JPH0536579A

JPH0536579A - 自動処理装置

Info

Publication number: JPH0536579A
Application number: JP3188468A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiko Okamoto; 好彦岡本; Yukinobu Shibata; 幸延柴田; Ikuo Takada; 郁夫高田
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1991-07-29
Filing date: 1991-07-29
Publication date: 1993-02-12

Abstract

(57)【要約】【目的】制御の入出力画面を複数種類備えると共にそ
の各々に対応する操作用入力スイッチを複数種類備え、
これらを装置の習熟度などに応じて一部または全部を切
り替え或いは変更することで、オペレータの個人差を排
除し、装置の操作エラーを無くせるようにする。【構成】被制御装置１を制御するための制御プログラ
ムを格納する制御ファイル２と、被制御装置１の処理状
態を出力すると共に被制御装置１の処理内容を指定する
入出力装置４とを備え、前記制御プログラムに基づいて
ＣＰＵ３により被制御装置１を制御可能な自動処理装置
であって、その処理状態に対応して異なる内容の表示画
面を入出力装置４へ出力し、また前記各表示画面の内容
に対応して設けられる複数種類の操作用入力スイッチを
設け、入出力装置４へ出力される前記表示画面の内容に
対応して前記操作用入力スイッチの一部または全部の切
り替え或いは変更を行うようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は作業の自動化を促進する
ための処理技術、特に、被制御機器を外部からプログラ
ミングで制御すると共にその制御内容に応じてオペレー
タに適切な指示を行うために用いて効果のある技術に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体装置の製造においては、
細く絞ったイオンビ−ムを半導体ウェハに照射すること
により、半導体ウェハのプロセス処理を行なう装置が用
いられている。これが、ＦＩＢ（集束イオンビーム露
光：Focused Ion Beam）装置である。この種のＦＩＢ装
置の詳細に関しては、例えば、ＳＰＩＥ vol.６３２
「エレクトロンビーム，Ｘレイ，アンドイオンビーム
テクニックフォアサブマイクロメータリソグラフ
ィーズ(Electron-Beam, X-Ray, & Ion-BeamTechnique F
or Submicrometer Lithogrghies )」Ｖ（１９８６），
８５〜９２頁に記載されている。

【０００３】この文献に記載されているＦＩＢ装置は、
主に、制御ファイル、入出力装置、中央処理装置、処理
チャンバの夫々から構成されている。前記制御ファイ
ル、入出力装置、中央処理装置および処理チャンバ制御
インターフェイスは、制御部を構成する。ここで、制御
ファイルは、種々のパターン加工データを格納する。こ
のパターン加工データは、後述するように、制御内容、
条件データから構成されている。入力装置は、複数のパ
ターン加工データのうちから、所定のパターン加工デー
タを指定するために設けられている。つまり、処理チャ
ンバ内に搭載する半導体ウェハおよび工程毎に、パター
ン加工データを変更し、指定する。中央処理装置は、入
力装置からの指示に基づき、制御ファイルからパターン
加工データを読み込み、この読み込んだパターン加工デ
ータに基づいて処理チャンバで処理を制御する。また出
力装置は処理チャンバでの処理状況及び入力データの内
容を出力する。

【０００４】次に、前記文献に記載されているパターン
加工データの構造を説明する。イオンビームを半導体ウ
ェハの指定箇所へ指定量だけ照射するためのデータ構造
は、図８に示すように、最小単位を１／１０００（μ
ｍ）として、Ｘ座標、Ｙ座標を連続した６４ビット（ｂ
ｉｔ）を用いて表示することにより構成されている。Ｘ
座標、Ｙ座標は、それぞれ３２ビットづつを用いて表示
される。

【０００５】なお、図８の第１欄〜第８欄には、特定す
るためのコードや加工幅、ドーズ量などの加工条件がビ
ット対応で登録されている。このように、前記ＦＩＢ装
置のパターン加工データは、データ構造の組合せと処理
する半導体ウェハに関する情報から構成されている。前
記半導体ウェハに関する情報は、半導体チップのサイ
ズ、半導体チップ上の位置合わせマーク座標などから構
成されている。

【０００６】このように、前記したＦＩＢ装置のパター
ン加工データを構成することにより、半導体集積回路の
設計者が必要とする種々のプロセスの処理条件の指定が
可能になる。

