JPH0535289Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0535289Y2 JPH0535289Y2 JP1987181946U JP18194687U JPH0535289Y2 JP H0535289 Y2 JPH0535289 Y2 JP H0535289Y2 JP 1987181946 U JP1987181946 U JP 1987181946U JP 18194687 U JP18194687 U JP 18194687U JP H0535289 Y2 JPH0535289 Y2 JP H0535289Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- input state
- flow rate
- reference input
- resistor
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Details Of Flowmeters (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は流通センサに関し、特にマイクロブリ
ツジによる流通センサに関するものである。
ツジによる流通センサに関するものである。
従来、マイクロブリツジによる流量計測には第
７図のような構成を用いていた。第７図におい
て、１はヒータ回路、点線で示すMBはマイクロ
ブリツジ、Ｒ１，Ｒ２はセンサ負荷抵抗、RHは
ヒータ回路１からの電力の供給を受けて発熱する
ヒータ用抵抗、RUおよびRDはヒータ用抵抗RH
に触接して流れる流体の上流側および下流側に配
置された感温抵抗であり、ヒータ用抵抗RHが計
測部の活性化手段を構成している。VR１，VR
２は可変抵抗、Ｕ１〜Ｕ４は計測アンプで、計測
アンプＵ１〜Ｕ４は感温抵抗RUとRDとの抵抗
値変化分を増幅して出力する。ここで、可変抵抗
VR２はゼロ点調整、可変抵抗VR１はゲイン調
整に各々用いる。
７図のような構成を用いていた。第７図におい
て、１はヒータ回路、点線で示すMBはマイクロ
ブリツジ、Ｒ１，Ｒ２はセンサ負荷抵抗、RHは
ヒータ回路１からの電力の供給を受けて発熱する
ヒータ用抵抗、RUおよびRDはヒータ用抵抗RH
に触接して流れる流体の上流側および下流側に配
置された感温抵抗であり、ヒータ用抵抗RHが計
測部の活性化手段を構成している。VR１，VR
２は可変抵抗、Ｕ１〜Ｕ４は計測アンプで、計測
アンプＵ１〜Ｕ４は感温抵抗RUとRDとの抵抗
値変化分を増幅して出力する。ここで、可変抵抗
VR２はゼロ点調整、可変抵抗VR１はゲイン調
整に各々用いる。
次に、このような構成の流量センサの動作につ
いて説明する。流量ゼロの場合、ヒータ用抵抗
RHの発生熱は感温抵抗RU，RDに均一に伝わる
ため、感温抵抗RU，RDの抵抗値は等しく、計
測アンプＵ３からの出力電圧は0Vになる。流量
がある場合、感温抵抗RU，RDのうち、流れの
下流にある抵抗RDの方が抵抗RUより温度が上
昇するため、抵抗RDの抵抗値が上昇し、抵抗
RDの両端電圧の方が抵抗RUのそれより高くな
る。これを計測アンプＵ１〜Ｕ３で増幅し、計測
アンプＵ３の出力Ｘとして正の電圧が生じる。本
来、抵抗RUとRD、抵抗Ｒ１とＲ２は各々等し
く、計測アンプＵ１〜Ｕ３のオフセツト電圧はゼ
ロであるベきであるが、実際にはそうではないた
め、可変抵抗VR２により、それらによつて生じ
るオフセツト電圧がゼロになるように調整する。
いて説明する。流量ゼロの場合、ヒータ用抵抗
RHの発生熱は感温抵抗RU，RDに均一に伝わる
ため、感温抵抗RU，RDの抵抗値は等しく、計
測アンプＵ３からの出力電圧は0Vになる。流量
がある場合、感温抵抗RU，RDのうち、流れの
下流にある抵抗RDの方が抵抗RUより温度が上
昇するため、抵抗RDの抵抗値が上昇し、抵抗
RDの両端電圧の方が抵抗RUのそれより高くな
る。これを計測アンプＵ１〜Ｕ３で増幅し、計測
アンプＵ３の出力Ｘとして正の電圧が生じる。本
来、抵抗RUとRD、抵抗Ｒ１とＲ２は各々等し
く、計測アンプＵ１〜Ｕ３のオフセツト電圧はゼ
