JPH0534308B2

JPH0534308B2 -

Info

Publication number: JPH0534308B2
Application number: JP62096889A
Authority: JP
Inventors: Senichi Yamada; Shinichi Towata; Hajime Ikuno; Taketami Yamamura; Toshihiro Ishikawa; Masaki Shibuya
Original assignee: Ube Industries Ltd; Toyota Central R&D Labs Inc
Current assignee: Toyota Central R&D Labs Inc; Ube Corp
Priority date: 1987-04-20
Filing date: 1987-04-20
Publication date: 1993-05-21
Also published as: JPS63265871A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、無機繊維強化セラミツク複合体
（FRC）およびその製造方法に関するものであ
る。

（従来の技術）耐熱性セラミツクは、超高温下、超高圧下ある
いは腐食性環境下などの苛酷な条件下で使用され
ている。一般に、耐熱性セラミツクは通常機械的
衝撃に弱く、高温になると機械的強度や耐食性が
低下する欠点を有している。これらの欠点を補う
ため、アルミナ、炭素などからなる連続繊維もし
くは炭化珪素などからなる短繊維やウイスカとセ
ラミツクとを複合させた複合体が開発されてい
る。例えば、特開昭52−81309号公報には、有機
珪素高分子化合物から得られる炭化珪素繊維で補
強された耐熱性セラミツク複合体の製法が記載さ
れている。

（発明が解決しようとする問題点）しかしながら、この方法では、強化用繊維がマ
トリツクスであるセラミツク中に均一に分散しが
たい。

また無機長繊維のみで強化したFRCでは強度
の異方性が大きく、繊維の長さ方向の強度は大き
いが、それと直角方向の強度はきわめて小さくな
る。短繊維のみを使用したFRCは等方性ではあ
るが、その強度は一般に低い。これら両性能を兼
ねそなえた複合体を製造する目的で、本発明者ら
は先に短繊維、ウイスカまたは粉末を懸濁した溶
液中に連続繊維束を浸漬することにより繊維１本
１本の表面に短繊維、ウイスカまたは粉末などを
付着させる方法を提案した。本方法は、FRCの
作製に関し優れたものであるが、更に詳細に検討
した結果、短繊維、ウイスカまたは粉末の付着形
態によつてはかならずしも充分でない場合がある
ことがわかつた。

本発明は、上記従来技術における問題点を解決
するためのものであり、その目的とするところ
は、FRCに使用した場合に連続繊維を複合材料
中に均一に分散させて、繊維体積率を制御でき、
また互に特性の異なる連続繊維を組み合せること
により、例えば連続繊維とマトリツクス間の応力
集中を軽減させ、更に破壊時の亀裂の伝播を妨
げ、複合材の機械特性を向上させることができる
複合材用繊維体を用いた無機繊維強化セラミツク
複合体およびその製造方法を提供することにあ
る。

（問題点を解決するための手段）すなわち本発明の無機繊維強化セラミツク複合
体は、セラミツク、炭素および金属よりなる群か
ら選択された少なくとも１種を構成成分とする連
続繊維からなる連続繊維束または該連続繊維束か
ら作製された織布と、該連続繊維の近傍に存在するセラミツク、炭
素、金属等の耐熱物質より選択された少なくとも
１種からなる微粒子と、該連続繊維の繊維間隙に均一に分散して介在す
るセラミツク、炭素、金属等の耐熱物質より選択
された少なくとも１種からなる短繊維および／ま
たはウイスカと、マトリツクスであるセラミツクとからなること
を特徴とする。

本発明の複合体の好ましい実施態様としては例
えば以下のものが挙げられる。

(ア) 微粒子の平均粒径が短繊維および／またはウ
イスカの平均長さの1/30以下である複合体。

(イ) 連続繊維であるセラミツクが炭化物、窒化
物、酸化物、硼化物系セラミツクから選択され
た少なくとも１種である複合体。

(ウ) 炭化物系セラミツクが炭化珪素であり、窒化
物系セラミツクが窒化珪素であり、酸化物系セ
ラミツクがアルミナである上記(イ)の複合体。

(エ) 連続繊維であるセラミツクが、 (i) 実質的に珪素、Ｍ、炭素および酸素からな
る非晶質物質または、 (ii) 実質的にβ−SiC，MC，β−SiCとMCの
固溶体および／またはMC_1-Xの粒径が500Å
以下の各結晶質超微粒子および非晶質の
SiO₂とMO₂からなる集合体、または (iii) 上記（）の非晶質物質と上記（）の結
晶質超微粒子および非晶質からなる集合体と
の混合物、（但し、上記式中のＭはTiまたはZrを示し、
Ｘは０より大きく１未満の数である）である複合体。