【０００７】一方、前記のＦＩＢ装置は、オペレータに
よって操作される。オペレータは、工務計画表に基づい
て種々の操作を実行する。この工務計画表には、例え
ば、各半導体ウェハに対応した処理工程毎に描画すべき
パターンデータの種別、処理チャンバ内へ搭載し、所定
時刻に描画すべき半導体ウェハの種別などが記載されて
いる。オペレータは送られてきた半導体ウェハの種別、
完了した処理工程を判断し、工務計画表に基づいてその
段階で必要な処理を入力装置から指定する。

【０００８】また、これらのオペレータの操作、つまり
工務計画表の内容を指定や半導体集積回路の専門知識を
前提として、各半導体ウェハに対応した処理の条件の指
定、イオンビーム装置の調整条件の指定に関しても入力
装置から行なう。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記文献に
記載された従来技術には、以下の問題があることを本発
明者は見出した。

【００１０】すなわち、前記のＦＩＢ装置の場合には、
入力装置から入力すべき情報は、処理チャンバでの処理
に関するものの他に工務計画表の内容を指定や半導体集
積回路の専門知識を前提とした各半導体ウェハに対応し
た処理の条件の指定、イオンビーム装置の調整条件の指
定などがある。つまり、装置のオペレータとしては、入
力装置を用いて、半導体ウェハ処理のための一定の単純
操作だけでなく、場合によっては、種々の専門知識が必
要となる。

【００１１】また、前記ＦＩＢ装置は、従来、複数の制
御用モニタを備え、その制御のための複雑な操作用入力
スイッチを備えている。この装置を複数の人が使う場
合、操作エラーを少なくすることが困難になる。特に、
特定の操作だけを行うことが多い半導体装置を処理する
場合には、操作エラーの要因になる。従来装置のように
複雑な操作ができるようにしてあると、オペレータが装
置の操作を誤ることが多くなる。半導体装置などの製造
装置や検査装置においては、この種の操作エラーは許さ
れないにもかかわらず、発生頻度が比較的高く、重要な
課題となっている。すなわち、操作エラーが発生しない
ようにすることが要求される。

【００１２】そこで、本発明の目的は、操作者の習熟度
にかかわらず操作エラーを低減することのできる技術を
提供することにある。

【００１３】本発明の上記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本願に於いて開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記の通りである。

【００１５】すなわち、被制御装置を制御するための制
御プログラムを格納する制御ファイルと、前記被制御装
置の処理状態を出力する出力装置と、前記被制御装置の
処理内容を指定する入力装置とを備え、前記制御プログ
ラムに基づいて中央処理装置により前記被制御装置を制
御可能な自動処理装置において、その処理状態に対応し
て異なる内容の表示画面を前記出力装置へ出力する表示
手段と、前記各表示画面の内容に対応して設けられる複
数種類の操作用入力スイッチと、前記出力装置へ出力さ
れる前記表示画面の内容に対応して前記操作用入力スイ
ッチの一部または全部の切り替え或いは変更を行う制御
手段とを設けるようにしている。

【００１６】

【作用】上記した手段によれば、自動処理装置を使う人
の習熟度、装置の安定度、被製造試料または被検査試料
の仕様などに応じて前記出力画面とそれに対応した操作
用入力スイッチの一部または全部が切り替え或いは変更
するように制御される。

【００１７】例えば、装置を使う人の習熟度に応じて、
その出力画面要素と操作用入力スイッチ要素を３段階程
度に分類して分け、装置の操作範囲と出力画面内容を設
定し、変更が行われる。それによって、装置の操作エラ
ーを極めて少なくすることができる。すなわち、装置を
使う人の習熟度が向上するのに応じて、前記の出力画面
要素と操作用入力スイッチ要素の組合せを変更すること
で、操作エラーを無くすることが可能になる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。なお、本発明の実施例を示す各図においては、
同一機能を有するものには同一符号を用いたので、重複
する説明は省略する。また、以下においては、本発明を
電子線露光装置に適用した例を示している。

【００１９】図１は本発明の一実施例を示すブロック図
である。

【００２０】本実施例の電子線露光装置は、被制御装置
（例えば、処理チャンバ）１、制御ファイル２（例え
ば、集積回路パターンなどのデータ）、中央処理装置
（例えば、ワークステーションを用いるが、以下におい
てはＣＰＵと表記する）３、入出力装置（例えば、入力
関係ではキーボードやマウス、出力関係はＣＲＴなどに
よる表示装置）４、記憶装置５、システムバス６（例え
ば、イーサバス）、汎用Ｉ／Ｏインターフェイス７、制
御用Ｉ／Ｏインターフェイス８（例えば、真空機器、ウ
ェハ台駆動機構などの駆動制御用）、及び通信用Ｉ／Ｏ
インターフェイス９（専用回線、電話線を通しての外部
との通信用）の夫々から構成されている。

