し、薄膜部材５として高分子材料の透湿性の低
い材質のものを接合する。図（ｂ）において、圧電体１
の溝部２に粘度の低い樹脂等をダンパー６として充填す
る。図（ｃ）において、凹溝部９を圧電体１の駆動部に
対応するように成形した流路板７の形成面に接着剤８を
塗布する。図（ｄ）において、図（ａ）の圧電体１と薄
膜部材５に、図（ｃ）の接着剤を塗布した流路板７を接
合する。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、インクジェットヘッドの製造方
法に関し、より詳細には、多数のインク吐出用流路を高
密度に集積したマルチノズルインクジェットヘッドの製
造方法に関する。
法に関し、より詳細には、多数のインク吐出用流路を高
密度に集積したマルチノズルインクジェットヘッドの製
造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】従来の記録ヘッドには、構造、加工、高速
記録化、マルチオリフィス化等のうえで種々の問題が存
在している。また、液体の流路や素子が極めて微細な構
造となっているために、接着剤の粘度や表面張力等の影
響等があり、適当量の接着剤を塗布することや、プレー
トと基板の正確な接着一体化が難しいという問題点があ
った。これらの問題点を解決するために、例えば、特
開昭５５−１１８８７５号公報に「マルチノズル記録ヘ
ッドの作成方法」が提案されている。この公報のもの
は、複数の凹溝部を有する流路板と、該凹溝部を覆う覆
板部材とを接合してインクキャビティを形成するインク
ジェットヘッドにおいて、前記接合を前記流路板の凸部
に熱融着性材料を設け、その後、融着性材料を加熱する
ことにより、前記流路板と前記覆板部材を一体化するも
のである。
記録化、マルチオリフィス化等のうえで種々の問題が存
在している。また、液体の流路や素子が極めて微細な構
造となっているために、接着剤の粘度や表面張力等の影
響等があり、適当量の接着剤を塗布することや、プレー
トと基板の正確な接着一体化が難しいという問題点があ
った。これらの問題点を解決するために、例えば、特
開昭５５−１１８８７５号公報に「マルチノズル記録ヘ
ッドの作成方法」が提案されている。この公報のもの
は、複数の凹溝部を有する流路板と、該凹溝部を覆う覆
板部材とを接合してインクキャビティを形成するインク
ジェットヘッドにおいて、前記接合を前記流路板の凸部
に熱融着性材料を設け、その後、融着性材料を加熱する
ことにより、前記流路板と前記覆板部材を一体化するも
のである。
【０００３】しかしながら、複数の凹溝が形成された流
路板の凸部のみに均一の熱融着用材料を塗布するのは非
常に困難である。また融着用材料として上げられている
エチレン・酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル・酢酸ビニ
ル共重合体、ポリビニルブチラート、ポリエチレン、ポ
リアミド等はいずれも１００℃を越える高温で融着する
必要があり、高集積化した超微細加工においては、熱変
形等の不都合な点が多い。
路板の凸部のみに均一の熱融着用材料を塗布するのは非
常に困難である。また融着用材料として上げられている
エチレン・酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル・酢酸ビニ
ル共重合体、ポリビニルブチラート、ポリエチレン、ポ
リアミド等はいずれも１００℃を越える高温で融着する
必要があり、高集積化した超微細加工においては、熱変
形等の不都合な点が多い。
【０００４】また、特開昭５８−２２０７５４号公報
に提案されている「インクジェット記録ヘッド」は、複
数の凹溝部を有する流路板と、該凹溝部を覆う覆板部材
とを接合してインクキャビティを形成するインクジェッ
トヘッドにおいて、前記覆板部材に透紫外光材料から成
る支持体の両面に感光性樹脂膜を積層した覆いを設け、
紫外線を照射して流路板を接合するものである。また、
特開昭６０−１８３１５８号公報に提案されている
「インクジェット記録ヘッドの製造方法」は、複数の凹
溝部を有する流路板と、該凹溝部を覆う覆板部材とを接
合してインクキャビティを形成するインクジェットヘッ
ドにおいて、前記覆板部材を電磁波の透過する材料から
なる平板状部材に感光性樹脂膜を積層して構成し、酸素
雰囲気下に熱線以外の電磁波を照射して前記感光性樹脂
膜の表面層のみを未硬化の状態に保ちつつ硬化させ、流
路板と仮接合後、前記感光性樹脂膜を硬化させる接合方
法である。
に提案されている「インクジェット記録ヘッド」は、複
数の凹溝部を有する流路板と、該凹溝部を覆う覆板部材
とを接合してインクキャビティを形成するインクジェッ
トヘッドにおいて、前記覆板部材に透紫外光材料から成
る支持体の両面に感光性樹脂膜を積層した覆いを設け、
紫外線を照射して流路板を接合するものである。また、
特開昭６０−１８３１５８号公報に提案されている
「インクジェット記録ヘッドの製造方法」は、複数の凹
溝部を有する流路板と、該凹溝部を覆う覆板部材とを接
合してインクキャビティを形成するインクジェットヘッ
ドにおいて、前記覆板部材を電磁波の透過する材料から
なる平板状部材に感光性樹脂膜を積層して構成し、酸素
雰囲気下に熱線以外の電磁波を照射して前記感光性樹脂
膜の表面層のみを未硬化の状態に保ちつつ硬化させ、流
路板と仮接合後、前記感光性樹脂膜を硬化させる接合方
法である。
【０００５】しかしながら、前記のものは、複数の
凹溝が形成された流路板の凹溝を覆う覆板部材が紫外線
や電磁波を通過させる部材であることが条件として必要
である。インクキャビティの剛性を向上させ、インク吐
出特性を良好なものにするためにもインクキャビティま
