JPH05340767A - 光学式変位検出器 - Google Patents
光学式変位検出器Info
- Publication number
- JPH05340767A JPH05340767A JP706093A JP706093A JPH05340767A JP H05340767 A JPH05340767 A JP H05340767A JP 706093 A JP706093 A JP 706093A JP 706093 A JP706093 A JP 706093A JP H05340767 A JPH05340767 A JP H05340767A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- pitch
- scale
- displacement detector
- natural number
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 検出信号のＳ／Ｎ比のギヤツプ依存性を減ら
す。 【構成】 有効波長λのコヒーレントな拡散照明系と、
ピツチＰの第１格子が形成されたメインスケールと、前
記第１格子の２n 次（n は自然数）の高調波に対応する
ピツチＱの第２格子が形成された参照スケールと、前記
第１及び第２の格子で濾波された前記照明系からの光を
光電変換する受光素子とを含み、前記メインスケールと
参照スケールの相対変位に応じて周期的に変化する検出
信号を生成する光学式変位検出器において、光学系の倍
率がＭである時に、前記ピツチＱがＭＰ／（２n ）と
し、前記参照スケールを、前記検出信号中における、第
１格子の幾何学的像の格子間隔による変動分を除去する
ように、前記メインスケールに対してＭm Ｑ2 ／λ（m
は自然数）だけ傾斜させる。
す。 【構成】 有効波長λのコヒーレントな拡散照明系と、
ピツチＰの第１格子が形成されたメインスケールと、前
記第１格子の２n 次（n は自然数）の高調波に対応する
ピツチＱの第２格子が形成された参照スケールと、前記
第１及び第２の格子で濾波された前記照明系からの光を
光電変換する受光素子とを含み、前記メインスケールと
参照スケールの相対変位に応じて周期的に変化する検出
信号を生成する光学式変位検出器において、光学系の倍
率がＭである時に、前記ピツチＱがＭＰ／（２n ）と
し、前記参照スケールを、前記検出信号中における、第
１格子の幾何学的像の格子間隔による変動分を除去する
ように、前記メインスケールに対してＭm Ｑ2 ／λ（m
は自然数）だけ傾斜させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学式変位検出器に係
り、特に、二つの部材の相対位置を、光学的な格子が形
成されたメインスケールと、対応する光学的な格子を形
成した参照スケールとの相対変位によつて生ずる光電変
換信号の変化から検出する光学式変位検出器の改良に関
するものである。
り、特に、二つの部材の相対位置を、光学的な格子が形
成されたメインスケールと、対応する光学的な格子を形
成した参照スケールとの相対変位によつて生ずる光電変
換信号の変化から検出する光学式変位検出器の改良に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】対峙する部材の一方に、第１格子が形成
されたメインスケールを固定し、他方の部材に、第２格
子が形成された参照スケールと、照明系と、受光素子と
を固定し、両部材の相対移動に応じて周期的に変化する
検出信号を生成する光学式変位検出器が、工作機械の工
具の送り量等を測定する分野で普及している。
されたメインスケールを固定し、他方の部材に、第２格
子が形成された参照スケールと、照明系と、受光素子と
を固定し、両部材の相対移動に応じて周期的に変化する
検出信号を生成する光学式変位検出器が、工作機械の工
具の送り量等を測定する分野で普及している。
【０００３】従来の光学式変位検出器は、一般に平行照
明系を使用し、第１格子と第２格子のピツチは同一とさ
れていた。
明系を使用し、第１格子と第２格子のピツチは同一とさ
れていた。
【０００４】これに対して本出願人は、特願昭６１−１
９１５３２において、第２格子のピツチが、第１格子の
ピツチの１／n （n は自然数）である検出器を提案して
おり、その中で、n が偶数の検出器は、例えば図４に示
す如く構成されている。
９１５３２において、第２格子のピツチが、第１格子の
ピツチの１／n （n は自然数）である検出器を提案して
