JPH0535696B2 - - Google Patents

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JPH0535696B2
JPH0535696B2 JP61291632A JP29163286A JPH0535696B2 JP H0535696 B2 JPH0535696 B2 JP H0535696B2 JP 61291632 A JP61291632 A JP 61291632A JP 29163286 A JP29163286 A JP 29163286A JP H0535696 B2 JPH0535696 B2 JP H0535696B2
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JP
Japan
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weight
sintered body
cutting
sialon
coating layer
Prior art date
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JP61291632A
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JPS63156076A (ja
Inventor
Akyasu Okuno
Shoichi Watanabe
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Niterra Co Ltd
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NGK Spark Plug Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野) 本発明は耐摩耗性に優れたセラミツク工具材料
特に、鋼、鋳鉄、高ニツケル、アルミニウム、チ
タン等を高速切削し得る工具材料に関する。 (従来の技術) 窒化珪素(Si3N4)を主成分とする窒化珪素系
セラミツクスは、強度、耐酸化性、耐摩耗性、耐
熱衝撃性、耐食性等の特性に優れているので、切
削工具材料等として好ましいものとし、注目され
ている。 しかしながらSi3N4単独では金属に比べて品質
安定性や約質性が乏しく、信頼性の向上や高特性
と言う視点から一層高靭性化が望まれている。 そのため、特開昭59−30770号、特開昭59−
54680号、特開昭60−246268号のようにSiCウイ
スカーを強化材として使用し、複合化する試みが
あるが、切削工具材料としては耐欠損性、耐摩耗
性共に不充分であるので、特に耐熱鋼等の高速切
削用の工具材料としては実用化されていないのが
実情である。 (発明が解決しようとする問題点) 本発明は上記の如き実情に鑑み、高温特性と靭
性とに優れた特性を有するβ−サイアロン基セラ
ミツク材料の表面層を改質することによつて、耐
欠損性と耐摩耗性とを兼ね備えた切削工具材料を
目的とするものである。 (問題点を解決するための手段) 本発明は上記の目的を達成するために種々検討
の結果なされたもので、その概要は以下に記すと
おりである。 SiCウイスカー5〜45重量%、Zr化合物をZr換
算で3〜20重量%、残部β−サイアロン基セラミ
ツクを主成分とする複合焼結体の表面に、平均膜
厚0.1〜5μmの緻密なAl2O3コーテイング層を設け
たセラミツク工具材料を第1の発明とし、Al2O3
コーテイング層を施す前に厚さ3μm以下のAlN及
び又はAlONからなる中間層を介して、中間層を
含む平均膜厚0.1〜5μmの緻密なAl2O3コーテイン
グ層を設けたセラミツク工具材料を第2の発明と
するものである。 先ずβ−サイアロン基セラミツクについて述べ
れば、第1の発明、第2の発明共通で、組成式
Si6-zAlzOzN8-z(但し0<z≦1)で表わされる
β−サイアロンとこのような組成式を持つβ−サ
イアロンに対し、1〜25重量%のZr,Si,Al,
O,Nと不可避不純物又はそれにY,Mg,Ca及
び希土類の1種以上を含むガラス相で構成されて
いるものが望ましい。 このガラス相が1重量%より少ない場合はβ−
サイアロンの焼結が十分達成できない為所望の密
度を得ることができず、又25重量%よりも多い場
合には靭性や高温強度の劣化を来たすため、切削
時に刃先先端部が高温になる切削工具材料として
は好ましくないからである。又、特にこのような
ガラス生成物の添加は常圧焼結やガス圧焼結法を
採用する際に有効である。 ここでz値を特定する理由はz>1の場合に機