【００２１】なお、制御ファイル２、ＣＰＵ３、入出力
装置４、記憶装置５、システムバス６、複数の制御用Ｉ
／Ｏインターフェイス８、通信用Ｉ／Ｏインターフェイ
ス９の夫々によって制御部が構成される。制御ファイル
２、記憶装置５、汎用Ｉ／Ｏインターフェイス７及び制
御用Ｉ／Ｏインターフェイス８の各々と、ＣＰＵ３とは
システムバス６を介して接続される。また、制御用Ｉ／
Ｏインターフェイス８の各々には被制御装置１が接続さ
れる。

【００２２】制御ファイル２には、被制御装置１での処
理内容を規定する描画データ（パターンデータ、露光位
置データ、露光条件データなどを含むデータ）が、複数
格納されている。ＣＰＵ３には、汎用Ｉ／Ｏインターフ
ェイス７、システムバス６を介して、入出力装置４から
の入力が入力される。このＣＰＵ３は、入出力装置４か
らの入力に対応して、制御ファイル２からシステムバス
６を介して描画データを読み込む。そして、この描画デ
ータに基づいて、システムバス６、制御用Ｉ／Ｏインタ
ーフェイス８を介して、被制御装置１を制御する。この
ＣＰＵ３は、被制御装置１での処理状態をシステムバス
６、汎用Ｉ／Ｏインターフェイス７を介して、入出力装
置４に出力する。入出力装置４に出力される情報は、例
えば、ＣＲＴに表示される画像および文字である。従っ
て、オペレータは、この画像および文字情報を認識する
ことにより、被制御装置１での処理状態を確認すること
ができる。また、このＣＰＵ３は、マルチタスク処理が
可能であり、被制御装置１を制御しながら、上記の入出
力処理を行うことができる。

【００２３】入出力装置４は、例えば、キーボード、マ
ウスなどの入力装置、ＣＲＴなどの出力装置から構成さ
れている。この出力装置には、各表示内容に対応した操
作用スイッチがＣＲＴ画面上に設置（表示画面の読み取
りに影響を与えないような透明な部材で構成され、その
出力が入出力装置４に取り込まれる）されている。ま
た、記憶装置５は、システムバス６を介してＣＰＵ３に
接続されている。この記憶装置５には、装置を使う人の
習熟度、装置の安定度、半導体ウェハの仕様などに応じ
て出力画面情報とそれに対応した操作用入力スイッチの
一部または全部を切り替える情報が記憶されている。こ
の記憶装置５は、例えば、半導体メモリで構成されてい
る。

【００２４】ＣＰＵ３の制御プログラムは、被制御装置
１の処理状態に対応して、記憶装置５に記憶されている
情報をシステムバス６を介してＣＰＵ３へ読み込み、こ
の読み込んだ情報を入出力装置４に出力する。また、記
憶装置５に記憶されている情報に従って、入出力装置４
から入力した情報は、システムバス６を介してＣＰＵ３
に読み込まれ、被制御装置１の処理内容を規定する。す
なわち、この制御プログラムは、記憶装置５に記憶され
ている複数の出力画面情報およびそれに対応した操作用
入力スイッチ情報をファイル化して、これを自由に選択
する機能を付加してある。

【００２５】上記の機能によって、例えば、装置を使う
人の習熟度に応じて、その出力画面要素と操作用入力ス
イッチ要素を３段階程度に分類して分け、装置の操作範
囲と出力画面内容を設定し、変更できるようにすること
ができる。装置を使う人の習熟度が向上するのに応じ
て、前記の出力画面要素と操作用入力スイッチ要素の組
合せを変更することで、操作エラーはなくなる。前記の
３段階程度の分類は、装置を使う人について分類した場
合、半導体製造ラインのオペレータ、プロセスエンジニ
ア、装置の保守サービスマンに大別することができるか
らである。前記機能により、夫々に最適な被制御装置１
の制御画面と入力スイッチを持つ装置とすることができ
る。また、前記の３段階程度に分類した出力画面と操作
用入力スイッチの内容は、装置のオペレータの習熟度に
応じて変え、さらに複雑な操作ができるようにすること
ができる。