おり、その中で、n が偶数の検出器は、例えば図４に示
す如く構成されている。
【０００５】この図４に示した光学式変位検出器は、発
光ダイオード（ＬＥＤ）１２及びコリメータレンズ１４
から成る、有効波長λの平行照明系１０と、ピツチＰの
第１格子１８が形成されたメインスケール１６と、前記
第１格子１８からの間隔（ギヤツプ）がv でピツチＱ＝
Ｐ／（２n ）（n は自然数）の第２格子２２が形成され
た参照スケール２０と、前記第１及び第２の格子１８、
２２で濾波された前記平行照明系１０の光を光電変換す
る受光素子２４と、その出力信号を増幅して検出信号a
を得るプリアンプ２６とから主に構成されている。
光ダイオード（ＬＥＤ）１２及びコリメータレンズ１４
から成る、有効波長λの平行照明系１０と、ピツチＰの
第１格子１８が形成されたメインスケール１６と、前記
第１格子１８からの間隔（ギヤツプ）がv でピツチＱ＝
Ｐ／（２n ）（n は自然数）の第２格子２２が形成され
た参照スケール２０と、前記第１及び第２の格子１８、
２２で濾波された前記平行照明系１０の光を光電変換す
る受光素子２４と、その出力信号を増幅して検出信号a
を得るプリアンプ２６とから主に構成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする問題点】前記検出信号a のＳ
／Ｎ比は、通常、振幅ＰＰと直流分ＤＣとの比＝ＰＰ／
ＤＣで表わされる。ピツチＱ＝Ｐ／２の場合で、格子間
隔v を変えた時の実験結果の例を図５に実線Ａで示す。
／Ｎ比は、通常、振幅ＰＰと直流分ＤＣとの比＝ＰＰ／
ＤＣで表わされる。ピツチＱ＝Ｐ／２の場合で、格子間
隔v を変えた時の実験結果の例を図５に実線Ａで示す。
【０００７】図５から明らかなように、検出信号a のＳ
／Ｎ比（＝ＰＰ／ＤＣ）が、格子間隔v によつて変動し
ているため、検出器を組み立てるときに、ＰＰ／ＤＣが
最小のところに参照スケール２０を固定してしまうと、
検出信号a のＳ／Ｎ比が悪くなり、耐ノイズ性が悪化し
てしまう。従つて、位置決め精度が厳しくなり、検出器
のコストが高くなるという問題点を有していた。
／Ｎ比（＝ＰＰ／ＤＣ）が、格子間隔v によつて変動し
ているため、検出器を組み立てるときに、ＰＰ／ＤＣが
最小のところに参照スケール２０を固定してしまうと、
検出信号a のＳ／Ｎ比が悪くなり、耐ノイズ性が悪化し
てしまう。従つて、位置決め精度が厳しくなり、検出器
のコストが高くなるという問題点を有していた。
【０００８】本発明は、前記従来の問題点を解消するべ
くなされたもので、検出信号のＳ／Ｎ比のギヤツプ依存
性が従来よりも少ない光学式変位検出器を提供すること
を目的とする。
くなされたもので、検出信号のＳ／Ｎ比のギヤツプ依存
性が従来よりも少ない光学式変位検出器を提供すること
を目的とする。
【０００９】
【問題点を解決するための手段】本発明は、有効波長λ
のコヒーレントな拡散照明系と、ピツチＰの第１格子が
形成されたメインスケールと、前記第１格子の２n 次
（n は自然数）の高調波に対応するピツチＱの第２格子
が形成された参照スケールと、前記第１及び第２の格子
で濾波された前記照明系からの光を光電変換する受光素
子とを含み、前記メインスケールと参照スケールの相対
変位に応じて周期的に変化する検出信号を生成する光学
式変位検出器において、光学系の倍率がＭである時に、
前記ピツチＱをＭＰ／（２n ）とし、前記参照スケール
を、前記検出信号中における、第１格子の幾何学的像の
格子間隔による変動分を除去するように、前記メインス
ケールに対してＭm Ｑ2 ／λ（m は自然数）だけ傾斜す
るようにして、前記目的を達成したものである。
のコヒーレントな拡散照明系と、ピツチＰの第１格子が
形成されたメインスケールと、前記第１格子の２n 次
（n は自然数）の高調波に対応するピツチＱの第２格子
が形成された参照スケールと、前記第１及び第２の格子
で濾波された前記照明系からの光を光電変換する受光素
子とを含み、前記メインスケールと参照スケールの相対
変位に応じて周期的に変化する検出信号を生成する光学
式変位検出器において、光学系の倍率がＭである時に、
前記ピツチＱをＭＰ／（２n ）とし、前記参照スケール
を、前記検出信号中における、第１格子の幾何学的像の
格子間隔による変動分を除去するように、前記メインス
ケールに対してＭm Ｑ2 ／λ（m は自然数）だけ傾斜す
るようにして、前記目的を達成したものである。
【００１０】
【作用】フレネルの回折の理論より、ピツチＰの光学格
