JPH05340833A - 圧力測定装置 - Google Patents
圧力測定装置Info
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- JPH05340833A JPH05340833A JP14544892A JP14544892A JPH05340833A JP H05340833 A JPH05340833 A JP H05340833A JP 14544892 A JP14544892 A JP 14544892A JP 14544892 A JP14544892 A JP 14544892A JP H05340833 A JPH05340833 A JP H05340833A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 シールダイアフラムのコーティング膜の薄い
部分をなくし、水素ガスの透過拡散防止効果を高める。 【構成】 シールダイアフラム１０の本体３１に対する
固定部Ｆの突き出し寸法が、シールダイアフラム１０の
厚みＤを越えないようにする、つまりシールダイアフラ
ム１０を本体３１に溶接するのは平坦部で行なうことに
し、ほぼ均一なコーティングを可能とする。
部分をなくし、水素ガスの透過拡散防止効果を高める。 【構成】 シールダイアフラム１０の本体３１に対する
固定部Ｆの突き出し寸法が、シールダイアフラム１０の
厚みＤを越えないようにする、つまりシールダイアフラ
ム１０を本体３１に溶接するのは平坦部で行なうことに
し、ほぼ均一なコーティングを可能とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、圧力測定装置の改良
に関する。すなわち、従来の圧力測定装置ではそのシー
ルダイアフラムを覆うカバーの金属が溶出して電子が放
出され、この放出電子に基づく反応によって生じた原子
状水素の一部がシリコンダイアフラム中を拡散し、圧力
伝達媒体としてのシリコンオイル側まで透過した後に水
素ガスとなって検出部内部に溜まり、その結果、正確な
圧力測定が阻害されるおそれのあることが指摘されてい
る。したがって、この発明は、上記シールダイアフラム
の構成を改良することにより、かかるおそれのないよう
にした圧力測定装置に関するものである。
に関する。すなわち、従来の圧力測定装置ではそのシー
ルダイアフラムを覆うカバーの金属が溶出して電子が放
出され、この放出電子に基づく反応によって生じた原子
状水素の一部がシリコンダイアフラム中を拡散し、圧力
伝達媒体としてのシリコンオイル側まで透過した後に水
素ガスとなって検出部内部に溜まり、その結果、正確な
圧力測定が阻害されるおそれのあることが指摘されてい
る。したがって、この発明は、上記シールダイアフラム
の構成を改良することにより、かかるおそれのないよう
にした圧力測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３にこの種の圧力測定装置の従来例を
示す。すなわち、従来装置は主として検出部２０および
保護部３０からなり、これらは導圧管１６，１７を介し
て互いに連結されている。検出部２０は測定すべき差圧
を電気信号に変換して出力し、保護部３０は後述するよ
うに、導入圧力に対して検出部２０を保護する。なお、
検出部２０を保護部３０に内設するようにしたものもあ
るが、図３の如く検出部２０を保護部３０に外設するよ
うにすれば、測定流体が高温度の場合にその温度による
影響が検出部２０に及ばないという効果がもたらされ
る。
示す。すなわち、従来装置は主として検出部２０および
保護部３０からなり、これらは導圧管１６，１７を介し
て互いに連結されている。検出部２０は測定すべき差圧
を電気信号に変換して出力し、保護部３０は後述するよ
うに、導入圧力に対して検出部２０を保護する。なお、
検出部２０を保護部３０に内設するようにしたものもあ
るが、図３の如く検出部２０を保護部３０に外設するよ
うにすれば、測定流体が高温度の場合にその温度による
影響が検出部２０に及ばないという効果がもたらされ
る。
【０００３】保護部３０は主として本体３１，３２、保
護ダイアフラム１３、シールダイアフラム１０、Ｏリン
グ１８、カバー１９および導圧管２３などから構成され
る。ここに、本体３１，３２は保護ダイアフラム１３を
挟んで図の左右にそれぞれ配設され、各々の外周ないし
周縁部で互いに接合されている。Ｏリング１８、カバー
１９、導圧管２３およびシールダイアフラム１０はそれ
ぞれ２個設けられており、本体３１，３２には凹部１
１，２１、孔１４，２４および孔４５，５５が対称に形
成されている。凹部１１は本体３１の左側面にこれと同
軸のすりばち状に形成され、孔１４は本体３１をその軸
線に沿って貫通し、孔４５は一方では凹部１１の外周近
傍に開口し、他方では導圧管１６を貫通して検出部２０
の図示されない導圧空間に連通している。
護ダイアフラム１３、シールダイアフラム１０、Ｏリン
グ１８、カバー１９および導圧管２３などから構成され
る。ここに、本体３１，３２は保護ダイアフラム１３を
挟んで図の左右にそれぞれ配設され、各々の外周ないし
周縁部で互いに接合されている。Ｏリング１８、カバー