ロであるベきであるが、実際にはそうではないた
め、可変抵抗VR２により、それらによつて生じ
るオフセツト電圧がゼロになるように調整する。
しかし、感温抵抗RUとRDの温度係数、セン
サ負荷抵抗Ｒ１とＲ２の温度係数が各々等しくな
かつたり、計測アンプＵ１〜Ｕ４にオフセツト・
ドリフトがある場合、周囲温度の変化によりバラ
ンスが崩れ、計測アンプＵ３の出力Ｘにオフセツ
ト電圧を生じる。特に、微小流量を測定する場
合、アンプゲインを大きくとるため、大きなオフ
セツト電圧が発生する。
サ負荷抵抗Ｒ１とＲ２の温度係数が各々等しくな
かつたり、計測アンプＵ１〜Ｕ４にオフセツト・
ドリフトがある場合、周囲温度の変化によりバラ
ンスが崩れ、計測アンプＵ３の出力Ｘにオフセツ
ト電圧を生じる。特に、微小流量を測定する場
合、アンプゲインを大きくとるため、大きなオフ
セツト電圧が発生する。
本考案はこのような点に鑑みてなされたもので
あり、その目的とするところは、微小流量を精度
よく測ろうとする場合にゼロ点オフセツトが大き
な障害となるため、これを自動的に取り除く物理
量測定装置を得ることにある。
あり、その目的とするところは、微小流量を精度
よく測ろうとする場合にゼロ点オフセツトが大き
な障害となるため、これを自動的に取り除く物理
量測定装置を得ることにある。
このような目的を達成するために本考案は、電
力の供給を受けて発熱するヒータ用抵抗と、この
ヒータ用抵抗に触接して流れる流体の上流側およ
び下流側に配置された第１および第２の感熱抵抗
と、この第１の感熱抵抗と第２の感熱抵抗との抵
抗値変化分を増幅し流体の流量に応じた計測信号
として取り出す流量信号取出手段とを備えた流量
センサにおいて、ヒータ用抵抗への電力の供給を
周期的に微小時間の間停止して基準入力状態を作
り出す基準入力状態作出手段と、この基準入力状
態作出手段により作り出された基準入力状態での
計測信号を誤差信号として記録する誤差信号記録
手段と、この誤差信号記録手段の記録する誤差信
号を、基準入力状態作出手段が次の基準入力状態
を作り出すまで、通常の入力状態での計測信号か
ら差し引くことによつて、測定される流量に含ま
れる誤差を自動的に補正する誤差補正手段とを備
えたものである。
力の供給を受けて発熱するヒータ用抵抗と、この
ヒータ用抵抗に触接して流れる流体の上流側およ
び下流側に配置された第１および第２の感熱抵抗
と、この第１の感熱抵抗と第２の感熱抵抗との抵
抗値変化分を増幅し流体の流量に応じた計測信号
として取り出す流量信号取出手段とを備えた流量
センサにおいて、ヒータ用抵抗への電力の供給を
周期的に微小時間の間停止して基準入力状態を作
り出す基準入力状態作出手段と、この基準入力状
態作出手段により作り出された基準入力状態での
計測信号を誤差信号として記録する誤差信号記録
手段と、この誤差信号記録手段の記録する誤差信
号を、基準入力状態作出手段が次の基準入力状態
を作り出すまで、通常の入力状態での計測信号か
ら差し引くことによつて、測定される流量に含ま
れる誤差を自動的に補正する誤差補正手段とを備
えたものである。
したがつてこの考案によれば、周期的に、ヒー
タ用抵抗への供給電力が微小時間の間停止され、
疑似的に流量が零の状態すなわち基準入力状態が
作り出され、この基準入力状態での計測信号（第
１の感熱抵抗と第２の感熱抵抗との抵抗値変化分
を増幅した信号）が誤差信号として記録される。
タ用抵抗への供給電力が微小時間の間停止され、
疑似的に流量が零の状態すなわち基準入力状態が
作り出され、この基準入力状態での計測信号（第
１の感熱抵抗と第２の感熱抵抗との抵抗値変化分
を増幅した信号）が誤差信号として記録される。
すなわち、流量の測定中、周期的に、基準入力
状態が作り出され、この基準入力状態において理
想的には零となるべき計測信号が誤差信号として
記録される。ヒータ用抵抗への供給電力の停止が
復旧すると、やがて通常の入力状態での計測信号
が得られる様になるが、この際、先に記録された
誤差信号が、次の基準入力状態が作り出されるま
で、通常の入力状態での計測信号から差し引かれ
る。
状態が作り出され、この基準入力状態において理
想的には零となるべき計測信号が誤差信号として