わりの構成部材の限定は極力排除することが望ましい。
凹溝が形成された流路板の凹溝を覆う覆板部材が紫外線
や電磁波を通過させる部材であることが条件として必要
である。インクキャビティの剛性を向上させ、インク吐
出特性を良好なものにするためにもインクキャビティま
わりの構成部材の限定は極力排除することが望ましい。
【０００６】
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、精密でありかつ信頼性の高いインクジェットヘ
ッドの製造方法を提供することを目的としてなされたも
のである。
もので、精密でありかつ信頼性の高いインクジェットヘ
ッドの製造方法を提供することを目的としてなされたも
のである。
【０００７】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、複数の
凹溝部を有する流路板と、該凹溝部を覆う覆板部材とで
インクキャビティを形成しているインクジェットヘッド
において、前記流路板と前記覆板部材を接合する際、前
記流路板の凹溝加工側の全面に均一に接着剤を塗布して
接合することを特徴としたものである。以下、本発明の
実施例に基づいて説明する。
凹溝部を有する流路板と、該凹溝部を覆う覆板部材とで
インクキャビティを形成しているインクジェットヘッド
において、前記流路板と前記覆板部材を接合する際、前
記流路板の凹溝加工側の全面に均一に接着剤を塗布して
接合することを特徴としたものである。以下、本発明の
実施例に基づいて説明する。
【０００８】図１（ａ）〜（ｄ）は、本発明によるイン
クジェットヘッドの製造方法の一実施例を説明するため
の構成図で、図中、１は圧電体、２は溝部、３は電極、
４は駆動部分、５は薄膜部材、６はダンパー、７は流路
板、８は接着剤、９は凹溝部、１０はインクキャビティ
である。図（ａ）の第１工程において、複数枚積層され
た圧電体１に、溝加工を切削により施した後、薄膜部材
５として５〜３０μｍの厚みをもつ高分子材料、例え
ば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、アラミド
フィルム、ポリ３フッ化塩化エチレンなど比較的透湿性
の低い材質のものをドライ接着法により接合する。な
お、この時、接合強度を向上させるために、圧電体１の
凸部上面にセラミックコートなどコーティングを施して
もよい。
クジェットヘッドの製造方法の一実施例を説明するため
の構成図で、図中、１は圧電体、２は溝部、３は電極、
４は駆動部分、５は薄膜部材、６はダンパー、７は流路
板、８は接着剤、９は凹溝部、１０はインクキャビティ
である。図（ａ）の第１工程において、複数枚積層され
た圧電体１に、溝加工を切削により施した後、薄膜部材
５として５〜３０μｍの厚みをもつ高分子材料、例え
ば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、アラミド
フィルム、ポリ３フッ化塩化エチレンなど比較的透湿性
の低い材質のものをドライ接着法により接合する。な
お、この時、接合強度を向上させるために、圧電体１の
凸部上面にセラミックコートなどコーティングを施して
もよい。
【０００９】図（ｂ）の第２工程において、圧電体１の
溝部２に粘度の低いエポキシ樹脂、シリコン樹脂等をダ
ンパー６として充填することにより、ヘッドの高集積化
の際、問題となる隣接流路間の相互干渉を低減する効果
を持たせることができる。なお、流路間の相互干渉が大
きいと不必要滴の噴射や駆動時の非噴射などヘッド噴射
特性に悪影響を及ぼす。
溝部２に粘度の低いエポキシ樹脂、シリコン樹脂等をダ
ンパー６として充填することにより、ヘッドの高集積化
の際、問題となる隣接流路間の相互干渉を低減する効果
を持たせることができる。なお、流路間の相互干渉が大
きいと不必要滴の噴射や駆動時の非噴射などヘッド噴射
特性に悪影響を及ぼす。
【００１０】図（ｃ）の第３工程において、複数の凹溝
部９を前記圧電体１の駆動部に対応するように切削もし
くは成形した高分子材料（例えばＰＰＳやポリエーテル
サルホンや液晶ポリマーなど）に凹溝内部を含めて、凹
溝形成面一面に接着剤８を塗布する。このとき。流路板
７の表面に接合強度を向上させる目的で、何らかの改質
を施すことも可能である（例えば、ＵＶ照射や逆スパッ
タリングなど）。塗布する方法として、スプレー方式、
スピンコーター方式などが考えられるが、いずれの方式
も、流路板の凸部のみの塗布にくらべて非常に容易であ
る。
部９を前記圧電体１の駆動部に対応するように切削もし
くは成形した高分子材料（例えばＰＰＳやポリエーテル
サルホンや液晶ポリマーなど）に凹溝内部を含めて、凹
溝形成面一面に接着剤８を塗布する。このとき。流路板
７の表面に接合強度を向上させる目的で、何らかの改質
を施すことも可能である（例えば、ＵＶ照射や逆スパッ
タリングなど）。塗布する方法として、スプレー方式、
スピンコーター方式などが考えられるが、いずれの方式
も、流路板の凸部のみの塗布にくらべて非常に容易であ
る。
【００１１】なお、ここで接合後形成されるインクキャ
ビティにも接着剤が残存するため、インクに対しての耐
液性、インクへの溶出等がない接着剤を選ぶ必要があ
る。また、インクキャビティの剛性を向上させ、インク
噴射特性を良好にするためにも接着剤は硬化後に高弾性
率を持つものが良い。前述のような特性を兼ねそなえた
接着剤としては、硬化剤として脂肪族ポリアミンを用い
たエポキシ樹脂系接着剤がある。
ビティにも接着剤が残存するため、インクに対しての耐
液性、インクへの溶出等がない接着剤を選ぶ必要があ
る。また、インクキャビティの剛性を向上させ、インク