(オ) 連続繊維に対する微粒子、および短繊維およ
び／またはウイスカの体積率が0.5〜500％であ
る複合体。

(カ) 連続繊維の配合割合が、複合体に対して10〜
70体積％である複合体。

(キ) 複合体のマトリツクスであるセラミツクが炭
化珪素、炭化チタニウム、炭化ジルコニウム、
炭化バナジウム、炭化ニオブ、炭化タンタル、
炭化硼素、炭化クロム、炭化タングステン、炭
化モリブデン、グラフアイト等の炭化物セラミ
ツク；窒化珪素、窒化チタン、窒化ジルコニウ
ム、窒化バナジウム、窒化ニオブ、窒化タンタ
ル、窒化硼素、窒化アルミニウム、窒化ハフニ
ウム等の窒化物セラミツク；アルミナ、シリ
カ、マグネシア、ムライト、コージライト等の
酸化物セラミツク；硼珪酸塩ガラス、高シリカ
含有ガラス、アルミノケイ酸塩ガラス等のガラ
スセラミツクである複合体。

また本発明の無機繊維強化セラミツク複合体の
製造方法は、セラミツク、炭素および金属よりな
る群から選択された少なくとも１種を構成成分と
する連続繊維からなる連続繊維束または該連続繊
維束からなる織布を、セラミツク、炭素、金属等
の耐熱物質から選択された少なくとも１種からな
る微粒子、および短繊維および／またはウイスカ
を懸濁した処理液中に浸漬し、該連続繊維１本１
本の表面に、該微粒子、および該短繊維および／
またはウイスカを付着させることにより生成した
繊維体をセラミツク粉末に埋設して焼成すること
を特徴とする。

本発明の複合体の製造方法の好ましい実施態様
としては例えば以下のものが挙げられる。

(ク) 各構成成分が前記（ア）〜（キ）のものであ
る製造方法。

（ケ）微粒子が連続繊維の表面近傍に多く付着
されてなり、短繊維および／またはウイスカが
その外側に多く付着されてなる製造方法。

（コ）処理液に超音波振動を与える製造方法。

（サ）処理液を入れた処理槽を１つ用いる製造
方法。

（シ）処理液を入れた処理槽を２つ以上用いる
製造方法。

（ス）連続繊維束あるいは織布を、微粒子を懸
濁した処理液中に浸漬し、その後短繊維およ
び／またはウイスカを懸濁した処理液中に浸漬
し、連続繊維の表面近傍に微粒子を多く付着さ
せ、短繊維および／またはウイスカをその外側
に多く付着させる上記（シ）の製造方法。

連続繊維としてはセラミツク例えば炭化珪素、
窒化珪素、窒化硼素、窒化アルミニウム、アルミ
ナ、シリカ、ポリメタロカルボシランの焼成物ま
たは耐熱性非金属元素例えば炭素、硼素、耐熱性
金属若しくは合金例えば鋼、ステンレス鋼、タン
グステン等の材料よりなる無機繊維を単独または
組み合せて用いる事ができる。繊維の太さや断面
形状等の性状は用途に応じて選択する。

微粒子としては、前記連続無機繊維に使用した
ものと同一の材料を用いて製造したものを用いる
ことができる。これらは１種を用いてもよいし、
２種以上を組み合せてもよい。