子を、可干渉性のある、即ちコヒーレントな平行光線で
照明すると、その光学格子から間隔（ギヤツプ）v のと
ころには、ピツチが原格子と同じＰの幾何学的像（geom
etric image ）と、ピツチが原格子の１／２即ちＰ／２
の回折効果像（diffractive image ）が形成されること
が知られている。このうち、幾何学的像のＳ／Ｎ比は、
格子間隔v の変化によつて大きく周期的に変化する。
子を、可干渉性のある、即ちコヒーレントな平行光線で
照明すると、その光学格子から間隔（ギヤツプ）v のと
ころには、ピツチが原格子と同じＰの幾何学的像（geom
etric image ）と、ピツチが原格子の１／２即ちＰ／２
の回折効果像（diffractive image ）が形成されること
が知られている。このうち、幾何学的像のＳ／Ｎ比は、
格子間隔v の変化によつて大きく周期的に変化する。
【００１１】更に、一般に光学格子は明暗の縦縞状目盛
とされ、フーリエ解析すると、高調波成分を多く含んで
いる。これらの高調波成分にも、それぞれ幾何学的像と
回折効果像があることが、本出願人による特願昭６１−
２０８５５４等で明らかにされており、図３は、この高
調波成分をも利用した検出器である。
とされ、フーリエ解析すると、高調波成分を多く含んで
いる。これらの高調波成分にも、それぞれ幾何学的像と
回折効果像があることが、本出願人による特願昭６１−
２０８５５４等で明らかにされており、図３は、この高
調波成分をも利用した検出器である。
【００１２】このことから、図５の実験結果（実線Ａ）
を考察すると、このＰＰ／ＤＣ曲線は、第１格子の原格
子（ピツチＰ）の回折効果像（ピツチＰ／２）のＳ／Ｎ
比（図５の破線Ｂ）と、第１格子の２次高調波（ピツチ
Ｐ／２）の幾何学的像（ピツチＰ／２）のＳ／Ｎ比（図
５の一点鎖線Ｃ）が合成されたものであることがわか
る。
を考察すると、このＰＰ／ＤＣ曲線は、第１格子の原格
子（ピツチＰ）の回折効果像（ピツチＰ／２）のＳ／Ｎ
比（図５の破線Ｂ）と、第１格子の２次高調波（ピツチ
Ｐ／２）の幾何学的像（ピツチＰ／２）のＳ／Ｎ比（図
５の一点鎖線Ｃ）が合成されたものであることがわか
る。
【００１３】図５から明らかな如く、幾何学的像（一点
鎖線Ｃ）のＳ／Ｎ比は、ギヤツプ依存性があり、格子間
隔v がＱ2 ／λの整数倍のところにピークＧ1 、Ｇ2 、
Ｇ3、Ｇ4 、・・・があり、且つ、各ピークＧ1 、
Ｇ2 、Ｇ3 、Ｇ4 、・・・等では位相が反転している。
従つて、図２に示す如く、参照スケール２０に、変動の
周期の整数倍の傾斜量δ＝m Ｑ2 ／λ（m は自然数）を
与えると、幾何学的像がＳ／Ｎ比が変化する周期分だけ
積分されて、変化分が除去される。このため、検出信号
のＳ／Ｎ比における格子間隔v への依存性がほぼなくな
ることになる。
鎖線Ｃ）のＳ／Ｎ比は、ギヤツプ依存性があり、格子間
隔v がＱ2 ／λの整数倍のところにピークＧ1 、Ｇ2 、
Ｇ3、Ｇ4 、・・・があり、且つ、各ピークＧ1 、
Ｇ2 、Ｇ3 、Ｇ4 、・・・等では位相が反転している。
従つて、図２に示す如く、参照スケール２０に、変動の
周期の整数倍の傾斜量δ＝m Ｑ2 ／λ（m は自然数）を
与えると、幾何学的像がＳ／Ｎ比が変化する周期分だけ
積分されて、変化分が除去される。このため、検出信号
のＳ／Ｎ比における格子間隔v への依存性がほぼなくな
ることになる。
【００１４】特に、図３に示す如く、本出願人が特願昭
６１−２０８５５４で提案したような、拡散光源を用い
た光学式変位検出器の場合には、拡散光源と第１格子と
の距離をu とすると、光学系の倍率Ｍは、（u ＋v ）／
u となるが、第２格子のピツチや参照スケールの傾斜量
は、平行照明系での値をＭ倍すればよいことは明らかで
ある。
６１−２０８５５４で提案したような、拡散光源を用い
た光学式変位検出器の場合には、拡散光源と第１格子と
の距離をu とすると、光学系の倍率Ｍは、（u ＋v ）／
u となるが、第２格子のピツチや参照スケールの傾斜量
は、平行照明系での値をＭ倍すればよいことは明らかで
ある。
【００１５】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳
細に説明する。
細に説明する。
【００１６】本発明の原理を説明するための平行照明系
の比較例は、図１及び図２に示す如く、ＬＥＤ１２及び
コリメータリンズ１４からなる、有効波長λのコヒーレ
ントな平行照明系１０と、ピツチＰの第１格子１８が形
成されたメインスケール１６と、前記第１格子１８の２
