JPH0537280Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案はマイクロビームラインなどに使用さ
れる四極電磁石姿勢制御台に関する。

（従来の技術） マイクロビームラインでは、Mev級の高エネ
ルギービームをターケツト上にて直径で10μm以
下に絞ることが要求される場合、四極電磁石が使
用されることがある。その場合には四極電磁石に
微細な姿勢調整能力が要求される。

そのため従来では四極電磁石に脚を固定し、こ
れをボルトなどによつて移動するなどして、その
姿勢を調整するようにしている。

（考案が解決しようとする問題点） しかしこのような構成では、微細な姿勢調整を
期待することができなかつた。

この考案は簡単な構成によつて、四極電磁石の
姿勢を微細に調整可能とすることを目的とする。

（問題点を解決するための手段） この考案は、外側および内側の二つの金属環の
中央に四極電磁石を配置し、四極電磁石の左右に
固定された水平軸を、内側の金属環に支持し、ま
た内側の金属環の軸心と直交する垂直軸を、外側
の金属環に固定し、水平軸を水平面内において垂
直軸を中心として旋回させるためのマイクロメー
タを外側の金属環に設置し、四極電磁石をはさむ
ように垂直方向に沿つて配置されてあつて、四極
電磁石を水平軸を中心として回転させるためのマ
イクロメータを内側の金属環に設置したことを特
徴とする。

（作用） 内側の金属環はマイクロメータによる水平軸の
旋回によつて、垂直軸を中心として回転する。こ
れにより四極電磁石も同じように垂直軸を中心と
して回転する。また四極電磁石は別のマイクロメ
ータにより水平軸を中心として回転される。これ
により四極電磁石は水平方向ならびに鉛直方向
に、その姿勢が調整されるようになる。

（実施例） この考案の実施例を図によつて説明する。１は
四極電磁石で、４個の線輪２を備え、これによつ
て互いに向い合う４個の磁極が構成される。この
４個の磁極の中央にビームが入射される。これら
は従来の構成と特に相違するものではない。

３，４は外側および内側の金属環で、その中央
に四極電磁石１が配置される。具体的には四極電
磁石１の、正面から見て左右に水平軸５が固定さ
れている。水平軸５は軸受６を介して内側の金属
環４に固定されている。更にその先端は外側の金
属環３の窓７を通つて外側に導出されている。

四極電磁石１の、正面から見て上下にある垂直
軸８は、その外端が外側の金属環３に固定されて
あり、また内端は軸受９を介して内側の金属環４
に取り付けられてある。したがつて内側の金属環
４は垂直軸８を中心として回転自在となる。１０
はスペーサである。

各水平軸５をはさんでその両側に一対のマイク
ロメータ１１，１２が、水平方向に沿つて配置さ
れ、かつ金属環３に固定されている。また金属環
４の各端面の上下には、四極電磁石をはさむよう
に垂直方向に沿つて、一対のマイクロメータ１
３，１４が配置され、かつ金属環４に固定されて
いる。金属環３は脚１５につて台座１６に固定さ
れている。

以上の構成において、マイクロメータ１１，１
２を操作することによつて水平軸５を水平面内に
おいて旋回させると、金属環４が垂直軸８の軸心
を中心として回転し、これにともなつて四極電磁
石１も垂直軸８の軸心を中心として回転する。こ
れによりビームの軸に対して四極電磁石１の軸心
に水平方向の角度をつけることができるようにな
る。

またマイクロメータ１３，１４は、前記のよう
に四極電磁石１をはさむように垂直方向に沿つて
配置されてあるため、このマイクロメータ１３，
１４を操作すれば、四極電磁石１は水平軸５の軸
心を中心として回転する。これによつてビームの
軸に対して四極電磁石１の軸心に垂直方向の角度
をつけることができるようになる。

以上の結果各マイクロメータを組み合わせて操
作することにより、ビームの軸に対して四極電磁
石１の軸心を任意の角度にわたつてつけることが
できるようになる。しかもその調整はマイクロメ
ータを操作するだけでよいので簡単であるし、マ
イクロメータを使用しているので、微細な調整も
可能となる。

（考案の効果） 以上詳述したようにこの考案によれば、簡単な
構成によつて四極電磁石の姿勢を微細に調整する
ことができるといつた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例を示す平面図、第２
図は正面図、第３図は側面図である。 １……四極電磁石、３……外側の金属環、４…
…内側の金属環、５……水平軸、８……垂直軸、
１１〜１４……マイクロメータ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 外側および内側の二つの金属環の中央に四極電
   磁石を配置し、前記四極電磁石の左右に固定され
   た水平軸を、前記内側の金属環に支持し、また前
   記内側の金属環の軸心と直交する垂直軸を、前記
   外側の金属環に固定し、前記水平軸を水平面内に
   おいて前記垂直軸を中心として旋回させるための
   マイクロメータを前記外側の金属環に設置し、前
   記四極電磁石をはさむように垂直方向に沿つて配
   置されてあつて、前記四極電磁石を前記水平軸を
   中心として回転させるためのマイクロメータを前
   記内側の金属環に設置し、前記両マイクロメータ
   によつて、前記四極電磁石の中央に入射されるビ
   ームの軸に対する前記四極電磁石の軸心の傾斜角
   を水平および垂直方向に調整自在としてなる四極
   電磁石姿勢制御台。