JPH0536271Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案はボンデイング装置に関し、より詳しく
はチツプとリード線とを相互に圧着させるボンデ
イングツールの加圧装置に関する。

「従来の技術」 従来、ボンデイング装置として、昇降自在に設
けたボンデイングツールと、このボンデイングツ
ールを押下げる加圧装置とを備え、上記ボンデイ
ングツールを降下させてチツプとリード線とを相
互に圧着させるようにしたものが知られている
（実公昭57−56513号公報）。

また上記加圧装置として、上記ボンデイングツ
ールを押下げるエアシリンダと、このエアシリン
ダに供給するエア圧を調整するレギユレータとを
備え、上記エアシリンダにエア圧を導入して上記
ボンデイングツールを降下させ、上記エア圧に応
じた加圧力でチツプとリード線とを相互に圧着さ
せるようにしたものが知られている。そしてこの
種の加圧装置では、ボンデイングツールによる加
圧力を変更する際には、上記レギユレータによつ
てエア圧を調整変更していた。

例えば、１つのリード線に対する加圧力を
100gとした場合、500本のリード線を有する接着
部にチツプを接着するには、エアシリンダによる
加圧力を50Kgに設定すればよい。また、200本の
リード線を有する接着部にチツプを接着するに
は、エアシリンダによる加圧力を20Kgに設定す
ればよい。

「考案が解決しようとする課題」 このように、リード線の本数を変更した際には
それに応じて上記レギユレータによるエア圧を調
整し、それによつてエアシリンダによる加圧力を
変更していた。

しかしながら、上記レギユレータにおける誤差
は、通常、該レギユレータが有する最高圧力に対
する誤差として与えられ、その誤差は調整圧力の
大小に比例するものではなかつた。例えば、レギ
ユレータの調整圧力を最高圧力としたときにエア
シリンダによつて得られる最大加圧力を50Kgと
し、その際の最大誤差を１％とした場合には、最
大500gの誤差が生じるようになる。そしてこの
誤差は、上記レギユレータの調整圧力を最高圧力
としたときのみでなく、例えばエアシリンダの加
圧力が20Kgとなるように調整した場合でも、あ
るいは1Kgとなるように調整した場合でも、最大
500gの誤差が発生する可能性があつた。

したがつて上述した500本のリード線の場合に
は、１本のリード線に対する最大誤差は1gとな
る。そして、同一のレギユレータとエアシリンダ
とを用いて200本のリード線にチツプを接着する
場合には、該エアシリンダによる加圧力を20Kg
に設定すればよいが、その場合の最大誤差も
500gなので、１本のリード線に対する最大誤差
は2.5gとなつてしまい、リード線の数が少ないほ
ど各リード線に対する最大誤差が大きくなる危険
性があつた。

「課題を解決するための手段」 本考案はそのような事情に鑑み、同一のレギユ
レータを用いて異なる本数のリード線にチツプを
接着するようにした場合であつても、各リード線
に対する最大誤差が大きくなるのを可及的に防止
できるようにしたボンデイング装置の加圧装置を
提供するものである。

すなわち本考案は、昇降自在に設けたボンデイ
ングツールと、このボンデイングツールを押下げ
るエアシリンダと、上記エアシリンダに供給する
エア圧を調整するレギユレータとを備え、上記エ
アシリンダにエア圧を導入して上記ボンデイング
ツールを降下させ、上記エア圧に応じた加圧力で
チツプとリード線とを相互に圧着させるようにし
てボンデイング装置において、 上記エアシリンダを複数個設けて各エアシリン
ダを上記ボンデイングツールに連動させるととも
に、上記レギユレータを分岐管を介してそれぞれ
のエアシリンダに連通させ、さらに上記分岐管に
開閉弁を設けるようにしたものである。

「作用」 上記構成において、上述した例の場合には、最
大加圧力が25Kgのエアシリンダを２本並列また
は直列にボンデイングツールに連動させればよ
い。この場合には、全体として50Kgの出力を得
るには２本のエアシリンダにそれぞれ25Kgの出
力を生じさせればよいので、レギユレータとして
は最高圧力が25Kgに相当するものを使用するよ
うになる。したがつてこの場合に最大誤差が１％
であるとしたら、１つのエアシリンダあたりの最
大誤差は250gとなる。