n 次（n は自然数）の高調波に対応するピツチＱの第２
格子２２が、互いに位相を９０度ずらして二つ形成され
た参照スケール２０と、前記第１及び第２の格子１８、
２２で濾波された前記平行照明系１０からの光を光電変
換する受光素子２４と、該受光素子２４の出力をそれぞ
れ増幅して、互いに位相が９０度ずれた検出信号a 、b
を得るためのプリアンプ２６とを含む光学式変位検出器
において、図２に詳細に示した如く、前記参照スケール
２０を、前記検出信号a 、b 中における、第１格子１８
の幾何学的像の格子間隔v による変動分を除去するよう
に、前記メインスケール１６に対して傾斜量δ＝m Ｑ2
／λ（m は自然数）だけ傾斜させたものである。
の比較例は、図１及び図２に示す如く、ＬＥＤ１２及び
コリメータリンズ１４からなる、有効波長λのコヒーレ
ントな平行照明系１０と、ピツチＰの第１格子１８が形
成されたメインスケール１６と、前記第１格子１８の２
n 次（n は自然数）の高調波に対応するピツチＱの第２
格子２２が、互いに位相を９０度ずらして二つ形成され
た参照スケール２０と、前記第１及び第２の格子１８、
２２で濾波された前記平行照明系１０からの光を光電変
換する受光素子２４と、該受光素子２４の出力をそれぞ
れ増幅して、互いに位相が９０度ずれた検出信号a 、b
を得るためのプリアンプ２６とを含む光学式変位検出器
において、図２に詳細に示した如く、前記参照スケール
２０を、前記検出信号a 、b 中における、第１格子１８
の幾何学的像の格子間隔v による変動分を除去するよう
に、前記メインスケール１６に対して傾斜量δ＝m Ｑ2
／λ（m は自然数）だけ傾斜させたものである。
【００１７】前記平行照明系１０の光源としては、レー
ザダイオードが理想的であるが、タングステンランプや
実施例で使用したＬＥＤ１２でもよい。
ザダイオードが理想的であるが、タングステンランプや
実施例で使用したＬＥＤ１２でもよい。
【００１８】今、第１格子１８のピツチＰを２０μm と
すると、第２格子２２のピツチＱは、例えば１０μm
（m ＝１）、５μm （m ＝２）、・・・等に設定するこ
とができる。
すると、第２格子２２のピツチＱは、例えば１０μm
（m ＝１）、５μm （m ＝２）、・・・等に設定するこ
とができる。
【００１９】本比較例においては、図５に実線Ａで示し
たような検出信号の格子間隔による変動分のうち、図５
に一点鎖線Ｃで示したような幾何学的像による変動分が
除去されるので、図５に破線Ｂで示した、回折効果像に
よる、Ｓ／Ｎ比が格子間隔によらずほぼ一定であるＳ／
Ｎ比の高い検出信号を得ることができる。
たような検出信号の格子間隔による変動分のうち、図５
に一点鎖線Ｃで示したような幾何学的像による変動分が
除去されるので、図５に破線Ｂで示した、回折効果像に
よる、Ｓ／Ｎ比が格子間隔によらずほぼ一定であるＳ／
Ｎ比の高い検出信号を得ることができる。
【００２０】なお比較実施例は、照明系として平行照明
系を用いたものであつたが、本発明は、図３に示す実施
例のように、例えばレーザダイオード３２をそのまま用
いた拡散光源を有する場合に前記原理を適用したもので
ある。
系を用いたものであつたが、本発明は、図３に示す実施
例のように、例えばレーザダイオード３２をそのまま用
いた拡散光源を有する場合に前記原理を適用したもので
ある。
【００２１】他の構成に関しては、前記比較例と同様で
あるので説明は省略する。
あるので説明は省略する。
【００２２】又、作用に関しても、本発明の原理に係る
部分は比較例と同じであり、他の部分は特願昭６１−２
０８５５４に詳細に説明されているので、説明は省略す
る。
部分は比較例と同じであり、他の部分は特願昭６１−２
０８５５４に詳細に説明されているので、説明は省略す
る。
【００２３】前記実施例においては、本発明が、透過型
の直線変位測定器に適用されていたが、本発明の適用範
囲はこれに限定されず、回転変位検出器（ロータリーエ
ンコーダ）や、反射型の光学式変位検出器にも同様に適
用できることは明らかである。
の直線変位測定器に適用されていたが、本発明の適用範
囲はこれに限定されず、回転変位検出器（ロータリーエ
ンコーダ）や、反射型の光学式変位検出器にも同様に適
用できることは明らかである。
【００２４】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、検
出信号中の幾何学的像による信号を除去することがで
き、検出信号のＳ／Ｎ比における格子間隔への依存性が
ほぼ解消される。従つて、位置決め精度が厳しくなくな