１９、導圧管２３およびシールダイアフラム１０はそれ
ぞれ２個設けられており、本体３１，３２には凹部１
１，２１、孔１４，２４および孔４５，５５が対称に形
成されている。凹部１１は本体３１の左側面にこれと同
軸のすりばち状に形成され、孔１４は本体３１をその軸
線に沿って貫通し、孔４５は一方では凹部１１の外周近
傍に開口し、他方では導圧管１６を貫通して検出部２０
の図示されない導圧空間に連通している。
【０００４】本体３１の右側面は断面が波形に形成さ
れ、この波形とほぼ同じ形状のシールダイアフラム１０
が、本体３１の右側面との間に空間１０Ａを形成して、
その周縁で固着されている。本体３１の右側の、シール
ダイアフラム１０のさらに外方の周縁部にＯリング１８
を介してカバー１９が取り付けられ、このカバー１９に
は導圧管２３が接続されている。左側の本体３２も実質
的に上記と同様の構成とされ、シールダイアフラム１０
と接する空間１０Ａ、孔１４，２４および孔４５，５５
からなる空間には、それぞれ圧力伝達用媒体としてのシ
リコーンオイル（封入液）が充填されている。
れ、この波形とほぼ同じ形状のシールダイアフラム１０
が、本体３１の右側面との間に空間１０Ａを形成して、
その周縁で固着されている。本体３１の右側の、シール
ダイアフラム１０のさらに外方の周縁部にＯリング１８
を介してカバー１９が取り付けられ、このカバー１９に
は導圧管２３が接続されている。左側の本体３２も実質
的に上記と同様の構成とされ、シールダイアフラム１０
と接する空間１０Ａ、孔１４，２４および孔４５，５５
からなる空間には、それぞれ圧力伝達用媒体としてのシ
リコーンオイル（封入液）が充填されている。
【０００５】ところで、このような圧力測定装置では、
或る条件のもとで、測定流体中の水素原子の一部がシー
ルダイアフラム１０を透過して、圧力伝達用媒体である
シリコーンオイル側に侵入し、水素ガスとなって内部に
溜まり、これが正確な圧力測定を阻害するだけでなく、
著しい場合は圧力測定が不能になるという問題を引き起
こすおそれがある。なお、このときの水素ガスのシリコ
ーンオイルへの侵入，滞留のメカニズムは次のように推
定される。 Ｍ →Ｍ2+＋２ｅ- …（１） ２Ｈ+ ＋２ｅ- →２Ｈ …（２） ２Ｈ →Ｈ2 …（３） 例えば、シールダイアフラム１０の金属よりカバー１９
や導圧管２３の金属の方が卑である（イオン化傾向が大
きい）と、先ず（１）式のように、カバー１９や導圧管
２３の金属（Ｍ）が測定流体内に溶出し、電子を放出す
る。
或る条件のもとで、測定流体中の水素原子の一部がシー
ルダイアフラム１０を透過して、圧力伝達用媒体である
シリコーンオイル側に侵入し、水素ガスとなって内部に
溜まり、これが正確な圧力測定を阻害するだけでなく、
著しい場合は圧力測定が不能になるという問題を引き起
こすおそれがある。なお、このときの水素ガスのシリコ
ーンオイルへの侵入，滞留のメカニズムは次のように推
定される。 Ｍ →Ｍ2+＋２ｅ- …（１） ２Ｈ+ ＋２ｅ- →２Ｈ …（２） ２Ｈ →Ｈ2 …（３） 例えば、シールダイアフラム１０の金属よりカバー１９
や導圧管２３の金属の方が卑である（イオン化傾向が大
きい）と、先ず（１）式のように、カバー１９や導圧管
２３の金属（Ｍ）が測定流体内に溶出し、電子を放出す
る。
【０００６】次に起きる反応は（２）式に基づくものが
主になるものと考えられる。したがって、シールダイア
フラム１０側に（２）式の反応が起きれば、その表面に
吸着した水素原子の大部分が（３）式に基づいて分子状
の水素となり、水素ガスになる。この水素ガスは、分子
の大きさからシールダイアフラム１０を透過することは
できない。しかし、水素原子の一部は（２）式の段階に
おいて、つまり、水素原子の状態のときにシールダイア
フラム１０中を拡散し、シリコーンオイル側まで透過
し，侵入した後に、水素ガスとなって検出部の内部に溜
まることになる。このようなシールダイアフラムの水素
透過を防止するために、従来は例えばシールダイアフラ
ムの測定流体表面に金（Ａｕ）を、めっき等によってコ
ーティングしたものが提案されている（実開昭６２−８
６５２５号公報など）。
主になるものと考えられる。したがって、シールダイア
フラム１０側に（２）式の反応が起きれば、その表面に
吸着した水素原子の大部分が（３）式に基づいて分子状
の水素となり、水素ガスになる。この水素ガスは、分子
の大きさからシールダイアフラム１０を透過することは
できない。しかし、水素原子の一部は（２）式の段階に
おいて、つまり、水素原子の状態のときにシールダイア
フラム１０中を拡散し、シリコーンオイル側まで透過
し，侵入した後に、水素ガスとなって検出部の内部に溜
まることになる。このようなシールダイアフラムの水素
透過を防止するために、従来は例えばシールダイアフラ
ムの測定流体表面に金（Ａｕ）を、めっき等によってコ
ーティングしたものが提案されている（実開昭６２−８
６５２５号公報など）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図４（イ）にこのよう
なコーティングの例を示す。これは、図３のＡ部を拡大
して示すもので、本体３１にシールダイアフラム１０を
電子ビーム溶接やレーザ溶接等によって溶接した後、そ