械的強度及び靭性が低下し、切削工具材料として
必要な機械的特性を満足することができなくなる
ためである。 次にSiCウイスカーの量を5〜45重量%とする
理由は、5重量%より少ない場合はセラミツク材
料に靭性の向上が見られず、逆に45重量%を越え
る場合は焼結性が低下し、共に切削時に於いて欠
け易く、耐欠損性に劣る為、上記の範囲が好まし
い。しかし更に好ましい範囲は10〜30重量%、最
も好ましい範囲は15〜25重量%の範囲である。 なおウイスカーの一般定義は断面積が8×
10-5in2以下で長さが断面の平均直径に比して10
倍以上の単結晶であるが、本発明で使用するウイ
スカーとしては平均直径0.2〜1μm、平均長さ5
〜100μm、アスペクト比5〜500のものでAl,
Ca,Mg,Ni,Fe,Mn,Co,Cr等のカチオン
不純物やSiO2の含有量が1.0%以下のくびれや枝
分れや面欠陥の少ないひげ状結晶を用いることが
高靭性な緻密体を得る上で好ましい。 又、Zr化合物をZr換算で3〜20重量%とする
理由は3重量%未満では靭性の改善効果が十分で
なく、又20重量%を越えると焼結体の硬度や熱伝
導率や靭性が低下し、耐摩耗性や耐欠損性に劣る
為好ましくないからである。ここでZr化合物は
特に限定されないが、例えばZrO2(単斜晶、正方
晶、立方晶又はそれらの共存体)やASTMカー
ドNo.20−684のZrOにX線回折の結果がかなり良
く一致するような化合物を言う。 Zr化合物の作用は、焼結時に一旦ガラス相に
固溶したZrがガラス相とSiCウイスカーの界面に
於いて両者の濡れ性を改善し、両者のより強固な
結合を可能にすることによつて、SiCウイスカー
の持つ本来の特性が十分に発揮出来る様に作用し
て、靭性を向上することにある。 またガラス相に固溶したZrは焼結後に一部が
ガラス相中に残るものの、大半はその時の配合組
成によつてとり得る結晶相でガラス相より再析出
し、焼結体中に存在する。 従つて例えば焼結体中にZrO2として存在する
場合でも、配合組成によつて単斜晶、正方晶、立
方晶又はそれらの共存体として存在することが可
能であり、又その結晶系に違いがあつてもすべて
焼結時における本願のZrの作用効果が同じであ
る為、同様に高強度、高靭性な焼結体となり得
る。 又このβ−サイアロン基セラミツク複合焼結体
は緻密な焼結体に焼結することにより破壊靭性、
抗折強度を好ましい値のものとすることができ
る。 本発明はこのようなβ−サイアロン基セラミツ
ク複合焼結体の表面にAl2O3コーテイング層を設
けた切削工具材料に関するものであるが、この
Al2O3コーテイング層は焼結体表面に直接設ける
第1の発明と、AlN及び又はAlONから成る中間
層を介して設ける第2の発明からなる。 しかし、いずれの場合もAl2O3を化学気相蒸着
法(CVD)により析出させることができる。こ
のCVD法は例えば1000℃〜1100℃にβ−サイア
ロン基セラミツク複合焼結体を加熱し、これを装
填してある反応容器中にAlCl3,CO2,H2場合に
より更にCOを含めた混合ガスを流入して容易に
行なうことができる。この処理温度は900℃〜
1300℃の範囲で条件に応じて選択するが、余り高
温になるとAl2O3の粒径が粗大化し、緻密さが失
なわれる傾向があり、比較的低温域で長時間処理
することが望ましい。 第1の発明に於いてはAl2O3コーテイング層の
厚みは0.1〜5μmがAl2O3の耐摩耗性を発揮し、か
つ切削時に於いて表面層に過度の急激な温度勾配
が生じても熱クラツクを生じないので好ましい。
Al2O3コーテイング層の厚みが0.1μmより薄い場
合はその効果が不十分であり、5μmより厚くなる
と熱衝撃で剥離し易くなる為好ましくない。 なおβ−サイアロンとAl2O3の熱膨張係数は前
者が3.0×10-6/℃、後者が7.8×10-6/℃と大き
く異なる為、切削条件によつてはこの被覆層に剥
離を生じることがある。 第2の発明に於いてはこの現象を予防する為に
β−サイアロン基セラミツク複合焼結体から成る
母材の上に、AlNやAlONの薄い層を中間層とし
て設けることにより前記の如き母材とAl2O3コー
テイング層の熱膨張係数の差による熱応力を緩和
してより強固なAl2O3コーテイング層を施すこと
ができる。この場合、前記した中間層の厚みとし
ては熱応力の緩和の点から3μm以下で十分であり
中間層を含むAl2O3コーテイング層の厚みとして
は0.1〜5μmに設定することが切削時の耐摩耗性
や耐剥離性の点から好ましい。中間層及び中間層
を含むAl2O3層の厚みがこれらより過大であると
熱衝撃により母材である焼結体と被覆層との間に
亀裂が入り易く、切削時に刃先欠損の原因とな