短繊維やウイスカとしては前記連続無機繊維あ
るいは微粒子に使用したものと同一の材料を用い
て、製造したものを用いることができる。

また、いずれか１種を用いてもよいし、２種以
上を組み合せて用いてもよい。

短繊維やウイスカの長さ、太さ及び断面形状は
微粒子の平均粒径等の性状、連続繊維との組み合
せや要求特性を考慮して選択するとよいが、短繊
維またはウイスカは連続繊維の平均直径の1/3000
〜1/5の平均直径、アスペクト比50〜1000である
ものが、また、微粒子は連続繊維の平均直径の1/
５０００〜1/2の平均直径を有するものが望ましい。

連続繊維の内側に多く付着させる微粒子、ある
いはその外側に多く付着させる短繊維、および／
またはウイスカの量は両者の性状や製造した繊維
体の性状やそれによつて補強したFRCの用途等
によつても異なるが、短繊維、ウイスカおよび微
粒子の合計の連続繊維に対する体積率は0.1％〜
500％程度とするのが好ましい。また、微粒子と
短繊維および／またはウイスカとの比率は重量比
で0.1：５〜40：１の範囲が好ましい。

本発明におけるセラミツクマトリツクスとして
は、前記の実施態様（キ）に記載のものが挙げら
れる。これらは単独または組み合せて用いてもよ
い。

本発明の無機繊維強化セラミツク複合体に用い
る繊維体の製造方法は懸濁液浸漬法であり、これ
は簡便さ及び適用範囲の広さ等の点で好ましい。
この懸濁液浸漬法の一例としては、例えばボビン
等に巻き付けた連続繊維を束ねた連続繊維束また
はこの連続繊維束からなる織布を巻き戻して、微
粒子と短繊維および／またはウイスカを同時に懸
濁した液体中に浸漬して再びボビンに巻き取る方
法が挙げられる。この様にして得られた繊維束ま
たは織布を連続繊維１本１本の表面に微粒子と短
繊維および／またはウイスカとが付着した状態と
なる。この場合、処理液を入れた処理槽は、１つ
でもよいが、種々の変法のため異なる組成の処理
液を入れた処理槽を２つ以上用いてもよい。

また、処理液としては、微粒子と短繊維およ
び／またはウイスカとを同時に懸濁したものを使
用してもよく、あるいは微粒子を懸濁した処理液
と短繊維および／またはウイスカを懸濁した処理
液を２種の処理槽に入れて使用してもよい。後者
の場合、連続繊維束または織布を浸漬する順序
は、微粒子を懸濁した処理液からでも、短繊維お
よび／またはウイスカを懸濁した処理液からでも
よい。

ここで、連続繊維表面近傍に微粒子が多く付着
されて、短繊維および／またはウイスカがその外
側に多く付着されてなる連続繊維束あるいは織布
は、以下のようにして製造することができる。

すなわち、連続繊維束あるいは織布を、微粒子
を懸濁した処理液に浸漬した後、短繊維および／
またはウイスカを懸濁した処理液に浸漬する。こ
の場合、まず微粒子が連続繊維束の中へ侵入し、
繊維１本１本の表面に付着する。これにより、繊
維間隙が広がり、その後の短繊維および／または
ウイスカの連続繊維束中への侵入が容易になる。

あるいは、平均粒径が短繊維および／またはウ
イスカの平均長さの1/30以下の微粒子と、短繊維
および／またはウイスカとを同時に懸濁した処理
液に連続繊維束あるいは織布を浸漬する。この場
合、微粒子が主としてまず繊維間隙へ侵入し、繊
維の表面に付着して繊維間を押し広げることによ
つて短繊維および／またはウイスカの繊維間隙へ
の侵入が容易になる。また、超音波により振動を
与えると各繊維に均一に繊維束内部の繊維まで付
着を行なうことができる。超音波は処理液を入れ
た容器の外側に設けた超音波付加器によつて与え
てもよいし、または適当数の超音波振動子、例え
ばセラミツク振動子を処理液中に適当に配置して
与えても良い。超音波の照射パターンは連続的で
あつてもパルス状であつてもよい。その強度や振
動数及び照射時間は連続繊維やこれに付着させる
短繊維、ウイスカまたは微粒子の種類、あるいは
前記付着物の液中密度、連続繊維の浸漬時間など
の処理条件によつて選択するが、例えば振動数は
10KHz〜2000KHz程度が使用し易い。