【００２６】図２は本発明の実施例の電子線露光の為の
全体制御ファイルの構成を示すファイル構成図である。

【００２７】図２に示すように、被制御装置１を制御す
るための描画データの制御ファイル、入出力装置の制御
ファイル及び条件分岐などを示すコマンド列から構成さ
れている。なお、入出力装置の制御ファイル及び条件分
岐は図１の記憶装置５に記憶されている。

【００２８】制御ファイルの指定は、被制御装置１の制
御を行なうためのファイル、すなわち複数の描画データ
の内から所定の描画データを指定して半導体ウェハ上に
集積回路パターンを描画し、或いは描画装置の電子ビー
ム調整などの処理するためのプログラムの起動をかけ
る。また、制御条件指定は、入出力装置の制御条件を指
定する。すなわち、記憶装置５に記憶されている複数の
出力画面データファイルおよびそれに対応した操作用入
力スイッチデータファイルのうちどのデータファイルを
組合せて使うかを指定する。これによって、前記入出力
装置からの入出力と被制御装置１との相関づけを行な
う。さらに、条件分岐は、装置を使う人の習熟度、装置
の安定度、半導体ウェハの仕様に応じて、複数の出力画
面データファイルおよびこれに対応した操作用入力スイ
ッチデータファイルの内のどのデータファイルを使うか
を指定する。

【００２９】このように構成される画面制御用ファイル
は、データの作成を容易にし、かつデータの変更をしや
くするために、コンピュータ用プログラミング言語に類
似した階層的構造になっている。しかも、各ファイルを
構成するコマンド、データなどの各構成要素は、すべて
アスキー文字を用いて記述されている。この構成によれ
ば、オペレータによるファイルデータの変更が容易にな
り、かつ、オペレータはプログラミングに関する高度な
知識を必要としない。

【００３０】前記条件分岐は、例えば、ＩＦ、変数１、
判別式、変数２、制御条件指定１、ＥＬＳＥ、制御条件
指定２のフォ−マットとする。ここで、変数は、０乃至
９の数字列とする。また判別式は、算術演算で使われる
＝、＜、＞等を含めて記述する。

【００３１】前記の式において、変数１、判別式、変数
２が成立する場合には、制御条件指定１になる。したが
って、制御条件指定１で指定される入出力制御画面が出
力されると共に、制御条件指定１に従って入力が受付け
られ、被制御装置１が制御される。

【００３２】次に、オペレータの操作に対し被制御装置
１の制御をＣＰＵにより対応させる方法について、図３
のフローチャートを参照して説明する。

【００３３】図３に示すように、画面制御ファイルを読
み込み、装置を使う人の習熟度、装置の安定度、試料
（被製造物または被検査物）の仕様などに応じて、条件
分岐する。まず、画面制御ファイルの読み込みを行い
（ステップ３１）、読み込みが終了したら使う人の習熟
度、装置の安定度（例えば、ソース低下など）、試料
（被製造物または被検査物）の仕様（例えば、パターン
など）などに応じて条件分岐の判定を行う（ステップ３
２）。条件分岐が判定された場合、制御条件指定ｉが指
定され（ステップ３３）、これに従って入出力ｉの入力
が受付けられる（ステップ３４）。制御条件指定によ
り、前記出力画面とそれに対応した操作用入力スイッチ
の一部または全部を切り替え、変更した入出力とする。
また、入出力に従って制御ファイルの指定ｉ（すなわ
ち、入出力ファイルに対応した被制御装置１の制御コマ
ンドファイルの生成）が行われ（ステップ３５）、これ
に基づいて被制御装置１の制御ｉが実行される（ステッ
プ３６）。以下、同様にして指定内容ｊに関するステッ
プ３７〜４１が実行され、全ての条件分岐に対する処理
が終了すると（ステップ４２）、画面制御ファイルの読
み込み処理及び条件分岐の判定処理は終了する。

【００３４】図４、図５、図６及び図７は、本発明にお
ける電子線露光装置の制御に伴う制御画面の一例を示す
ものである。制御画面は複数の描画装置の状態を表示す
る領域と、複数の操作用スイッチ領域とに画面分割して
ある。

