JPS6039501A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
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- JPS6039501A JPS6039501A JP59143376A JP14337684A JPS6039501A JP S6039501 A JPS6039501 A JP S6039501A JP 59143376 A JP59143376 A JP 59143376A JP 14337684 A JP14337684 A JP 14337684A JP S6039501 A JPS6039501 A JP S6039501A
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims 1
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は特許請求の範囲の前提概念による測定装置に関
する。
する。
この種の測定装置では参照マークによって発生する電気
的制御パルスは種々の方法で、例えばカウンタにおける
ゼロ位置の再生のために、測定の開始時に所定の位置へ
の到達のため、及び妨害パルスの測定値のかん視のため
並びに後続の制御装置の附勢のために使用されることが
できる。
的制御パルスは種々の方法で、例えばカウンタにおける
ゼロ位置の再生のために、測定の開始時に所定の位置へ
の到達のため、及び妨害パルスの測定値のかん視のため
並びに後続の制御装置の附勢のために使用されることが
できる。
コード測定装置、即ち相異なる格子定数を備えた複数の
部分トラックを有する参照マークなしの測定装置では、
部分トラックと所属の走査フィールドとの間の相異な、
る大きな距離を設けることが公知であり、その際距離は
部分トラックの格子定数及び照明装置の光の波長から決
定される（西独国特許公開公報１５４８８７４）。
部分トラックを有する参照マークなしの測定装置では、
部分トラックと所属の走査フィールドとの間の相異な、
る大きな距離を設けることが公知であり、その際距離は
部分トラックの格子定数及び照明装置の光の波長から決
定される（西独国特許公開公報１５４８８７４）。
西独−特許明細書２９５２１０６インクレメンタル長さ
又は角度測定装置が記載されており、その際測定尺土に
目盛の外相異なる直線群部分を有する参照マークが設け
られている。個々の参照マークは走査装置における走査
フィールドによって走置され、その際参照マークに各走
査フィールドが付設されておシ、各参照マークは同一の
直線群部分を有する。この参照マークの明らかな走査の
ために不規則な直線群部分のために測定尺と走査板との
間の距離は高々４ｄ２／λでよく、その際ｄは参照マー
クの直線目盛の狭い直線の巾であシ、λは光の波長を意
味する。
又は角度測定装置が記載されており、その際測定尺土に
目盛の外相異なる直線群部分を有する参照マークが設け
られている。個々の参照マークは走査装置における走査
フィールドによって走置され、その際参照マークに各走
査フィールドが付設されておシ、各参照マークは同一の
直線群部分を有する。この参照マークの明らかな走査の
ために不規則な直線群部分のために測定尺と走査板との
間の距離は高々４ｄ２／λでよく、その際ｄは参照マー
クの直線目盛の狭い直線の巾であシ、λは光の波長を意
味する。
更に測定尺の規則的な周期的なイ、ンクレメンタル目盛
の走査のために測定尺と走査板との間に単一の特定の距
離のみが保持されねばならないのみならず、種々の大き
な距離が可能である。