る。 コーテイング層をCVD法により構成する場合、
下記の如き析出反応によつて設けられる。 1 2AlCl3+3CO2+3H2→Al2O3+6HC1+3CO 2 2AlCl3+N2+3H2→2AlN+6HCl 3 2AlCl3+2CO2+3H2+N2→2AlON+6HCl
+2CO コーテイング層はAl2O3のみからなる一重被覆
でよいが、上述の反応式2)、3)に示される析
出反応によつてAlN又はAlONの一種以上の層を
設け、ついで反応式1)に示される析出反応によ
つてAl2O3の層を設けることによつて多重被覆層
とすることができる。なお本発明のコーテイング
層の生成は上記CVD法の他PVD法(物理蒸着
法)やスパツタリング等の手法によつても可能で
ある。 (実施例) 以下本発明の実施例について説明する。 実施例 1 α率90%で平均粒径0.6μmのSi3N4粉末に、平
均粒径1μmのα−Al2O3粉末とSiCウイスカー
(ARCOケミカル社製SC−9)及び平均粒径
0.3μmの単斜晶ZrO2を第1表に示すような割合に
配合し、エタノール中で4時間均一に分散混合し
た後、乾燥し、造粒して素地を得た。 この素地を黒鉛型中で表中に示すような焼成温
度で各60分間200Kg/cm2の圧力でホツトプレスし、
緻密に焼結した焼結体を得た。次にこの焼結体を
SNGN432のチツプ形状に研摩加工した後、ステ
ンレス製反応容器中に装填し、加熱炉内で1100℃
に加熱した後、H2及びCO2ガスを供給し、AlCl3
発生装置を経てAlCl312容量%、CO223容量%及
びH265容量%の混合ガスを反応容器内に流入し
た。又反応容器は真空ポンプにより20〜30Torr
に保ち、Al2O3コーテイング層の膜厚は反応時間
を変えることによつて行なつた。 このようにして得られた試料とコーテイング前
の試料とを用いて極めて難削材として知られてい
る高ニツケル合金(インコネル718)の切削試験
を下記条件により行ない、初削後の欠損及び摩耗
量を測定した。 切削条件は以下のとおりである。 切削速度 200m/min 切り込み 1.0mm 送り速度 0.2mm/rev 切削時間 10min この結果を第1表に示す。 これによれば本発明(第1の発明)の範囲内で
β−サイアロン基セラミツク複合焼結体の表面に
0.1μm〜5μmのAl2O3コーテイング層を設けたセ
ラミツク工具材料は難切削材である高ニツケル合
金の切削でも欠損を生じず、耐摩耗性に優れたも
のであることが認められ、比較例のものは殆んど
欠損、チツピングを生じるか、摩耗量が大で実用
に耐えないことが立証された。
【表】 実施例 2 平均粒径2μm以下のY2O3,MgO,CaO,
Dy2O3をZr,Si,Al,O,N以外のガラス生成化
合物として添加する以外は実施例1と同様にして
第2表に示すような割合に配合して得た素地粉末
を黒鉛型中で1750℃×200Kg/cm2の温度、圧力の
条件下で各60分間ホツトプレスし、緻密に焼結し
た焼結体を得た。次にこの焼結体をSNGN432の
チツプ形状に研摩加工した後、ステンレス製反応
容器中に装填し、1050℃に加熱した後、温度を
320℃に保つたAlチツプ中にHClを通過させて発
生したAlCl3及びH2,N2,CO2の混合ガスを連続
的に変化させて反応容器内に供給した。 AlN−AlONの混合中間層を形成する場合は
AlCl3ガス18容量%、N2ガス12容量%、H2ガス
70容量%を最初に流し、30分毎にN2ガス2容量
%減じてCO2ガスを2容量%ずつ増すようにし、
最終的にN2ガスを停止させ、外層にAl2O3を形成
した。AlN中間層を形成する場合はAlCl3ガス18
容量%、N2ガス12容量%、H2ガス70容量%の混
合ガスを流した。AlON中間層を形成する場合
は、AlCl3ガス12容量%、N2ガス7容量%、CO2
ガス16容量%、H2ガス65容量%の混合ガスを流
した。 そしてこれらの混合ガスの焼結体表面への接触
時間を変化させ、中間生成層及び外層の厚みを異
ならしめたチツプを得た。 次にこのチツプを下記の切削条件にてフライス
切削のテストを実施した。 切削条件 被削材 クロムモリブデン鋼SCM440 (HB280) 切削速度 200m/min 切り込み 1.5mm 送り速度 0.2mm/tooth 切削テストは刃先が欠損するまで実施し、刃先
が欠損するまでの衝撃回数を測定し、10点の平均
値を結果として第2表に示した。 この結果からAlNやAlONの中間生成層を設け
た第2の発明は、これを有しないものに比べて衝
撃回数が増加し、切削寿命が延びることが判つ
た。
【表】
【表】 実施例 3 Zr化合物としてZrO2,ZrNを用いることとし
