JPH0536273Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はインライン式カセツトツーカセツト方
式のスパツタリング装置に関する。

従来の技術 この種のスパツタリング装置にあつては、複数
枚のウエハーが収められたウエハー収納ケースを
予備加熱室（ローデイング室）にセツトするだけ
で、その後は予備加熱室に設けてある搬送機構に
よりウエハー収納ケースからウエハーを自動的に
取り出すとともに、取り出されたウエハーをスパ
ツタリング室に搬送するような基本構成となつて
いるが、かかる搬送機構としては、歩留り向上の
観点から、従来のベルト方式からリンクアーム方
式に取つて代わる傾向にある。

第３図は従来のスパツタリング装置の説明図で
あつて、ローデイング室の内部の様子を示す斜視
図である。

そこでは、ローデイング室の外下面に図外のシ
リンダ・ロツド機構が設けられており、底板７０
を貫通したロツド３１の先端にはウエハー収納ケ
ース２０を着脱可能に載置する移動載置台３２が
連結してあり、これでウエハー収納ケース２０を
ローデイング室の内部にて上下移動可能としてい
る。なお、このウエハー収納ケース２０は複数枚
のウエハー２１１を収納する開口挿入スリツト２
１で仕切られている。

しかもローデイング室の内部には先端にウエハ
ー受け皿１１を有するアーム機構１０が設けられ
ており、ウエハー受け皿１１をウエハー収納ケー
ス２０に開設してある受け皿挿通口２２を介して
下方から開口挿入スリツト２１に挿入する一方、
ウエハー収納ケース２０を下方に移動せしめ、こ
れでウエハー２１１をすくい上げるようにして下
段から順次取り出し、取り出したウエハー２１１
をローデイング室の隣である図外のスパツタリン
グ室を順次搬送するようになつている。

考案が解決しようとする問題点 しかしながら、上記従来例による場合には、ウ
エハー２１１が開口挿入スリツト２１に対して適
正位置になければ、ウエハー２１１をウエハー受
け皿１１に受け止めすることができず、最悪の場
合にはウエハー２１１を引つ掛けて落下させてし
まいこれが破損する虞れもある。つまりローデイ
ング室を開いてウエハー収納ケース２０を交換す
る状態では、ウエハー収納ケース２０に収められ
たウエハー２１１の全てが適正位置にあるとして
も、ウエハー収納ケース２０を下方移動する際に
発生する振動でウエハー２１１が適正位置よりず
れてしまうのである。これらの不都合はスパツタ
リング装置の製造効率の向上を図る上で障害とな
るのは勿論のこと自動化を推進する上でも問題と
なつている。

本考案は上記事情に鑑みて創案されたものであ
り、ウエハー収納ケースに収められたウエハーを
適正位置に自動復帰させるようにしてあるスパツ
タリング装置を提供することを目的とする。

問題点を解決するための手段 本考案にかかるスパツタリング装置は、ウエハ
ーの位置ずれを修正する位置合せレバーと、ウエ
ハーを取り出す前の状態にあつてはウエハー収納
ケースに対する正面位置に位置合せレバーを移動
させてウエハーの飛び出し側面に当接せしめ、一
方ウエハーの取り出し又は搬送状態にあつてはウ
エハー受け皿に対する退避位置に位置合せレバー
を移動せしめる位置合せレバー駆動機構とを具備
している。

作 用 位置合せレバーが開口挿入スリツトに対して位
置ずれしているウエハーの飛び出し側面に当接す
ることで、このウエハーが適正位置に押し戻され
ることになる。

実施例 以下、本考案にかかるスパツタリング装置の一
実施例を図面を参照して説明する。第１図はスパ
ツタリング装置におけるローデイング室の内部の
様子を示す斜視図である。