の走査のために測定尺と走査板との間に単一の特定の距
離のみが保持されねばならないのみならず、種々の大き
な距離が可能である。
測定尺の目盛が平行光線によって透過されると、測定尺
の目盛平面の後方の特定平面に測定尺の目盛で回折され
た光線の干渉によって、測定尺の目盛の回折像が生じ、
回折像は同一格子定数の走査目盛によって走査されるこ
とができる。
の目盛平面の後方の特定平面に測定尺の目盛で回折され
た光線の干渉によって、測定尺の目盛の回折像が生じ、
回折像は同一格子定数の走査目盛によって走査されるこ
とができる。
これらの平面は測定尺の目盛の格子定数Ｐ翼及び光の波
長λの場合測定尺の目盛平面から距離１１− ｐＭ２／
λ（ｎ ＝ ０．１．２．、 ＝−）を有する。従って
最適の電気的走査信号は測定尺の目盛平面から走査板の
目盛平面の距離ｎ −ＰＭ２ ／λの場合に生じる（
［Ｍａｃｈｉｎｅ Ｅｌｈｏｐ Ｍａｇａｚｉｎｅ 、
１９６２年４月２０８頁）。測定尺と走査板との間に
大きい距離があると、測定装置は切屑等の機械的影響に
対して敏感でちゃ、切屑は測定尺と走査板との間の距離
が小さい場合、締めつけられかつ測定尺の目盛及び走査
板の損傷に通じうる。更に測定尺及び走査板は汚れたら
容易に洗浄される。
長λの場合測定尺の目盛平面から距離１１− ｐＭ２／
λ（ｎ ＝ ０．１．２．、 ＝−）を有する。従って
最適の電気的走査信号は測定尺の目盛平面から走査板の
目盛平面の距離ｎ −ＰＭ２ ／λの場合に生じる（
［Ｍａｃｈｉｎｅ Ｅｌｈｏｐ Ｍａｇａｚｉｎｅ 、
１９６２年４月２０８頁）。測定尺と走査板との間に
大きい距離があると、測定装置は切屑等の機械的影響に
対して敏感でちゃ、切屑は測定尺と走査板との間の距離
が小さい場合、締めつけられかつ測定尺の目盛及び走査
板の損傷に通じうる。更に測定尺及び走査板は汚れたら
容易に洗浄される。
太き）距離としたことによる第２の利点は走査公差がこ
の大きい距離では度々大きく、その結果測定尺に関する
走査板の案内精度に小さい要請の走査の際に生ずる周期
的走査信号も正弦信号波形を有し、その結果補間のだめ
の走査信号の信号周期が良好に分割される。
の大きい距離では度々大きく、その結果測定尺に関する
走査板の案内精度に小さい要請の走査の際に生ずる周期
的走査信号も正弦信号波形を有し、その結果補間のだめ
の走査信号の信号周期が良好に分割される。
インク４メンタル目盛の走査における測定尺と走査板と
の間の非常に大きな距離の設定は中間接続された結像光
学系なしに測定尺が参照マークを有しない測定装置での
み可能である、そのわけは上述のように参照マークのり
」白な走査のために測定尺と走査板との間の所定の小さ
い距ｒ、よを越えることは許されないからである。
の間の非常に大きな距離の設定は中間接続された結像光
学系なしに測定尺が参照マークを有しない測定装置での
み可能である、そのわけは上述のように参照マークのり
」白な走査のために測定尺と走査板との間の所定の小さ
い距ｒ、よを越えることは許されないからである。
装置で、参照マークの明白な走査と測定尺の目盛の最適
な走査を可能にすることを課題の基礎とする。
な走査を可能にすることを課題の基礎とする。
本発明によればこの課題は特許請求の範囲第１項及び第
２項の特徴によって解決される。
２項の特徴によって解決される。
本発明によって得られる利点は特に上記の１重類の測定
装置で、簡単な手段によってインク４メンタル目盛及び
参照マークの安全な走査のためのその都度必要最適な距
離が選択されることができ、その結果測定値の補間の際
に精度と分割程度が高められることにある。測定尺の目
盛と走査板の所属の走査フィールドの間の大きい距離の