り、検出器のコストを低下できる等の優れた効果を有す
る。
出信号中の幾何学的像による信号を除去することがで
き、検出信号のＳ／Ｎ比における格子間隔への依存性が
ほぼ解消される。従つて、位置決め精度が厳しくなくな
り、検出器のコストを低下できる等の優れた効果を有す
る。
【図１】本発明の原理を説明するための、光学式変位検
出器の比較例の構成を示す斜視図
出器の比較例の構成を示す斜視図
【図２】第１図の矢視II方向から見た断面図
【図３】本発明の実施例の要部構成を示す平面図
【図４】本出願人が特願昭６１−１９１５３２で提案し
た光学式変位検出器の出願済み比較例の構成を示す平面
図
た光学式変位検出器の出願済み比較例の構成を示す平面
図
【図５】該比較例における、検出信号のＳ／Ｎ比の格子
間隔に対する依存性を示す線図
間隔に対する依存性を示す線図
１０…平行照明系 １６…メインスケール １８…第１格子 ２０…参照スケール ２２…第２格子 Ｐ、Ｑ…ピツチ v …格子間隔 ２４…受光素子 a 、b …検出信号 λ…傾斜量 ３２…レーザダイオード（拡散光源）
Claims (1)
- 【請求項１】有効波長λのコヒーレントな拡散照明系
と、 ピツチＰの第１格子が形成されたメインスケールと、 前記第１格子の２n 次（n は自然数）の高調波に対応す
るピツチＱの第２格子が形成された参照スケールと、 前記第１及び第２の格子で濾波された前記照明系からの
光を光電変換する受光素子とを含み、 前記メインスケールと参照スケールの相対変位に応じて
周期的に変化する検出信号を生成する光学式変位検出器
において、 光学系の倍率がＭである時に、前記ピツチＱがＭＰ／
（２n ）とされ、 前記参照スケールが、前記検出信号中における、第１格
子の幾何学的像の格子間隔による変動分を除去するよう
に、前記メインスケールに対してＭm Ｑ2 ／λ（m は自
然数）だけ傾斜されていることを特徴とする光学式変位
検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP706093A JPH05340767A (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | 光学式変位検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP706093A JPH05340767A (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | 光学式変位検出器 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23175587A Division JPS6474416A (en) | 1987-09-16 | 1987-09-16 | Optical displacement detector |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05340767A true JPH05340767A (ja) | 1993-12-21 |
Family
ID=11655528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP706093A Pending JPH05340767A (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | 光学式変位検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05340767A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000068646A1 (en) * | 1999-05-10 | 2000-11-16 | Citizen Watch Co., Ltd. | Dimension measuring device |
| JP2011099861A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Mitsutoyo Corp | 位置感知光検出器を使用する線形変位センサ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6039501A (ja) * | 1983-07-16 | 1985-03-01 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 測定装置 |