ここに掲げるスパツタリング装置は、合計10枚
のウエハー２１１ａ〜２１１ｊが収められたウエ
ハー収納ケース２０をローデイング室に設けられ
ている移動載置台３２にセツトするだけで、その
後はローデイング室に備えられているアーム機構
１０によりウエハー２１１ａ〜２１１ｊをウエハ
ー収納ケース２０から取り出すとともに、取り出
されたウエハー２１１をローデイング室の隣であ
る図外の（ここにはスパツタ用電極が備えられて
いる）スパツタリング室に順次自動搬送し、ここ
でウエハー２１１ａ〜２１１ｊのスパツタリング
が行われるような基本構成となつている。更に詳
しく説明すると、図示するローデイング室は、ウ
エハー２１１ａ〜２１１ｊをウエハー収納ケース
２０ごと予備加熱するチヤンバーであつて、これ
には開閉扉（図示せず）が設けられており、ロー
デイング室を大気圧雰囲気に戻した状態で開閉扉
を開け、そこで空になつたウエハー収納ケース２
０を新たなウエハー収納ケース２０に交換し、そ
して開閉扉を閉じた後にローデイング室の内部空
気を排気せしめ、この圧力がスパツタリング室と
同等に達すれば、アーム機構１０を伸張させて、
新たなウエハー収納ケース２０から再びウエハー
２１１ａ〜２１１ｊを取り出し、そしてスパツタ
リング室に順次搬送するようになつている。な
お、ウエハー収納ケース２０にはウエハー２１１
ａ〜２１１ｊを夫々収める開口挿入スリツト２１
ａ〜２１ｊが開設されており、しかもウエハー収
納ケース２０を左面から上下にかけて切欠いて、
これを後述するウエハー受け皿１１の外寸法より
若干大きい受け皿挿通口２２としてある。但し、
このウエハー２１１ａ〜２１１ｊの開口挿入スリ
ツト２１ａ〜２１ｊに対する適正位置とは、これ
がウエハー収納ケース２０の内側壁に当接する状
態にあることを意味している。

このローデイング室の外部下面には図外のシリ
ンダ・ロツド機構を設けてあり、しかも底板７０
を貫通したロツド３１の先端にはウエハー収納ケ
ース２０を着脱自在に載置する移動載置台３２を
連結せしめて、これでウエハー収納ケース２０を
ローデイング室の内部にて上下移動可能としてあ
る。

またローデイング室の内部には、先端にウエハ
ー受け皿１１を有するアーム機構１０が設けられ
ている。かかるアーム機構１０は図示されていな
いがリンク機構を主構成としており、ウエハー受
け皿１１をウエハー収納ケース２０の載置位置か
らスパツタリング室の内部位置にまで移動せしめ
るような構成となつている。なお、このウエハー
受け皿１１の横幅寸法は円盤形のウエハー２１１
の径寸法よりも小さく、しかもこの上面にはウエ
ハー２１１を受け止める凹部１１１が設けられて
いる。

更にローデイング室の内部には、位置合せレバ
ー４０を回動自在に移動せしめる位置合せレバー
駆動機構５０が設けられている。以下、この位置
合せレバー駆動機構５０の詳細について説明す
る。

ローデイング室の底板７０に軸支されている回
転軸５１には、先端に位置合せレバー４０を有す
るアーム５２が固着されており、アーム５２の先
端下面にシリンダ・ロツド機構（ロツド５４のみ
が図示されている）を連結して、これで位置合せ
レバー４０が回転軸５１の回りで回動自在として
ある。即ち、ロツド５４が伸張されれば、位置合
せレバー４０の先端エツジ部がウエハー２１１ｊ
の開口側エツジ部に当接する状態に置かれる一
方、ロツド５４が伸縮されれば、一連の動作を行
うアーム機構ウエハー受け皿１１等が位置合せレ
バー４０に接触しないような退避状態に置かれ
る。

更に詳しく説明すると、アーム５２の先端部に
Ｌアングル部材５３を挟み込んで固着されている
位置合せレバー４０は、Ｌアングル部材５３に軸
支されたシヤフト５３２を回転軸として揺動可能
となつており、位置合せレバー４０のエツジ部が
Ｌアングル部材５３の上方に固着されている受け
止め板５３１に当接することで位置規制され、し
かもシヤフト５３２に取り付けてあるクツシヨン
バネ５３３により受け止め板５３１に常時付勢す
るようになつている。つまりこのクツシヨンバネ
５３３は、位置合せレバー４０の先端エツジ部が
ウエハー２１１ｊの開口側エツジ部に当接する際
の衝撃を抑止する役目を果たすことになる。

なお、６０ａ，６０ｂは一対の透過型の光電セ
ンサであつて、位置合せレバー４０がウエハー２
１１ｊの開口側エツジ部に当接する状態では、位
置合せレバー４０により照射光が遮蔽されるよう
な位置に置かれている。

次に上記のように構成されたスパツタリング装
置でウエハー収納ケース２０に収納されたウエハ
ー２１１ａ〜２１１ｊを適正位置に自動修正でき
る原理について説明する。なお、ローデイング室
に備えられた移動載置台３２にウエハー収納ケー
ス２０をセツトした状態では、これに収められて
いる全てのウエハー２１１ａ〜２１１ｊは適正位
置からずれていると仮定する。