存在によって測定尺に門する走査板の案内精度に小さい
要請が課されることができる、そのわけはこの大きい距
離では度距離公差も増大するからでおる。従って参照マ
ークと所属の走査フィールドとの間の所定の小さい距離
が越えることが許されないような測定装置では高硝度の
案内が設けられる必要がなく、従って簡単に構成されか
つ安価な測定装置が生ずる。提案・、された簡単な手段
は外形寸法にいがなる変化ももたらさず、その結果機械
における測定装置の使用の７レキシビリテーが保持され
る。
装置で、簡単な手段によってインク４メンタル目盛及び
参照マークの安全な走査のためのその都度必要最適な距
離が選択されることができ、その結果測定値の補間の際
に精度と分割程度が高められることにある。測定尺の目
盛と走査板の所属の走査フィールドの間の大きい距離の
存在によって測定尺に門する走査板の案内精度に小さい
要請が課されることができる、そのわけはこの大きい距
離では度距離公差も増大するからでおる。従って参照マ
ークと所属の走査フィールドとの間の所定の小さい距離
が越えることが許されないような測定装置では高硝度の
案内が設けられる必要がなく、従って簡単に構成されか
つ安価な測定装置が生ずる。提案・、された簡単な手段
は外形寸法にいがなる変化ももたらさず、その結果機械
における測定装置の使用の７レキシビリテーが保持され
る。
本発明の有利な他の構成は実施態様項から把握される。
本発明の実施例を図面に基いて詳しく説明する。
第１図に電気的インクイメンタル長さ６．す定装置が示
されており、この装置は測定尺Ｍと走を装置Ａから成り
、かつ図示しない方法で被＆ｌＪ定物、例えば工作機械
のａ４！部分と結合している。
されており、この装置は測定尺Ｍと走を装置Ａから成り
、かつ図示しない方法で被＆ｌＪ定物、例えば工作機械
のａ４！部分と結合している。
測定尺λり上に緑格子（第２図）の形の・ｆンクＩメン
タル目盛Ｔが取付けられてお）、目盛は照射によって接
ｆ独なしに走近装Ｈｈによって光電的に走査される。目
盛Ｔの他に二つの参照マーク＆、Ｒ２が配設されておシ
、参照マークは目盛Ｔに絶対的に付設されておシ、それ
ぞ２Ｌ不規則の線部分を備えた線の群から成シ、両参照
マーク＆、Ｒ２の線群部分はできる限シ類似しないよう
にされていなければならない。
タル目盛Ｔが取付けられてお）、目盛は照射によって接
ｆ独なしに走近装Ｈｈによって光電的に走査される。目
盛Ｔの他に二つの参照マーク＆、Ｒ２が配設されておシ
、参照マークは目盛Ｔに絶対的に付設されておシ、それ
ぞ２Ｌ不規則の線部分を備えた線の群から成シ、両参照
マーク＆、Ｒ２の線群部分はできる限シ類似しないよう
にされていなければならない。
測定方向Ｘに移動可能な走査ユニツ）Ａによる目盛Ｔの
走査によって発生し、走査装置Ａにおいて増巾されかつ
矩形波Ｗ＊Ｅｊに変形される走査信号ｓ、 ｐ ＦＪＲ
はデジタル形の測定値を示す電子カウンタ２を制御する
。目盛Ｔの格子定数ＰＭのにだけずらされた矩形信号Ｂ
ｇ’ ＊ ｓ、は走査方向の弁別に役立つ。参照マーク
＆、烏で発生する参照信号ＲＥＪＩ ＨＲ８ｔは同様に
走査装置Ａで増巾され、矩形波１に’ 、 Ｒ８７に変
形されかつ同様にカウンタ２に供給される。
走査によって発生し、走査装置Ａにおいて増巾されかつ
矩形波Ｗ＊Ｅｊに変形される走査信号ｓ、 ｐ ＦＪＲ
はデジタル形の測定値を示す電子カウンタ２を制御する
。目盛Ｔの格子定数ＰＭのにだけずらされた矩形信号Ｂ
ｇ’ ＊ ｓ、は走査方向の弁別に役立つ。参照マーク
＆、烏で発生する参照信号ＲＥＪＩ ＨＲ８ｔは同様に
走査装置Ａで増巾され、矩形波１に’ 、 Ｒ８７に変