記録される。ヒータ用抵抗への供給電力の停止が
復旧すると、やがて通常の入力状態での計測信号
が得られる様になるが、この際、先に記録された
誤差信号が、次の基準入力状態が作り出されるま
で、通常の入力状態での計測信号から差し引かれ
る。
第１図は、本考案に係わる流量センサの一実施
例を示す回路図である。従来装置の第７図に比
べ、新たに、アンプＵ５，Ｕ６、抵抗Ｒ３，Ｒ
４、コンデンサＣ１、スイツチＳ１，Ｓ２から成
る誤差信号記録手段および誤差補正手段としての
誤差アンプが加わつている。
例を示す回路図である。従来装置の第７図に比
べ、新たに、アンプＵ５，Ｕ６、抵抗Ｒ３，Ｒ
４、コンデンサＣ１、スイツチＳ１，Ｓ２から成
る誤差信号記録手段および誤差補正手段としての
誤差アンプが加わつている。
本回路は、ゼロ点補償モード（基準入力モー
ド）と測定モード（通常の入力ンモード）の２つ
の動作モードをもつ。前者においては、スイツチ
Ｓ１をａ接点接続状態、スイツチＳ２をオン、ス
イツチＳ３をオフにし、計測アンプＵ３の出力Ｘ
（計測信号）に現れるオフセツト電圧Vosをアン
プＵ５により反転し、その出力電圧−Vosをコン
デンサＣ１に蓄える。測定モードにおいては、ス
イツチＳ１をｂ接点接続状態、スイツチＳ２をオ
フ、スイツチＳ３をオンにし、コンデンサＣ１に
蓄えられた電圧−VosがアンプＵ６、スイツチＳ
１を通じて計測アンプＵ３に加えられるため、計
測アンプＵ３の出力ＸにおいてはVosはキヤンセ
ルされることになる。
ド）と測定モード（通常の入力ンモード）の２つ
の動作モードをもつ。前者においては、スイツチ
Ｓ１をａ接点接続状態、スイツチＳ２をオン、ス
イツチＳ３をオフにし、計測アンプＵ３の出力Ｘ
（計測信号）に現れるオフセツト電圧Vosをアン
プＵ５により反転し、その出力電圧−Vosをコン
デンサＣ１に蓄える。測定モードにおいては、ス
イツチＳ１をｂ接点接続状態、スイツチＳ２をオ
フ、スイツチＳ３をオンにし、コンデンサＣ１に
蓄えられた電圧−VosがアンプＵ６、スイツチＳ
１を通じて計測アンプＵ３に加えられるため、計
測アンプＵ３の出力ＸにおいてはVosはキヤンセ
ルされることになる。
上記補償モードを手動または自動により測定中
に定期的に挿入することにより、流れを止めるこ
となくゼロ点補償を行なうことができる。これに
ついては後述する。流量変化がマイクロブリツジ
MBの応答に比べて無視できる程遅いような系で
間欠的にマイクロブリツジMBに通電して測定す
るような場合には、毎回の測定前にゼロ点補償モ
ードを入れればよい。
に定期的に挿入することにより、流れを止めるこ
となくゼロ点補償を行なうことができる。これに
ついては後述する。流量変化がマイクロブリツジ
MBの応答に比べて無視できる程遅いような系で
間欠的にマイクロブリツジMBに通電して測定す
るような場合には、毎回の測定前にゼロ点補償モ
ードを入れればよい。
第１図の回路ではアンプＵ５、Ｕ６のオフセツ
トは計測アンプＵ３の出力に現れるが、これらは
増幅されて出力されるわけではないため、一般に
無視できる程小さい。
トは計測アンプＵ３の出力に現れるが、これらは
増幅されて出力されるわけではないため、一般に
無視できる程小さい。
第２図は第１図を若干変更した回路で、アンプ
Ｕ５，Ｕ６のオフセツトは、そのオフセツト電圧
もコンデンサＣ１に充電されるため、出力すなわ
ちアンプＵ５の出力には現れない。各モードにお
けるスイツチ動作は第１図の場合と同じである。
Ｕ５，Ｕ６のオフセツトは、そのオフセツト電圧
もコンデンサＣ１に充電されるため、出力すなわ
ちアンプＵ５の出力には現れない。各モードにお
けるスイツチ動作は第１図の場合と同じである。
第１図または第２図の回路で連続測定しながら
或る一定周期毎にゼロ点補償する場合には第３図
ａ，ｂのような回路を用いる。この回路のタイミ
ングは、第４図に示されるように、発振周期TC
（第４図ａ参照）秒毎にTA秒間（第４図ｂ参照）
ゼロ点補償サイクルが入る）。第３図ａのアンプ
Ｕ７、コンデンサＣ２から成るトラツクホールド
回路は、通常、入出力がパス状態（スイツチＳ４
がオンで、第１図のアンプＵ３又は第２図のアン