まず退避状態にある位置合せレバー４０を回動
させると、当接されたウエハー２１１ｊが押され
るとともに、ウエハー２１１ｊの開口反対側エツ
ジ部がウエハー収納ケース２０の内側壁で位置規
制されて、これでウエハー２１１ｊが適正位置に
戻されることになる。その後、位置合せレバー４
０を退避状態に再び戻し、この状態でアーム機構
１０を伸張させてウエハー受け皿１１を受け皿挿
入口２２の最下部に挿入せしめる。そして移動載
置台３２を開口挿入スリツト２１の間隔分だけ下
げると、適正位置に修正されたウエハー２１１ｊ
がウエハー受け皿１１の凹部１１１に嵌り込みこ
とになり、この状態でアーム機構１０を伸縮させ
ると、これでウエハー２１１ｊの取り出しが完了
する。

その後ウエハー２１１ｊの搬送が完了すれば、
再び退避状態にあつた位置合せレバー４０を回動
させて、今度はウエハー２１１ｊの上段のウエハ
ー２１１ｉの位置修正を行う。以下、同様の動作
を順次繰り返して、全てのウエハー２１１ａ〜２
１１ｉを取り出し、そしてスパツタリング室への
搬送を円滑に順次行うのである。

ところでウエハー収納ケース２０に収められて
いるウエハー２１１ａ〜２１１ｊの中で例えばウ
エハー２１１ｂが最初から無かつたと仮定する
と、ウエハー２１１ｂの位置修正を行うべく、位
置合せレバー４０を回動させても受け止められる
べきウエハー２１１ｂがないので、位置合せレバ
ー４０が行き過ぎることになる。つまり光電セン
サ６０ａ，６０ｂの検知結果によりウエハー収納
ケース２０に収められたウエハー２１１ａ〜２１
１ｊの有無が判定できることになる。

なお、本考案にかかるスパツタリング装置は上
記実施例に限定されず、位置合せレバー駆動機構
５０にあつては、第２図に示すように位置合せレ
バー４０の基端部を底板７０に設けた駆動ギア５
５に連結して、これで位置合せレバー４０を同様
にウエハー２１１ｊに当接せしめるような構成で
あつても構わず、また移動載置台３２を固定状態
にするとともに、アーム機構１０のウエハー受け
皿１１を上方に移動せしめて、ウエハー２１１を
すくい上げる如く取り出すようにしても構わな
い。

考案の効果 以上の本案スパツタリング装置による場合に
は、ウエハーを取り出す前の状態にて位置合せレ
バーがウエハーの飛び出し側面に当接せしめる構
成となつているので、ウエハー収納ケースに収め
られたウエハーを適正位置に自動修正できること
になる。それゆえ、装置自体の製造効率の向上を
図ることができることは勿論のこと自動化を推進
する上でも大きなメリツトを有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案にかかるスパツタリング装置の
一実施例の説明図であつて、ローデイング室の内
部の様子を示す斜視図、第２図はスパツタリング
装置の他の実施例の説明図であつて、ローデイン
グ室の内部の様子を示す斜視図、第３図は従来の
スパツタリング装置の説明図であつて、ローデイ
ング室の内部の様子を示す斜視図である。 １０……アーム機構、１１……ウエハー受け
皿、２０……ウエハー収納ケース、２１ａ〜２１
ｊ……開口挿入スリツト、２１１ａ〜２１１ｊ…
…ウエハー、４０……位置合せレバー、５０……
位置合せレバー駆動機構。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 先端に設けてあるウエハー受け皿をウエハー搬
   入位置に配置したウエハー収納ケースの開口挿入
   スリツトに挿入して収納されたウエハーをすくい
   上げて取り出すとともに、取り出されたウエハー
   をスパツタ用電極の配置方向に順次搬送するアー
   ム機構を備えるスパツタリング装置において、前
   記ウエハーの位置ずれを修正する位置合せレバー
   と、前記ウエハーを取り出す前の状態にあつては
   前記ウエハー収納ケースに対する正面位置に前記
   位置合せレバーを移動させて前記ウエハーの飛び
   出し側面に当接せしめ、一方前記ウエハーを取り
   出し又は搬送する状態にあつては前記ウエハー受
   け皿に対する退避位置に前記位置合せレバーを移
   動せしめる位置合せレバー駆動機構とを具備する
   ことを特徴とするスパツタリング装置。