JPH0651200U - 液体貯蔵容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＩＣの製造工程で使用する現像液等の液体の
充填と、充填された液体の取り出しが容易な容器を提供
する。 【構成】 注入兼取り出し口２は、起立部４、外側プラ
グ５、内側プラグ６及び現像液等の液体取り出しパイプ
７から構成され、起立部４は液体貯蔵容器１の本体部１
ａと一体成形され、その外周面及び内周面にはネジ部４
ａ，４ｂが形成され、また、外側プラグ５の外周面及び
内周面にはネジ部５ａ，５ｂが形成され、更に内側プラ
グ６の外周面には外側プラグ５の内周ネジ部５ｂに螺合
する外周ネジ部６ａが形成されている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はＩＣの製造工程に使用する現像液等の液体を貯蔵する容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】

ＩＣチップの製造に使用する現像液等の液体は、所定の性状（組成、濃度、粘 度等）に調製された後容器に充填され、容器ごとＩＣチップの製造工場に搬入さ れて使用される。この容器は一般にステンレス製又は樹脂製で、樹脂製の容器が 薄い場合には鉄製のドラム内に収納して用いる。

【０００３】 上記の容器の構造としては、上面に現像液等の液体の注入兼取り出し口を形成 するとともに、現像液等の液体の使用につれて容器内部が減圧状態になるのを防 止するため或いは積極的に容器内を加圧するためのガスの導入口を形成している 。 そして、前記注入兼取り出し口にはその下端が容器の底面近くまで伸びるパイ プを設け、現像液等の液体を使用する際には注入兼取り出し口のキャップを外し てジョイントを取り付け、容器内の現像液等の液体を吸引（容器内を加圧してい る場合には吸引不要）し前記パイプを介して容器内の液を取り出すようにしてい る。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、上記した容器は現像液等の液体の注入口と取り出し口とを兼ねてい る。この場合、容器内に現像液等の液体を注入することを考えれば注入口の径は ある程度大きいことが必要であるが、一方、取り出しパイプの径を大きくすると 、一定量づつ現像液等の液体を取り出すことが困難になる。その結果、従来にあ っては現像液等の液体の注入に時間がかかったり、注入兼取り出し口の構造が複 雑になっている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決すべく本考案は、現像液等の液体等を貯蔵する容器の注入兼取 り出し口を、容器に対して一体的に設けられた起立部と、この起立部の内周面に 着脱自在に螺合するとともに前記パイプの上端部を支持する外側プラグと、この 外側プラグの内周面に着脱自在に螺合する内側プラグにて構成するようにした。

【０００６】

【作用】

容器に液を詰める際には外側プラグを廻して、外側プラグ、内側プラグ及びパ イプを一体的に外し、容器に充填した液を使用する際には内側プラグのみを外し 、その部分にジョイントを取り付ける。

【０００７】

【実施例】

以下に本考案の実施例を添付図面に基づいて説明する。ここで図１は本考案に 係る液体貯蔵容器の縦断面図、図２は注入兼取り出し口の拡大断面図、図３は注 入兼取り出し口の平面図、図４はガス導入口の拡大断面図である。

【０００８】 液体貯蔵容器１は樹脂製でその上面には現像液等の液体の注入兼取り出し口２ とガス導入口３を備えている。そして、注入兼取り出し口２は図２及び図３に示 すように、起立部４、外側プラグ５、内側プラグ６及び現像液等の液体取り出し パイプ７から構成され、ガス導入口３は図４に示すように起立部８及びプラグ９ から構成される。

【０００９】 前記注入兼取り出し口２の起立部４は液体貯蔵容器１の本体部１ａと一体成形 され、外周面及び内周面にはネジ部４ａ，４ｂが形成され、外周ネジ部４ａには キャップ１０を螺着している。

【００１０】 また、外側プラグ５は樹脂製でその外周面及び内周面にはネジ部５ａ，５ｂが 形成され、上端部には外方に突出するフランジ部５ｃが、下端部には内方に突出 するフランジ部５ｄがそれぞれ一体成形され、更に上面には回転治具或いは固定 治具と係合する溝部５ｅが、下面には肉抜き凹部５ｆがそれぞれ一体成形されて いる。

【００１１】 而して、外側プラグ５の外周ネジ部５ａを起立部４の内周ネジ部４ｂに螺合す る際に起立部４の上面に形成した段部４ｃと外側プラグ５のフランジ部５ｃとの 間にＯリング（ガスケット）１１を挟持し、液漏れを防止するようにしている。