形されかつ同様にカウンタ２に供給される。
得られた参照信号Ｒ８，、Ｒ％によって種々の機能が始
動される。参照信号Ｒ＠ 、 ＲＥＩ、の評価によって
例えばイ／クザメンタル１ｌｉｌｌ定装置から不変の零
点に関する絶対的位置を示す数が各参照マーク＆、鳥に
付設される場合に略絶対的３（１４定装置が示される。
動される。参照信号Ｒ＠ 、 ＲＥＩ、の評価によって
例えばイ／クザメンタル１ｌｉｌｌ定装置から不変の零
点に関する絶対的位置を示す数が各参照マーク＆、鳥に
付設される場合に略絶対的３（１４定装置が示される。
更に特定の参照マーク＆、烏は特定の参照マークＲＩＲ
Ｉから得られる参照信号Ｒ８，、Ｒ８，が生じた場合に
カウンタ２を値「ゼロ」にセットするために役立つ。
Ｉから得られる参照信号Ｒ８，、Ｒ８，が生じた場合に
カウンタ２を値「ゼロ」にセットするために役立つ。
測定尺Ｍの走査のたφに走査装置Ａに第３図による走査
板ＡＰが設けられておシ、走査板は目盛Ｔの走査のだめ
に目盛Ｔの格子定数ＰＭのにだけずらされた二つの走査
フィールドＡＴ、 、 ＡＴよを有し、走査フィールド
は目盛Ｔと同一であシ、走査フィールドＡＴＩ 、 Ａ
Ｔ、には走査信号Ｓ、 ｔ Ｓ、の発生のだめの図示し
ない光電要素が付設されている。参照マーク烏、馬の走
査のために走査板ＡＰ上に走査フィールドＩ’ｋ ｒ
ＡＲａが設けられており、個々の走査フィールドＡＲ＆
、 ＡＲａＱ線群部分は所属の参照マーク＆、烏の線群
部分と同一であシ、その結果参照マーク＆、馬と所属の
走査フィールドＡＲＩ、Ａ凡の重なシの際参照信号ｎｓ
ｓ ＋１１％が呼び出される。参照マーク＆及び走査フ
ィールドＡＲＩの線部分又は参照マーク塩及び走査フィ
ールドＡＲＣの線部分の同一性によって各参照マークＲ
１＋ Ｅｘに対してのみ属する走査フィールドＡＲＩ
Ｉ ＡＲ，は大きい利用／妨害信号比をもった参照信号
Ｒ８ｍ 、 Ｒ％を呼びだすことができる。
板ＡＰが設けられておシ、走査板は目盛Ｔの走査のだめ
に目盛Ｔの格子定数ＰＭのにだけずらされた二つの走査
フィールドＡＴ、 、 ＡＴよを有し、走査フィールド
は目盛Ｔと同一であシ、走査フィールドＡＴＩ 、 Ａ
Ｔ、には走査信号Ｓ、 ｔ Ｓ、の発生のだめの図示し
ない光電要素が付設されている。参照マーク烏、馬の走
査のために走査板ＡＰ上に走査フィールドＩ’ｋ ｒ
ＡＲａが設けられており、個々の走査フィールドＡＲ＆
、 ＡＲａＱ線群部分は所属の参照マーク＆、烏の線群
部分と同一であシ、その結果参照マーク＆、馬と所属の
走査フィールドＡＲＩ、Ａ凡の重なシの際参照信号ｎｓ
ｓ ＋１１％が呼び出される。参照マーク＆及び走査フ
ィールドＡＲＩの線部分又は参照マーク塩及び走査フィ
ールドＡＲＣの線部分の同一性によって各参照マークＲ
１＋ Ｅｘに対してのみ属する走査フィールドＡＲＩ
Ｉ ＡＲ，は大きい利用／妨害信号比をもった参照信号
Ｒ８ｍ 、 Ｒ％を呼びだすことができる。
例えば走査フィールドＡ烏が所属の参照マーク塩に動か
されると、参照信号は呼び出されない。
されると、参照信号は呼び出されない。
測定尺Ｍの周期的インクザメンタル目盛が平行光線で透
過されると、測定尺Ｍの目盛Ｔの平面の後方の所定の平
面にｔ、＋１定尺）ぺの目盛Ｔで散乱された光線の干渉
によって測定尺Ｍの目盛Ｔの回折保が生ずる。この平面
は測定尺Ｍのピッチでの格子定数ＰＭ、光の波長長λの
場合測定尺Ｍの目盛での平面からの距離−Ｈ−２Ｍ２
／λ（ｎ−０、１，２，−・・〜・・）を有する。第４
図において二つの同一格子定数の目盛の間の相対運動で
生じた光変調の振巾が対向距離ａに関して示されている
。
過されると、測定尺Ｍの目盛Ｔの平面の後方の所定の平