| JPS6117016A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-25 | Okuma Mach Works Ltd | 平均化回折モアレ位置検出器 |
-
1993
- 1993-01-20 JP JP706093A patent/JPH05340767A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6039501A (ja) * | 1983-07-16 | 1985-03-01 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 測定装置 |
| JPS6117016A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-25 | Okuma Mach Works Ltd | 平均化回折モアレ位置検出器 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000068646A1 (en) * | 1999-05-10 | 2000-11-16 | Citizen Watch Co., Ltd. | Dimension measuring device |
| US6492637B1 (en) | 1999-05-10 | 2002-12-10 | Citizen Watch Co., Ltd. | Dimension measuring device |
| JP2011099861A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Mitsutoyo Corp | 位置感知光検出器を使用する線形変位センサ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4943716A (en) | Diffraction-type optical encoder with improved detection signal insensitivity to optical grating gap variations | |
| JPH07888Y2 (ja) | 光学式変位検出器 | |
| US9651404B2 (en) | Optical encoder having an optical portion comprising dual lenses and an aperture portion positioned in relation to a moiré grating | |
| JP3170902B2 (ja) | 信号処理方法及びそれを用いたエンコーダ | |
| JPH0697171B2 (ja) | 変位測定装置 | |
| JPH0843136A (ja) | 光学式エンコーダ | |
| JPH0132450B2 (ja) | ||
| US20050274880A1 (en) | Optical encoder | |
| JPH06194123A (ja) | 変位検出装置 | |
| JPH05340767A (ja) | 光学式変位検出器 | |
| JPH0625675B2 (ja) | 平均化回折モアレ位置検出器 | |
| GB2247313A (en) | Optical encoder | |
| JP3198789B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
| JP2003279384A (ja) | 光学式絶対値エンコーダ及び移動装置 | |
| JP3294684B2 (ja) | 光電型エンコーダ | |
| GB2246430A (en) | Optical encoder | |
| JPH0529851B2 (ja) | ||
| JP3256628B2 (ja) | エンコーダ装置 | |
| JPH0638048B2 (ja) | 反射型エンコーダ | |
| JPH0577967B2 (ja) | ||
| JPH07198424A (ja) | エンコーダ装置 | |
| JPH02103416A (ja) | 光電式変位検出器 | |
| JPS6347615A (ja) | 光学式変位検出器 | |
| JPS6363917A (ja) | 光学式変位検出器 | |
| JPH0212017A (ja) | 平均化回折モアレ位置検出器 |