【００１２】 また、内側プラグ６は前記同様の樹脂成形品であり、外周面には外側プラグ５ の内周ネジ部５ｂに螺合する外周ネジ部６ａが形成され、カップ状をなす内側プ ラグ６の内周部には着脱の際に内側プラグ６を回すための溝部６ｂが形成されて いる。尚、この溝部６ｂ及び前記溝部５ｅの代りに突部を設けてもよい。

【００１３】 更に、前記現像液等の液体取り出しパイプ７も樹脂成形品とし、その上端部に は外方へのフランジ部７ａが形成され、このフランジ部７ａの上下面をパッキン １２を介して前記外側プラグ５のフランジ部５ｄ上面と内側プラグ６の下端との 間で挟持することで、パイプ７を保持するとともに液漏れを防止するようにして いる。

【００１４】 一方、ガス導入口３の起立部８には外周ネジ部８ａ、内周ネジ部８ｂ及び段部 ８ｃが形成され、プラグ９には外周ネジ部９ａ及びフランジ部９ｃが形成され、 段部８ａとフランジ部９ｃとの間でＯリング１３を挟持している。

【００１５】 以上において、液体貯蔵容器１内に現像液等の液体等を充填する場合には、外 側プラグ５を廻して内側プラグ６及びパイプ７とともに起立部４から一体的に外 した状態、つまり開口径を大きくした状態で行なう。

【００１６】 また、容器に充填した現像液等の液体等を使用する場合は、内側プラグ６のみ を外し、その部分に図５に示すようにジョイント１４を取り付け、ポンプで容器 １内の液を吸引する。尚、内側プラグ６を回転せしめる際に外側プラグ５が連れ 廻りするのを防止するには、外側プラグ５の溝部５ｅに治具を差し込んで行なう ようにすればよい。

【００１７】 上記の容器１内からの液の取り出しにおいて、容器内の液が少なくなると容器 内が減圧状態となり、液の取り出しが困難になる。そこで、液を取り出す際には 図６に示すように、ガス導入口３のプラグ９を外し、そこにジョイント１５を取 り付け、液取り出しに応じて徐々に窒素ガス等を容器１内に導入する。尚、積極 的に窒素ガスを容器１内に導入して容器１内を高圧にし、この圧力を利用して容 器１内の液を外部に取り出すようにしてもよい。

【００１８】 尚、図示例にあっては鉄製ドラム内に納める薄肉タイプの容器を示したが、本 考案はそのまま用いる厚肉の容器にも適用できる。

【００１９】

【考案の効果】

以上に説明したように本考案によれば、容器の注入兼取り出し口を、容器に対 して一体的に設けられた起立部と、この起立部の内周面に着脱自在に螺合すると ともに前記パイプの上端部を支持する外側プラグと、この外側プラグの内周面に 着脱自在に螺合する内側プラグにて構成するようにしたので、容器に液を詰める 際には外側プラグを廻して、外側プラグ、内側プラグ及びパイプを一体的に外し て開口の径を大きくできるので、液充填の時間を短縮することができ、また液の こぼれ等も防げる。 また、容器に充填した液を使用する際には内側プラグのみを外し、その部分に ジョイントを取り付ければよいので、操作が簡単である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る液体貯蔵容器の縦断面図

【図２】注入兼取り出し口の拡大断面図

【図３】注入兼取り出し口の平面図

【図４】ガス導入口の拡大断面図

【図５】ジョイントを取り付けた状態の注入兼取り出し
口の拡大断面図

【図６】ジョイントを取り付けた状態のガス導入口の拡
大断面図

【符号の説明】

１…液体貯蔵容器、２…注入兼取り出し口、３…ガス導
入口、４…起立部、５…外側プラグ、６…内側プラグ、
７…液取り出しパイプ、１４，１５…ジョイント。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面に液体の注入兼取り出し口とガスの
   導入口を形成し、液体の注入兼取り出し口にはその下端
   が容器の底面近くまで伸びるパイプを設けた液体貯蔵容
   器において、前記液体の注入兼取り出し口は容器に対し
   て一体的に設けられた起立部と、この起立部の内周面に
   着脱自在に螺合するとともに前記パイプの上端部を支持
   する外側プラグと、この外側プラグの内周面に着脱自在
   に螺合する内側プラグとからなることを特徴とする液体
   貯蔵容器。
2. 【請求項２】 前記内側プラグには着脱の際に回すため
   の溝部または突部が形成され、前記外側プラグには着脱
   の際に回すため及び内側プラグを回す際の連れ回りを防
   止するための溝部または突部が形成されていることを特
   徴とする請求項１に記載の液体貯蔵容器。