この条件で500本のリード線にチツプを接着す
るには、両方のエアシリンダにそれぞれ25Kgの
出力を生じさせて合計で50Kgの出力を得れば、
各リード線を100gで加圧することができる。そ
してこの場合の最大誤差は、両エアシリンダの誤
差の合計である500gとなり、１本のリード線に
対する最大誤差は1gとなる。

これに対し、200本のリード線を有する接着部
にチツプを接着する場合には、１本のエアシリン
ダ側の開閉弁を閉じ、かつレギユレータの設定圧
力を他の１本のエアシリンダによつて20Kgの出
力が得られるように設定すればよい。この場合の
最大誤差は250gとなるので、１本のリード線に
対する最大誤差は1.25gとなり、従来の2.5gに対
してその誤差を小さくすることができる。

その結果、ボンデイングツールによるチツプと
リード線との加圧力を従来に比較して可及的に一
定に維持することができるので、両者の圧着状態
を良好な状態に維持することができ、接着不良が
発生する危険性を低減することができる。

「実施例」 以下図示実施例について本考案を説明すると、
第１図において、ボンデイング装置１は、接着位
置Ａにおいてテープ２の長手方向所定間隔毎に設
けた接着部２ａのリード線２ｂに順次半導体等の
チツプ３の接触部３ａを圧着することができるよ
うになつている（第３図、第４図参照）。

上記テーブル２は、第３図、第４図に示すよう
に、長手方向所定間隔毎に形成した方形の開口２
ｃと、各開口２ｃの四辺に予め設けた所要数のリ
ード線２ｂとを備えており、各開口２ｃとリード
線２ｂとによつてそれぞれ上記接着部２ａを構成
している。また、テープ２の両側部には長手方向
等等間隔位置に係合孔２ｄを穿設してあり、その
係合孔２ｄに第１図に示す爪付スプロケツト４の
係合爪に係合させ、該スプロケツト４をステツピ
ングモータ５により間欠的に所定の角度づつ回転
させて、隣接した接触部２ａのピツチ毎にテープ
２を前進させたことができるようになつている。

上記テープ２は、テープ収容部６に設けた供給
リール７に巻回されており、複数のアイドルロー
ラ８とテンシヨンローラ９とを経て間欠的に引き
出されるようになつている。そして上記接着位置
Ａまで引き出される以前のテープ２の搬送経路
に、テープ２の各接触部２ａに設けたリード線２
ｂの適否を検出する図示しない検出器を設けてあ
り、この検出器の検出結果をテープ収容部６の下
方に収容した制御装置１０に入力させている。

そして、上記検出器によりリード線２ｂが不良
であることが検出された場合には、上記制御装置
１０はステツピングモータ５によるスプロケツト
４の回転量を増大させて、不良である接着部２ａ
を接着位置Ａに停止させることなく通過させるよ
うになつている。

第１図、第２図に示すように、上記接着位置Ａ
の下方には、該接着位置Ａで停止された接着部２
ａの直下位置にチツプ３を供給するチツプ供給機
構１１を設けている。このチツプ供給機構１１
は、チツプ３が載置された支持テーブル１２を接
着位置Ａの直下位置まで移動させた後、該支持テ
ーブル１２を所定高さ位置まで上昇させ、それに
よつて上記チツプ３を接着部２ａに極めて近接し
た位置に位置させることができるようになつてい
る。このようなチツプ供給機構１１は従来既に公
知なので、その具体的な説明は省略する。

上記接着位置Ａの上方にはビデオカメラ１３を
設置してあり、該ビデオカメラ１３によつてテー
プ２のリード線２ｂとチツプ３とが相互に正しい
位置に位置しているかをモニタ１４に映し出して
確認できるようになつている。もしリード線２ｂ
とチツプ３の接触部３ａとがずれている場合に
は、作業者は図示しない操作レバーを操作するこ
とによつて、上記チツプ３を支持した支持テーブ
ル１２を水平面内で移動させ、それによつてリー
ド線２ｂとチツプ３とを正しい位置に位置調節す
ることができるようになつている。