プＵ５の出力がそのまま測定出力Ｙとなる状態）
であり、TB秒間（第４図ｃ参照、スイツチＳ４
がオフの期間）だけ、その直前の電圧をホールド
する。TBがTAより長く設定してあるのは、ス
イツチＳ１〜Ｓ３が測定モードに切り替わつても
ヒータ用抵抗RHがすぐには加熱されないため、
マイクロブリツジMBの出力が安定するまで待機
させるためである。マイクロブリツジMBの場合
きわめて応答が速いため、TA，TBの時間は
10ms程度でよく、事実上連続測定が可能になる。
周期TCおよび期間TA，TBは、第３図ｂに示す
ように、発振器２およびモノステーブルマルチバ
イブレータ３，４により発生させられる。モノス
テーブルマルチバイブレータ３の出力はスイツチ
Ｓ１〜Ｓ３を制御し、モノステーブルマルチバイ
ブレータ４の出力はスイツチＳ４を制御する。
或る一定周期毎にゼロ点補償する場合には第３図
ａ，ｂのような回路を用いる。この回路のタイミ
ングは、第４図に示されるように、発振周期TC
（第４図ａ参照）秒毎にTA秒間（第４図ｂ参照）
ゼロ点補償サイクルが入る）。第３図ａのアンプ
Ｕ７、コンデンサＣ２から成るトラツクホールド
回路は、通常、入出力がパス状態（スイツチＳ４
がオンで、第１図のアンプＵ３又は第２図のアン
プＵ５の出力がそのまま測定出力Ｙとなる状態）
であり、TB秒間（第４図ｃ参照、スイツチＳ４
がオフの期間）だけ、その直前の電圧をホールド
する。TBがTAより長く設定してあるのは、ス
イツチＳ１〜Ｓ３が測定モードに切り替わつても
ヒータ用抵抗RHがすぐには加熱されないため、
マイクロブリツジMBの出力が安定するまで待機
させるためである。マイクロブリツジMBの場合
きわめて応答が速いため、TA，TBの時間は
10ms程度でよく、事実上連続測定が可能になる。
周期TCおよび期間TA，TBは、第３図ｂに示す
ように、発振器２およびモノステーブルマルチバ
イブレータ３，４により発生させられる。モノス
テーブルマルチバイブレータ３の出力はスイツチ
Ｓ１〜Ｓ３を制御し、モノステーブルマルチバイ
ブレータ４の出力はスイツチＳ４を制御する。
また、ゼロ点補償は、第５図に示すように、マ
イクロコンピユータ６を用いてデジタル演算によ
り行なうことも可能である。この場合、最初にス
イツチＳ１をオフにし、そのときの計測アンプＵ
３の出力をＡ／Ｄ変換器５によりＡ／Ｄ変換し、
マイクロコンピユータ６内のメモリに保持する。
測定時にはスイツチＳ１はオンにし、測定値から
先の保持した値を減算すれば、第１図プラス第４
図又は第２図プラス第４図と同等の機能を実現で
きる。
イクロコンピユータ６を用いてデジタル演算によ
り行なうことも可能である。この場合、最初にス
イツチＳ１をオフにし、そのときの計測アンプＵ
３の出力をＡ／Ｄ変換器５によりＡ／Ｄ変換し、
マイクロコンピユータ６内のメモリに保持する。
測定時にはスイツチＳ１はオンにし、測定値から
先の保持した値を減算すれば、第１図プラス第４
図又は第２図プラス第４図と同等の機能を実現で
きる。
第６図に上記機能実現のためのプログラムのフ
ローチヤートを示す。まずタイマをリセツトし
（ステツプ11）、スイツチＳ１をオフとすることに
よりヒータ用抵抗RHへの電力供給をオフとすし
（ステツプ12）、TA秒待機する（ステツプ13）。
TA秒経過後、計測アンプＵ３の出力値をＡ／Ｄ
変換器５により読み込む（ステツプ14）。この読
み込んだ値をX0としてマイクロコンピユータ６
のメモリに記憶する（ステツプ15）。次にスイツ
チＳ１をオンとして、ヒータ用抵抗RHへの電力
供給を開始し（ステツプ16）、（TB−TA）秒待
機する（ステツプ17）。（TB−TA）秒待機後、
計測アンプＵ３の出力値ＸをＡ／Ｄ変換器５によ
り読み込み（ステツプ18）、マイクロコンピユー
タ６でＹ＝Ｘ−X0の補正演算をし（ステツプ
19）、この値Ｙをマイクロコンピユータ６から出
力する（ステツプ20）。次に、タイマリセツト
（ステツプ11）からTC秒経過したか否かを判断し
（ステツプ21）、経過していなければステツプ18へ
戻り、再度計測アンプＵ３の出力値を読み込む。
経過している場合はステツプ11に戻る。