の表面にめっきやスパッタリング等によりコーティング
材１０１を施した例を示す。この場合のコーティングは
図中の右側から行なわれるが、このようにすると図示の
ようにコーティング材１０１の薄い部分がその角の溶接
部１０２に生じ、コーティングによる水素ガスの透過防
止効果が充分に得られないという問題が発生する。つま
り、コーティングに当たってはスパッタリング等の手法
を用いて一方向から行なわれるため、廻り込みによるコ
ーティング膜の形成が殆どできないというわけである。
なお、同図（ロ）に示すものは（イ）に示すものに対
し、角の溶接部１０２を薄くして熱を伝え易くし、コー
ティング膜を厚くしようとするものであるが、結果的に
は、（イ）と殆ど同じになることを示している。したが
って、この発明の課題はコーティング材の薄い部分が生
じさせないようにし、水素ガスの透過防止効果を高める
ことにある。
なコーティングの例を示す。これは、図３のＡ部を拡大
して示すもので、本体３１にシールダイアフラム１０を
電子ビーム溶接やレーザ溶接等によって溶接した後、そ
の表面にめっきやスパッタリング等によりコーティング
材１０１を施した例を示す。この場合のコーティングは
図中の右側から行なわれるが、このようにすると図示の
ようにコーティング材１０１の薄い部分がその角の溶接
部１０２に生じ、コーティングによる水素ガスの透過防
止効果が充分に得られないという問題が発生する。つま
り、コーティングに当たってはスパッタリング等の手法
を用いて一方向から行なわれるため、廻り込みによるコ
ーティング膜の形成が殆どできないというわけである。
なお、同図（ロ）に示すものは（イ）に示すものに対
し、角の溶接部１０２を薄くして熱を伝え易くし、コー
ティング膜を厚くしようとするものであるが、結果的に
は、（イ）と殆ど同じになることを示している。したが
って、この発明の課題はコーティング材の薄い部分が生
じさせないようにし、水素ガスの透過防止効果を高める
ことにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るため、この発明では、圧力を測定すべき流体と圧力検
出部への圧力伝達用の媒体とを隔離するシールダイアフ
ラムと、このシールダイアフラムを密閉的に覆う形で設
けられるカバーと、このカバーに接続される導圧管とを
備え、前記シールダイアフラムには少なくとも水素を拡
散しないか、または拡散し難い水素拡散防止膜をコーテ
ィングしてなる圧力測定装置において、前記シールダイ
アフラム固定部の突き出し寸法がこのシールダイアフラ
ムの厚みを越えないことを特徴としている。
るため、この発明では、圧力を測定すべき流体と圧力検
出部への圧力伝達用の媒体とを隔離するシールダイアフ
ラムと、このシールダイアフラムを密閉的に覆う形で設
けられるカバーと、このカバーに接続される導圧管とを
備え、前記シールダイアフラムには少なくとも水素を拡
散しないか、または拡散し難い水素拡散防止膜をコーテ
ィングしてなる圧力測定装置において、前記シールダイ
アフラム固定部の突き出し寸法がこのシールダイアフラ
ムの厚みを越えないことを特徴としている。
【０００９】
【作用】シールダイアフラムを溶接する面を平坦にし、
そこにシールダイアフラムを溶接して水素ガスの透過防
止膜をコーティングすることにより、コーティング材の
薄い部分が生じないようにする。
そこにシールダイアフラムを溶接して水素ガスの透過防
止膜をコーティングすることにより、コーティング材の
薄い部分が生じないようにする。
【００１０】
【実施例】図１はこの発明の実施例を示す構成図で、図
３に示すものに対し本体３１，３２から角部を取り除い
た点が特徴で、その他は図３と同様である。すなわち、
図１の部分Ｂを拡大して示す図２からも明らかなよう
に、この実施例は例えば本体３１にシールダイアフラム
１０を溶接するのは、図３または図４のように本体３１
の角部ではなく平坦部で行なうようにし、コーティング
材１０１の薄い部分が生じさせないようにしたもの、換
言すれば、シールダイアフラム固定部Ｆの突き出し寸法
が、シールダイアフラムの厚みＤを越えないようにした
ものということができる。こうすれば、コーティング材
の厚みを全面にわたってほぼ均一にすることができる。
なお、図２（イ）は固定部Ｆを半球状にした例、（ロ）
は円錐状にした例を示している。また、コーティング材
１０１としては、Ａｕの他にタングステンを用いること
ができる。さらに、上記ではシールダイアフラム１０の
コーティング層を１層で形成した例について説明した
が、水素拡散阻止膜を非導電性膜の上に形成するなどし
て２層にしたものについても、上記と同様にして適用し
得ることはいうまでもない。
３に示すものに対し本体３１，３２から角部を取り除い
た点が特徴で、その他は図３と同様である。すなわち、
図１の部分Ｂを拡大して示す図２からも明らかなよう
に、この実施例は例えば本体３１にシールダイアフラム
１０を溶接するのは、図３または図４のように本体３１
の角部ではなく平坦部で行なうようにし、コーティング
材１０１の薄い部分が生じさせないようにしたもの、換
言すれば、シールダイアフラム固定部Ｆの突き出し寸法
が、シールダイアフラムの厚みＤを越えないようにした