さらに、上記接着位置Ａの上方でビデオカメラ
１３の下方位置に駆動機構１５によつて作動され
るボンデイングツール１６を設けている。このボ
ンデイングツール１６は、上記駆動機構１５によ
り、ビデオカメラ１３によるリード線２ｂとチツ
プ３との位置検査の際には接着位置Ａの直上位置
から後退されており、ビデオカメラ１３による検
査が終了すると接着位置Ａの直上位置に前進さ
れ、さらに降下されて接着部２ａのリード線２ｂ
を上記支持テーブル１２に支持されたチツプ３に
圧着させるようになつている（第３図、第４図参
照）。

このボンデイングツール１６には図示しないヒ
ータを設けてあり、当該ヒータの熱でリード線２
ｂを加熱することによつてチツプ３の各接触部３
ａにそれぞれリード線２ｂを接着することができ
るようになつている。

このようにしてリード線２ｂにチツプ３を接着
したら、ボンデイングツール１６は上記駆動機構
１５により上昇されるとともに元の位置まで後退
され、またテープ２が１ピツチ前進されて新たな
接着部２ａが接着位置Ａに搬入されるとともに、
チツプ供給機構１１によつて新たなチツプ３が接
着位置Ａに搬入されて同様な作動が繰返される。

他方、チツプ３が接着された各接着部２ａは、
上記スプロケツト４の回転に伴つて順次切断機構
１７側に移送され、この切断機構１７は接着が完
了した接着部２ａが例えば４つ通過したら、テー
プ２を切断するようになつている。そして所定位
置で切断された短冊状のテープ２は順次マガジン
１８内に収納されるようになつている。

然して上記駆動機構１５は、第５図に示すよう
に、直列に接続した２つのエアシリンダ２１，２
２を備えており、このエアシリンダ２１，２２は
可動フレーム２３に取付けている。この可動フレ
ーム２３には昇降ブロツク２４を昇降自在に取付
けてあり、この昇降ブロツク２４に上記ボンデイ
ングツール１６を取付けている。そして上記２つ
のエアシリンダ２１，２２の各ピストン２５，２
６を連結する共通のピストンロツド２７を上記昇
降ブロツク２４に連動させ、かつ引張りばね２８
により通常は昇降ブロツク２４を上昇端位置に保
持させている。

上記可動フレーム２３は図示しないシリンダ装
置によつて進退動され、それによつて上記ボンデ
イングツール１６を上述した接着位置Ａの直上位
置とこれから後退させた位置とに移動させ、また
上記エアシリンダ２１，２２は昇降ブロツク２４
およびボンデイングツール１６を降下させて圧着
を行なわせ、また上記引張りばね２８はその圧着
後に昇降ブロツク２４、ボンデイングツール１６
並びにエアシリンダ２１，２２の各ピストン２
５，２６を上昇させるようになる。

上記各エアシリンダ２１，２２はそれぞれ分岐
管３１，３２を介して共通のレギユレータ３３に
接続してあり、こんレギユレータ３３を圧縮空気
の供給源３４に接続している。また上記分岐管３
１，３２に電磁開閉弁３５，３６を設けてあり、
各開閉弁３５，３６の消勢時に各エアシリンダ２
１，２２とレギユレータ３３との連通を遮断する
とともに各エアシリンダ２１，２２を大気に連通
させ、また各開閉弁３５，３６の励磁時に各エア
シリンダ２１，２２とレギユレータ３３とを連通
させることができるようにしている。

上記レギユレータ３３は各エアシリンダ２１，
２２に供給するエア圧を手動または電動によつて
調整することができるようになつており、各エア
シリンダ２１，２２に最大圧力を供給した際に、
各エアシリンダ２１，２２の最大出力が例えばそ
れぞれ25Kgとなるように設定している。

以上の構成において、500本のリード線のそれ
ぞれを100gで加圧する場合には、レギユレータ
３３による調整圧力を最大値に設定し、各エアシ
リンダ２１，２２の合計出力を50Kgとする。

この状態において、上記供給リール６から引き
出されたテープ２の接着部２ａが上述した接着位
置Ａで停止され、またチツプ供給機構１１によつ
て支持テーブル１２に載置されたチツプ３が上記
接着位置Ａに供給されると、ビデオカメラ１３と
モニタ１４とによつてテープ２のリード線２ｂと
チツプ３とが相互に正しい位置に位置しているか
が検査される。この際には前述したように、ボン
デイングツール１６は駆動機構１５によつて後退
端に位置されている。