付着させるべき物を懸濁させる液体は水でもよ
いが、連続繊維の表面にサイジング剤が塗布され
ている場合には、サイジング剤の表面活性剤か溶
剤を用いるとよい。例えばエタノール、メタノー
ル、アセトン特にエタノールなどの有機溶剤は、
揮発性が水に比べて高いので乾燥が早く、生産性
が向上する利点がある。また、前記有機溶剤と水
との混合物を使用してもよい。１種の付着物を懸
濁した処理液を複数用いる場合と２種以上の付着
物を懸濁した処理液を１つ用いる場合のいずれも
処理液中の付着物濃度は特に限定されないが、あ
まり小さいと連続繊維上に均一な付着が見られず
効果がなくなり、また逆に大きすぎると付着量が
必要以上に多くなるため、例えば付着物として平
均直径0.3μmの炭化ケイ素ウイスカと平均粒径
0.3μmの炭化ケイ素微粒子を用い繊維数6000本／
ヤーンの連続繊維束を処理する場合、これらの付
着物の濃度は0.5ｇ／〜80ｇ／程度が望まし
い。

浸漬時間の調整は可動ロールなどの通常の方法
により行なうことができる。また必要ならば処理
した連続繊維束をボビンに巻き取る前に乾燥炉や
赤外線乾燥機、熱風乾燥機等を用いて乾燥させ
る。さらに、処理中に短繊維や微粒子の沈殿を防
ぐために攪拌手段、例えばスターラーを用いる
か、気体を吹き込んでも良い。

本発明の複合体に用いる連続繊維やこの表面に
付着させる微粒子、短繊維、ウイスカは市販品を
そのまま使用することができる。

本発明において、複合体製造の際に必要により
添加される結合剤としては、セラミツクマトリツ
クスを高密度に焼結するための結合剤と、セラミ
ツク粉状マトリツクスと無機繊維の密着性を高め
るための結合剤とがある。前者としては、それぞ
れ炭化物、窒化物、酸化物ガラスセラミツクを焼
結する際に使用される結合剤が挙げられる。例え
ば、炭化珪素の結合剤としては硼素、炭素、炭化
硼素があり、窒化珪素の結合剤としてアルミナ、
マグネシア、イツトリア、窒化アルミニウムがあ
る。後者としては、ジフエニルシロキサン、ジメ
チルシロキサン、ポリボロジフエニルシロキサ
ン、ポリボロジメチルシロキサン、ポリカルボシ
ラン、ポリジメチルシラザン、ポリチタノカルボ
シラン、ポリジルコノカルボシラン等の有機珪素
重合体、およびジフエニルシランジール、ヘキサ
メチルジシラザン等の有機珪素化合物が挙げられ
る。

これらの結合剤の使用量は通常0.5〜20重量％
である。

本発明の無機繊維強化セラミツク複合体は、繊
維体とマトリツクスとの一体化においては以下に
示すようなそれ自体公知の方法に従つて製造する
ことができる。

セラミツク粉状マトリツクスと強化用繊維との
集合体を得る方法は種々あり、特にセラミツク粉
状マトリツクスまたはセラミツクと結合剤よりな
る混和体に繊維を埋設させる方法や、強化用繊維
と上記セラミツク粉状マトリツクスまたは上記混
和体を交互に配設する方法や、予め強化用繊維を
設置しておき、その間隙に上記セラミツク粉状マ
トリツクスまたは上記混和体を充填する方法等に
よれば比較的容易に集合体を得ることができる。
次に、これらの集合体を焼結する方法としては、
ラバープレス、金型プレス等を用いて前記集合体
を50〜5000Kg／cm²の圧力で加圧成形した後、加熱
炉で800〜2400℃の温度範囲で焼結する方法や、
50〜5000Kg／cm²の圧力で加圧したままで800〜
2400℃の温度範囲でホツトプレス焼結する方法等
がある。