【００３５】図４は描画装置の運転状態の表示と付随す
る入力画面の一例である。表示画面内には、例えば、描
画装置のブロック図表示１０、ウェハカセット図表示１
１、描画条件などの情報表示１２、装置異常表示１３、
装置較正フロー図表示１４、ロット情報１５、入力条件
１６、ウェハの流れ表示１７、描画状態図表示１８、装
置制御情報表示１９、計算機情報表示２０、描画前準備
情報表示２１などが表示される。

【００３６】描画装置の処理状態は、状態表示領域に表
示される。状態表示は、オペレータ、装置の状態、試料
など、場合によっては種々異なったものとなる。基本的
には、全自動で描画することが可能であるので、異常の
有無が表示されれば十分になる場合もある。これは、描
画装置が安定稼働状態であって、描画したウェハを別の
検査装置などで確認することができれば、それで十分と
なる場合である。例えば、描画装置の状態を画面出力表
示するに際して、前記描画装置が異常停止などに至った
時に画面に警報ランプの図柄を表示し、黄色または赤色
の点灯（または点滅）する機能を備えることで、描画装
置の異常を容易に認識させることができる。

【００３７】描画装置のブロック図表示１０とウェハカ
セット図表示１１とを合わせて画面出力するに際して
は、ウェハカセット図表示１１の表示サイズをブロック
図表示１０と相対比較して２倍以上に大きく表示して処
理状態を表示し、内容を分かり易くしている。一方、描
画装置の電子ビームが安定していない場合、更に詳細な
描画装置の状態表示が必要となる。

【００３８】入力スイッチ領域は、通常、画面上に表示
された矢印をマウスなどの入力デバイスを用い、指定の
場所でボタンスイッチを押すことにより操作する。この
例のような制御画面では、通常、出力せず、操作範囲を
限定する。

【００３９】また、装置較正フロー図表示１４に表示さ
れる較正フローは、１週単位、一日単位、ロット単位、
ウェハ単位などで較正が行われる。すなわち、装置の安
定性に関して、安定な項目と不安定な項目とに分けて較
正を行うようにし、較正に要する時間を短縮している。

【００４０】図５は図４の一部を省いて拡大表示した表
示画面図である。すなわち、装置較正フロー図表示１４
を表示せず、その領域に描画装置のブロック図表示１０
を拡大して表示している。このように、拡大表示するこ
とで、装置の扱いに不慣れなオペレータにとっては、画
面表示が簡略化され、その分だけ操作エラーを少なくす
ることができる。

【００４１】図６は描画装置の電子ビームカラムをマニ
ュアル調整する際に表示される制御画面図である。

【００４２】この画面の装置調整のためのスイッチ表示
２２は、夫々マスキングできるようにしてある。これに
より、装置を使い慣れるにしたがって装置の調整範囲を
拡大した使い方が可能になる。

【００４３】図７は図６に示したＸ−Ｙステージのアイ
コンスイッチ２３を選択した時の制御画面の一例を示し
ており、中央部にステージビットマップ２４が表示され
る。

【００４４】このような表示により、Ｘ−Ｙステージを
任意の位置に移動させ、これを確認することが可能にな
る。

【００４５】以上、本発明を実施例に基づき具体的に説
明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものでは
なく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更可
能であることは言うまでもない。

【００４６】例えば、本実施例では、例として電子線露
光装置を示したが、本発明は他のコンピュータ制御可能
な自動処理装置に適用することもできる。

【００４７】また、本実施例では、ＣＰＵを一つで構成
した例を示したが、本発明は、例えば、入出力制御用の
ＣＰＵを別に設け、前記ＣＰＵでこれを統括して制御す
ることもできる。

【００４８】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００４９】すなわち、被制御装置を制御するための制
御プログラムを格納する制御ファイルと、前記被制御装
置の処理状態を出力する出力装置と、前記被制御装置の
処理内容を指定する入力装置とを備え、前記制御プログ
ラムに基づいて中央処理装置により前記被制御装置を制
御可能な自動処理装置において、その処理状態に対応し
て異なる内容の表示画面を前記出力装置へ出力する表示
手段と、前記各表示画面の内容に対応して設けられる複
数種類の操作用入力スイッチと、前記出力装置へ出力さ
れる前記表示画面の内容に対応して前記操作用入力スイ
ッチの一部または全部の切り替え或いは変更を行う制御
手段とを設けるようにしたので、装置の操作エラーを極
めて少なくすることができる。例えば、装置を使う人の
習熟度が向上するのに応じて、前記の出力画面要素と操
作用入力スイッチ要素の組合せを変更すれば、操作エラ
ーを無くすることも可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。