ものということができる。こうすれば、コーティング材
の厚みを全面にわたってほぼ均一にすることができる。
なお、図２（イ）は固定部Ｆを半球状にした例、（ロ）
は円錐状にした例を示している。また、コーティング材
１０１としては、Ａｕの他にタングステンを用いること
ができる。さらに、上記ではシールダイアフラム１０の
コーティング層を１層で形成した例について説明した
が、水素拡散阻止膜を非導電性膜の上に形成するなどし
て２層にしたものについても、上記と同様にして適用し
得ることはいうまでもない。
【００１１】
【発明の効果】この発明によれば、シールダイアフラム
を溶接する面を平坦にし、そこにシールダイアフラムを
溶接して水素ガスの透過防止膜をコーティングするよう
にしたので、コーティング膜の局部的な薄い部分がなく
なり、水素ガスの透過防止効果を向上させることが可能
となる利点が得られる。
を溶接する面を平坦にし、そこにシールダイアフラムを
溶接して水素ガスの透過防止膜をコーティングするよう
にしたので、コーティング膜の局部的な薄い部分がなく
なり、水素ガスの透過防止効果を向上させることが可能
となる利点が得られる。
【図１】この発明の実施例を示す構成図である。
【図２】図１の部分拡大図である。
【図３】圧力測定装置の従来例を示す構成図である。
【図４】図３の部分拡大図である。
１０…シールダイアフラム、１１，２１…凹部、１３…
保護ダイアフラム、１４，２４，４５，５５…孔、１
６，１７，２３…導圧管、１８…Ｏリング、１９…カバ
ー、２０…検出部、３０…測定部、３１，３２…本体。
保護ダイアフラム、１４，２４，４５，５５…孔、１
６，１７，２３…導圧管、１８…Ｏリング、１９…カバ
ー、２０…検出部、３０…測定部、３１，３２…本体。
Claims (1)
- 【請求項１】 圧力を測定すべき流体と圧力検出部への
圧力伝達用の媒体とを隔離するシールダイアフラムと、
このシールダイアフラムを密閉的に覆う形で設けられる
カバーと、このカバーに接続される導圧管とを備え、前
記シールダイアフラムには少なくとも水素を拡散しない
か、または拡散し難い水素拡散防止膜をコーティングし
てなる圧力測定装置において、 前記シールダイアフラム固定部の突き出し寸法がこのシ
ールダイアフラムの厚みを越えないことを特徴とする圧
力測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4145448A JP2784117B2 (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | 圧力測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4145448A JP2784117B2 (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | 圧力測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05340833A true JPH05340833A (ja) | 1993-12-24 |
| JP2784117B2 JP2784117B2 (ja) | 1998-08-06 |
Family
ID=15385461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4145448A Expired - Lifetime JP2784117B2 (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | 圧力測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2784117B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6286528U (ja) * | 1985-11-20 | 1987-06-02 | ||
| JP3093757U (ja) * | 2002-10-31 | 2003-05-16 | 精英電腦股▲ふん▼有限公司 | アップグレード設定システムを有する携帯型コンピュータ装置 |
-
1992
- 1992-06-05 JP JP4145448A patent/JP2784117B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6286528U (ja) * | 1985-11-20 | 1987-06-02 | ||
| JP3093757U (ja) * | 2002-10-31 | 2003-05-16 | 精英電腦股▲ふん▼有限公司 | アップグレード設定システムを有する携帯型コンピュータ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2784117B2 (ja) | 1998-08-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970916 |
|
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