上記焼結は、真空中、あるいは窒素、アルゴ
ン、一酸化炭素、水素等から選ばれる不活性ガス
からなる雰囲気下に行うことができる。

このようにして得られた無機繊維強化セラミツ
ク複合体は、以下の述べる一連の処理を少なくと
も１回以上施すことにより、さらにより高密度な
焼結体とすることができる。即ち、焼結体を減圧
下で有機珪素化合物または有機珪素重合体の溶融
液、または必要により該化合物または該重合体を
有機溶媒に溶解させた溶液に浸漬して、該融液ま
たは該溶液を焼結体の粒界および気孔に含浸さ
せ、前記含浸後の焼結体を加熱する一連の処理に
より、より高密度の焼結体を得ることができる。
加熱処理は800〜2500℃の温度範囲で、真空中あ
るいは窒素、アルゴン、一酸化炭素、水素等から
選ばれる不活性ガスからなる雰囲気下に行われ
る。

（実施例）以下の実施例において本発明を更に詳細に説明
する。なお、本発明は下記の実施例に限定される
ものではない。

炭化珪素ウイスカ（平均直径約0.2μm平均長さ
約100μm）100ｇと炭化珪素粒子（平均粒径
0.28μm）250ｇをエチルアルコール5000c.c.の入つ
た処理槽中に投入後、超音波付加器により超音波
振動を与えて懸濁させ、処理液を調整した。炭化
珪素繊維の繊維束（500本糸）をボビンから巻き
戻し、浸漬時間を15秒となるよう可動ローラによ
つて調節して処理液中に浸漬しながら通し、同時
に処理液に超音波を付加して、更に空気を吹き込
んで攪拌し、次いで、圧力ローラによつて押圧し
た後再びボビンに巻き取り、室温、大気中で乾燥
させた。処理前黒色であつた繊維は処理後灰緑色
を帯び、電子顕微鏡観察の結果、連続繊維の表面
に微粒子が、更にその外側にウイスカが付着して
いるのが認められた。また、処理後秤量の結果、
体積比で10％の微粒子とウイスカが付着した連続
繊維体が生成していることがわかつた。

この処理した繊維束を一軸方向に揃えたシート
状物と、アルミナ２重量％、イツトリア３重量％
および窒化アルミニウム３重量％とが混合された
α−窒化珪素粉末（平均粒径；0.5μ）とを、上記
繊維束の繊維が異なる層間で互いに直交するよう
に、交互に積層させた。積層体を、ホツトプレス
装置により1750℃、300Kg／cm²で30分間保持して、
無機繊維強化窒化珪素複合焼結体を得た。

この複合焼結体の繊維含量は10重量％であつ
た。複合体の断面を走査型電子顕微鏡で調べたと
ころ、マトリツクスである窒化珪素中に強化用繊
維が互いに接することなく分散していることが認
められた。複合体の室温における抗折強度は128
Kg／mm²であり、1300℃における抗折強度は68Kg／
mm²であつた。

なお、炭化珪素ウイスカと炭化珪素粒子を付着
させなかつた以外は上記と同様にして得られた複
合体の室温抗折強度は97Kg／mm²であつた。

本発明のFRCの断面を電子顕微鏡で調べたと
ころ、FRCの連続繊維は微粒子とその外側のウ
イスカの付着により繊維の間隔が適度に保たれる
ためマトリツクスセラミツク中に均一に分散し、
付着させない場合に比べて繊維同士の接触などは
減少した。

連続繊維に微粒子のみを添加して強化した
FRCの場合には繊維間隔は広がるが、繊維垂直
方向の強化効果が少ない。また、連続繊維にウイ
スカまたは短繊維のみを添加して強化したFRC
の場合は、繊維の間隔が広がりにくく、繊維軸方
向、繊維垂直方向共に強化効果が少ない。

（発明の効果）上述のように本発明の無機繊維強化セラミツク
複合体は、連続繊維のそれぞれの表面に微粒子と
短繊維および／またはウイスカを付着させた連続
繊維束あるいは該連続繊維束よりなる織布でマト
リツクスセラミツクが強化されているため、複合
体中にそれぞれの連続繊維を均一に分散させるこ
とができ、繊維の体積率を非常に広範囲に制御す
ることが可能である。また連続繊維同志の接触が
減少し、さらにその間に介在する短繊維および／
またはウイスカにより破壊時の亀裂の伝播が妨げ
られるので繊維軸方向のみならず、繊維軸に直交
する方向までも強化され、かつ複合体の組成が均
一となるため強さなどの機械特性が改善された。