面にｔ、＋１定尺）ぺの目盛Ｔで散乱された光線の干渉
によって測定尺Ｍの目盛Ｔの回折保が生ずる。この平面
は測定尺Ｍのピッチでの格子定数ＰＭ、光の波長長λの
場合測定尺Ｍの目盛での平面からの距離−Ｈ−２Ｍ２
／λ（ｎ−０、１，２，−・・〜・・）を有する。第４
図において二つの同一格子定数の目盛の間の相対運動で
生じた光変調の振巾が対向距離ａに関して示されている
。
最適の電気的走査信号”ｒ ｒ Ｓ２は列定尺Ｍの目盛
Ｔの平面から走査板ＡＰの走査フィールドＡＴＩ ＩＡ
Ｔｔｉでの平面の距離ｎ−ＰＭ２／λの場合にのみ生ず
る。
Ｔの平面から走査板ＡＰの走査フィールドＡＴＩ ＩＡ
Ｔｔｉでの平面の距離ｎ−ＰＭ２／λの場合にのみ生ず
る。
測定尺Ｍ上の参照へ、烏の明白な走査のためにその不規
則な線群部分のために参照マーク＆。
則な線群部分のために参照マーク＆。
鳥と走査板ＡＰ上の所ＩＡの走査フィールドＡＲＩ ｅ
ｌｋとの間の距真１駐は光線方向において高々略４ｄ２
／λとなシ、その際ｄは参照マーク塩、への線部分の狭
い線の巾を意味する。これに対して測定尺Ｍの目盛Ｔの
最適の走査のためにはピッチと走査板ＡＰ上の所属の走
査フィールドＡＴ、 、 ＡＴ′！との間の距離は光の
方向において略ｎ ” ＰＭ２／λ（λ＝１、２．４・
・・−・）と外る。
ｌｋとの間の距真１駐は光線方向において高々略４ｄ２
／λとなシ、その際ｄは参照マーク塩、への線部分の狭
い線の巾を意味する。これに対して測定尺Ｍの目盛Ｔの
最適の走査のためにはピッチと走査板ＡＰ上の所属の走
査フィールドＡＴ、 、 ＡＴ′！との間の距離は光の
方向において略ｎ ” ＰＭ２／λ（λ＝１、２．４・
・・−・）と外る。
本発明によれば測定尺のピッチと走査板ＡＰ上の所属の
走査フィールドＡＴ、 、 ＡＴ、の間の光線の最適路
長及び測定尺Ｍの参照マークＲ１，Ｒ＋１と走査板ＡＰ
の所属の走査フィールドＡＲｔ ｔ ＡＲｌｌの間の光
線の光学的路長は位相差りを有し、その際りは選択され
た距離ｎ−Ｐ−／λと距離４ｄ２／λとの間の差でおる
。
走査フィールドＡＴ、 、 ＡＴ、の間の光線の最適路
長及び測定尺Ｍの参照マークＲ１，Ｒ＋１と走査板ＡＰ
の所属の走査フィールドＡＲｔ ｔ ＡＲｌｌの間の光
線の光学的路長は位相差りを有し、その際りは選択され
た距離ｎ−Ｐ−／λと距離４ｄ２／λとの間の差でおる
。
位相差ｈ＝Ｃ’Ｘ１’を得るために、第５図によれば走
査フィールドＡＴ／ ｐ ＡＴｌ及び走査板ＡＰ’の走
査フィールドＡ＆′、ＡＲｊは区間１′の開光線方向に
相互平行にずらされておシ、一方目盛Ｔ′及び測定尺Ｍ
′の参照マークｈ’、Ｒｊは一平面内に位置し ０／は
光が透過する媒質の屈折率を示す。等しい位相差ｈ ＝
ｃ’・１′を得るために第５ｂ図によれば測定尺Ｍ′
の目盛Ｔ′と参照マークＷ、ｐ、Ｉは光線方向において
区間１′だけ相互に平行にずらされ、一方走査板ＡＰ’
の走査フィールドＡＴ、’。
査フィールドＡＴ／ ｐ ＡＴｌ及び走査板ＡＰ’の走
査フィールドＡ＆′、ＡＲｊは区間１′の開光線方向に
相互平行にずらされておシ、一方目盛Ｔ′及び測定尺Ｍ
′の参照マークｈ’、Ｒｊは一平面内に位置し ０／は
光が透過する媒質の屈折率を示す。等しい位相差ｈ ＝
ｃ’・１′を得るために第５ｂ図によれば測定尺Ｍ′
の目盛Ｔ′と参照マークＷ、ｐ、Ｉは光線方向において
区間１′だけ相互に平行にずらされ、一方走査板ＡＰ’
の走査フィールドＡＴ、’。
Ａ？’及び走査フィールドＡ＆’ ＊ ｈｒＷは一平面
内にある。
内にある。
第５ｃ図によれば位相差ｈ ＝ ａ’・１′の取得のた
めに走査板ＡＰ”の走査フィールドＡｒｒｊＺ ＡＴＸ
／及び走査フィールドＡｒ４４” 、 ＡＲＣ’は一平