噴射特性を良好にするためにも接着剤は硬化後に高弾性
率を持つものが良い。前述のような特性を兼ねそなえた
接着剤としては、硬化剤として脂肪族ポリアミンを用い
たエポキシ樹脂系接着剤がある。
【００１２】図（ｄ）において、第１工程に示した圧電
体１及び薄膜部材５に第３工程に示した接着剤８を塗布
した流路板７を接合する。ここで、流路板７に塗布した
接着剤８を２液性常温硬化型接着剤にすれば、常温放置
での硬化が可能である。また、ヘッド構成上、５０℃〜
８０℃程度の加熱が支障なく行える場合は、より接合強
度を上げ硬化時間を短縮するために５０℃〜８０℃の加
熱硬化を施してもよい。以上のような工程により圧電体
１、薄膜部材５、流路板７を接合すれば、流路板７は電
磁波や、紫外線等を通す必要がないため、無機添加物等
を含有することができ、材料選定の範囲が大幅に広が
り、インクキャビティを形成することができる。
体１及び薄膜部材５に第３工程に示した接着剤８を塗布
した流路板７を接合する。ここで、流路板７に塗布した
接着剤８を２液性常温硬化型接着剤にすれば、常温放置
での硬化が可能である。また、ヘッド構成上、５０℃〜
８０℃程度の加熱が支障なく行える場合は、より接合強
度を上げ硬化時間を短縮するために５０℃〜８０℃の加
熱硬化を施してもよい。以上のような工程により圧電体
１、薄膜部材５、流路板７を接合すれば、流路板７は電
磁波や、紫外線等を通す必要がないため、無機添加物等
を含有することができ、材料選定の範囲が大幅に広が
り、インクキャビティを形成することができる。
【００１３】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のような効果がある。流路板と覆板部材の接合
方法においては、材料に特異な性質を求めず、また、高
温加熱を施す必要もないため、ヘッド特性や接合性等の
面から材料の選定を行うことができ、接合工程数も減ら
すことができる。
と、以下のような効果がある。流路板と覆板部材の接合
方法においては、材料に特異な性質を求めず、また、高
温加熱を施す必要もないため、ヘッド特性や接合性等の
面から材料の選定を行うことができ、接合工程数も減ら
すことができる。
【図１】 本発明によるインクジェットヘッドの製造方
法の一実施例を説明するための構成図である。
法の一実施例を説明するための構成図である。
１…圧電体、２…溝部、３…電極、４…駆動部分、５…
薄膜部材、６…ダンパー、７…流路板、８…接着剤、９
…凹溝部、１０…インクキャビティ。
薄膜部材、６…ダンパー、７…流路板、８…接着剤、９
…凹溝部、１０…インクキャビティ。
フロントページの続き (72)発明者 市川 憲一 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 平川 利和 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 石井 雄一郎 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の凹溝部を有する流路板と、該凹溝
部を覆う覆板部材とでインクキャビティを形成している
インクジェットヘッドにおいて、前記流路板と前記覆板
部材を接合する際、前記流路板の凹溝加工側の全面に均
一に接着剤を塗布して接合することを特徴とするインク
ジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17477592A JPH05338182A (ja) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17477592A JPH05338182A (ja) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05338182A true JPH05338182A (ja) | 1993-12-21 |
Family
ID=15984455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17477592A Pending JPH05338182A (ja) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05338182A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007307774A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置 |
| JP2010125749A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Seiko Instruments Inc | サーマルヘッド、サーマルプリンタ及びサーマルヘッドの製造方法 |
-
1992
- 1992-06-09 JP JP17477592A patent/JPH05338182A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007307774A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置 |
| JP2010125749A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Seiko Instruments Inc | サーマルヘッド、サーマルプリンタ及びサーマルヘッドの製造方法 |
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