【図２】本発明の実施例の電子線露光の為の全体制御フ
ァイルの構成を示すファイル構成図である。

【図３】被制御装置の制御例を示すフローチャートであ
る。

【図４】描画装置の運転状態の表示と付随する入力画面
の一例を示す画面図である。

【図５】図４の一部を省いて拡大表示した表示画面図で
ある。

【図６】描画装置の電子ビームカラムをマニュアル調整
する際に表示される制御画面図である。

【図７】図６に示したＸ−Ｙステージのアイコンスイッ
チを選択した時の制御画面の一例を示す画面図である。

【図８】従来の電子線描画装置のファイル構成を示す説
明図である。

【符号の説明】

１被制御装置２制御ファイル３ＣＰＵ４入出力装置５記憶装置６システムバス７汎用Ｉ／Ｏインターフェイス８制御用Ｉ／Ｏインターフェイス９通信用Ｉ／Ｏインターフェイス１０描画装置のブロック図表示１１ウェハカセット図表示１２描画条件などの情報表示１３装置異常表示１４装置較正フロー図表示１５ロット情報１６入力条件１７ウェハの流れ表示１８描画状態図表示１９装置制御情報表示２０計算機情報表示２１描画前準備情報表示２２スイッチ表示２３アイコンスイッチ２４ステージビットマップ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被制御装置を制御するための制御プログ
ラムを格納する制御ファイルと、前記被制御装置の処理
状態を出力する出力装置と、前記被制御装置の処理内容
を指定する入力装置とを備え、前記制御プログラムに基
づいて中央処理装置により前記被制御装置を制御可能な
自動処理装置であって、その処理状態に対応して異なる
内容の表示画面を前記出力装置へ出力する表示手段と、
前記各表示画面の内容に対応して設けられる複数種類の
操作用入力スイッチと、前記出力装置へ出力される前記
表示画面の内容に対応して前記操作用入力スイッチの一
部または全部の切り替え或いは変更を行う制御手段とを
備えたことを特徴とする自動処理装置。
【請求項２】前記被制御装置の処理状態の画面出力処
理と処理内容指定の入力処理に伴う前記表示画面及びこ
れに対応した前記操作用入力スイッチの切り替え或いは
変更は、装置を使う人の習熟度、装置の安定度、製造ま
たは検査対象の試料の仕様などの内の少なくとも１つに
応じて行うことを特徴とする請求項１記載の自動処理装
置。
【請求項３】前記製造装置または検査装置の処理状態
の画面の出力処理及び処理内容の入力処理は、前記中央
処理装置またはこれとオンライン接続した他の中央処理
装置を介して前記入力装置からの入力及び前記出力装置
への出力を行なうことを特徴とする請求項１記載の自動
処理装置。
【請求項４】前記表示画面及びこれに対応した前記操
作用入力スイッチの切り替え或いは変更と共に、装置の
操作手順を変更する手段を備えることを特徴とする請求
項１記載の自動処理装置。
【請求項５】前記切り替え或いは変更を製造または検
査対象の試料の仕様に基づいて行うことを特徴とする請
求項４記載の自動処理装置。
【請求項６】前記自動処理装置が電子線描画装置であ
ることを特徴とする請求項１記載の自動処理装置。
【請求項７】被制御装置を制御するための制御プログ
ラムを格納する制御ファイルと、前記被制御装置の処理
状態を表示する表示装置と、前記被制御装置の処理内容
を指定する入力装置とを備え、前記制御プログラムに基
づいて中央処理装置により前記被制御装置を制御可能な
自動処理装置であって、該装置の構成ブロック図及び製
造または検査対象の試料の表示サイズを前記表示装置に
表示すると共に、前記試料の表示サイズを前記構成ブロ
ック図より大きくして表示することを特徴とする自動処
理装置。
【請求項８】被制御装置を制御するための制御プログ
ラムを格納する制御ファイルと、前記被制御装置の処理
状態を表示する表示装置と、前記被制御装置の処理内容
を指定する入力装置とを備え、前記制御プログラムに基
づいて中央処理装置により前記被制御装置を制御可能な
自動処理装置であって、前記処理状態を表示と共に、装
置の異常発生に対応して同一画面上に警報を意味する図
柄を表示することを特徴とする自動処理装置。
【請求項９】前記図柄は警戒色とし、これを連続点灯
または点滅させる表示手段を設けたことを特徴とする請
求項８記載の自動処理装置。