また、これまでの繊維強化セラミツク複合材料
においては、繊維含有量の少ない場合、繊維が偏
在しやすく、複合則に従つた理論強度を得ること
が難しかつたが、本発明の複合体においては、繊
維含有量の少ない場合でもマトリツクスであるセ
ラミツク中に連続繊維が非常に均一に分散し、複
合則通りの強度が得られるので設計の自由度が向
上した。

さらに、本発明の複合体は、連続無機繊維、耐
熱性物質の微粒子、短繊維および／またはウイス
カおよびマトリツクスとなるセラミツクの種々の
組み合せが可能であり、広範囲にわたる要求特性
を満たすことができる。

また本発明の製造方法によつて上記複合体を容
易に得ることができる。

Claims

【特許請求の範囲】１セラミツク、炭素および金属よりなる群から
選択された少なくとも１種を構成成分とする連続
繊維からなる連続繊維束または該連続繊維束から
作製された織布と、該連続繊維の近傍に存在するセラミツク、炭
素、金属等の耐熱物質より選択された少なくとも
１種からなる微粒子と、該連続繊維の繊維間隙に均一に分散して介在す
るセラミツク、炭素、金属等の耐熱物質より選択
された少なくとも１種からなる短繊維および／ま
たはウイスカと、マトリツクスであるセラミツクとからなること
を特徴とする無機繊維強化セラミツク複合体。２微粒子の平均粒径が短繊維および／またはウ
イスカの平均長さの1/30以下であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の無機繊維強化セ
ラミツク複合体。３連続繊維であるセラミツクが炭化物、窒化
物、酸化物、硼化物系セラミツクから選択された
少なくとも１種であることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の無機繊維強化セラミツク複合
体。４炭化物系セラミツクが炭化珪素であり、窒化
物系セラミツクが窒化珪素であり、酸化物系セラ
ミツクがアルミナであることを特徴とする特許請
求の範囲第３項記載の無機繊維強化セラミツク複
合体。５連続繊維であるセラミツクが、 (i) 実質的に珪素、Ｍ、炭素および酸素からなる
非晶質物質または、 (ii) 実質的にβ−SiC，MC，β−SiCとMCの固
溶体および／またはMC_1-Xの粒径が500Å以下
の各結晶質超微粒子および非晶質のSiO₂と
MO₂からなる集合体、または (iii) 上記（）の非晶質物質と上記（）の結晶
質超微粒子および非晶質からなる集合体との混
合物、（但し、上記式中のＭはTiまたはZrを示し、
Ｘは０より大きく１未満の数である）であることを特徴とする特許請求の範囲第１項ま
たは第２項記載の無機繊維強化セラミツク複合
体。６連続繊維に対する微粒子、および短繊維およ
び／またはウイスカの体積率が0.5〜500％である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の無
機繊維強化セラミツク複合体。７連続繊維の配合割合が、複合体に対して10〜
70体積％であることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の無機繊維強化セラミツク複合体。８複合体のマトリツクスであるセラミツクが炭
化珪素、炭化チタニウム、炭化ジルコニウム、炭
化バナジウム、炭化ニオブ、炭化タンタル、炭化
硼素、炭化クロム、炭化タングステン、炭化モリ
ブデン、グラフアイト等の炭化物セラミツク；窒
化珪素、窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化バ
ナジウム、窒化ニオブ、窒化タンタル、窒化硼
素、窒化アルミニウム、窒化ハフニウム等の窒化
物セラミツク；アルミナ、シリカ、マグネシア、
ムライト、コージライト等の酸化物セラミツク；
硼珪酸塩ガラス、高シリカ含有ガラス、アルミノ
珪酸塩ガラス等のガラスセラミツクであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の無機繊維
強化セラミツク複合体。９セラミツク、炭素および金属よりなる群から
選択された少なくとも１種を構成成分とする連続