た以外は実施例2と同様にして第3表に示す割合
に配合して調整した素地粉末を焼結し、得られた
焼結体母材の組成をX線回折により同定した。又
機械的特性として強度と靭性を測定し、その結果
を第3表に示す。 この結果から添加するZr化合物の種類に拘ら
ず焼結後は配合組成によつてZrO2やZrOやZrの
酸窒化物と思われるZr化合物として焼結体中に
存在することが判つた。 又Zro2として存在する場合でも配合組成によつ
て単斜晶、正方晶、立方晶又はそれらの共存体と
して存在するが、すべて同様に高強度・高靭性を
有する焼結体となることが判つた。
【表】
【表】 実施例 4 出発原料としてSi3N4以外に予めz=0.3に合成
されたβ−サイアロン粉末を用いる以外には実施
例2と同様にして、第4表に示すような割合に配
合して得た素地粉末を20□ ×7mmの寸法に成形圧
1.5ton/cm2でプレス成形した後、1750℃の1気圧
の窒素ガス雰囲気中で2時間焼結し1次焼結体を
得た。次にこの焼結体を1750℃、70気圧の加圧窒
素ガス雰囲気中で2時間再焼結し、緻密な2次焼
結体を得た。このようにして得られた焼結体を実
施例2と同様にして加工した後、表面にAl2O3
ーテイング層を設け、下記の切削条件にて切削テ
ストを実施し、切削後の欠損及び摩耗量を測定し
た。 切削条件 被削材 SCr420 切削速度 500m/min 切り込み 1.0mm 送り速度 0.3mm/rev 切削時間 10分 この結果から本発明の範囲内に於いて、焼結体
表面にAl2O3コーテイング層を施した切削材料は
耐欠損性及び耐摩耗性に優れた切削性能を有して
いることが立証された。
【表】 (発明の効果) 第1の発明によればSiCウイスカーとZr化合物
を複合したβ−サイアロン基セラミツク焼結体の
優れた特性である高靭性を利用し、Al2O3コーテ
イング被膜を付けることによつて切削工具として
必要な耐欠損性と耐摩耗性を向上した工具材料を
提供するものであり、第2の発明によればAl2O3
コーテイング被膜を設けるに際し、AlN及び又
はAlON層を中間層として設けることにより、第
1の発明に係るものより一層耐熱衝撃性を改良
し、著るしく切削寿命の延びた切削工具を提供す
ることができる。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 SiCウイスカー5〜45重量%、Zr化合物をZr
    換算で3〜20重量%、残部β−サイアロン基セラ
    ミツクを主成分とし、そのβ−サイアロン基セラ
    ミツクが組成式Si6-zAlzOzN8-z(但し0<z≦
    1)で表わされるβ−サイアロンと1〜25重量%
    のZr,Si,Al,O,Nと不可避不純物又はそれ
    にY,Mg,Ca及び希土類元素の1種以上を含む
    ガラス相で主として構成される複合焼結体の表面
    に、平均膜厚0.1〜5μmの緻密なAl2O3コーテイン
    グ層が設けられていることを特徴とする高靭性・
    耐摩耗性セラミツク工具材料 2 SiCウイスカー5〜45重量%、Zr化合物をZr
    換算で3〜20重量%、残部β−サイアロン基セラ
    ミツクを主成分とし、そのβ−サイアロン基セラ
    ミツクが組成式Si6-zAlzOzN8-z(但し0<z≦
    1)で表わされるβ−サイアロンと1〜25重量%
    のZr,Si,Al,O,Nと不可避不純物又はそれ
    にY,Mg,Ca及び希土類元素の1種以上を含む
    ガラス相で主として構成される複合焼結体の表面
    に、厚さ3μm以下のAlN又はAlONのうちの1種
    以上からなる中間層を介して、中間層を含む平均
    膜厚0.1〜5μmの緻密なAl2O3コーテイング層が設
    けられていることを特徴とする高靭性・耐摩耗性
    セラミツク工具材料。
JP61291632A 1986-08-26 1986-12-09 高靭性・耐摩耗性セラミツク工具材料 Granted JPS63156076A (ja)

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JP19820486 1986-08-26
JP61-198204 1986-08-26

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Publication Number Publication Date
JPS63156076A JPS63156076A (ja) 1988-06-29
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