上記テープ２のリード線２ｂとチツプ３とが相
互に正しい位置に位置していることが確認され、
あるいは正しい位置に位置されると、上記駆動機
構１５によつてボンデイングツール１６が接着位
置Ａの直上位置まで前進される。そしてこの状態
となると、上記駆動機構１５の一部を構成するエ
アシリンダ２１，２２の開閉弁３５，３６が励磁
されるので、レギユレータ３３からの圧縮空気が
各エアシリンダ２１，２２に供給され、エアシリ
ンダ２１，２２のピストンロツド２７が引張りば
ね２８に抗して昇降ブロツク２４およびボンデイ
ングツール１６を降下させて圧着を行なわせる。

この際、エアシリンダ２１，２２の合計出力は
50Kgであり、またリード線の本数は500本である
ので、各リード線をそれぞれ100gで加圧するこ
とができる。またレギユレータの最大圧力時にお
ける最大誤差を１％とすると、１つのエアシリン
ダあたりの最大誤差は、250gであり、したがつ
て両方のエアシリンダ２１，２２の合計の最大誤
差が500gとなるので、１本のリード線に対する
最大誤差は1gとなる。

上記ボンデイングツール１６による圧着が終了
すると、上記開閉弁３５，３６が消勢されて各エ
アシリンダ２１，２２が大気に連通されるので、
昇降ブロツク２４およびボンデイングツール１６
が引張りばね２８によつて元の上昇端位置まで上
昇され、引き続き駆動機構１５により元の後退端
まで後退される。そしてボンデイングツール１６
が上昇端位置に復帰されると、ステツピングモー
タ５が起動されて次の接着部２ａが接着位置Ａに
搬入され、以後同様な作動が繰返される。

次に、200本のリード線のそれぞれを100gで加
圧する場合には、レギユレータ３３による調整圧
力を調整して、一方のエアシリンダ２１によつて
得られる出力を20Kgに設定する。そして上記昇
降ブロツク２４およびボンデイングツール１６を
降下させて圧着を行なわせる際には、一方の開閉
弁３５のみを励磁して一方のエアシリンダ２１の
みをレギユレータ３３に連通させ、他方の開閉弁
３６は閉じておく。

この場合には、200本のリード線に対して一方
のエアシリンダ２１によつて得られる出力が
20Kgなので各リード線をそれぞれ100gで加圧す
ることができ、また当該エアシリンダ２１の最大
誤差が250gなので、１本のリード線に対する最
大誤差は1.25gとなる。

なお、上記実施例では同一出力のエアシリンダ
２１，２２を直列に２つ接続しているが、これに
限定されるものではなく、エアシリンダの出力を
異ならせても、エアシリンダを３つ以上設けて
も、あるいは並列に接続するようにしてもよい。

「考案の効果」 以上のように、本考案によれば、リード線の本
数を異ならせた場合に各リード線に対する加圧力
の誤差を従来に比較して可及的に小さくすること
ができ、したがつてリード線とチツプとの圧着状
態を実質的に一定の良好な状態に維持することが
でき、接着不良が発生する危険性を低減すること
ができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す正面図、第２
図は第１図の平面図、第３図は第１図の要部の拡
大図、第４図は第１図の要部の斜視図、第５図は
エアシリンダ２１，２２の配管系統を示す部分断
面系統図である。 １……ボンデイング装置、２……テープ、２ａ
……接着部、２ｂ……リード線、３……チツプ、
１０……制御装置、１６……ボンデイングツー
ル、３１，３２……分岐管、２１，２２……エア
シリンダ、３３……レギユレータ、３４……供給
源、３５，３６……開閉弁。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 昇降自在に設けたボンデイングツールと、この
   ボンデイングツールを押下げるエアシリンダと、
   上記エアシリンダに供給するエア圧を調整するレ
   ギユレータとを備え、上記エアシリンダにエア圧
   を導入して上記ボンデイングツールを降下させ、
   上記エア圧に応じた加圧力でチツプとリード線と
   を相互に圧着させるようにしたボンデイング装置
   において、 上記エアシリンダを複数個設けて各エアシリン
   ダを上記ボンデイングツールに連動させるととも
   に、上記レギユレータを分岐管を介してそれぞれ
   のエアシリンダに連通させ、さらに上記分岐管に
   開閉弁を設けたことを特徴とするボンデイング装
   置の加圧装置。