繊維からなる連続繊維束または該連続繊維束から
なる織布を、セラミツク、炭素、金属等の耐熱物
質から選択された少なくとも１種からなる微粒
子、および短繊維および／またはウイスカを懸濁
した処理液中に浸漬し、該連続繊維１本１本の表
面に、該微粒子、および該短繊維および／または
ウイスカを付着させることにより生成した繊維体
をセラミツク粉末に埋設して焼成することを特徴
とする無機繊維強化セラミツク複合体の製造方
法。１０微粒子の平均粒径が短繊維および／または
ウイスカの平均長さの1/30以下であることを特徴
とする特許請求の範囲第９項記載の無機繊維強化
セラミツク複合体の製造方法。１１連続繊維であるセラミツクが炭化物、窒化
物、酸化物、硼化物系セラミツクから選択された
少なくとも１種であることを特徴とする特許請求
の範囲第９項記載の無機繊維強化セラミツク複合
体の製造方法。１２炭化物系セラミツクが炭化珪素であり、窒
化物系セラミツクが窒化珪素であり、酸化物系セ
ラミツクがアルミナであることを特徴とする特許
請求の範囲第１１項記載の無機繊維強化プラスチ
ツク複合体の製造方法。１３連続繊維であるセラミツクが、 (i) 実質的に珪素、Ｍ、炭素および酸素からなる
非晶質物質または、 (ii) 実質的にβ−SiC，MC，β−SiCとMCの固
溶体および／またはMC_1-Xの粒径が500Å以下
の各結晶質超微粒子および非晶質のSiO₂と
MO₂からなる集合体、または (iii) 上記（）の非晶質物質と上記（）の結晶
質超微粒子および非晶質からなる集合体との混
合物、（但し、上記式中のＭはTiまたはZrを示し、
Ｘは０より大きく１未満の数である）であることを特徴とする特許請求の範囲第９項ま
たは第１０項記載の無機繊維強化セラミツク複合
体の製造方法。１４連続繊維に対する微粒子、および短繊維お
よび／またはウイスカの体積率が0.5〜500％であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第９項記載の
無機繊維強化セラミツク複合体の製造方法。１５連続繊維の配合割合が、複合体に対して10
〜70体積％であることを特徴とする特許請求の範
囲第９項記載の無機繊維強化セラミツク複合体の
製造方法。１６複合体のマトリツクスであるセラミツクが
炭化珪素、炭化チタニウム、炭化ジルコニウム、
炭化バナジウム、炭化ニオブ、炭化タンタル、炭
化硼素、炭化クロム、炭化タングステン、炭化モ
リブデン、グラフアイト等の炭化物セラミツク；
窒化珪素、窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化
バナジウム、窒化ニオブ、窒化タンタル、窒化硼
素、窒化アルミニウム、窒化ハフニウム等の窒化
物セラミツク；アルミナ、シリカ、マグネシア、
ムライト、コージライト等の酸化物セラミツク；
硼珪酸塩ガラス、高シリカ含有ガラス、アルミノ
ケイ酸塩ガラス等のガラスセラミツクであること
を特徴とする特許請求の範囲第９項記載の無機繊
維強化セラミツク複合体の製造方法。１７微粒子が連続繊維の表面近傍に多く付着さ
れてなり、短繊維および／またはウイスカがその
外側に多く付着されてなることを特徴とする特許
請求の範囲第９項記載の無機繊維強化セラミツク
複合体の製造方法。１８処理液に超音波振動を与えることを特徴と
する特許請求の範囲第９項記載の無機繊維強化セ
ラミツク複合体の製造方法。１９処理液を入れた処理槽を１つ用いることを
特徴とする特許請求の範囲第９項記載の無機繊維
強化セラミツク複合体の製造方法。２０処理液を入れた処理槽を２つ以上用いるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第９項記載の無機
繊維強化セラミツク複合体の製造方法。２１連続繊維束あるいは織布を、微粒子を懸濁
した処理液中に浸漬し、その後短繊維および／ま
たはウイスカを懸濁した処理液中に浸漬し、連続
繊維の表面近傍に微粒子を多く付着させ、短繊維
および／またはウイスカをその外側に多く付着さ
せることを特徴とする特許請求の範囲第２０項記
載の無機繊維強化セラミツク複合体の製造方法。