面内にある。
めに走査板ＡＰ”の走査フィールドＡｒｒｊＺ ＡＴＸ
／及び走査フィールドＡｒ４４” 、 ＡＲＣ’は一平
面内にある。
光線方向において走査フィールドＡＴｍ” ＋ ＡＷ’
ハ光線方向の層厚さ１″、屈折率ｃ″の透明層Ｕ”が
配設されている。
ハ光線方向の層厚さ１″、屈折率ｃ″の透明層Ｕ”が
配設されている。
第５ｄ図によれば位相差ｈ ＝： ａｌｌｌ・１″′の
取得のために透明走査板ＡＩＰ″′は光線方向の層厚さ
１″′、及び屈折率Ｃ″′ を有する。走査フィールド
Ａへ″′。
取得のために透明走査板ＡＩＰ″′は光線方向の層厚さ
１″′、及び屈折率Ｃ″′ を有する。走査フィールド
Ａへ″′。
ｈＩ３ｊＩＩは走査板Ａｘｌｌｌの測定尺Ｍ′に而した
表面上に１そして走査フィールドＡＴＥ”’ 、 ＡＴ
７／／は走査板Ａ′Ｐ′″の測定尺Ｍ″ と反対の表面
に配設されている。
表面上に１そして走査フィールドＡＴＥ”’ 、 ＡＴ
７／／は走査板Ａ′Ｐ′″の測定尺Ｍ″ と反対の表面
に配設されている。
位相差ｈ ＝ Ｏ””・１〃〃を得るために第５ｅ図に
よれば、走査板ＡＰ′ｌｌｌの走査フィールドＡＴＥ”
” 。
よれば、走査板ＡＰ′ｌｌｌの走査フィールドＡＴＥ”
” 。
ＡＴｊｌｌｌ及び走査フィールドＡ烏１１１Ｚ ）、Ｈ
：ＩＩＩは一平面内にそして、測定尺ｙ″′Ｏ′Ｏ目盛
ｌｌ及び参照マ−りｇｌｌｌｌ、 ｚｌｌｌｌの平面に
対して測定方向Ｘを向いた回転軸線の咬わシに傾けられ
、即ち、走査フィールドＡＴ里１１１１ 、 ）、Ｔ１
１１１の中心点Ｗ″′が光線方向において区間１１１１
１だけ走査フィールドＡＩ’％”” ＃ ＡＮ”’の中
心点Ｗ″′に対してずらされておシ、その際Ｃ１１１１
は光が透過する媒質の屈折率である。
：ＩＩＩは一平面内にそして、測定尺ｙ″′Ｏ′Ｏ目盛
ｌｌ及び参照マ−りｇｌｌｌｌ、 ｚｌｌｌｌの平面に
対して測定方向Ｘを向いた回転軸線の咬わシに傾けられ
、即ち、走査フィールドＡＴ里１１１１ 、 ）、Ｔ１
１１１の中心点Ｗ″′が光線方向において区間１１１１
１だけ走査フィールドＡＩ’％”” ＃ ＡＮ”’の中
心点Ｗ″′に対してずらされておシ、その際Ｃ１１１１
は光が透過する媒質の屈折率である。
本発明によれば第５ｆ図によシ、測定尺ψの目盛τＧ及
び参照マーク＃、ＲＪが走査板人−の所属の走査フィー
ルドＡＴ＃ 、 ＡＴ＃とＡＲｉ’ ＃ ＡＲ／から等
距離（例えばｎ−Ｐ−／λ）を有し、かつ参照マークＲ
，Ｓ、 ｈ％の走査のためにこの距離に決定された結像
光学系Ｏが設けられている。
び参照マーク＃、ＲＪが走査板人−の所属の走査フィー
ルドＡＴ＃ 、 ＡＴ＃とＡＲｉ’ ＃ ＡＲ／から等
距離（例えばｎ−Ｐ−／λ）を有し、かつ参照マークＲ
，Ｓ、 ｈ％の走査のためにこの距離に決定された結像
光学系Ｏが設けられている。
本発明は他の測定方法、即ち測定尺の目盛と走査板の走
査フィードが同一ではない場合、走査フィールドの目盛
が測定尺の目盛の二倍であるような王格子測定方法でも
特別有利に使用される。非平行光線によるこの種の三格
子測定方法（西独国特許公開公報２５１１３５０）では
比較的大きな許容公差を有する非常に大きな距離が得ら
れる。
査フィードが同一ではない場合、走査フィールドの目盛
が測定尺の目盛の二倍であるような王格子測定方法でも
特別有利に使用される。非平行光線によるこの種の三格
子測定方法（西独国特許公開公報２５１１３５０）では
比較的大きな許容公差を有する非常に大きな距離が得ら
れる。
第１図はインクリメンタル測定装置、
Ｒ２図は参照マークを有する測定尺、
第３図は走査フィールドを有する走査板、第４図は光変