ローチヤートを示す。まずタイマをリセツトし
（ステツプ11）、スイツチＳ１をオフとすることに
よりヒータ用抵抗RHへの電力供給をオフとすし
（ステツプ12）、TA秒待機する（ステツプ13）。
TA秒経過後、計測アンプＵ３の出力値をＡ／Ｄ
変換器５により読み込む（ステツプ14）。この読
み込んだ値をX0としてマイクロコンピユータ６
のメモリに記憶する（ステツプ15）。次にスイツ
チＳ１をオンとして、ヒータ用抵抗RHへの電力
供給を開始し（ステツプ16）、（TB−TA）秒待
機する（ステツプ17）。（TB−TA）秒待機後、
計測アンプＵ３の出力値ＸをＡ／Ｄ変換器５によ
り読み込み（ステツプ18）、マイクロコンピユー
タ６でＹ＝Ｘ−X0の補正演算をし（ステツプ
19）、この値Ｙをマイクロコンピユータ６から出
力する（ステツプ20）。次に、タイマリセツト
（ステツプ11）からTC秒経過したか否かを判断し
（ステツプ21）、経過していなければステツプ18へ
戻り、再度計測アンプＵ３の出力値を読み込む。
経過している場合はステツプ11に戻る。
以上説明したことから明らかなように本考案に
よれば、流量の測定中、測定される流量に含まれ
る誤差が周期的にリアルタイムで補正されるもの
となり、測定中の周囲温度の変化などに拘らず常
に正しい流量を測定することができるようにな
り、センサやアンプの経時変化に対してもオフセ
ツトを生じないという効果がある。また、センサ
負荷抵抗の抵抗値、温度係数のミスマツチング並
びにアンプのオフセツトおよびオフセツトドリフ
トに対して許容度が高くなり、高精度の部品を必
要としないという効果がある。さらに、ゲイン調
整を行なつても出力のオフセツトの変動を生じな
いという効果がある。
よれば、流量の測定中、測定される流量に含まれ
る誤差が周期的にリアルタイムで補正されるもの
となり、測定中の周囲温度の変化などに拘らず常
に正しい流量を測定することができるようにな
り、センサやアンプの経時変化に対してもオフセ
ツトを生じないという効果がある。また、センサ
負荷抵抗の抵抗値、温度係数のミスマツチング並
びにアンプのオフセツトおよびオフセツトドリフ
トに対して許容度が高くなり、高精度の部品を必
要としないという効果がある。さらに、ゲイン調
整を行なつても出力のオフセツトの変動を生じな
いという効果がある。
第１図は本考案に係わる流量センサの一実施例
を示す回路図、第２図は本考案の第２の実施例を
示す回路図、第３図ａはトラツクホールド回路を
示す回路図、第３図ｂはタイミング発生回路を示
す回路図、第４図は第３図ｂの回路が発生するタ
イミング信号を示すタイミング図、第５図は本考
案の第３の実施例を示す回路図、第６図は第５図
の回路の動作を説明するためのフローチヤート、
第７図は従来の流量センサを示す回路図である。 １……ヒータ回路、MB……マイクロブリツ
ジ、Ｒ１，Ｒ２……センサ負荷抵抗、Ｒ３，Ｒ４
……抵抗、RU，RD……感温抵抗、RH……ヒー
タ用抵抗、Ｕ１〜Ｕ３……計測アンプ、Ｕ５，Ｕ
６……アンプ、VR１……可変抵抗、Ｓ１〜Ｓ３
……スイツチ、Ｃ１……コンデンサ。
を示す回路図、第２図は本考案の第２の実施例を
示す回路図、第３図ａはトラツクホールド回路を
示す回路図、第３図ｂはタイミング発生回路を示
す回路図、第４図は第３図ｂの回路が発生するタ
イミング信号を示すタイミング図、第５図は本考
案の第３の実施例を示す回路図、第６図は第５図
の回路の動作を説明するためのフローチヤート、
第７図は従来の流量センサを示す回路図である。 １……ヒータ回路、MB……マイクロブリツ
ジ、Ｒ１，Ｒ２……センサ負荷抵抗、Ｒ３，Ｒ４
……抵抗、RU，RD……感温抵抗、RH……ヒー
タ用抵抗、Ｕ１〜Ｕ３……計測アンプ、Ｕ５，Ｕ
６……アンプ、VR１……可変抵抗、Ｓ１〜Ｓ３
……スイツチ、Ｃ１……コンデンサ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 電力の供給を受けて発熱するヒータ用抵抗と、
このヒータ用抵抗に触接して流れる流体の上流側
および下流側に配置された第１および第２の感熱
抵抗と、この第１の感熱抵抗と第２の感熱抵抗と
の抵抗値変化分を増幅し前記流体の流量に応じた
計測信号として取り出す流量信号取出手段とを備
えた流量センサにおいて、 前記ヒータ用抵抗への電力の供給を周期的に微
小時間の間停止して基準入力状態を作り出す基準
入力状態作出手段と、 この基準入力状態作出手段により作り出された
基準入力状態での計測信号を誤差信号として記録
する誤差信号記録手段と、 この誤差信号記録手段の記録する誤差信号を、
前記基準入力状態作出手段が次の基準入力状態を
作り出すまで、通常の入力状態での計測信号から
差し引くことによつて、測定される流量に含まれ
る誤差を自動的に補正する誤差補正手段と を備えたことを特徴とする流量センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987181946U JPH0535289Y2 (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987181946U JPH0535289Y2 (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0187209U JPH0187209U (ja) | 1989-06-08 |
| JPH0535289Y2 true JPH0535289Y2 (ja) | 1993-09-08 |
Family
ID=31473408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987181946U Expired - Lifetime JPH0535289Y2 (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0535289Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011203180A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Yamatake Corp | 熱式流量センサおよび負圧吸着装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0663802B2 (ja) * | 1989-07-20 | 1994-08-22 | 山武ハネウエル株式会社 | ゼロ点補正回路 |
| JP5111180B2 (ja) * | 2008-03-19 | 2012-12-26 | アズビル株式会社 | 熱式流量計 |
| JP7111539B2 (ja) * | 2018-07-20 | 2022-08-02 | アズビル株式会社 | 流量制御装置およびゼロ点調整方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5242187U (ja) * | 1975-09-18 | 1977-03-25 | ||
| JPS55127218U (ja) * | 1979-03-06 | 1980-09-09 | ||
| JPS55170654U (ja) * | 1979-05-25 | 1980-12-08 | ||
| JPH0623665B2 (ja) * | 1985-02-20 | 1994-03-30 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | 流量センサ |
-
1987
- 1987-12-01 JP JP1987181946U patent/JPH0535289Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011203180A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Yamatake Corp | 熱式流量センサおよび負圧吸着装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0187209U (ja) | 1989-06-08 |
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