調の振巾のグラフ表示、そして、第５ａ図〜第５ｆ図は
測定尺と走査板の種々の実施形態を示す。
調の振巾のグラフ表示、そして、第５ａ図〜第５ｆ図は
測定尺と走査板の種々の実施形態を示す。
図中符号
ＡＰ 走査板
ＡＲ，走査フィールド
ＡＲよ 〃
ＡＴｌ 走査フィールド
ＡＴ、 ｔｔ
Ｍ 測定尺（スクール）
Ｒ１参照マーク
Ｒ１〃
丁 目 盛
代理人 江 崎 光 好
代理人 江 崎 光 史
≦０が４
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （リ 測定尺の目盛に溢って測定方向に設けられた参照
マークを備え、参照マークは目盛に絶対的に付設されて
おシ、かつ参照マークで走。 壬 査ユニットと共働して可成可能な電気的パルスが発生さ
れ、電気的パルスは測定装置のカウンタ及び又は制御装
置を附勢し、また測定尺の目盛と参照マークとの走査の
ための走査１″Ｊ 装置膝少なくとも一つの走査板を備え、その際光線方向
において、所定の距離にある測定尺及び走査板は相対的
に移動可能である、二つの対象物の相対的位置の測定の
ための測定装置において、測定尺（財）の目盛（慣と走
査板（ＡＰ）の所属の走査フィールド（ＡＴｉ ＊ＡＴ
！ ）との間の光線の光学的路程長と測定尺（Ｍ）の参
照マーク（ＲＩ、Ｐａ）と走査板（ＡＰ ）の所属の走
査フィールド（ＡＰＩ 、 Ａ＆ ）との間の光線の光
学的路程長は路程差りを有することを特徴とする測定装
置。 （２）位相差ｈ ＝ ａ’・１′を得るために、走査板
（ＡＰ’）の走査フィールド（ＡＴ（、ＡＴｉ） と走
査フィールド（ｈＲ＆’ｔ Ａｙ ）又は測定尺（Ｍ′
）の目盛（Ｔ’）及び参照マーク（Ｐ／ ａ Ｎ ）は
光線方向において１′だけ相互に平行にずらされておシ
、その際Ｃ′は光線の通過する媒体の屈折率である、特
許請求の範囲第１項記載の測定装置。 （３）位相差ｈ＝Ｃ″・１″を得るために一つの平面率
Ｃ１１である透明Ｒ（ＴＪ” ）が配設されている、特
許請求の範囲第１項記載の測定装置。 （４）位相差ｈ 、、 ａｆｌｌ・１″′を得るために
、透明な走査板（ＡＰ／Ｆ／ ：）は光線方向における
層厚さ１″′が屈絣率Ｃ″′ を有し、走査フィールド
（ｐ、ｈ１１′。 ｈｈｌｌｌ ）は走査板（ムｙ″）の測定尺（Ｍ”’）
に面した表面上に、そして走査フィールド（ＡＴ１″′
。 ＡＴｌ” ）は走査板（ムｙ″）の測定尺（Ｍｅｌｌ
）に面した表面上に配設されている、特許請求の範囲第
１項記載の測定装置。 （５）位相差ｈ ＝＝ ０１１１１・１？１８を得るた
めに一平面内に位置する走査フィールド（ムＴ７１１１
、 ＡＴ７１１１ ）及び走査板（Ａｘｌｌｌｌ ）
の走査フィールド（Ａ烏１１１１゜ｐ、′Ｒｊｌｌｌ
）は測定尺（Ｍ””）の目盛（Ｔ″″）及び参照マーク
ＣＲ１１１１１、′Ｒｊ１１つに対して走査フィールド
（ＡＴＥ”” 、 ＡＴＥ”りの中心点（ｆ１′）が光
線方向において走査フィールド（ｈｈｌｌｌｌ 、 Ａ
〜″′）の中心（Ｍ！””）に対してずらされ、その際
Ｃ１１１１が光線の通る媒体の屈折率であるように傾け
られている、特許請求の範囲第１項記載の測定装置。 （６）走査板（ＡＰ’ ）の走査フィールド（Ａ％’
） ＡＴ７ ）ト走査フィールド（ＡＢＣ’ 、 ＡＮ
）の平面又は目盛（Ｔ′）び参照マーク（Ｂａ’、Ｉ
’Ｍ）の平面は腐蝕によって相互平行にずらされている
、特許請求の範囲第２項記載の測定装置。 （７） 測定尺の目盛に溢って測定方向において設けら
れた参照マークを備え、参照マークは目盛に絶対的に付
設されておシ、かつ参照マークにおいて走査装置と共働
して再生可能な電気的パルスが発生され、電気的パルス
は測定装置のカウンタ及び又は制御装置を附勢し、また
測定尺の目盛と参照マークの走査のだめの走査装置に少
なくとも一つの走査板を備え、その際光線方向において
所定の間隔をもっている測定尺及び走査板は相対的に移
動可能である、二つの対象物の相対的位置の測定のため
の測定装置において、それぞれ測定尺（Ｖ）の目盛（Ｔ
’）及び参照マーク（Ｒｒ’、Ｆｔりは走査板（Ａｒ１
）の所属の走査フィールド（ａｒ／ ＃ ＡＴｌ ＊
又はＡ＆’＋ ＡＩ’ｌ／ ）から等しい距離を有し、
そして参照マーク（ａ’、Ｒ／）の走査のためにこの距
離上に焦点を合わされた結像光学系（０）が設けられて
いることを特徴とする測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3325803A DE3325803C2 (de) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | Inkrementale, lichtelektrische Meßeinrichtung |
| DE3325803.1 | 1983-07-16 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3085131A Division JPH0749971B2 (ja) | 1983-07-16 | 1991-04-17 | 測定装置 |
| JP3085130A Division JPH0749970B2 (ja) | 1983-07-16 | 1991-04-17 | 測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6039501A true JPS6039501A (ja) | 1985-03-01 |
| JPH0410976B2 JPH0410976B2 (ja) | 1992-02-27 |
Family
ID=6204228
Family Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59143376A Granted JPS6039501A (ja) | 1983-07-16 | 1984-07-12 | 測定装置 |
| JP3085131A Expired - Lifetime JPH0749971B2 (ja) | 1983-07-16 | 1991-04-17 | 測定装置 |
| JP3085130A Expired - Lifetime JPH0749970B2 (ja) | 1983-07-16 | 1991-04-17 | 測定装置 |
Family Applications After (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3085131A Expired - Lifetime JPH0749971B2 (ja) | 1983-07-16 | 1991-04-17 | 測定装置 |
| JP3085130A Expired - Lifetime JPH0749970B2 (ja) | 1983-07-16 | 1991-04-17 | 測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4606642A (ja) |
| EP (1) | EP0137099B1 (ja) |
| JP (3) | JPS6039501A (ja) |
| AT (1) | ATE29295T1 (ja) |
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