JPH0538643A - Ｘ−ｙテーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 固定台上にＸ軸シリンダおよびＹ軸シリンダ
を固定することにより、移動テーブルの慣性重量が小さ
くなり、さらに、各シリンダに接続される配管が移動し
ないため配管の耐久性を向上できる。 【構成】 固定台１にＸ軸油圧シリンダ７を設け、その
ロッド７Ｃの先端には移動テーブルをＹ軸レール１５を
介してＸ軸方向に移動させるＹ軸ガイド部材１２を設け
る。また、固定台１にＹ軸油圧シリンダ９を設け、その
先端には固定板１６を有し、この固定板１６はスライダ
６と連結される。このスライダ６は固定台１に設けられ
た各Ｙ軸ガイドレール３に沿ってＹ軸方向に移動すると
共に、スライダ６に係合され、移動テーブルに固着され
た各Ｘ軸ガイドレール５をＹ軸方向に移動させる。これ
により、移動テーブルを任意の方向に移動させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、アクチュエータを用い
て移動テーブルをＸ軸，Ｙ軸方向に位置決めするＸ−Ｙ
テーブルに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、工作機械，プレス成形機，トラ
ンスファマシン，産業用ロボット等において、Ｘ軸，Ｙ
軸方向にワークを位置決めするため、電動式あるいは油
圧式Ｘ−Ｙテーブルが用いられている。

【０００３】従来のＸ−Ｙテーブルは、Ｘ軸方向にガイ
ド溝を有し、該Ｘ−ＹテーブルのベースとなるＸ軸テー
ブルと、該Ｘ軸テーブルのガイド溝に案内されて該Ｘ軸
テーブル上に可動に設けられ、Ｙ軸方向にガイド溝を有
するＹ軸テーブルと、該Ｙ軸テーブルのガイド溝に案内
されて該Ｙ軸テーブル上に可動に設けられた移動テーブ
ルと、Ｘ軸テーブルに設けられ、Ｙ軸テーブルをＸ軸方
向に摺動変位せしめるＸ軸アクチュエータ（Ｘ軸方向移
動機構）と、Ｙ軸テーブルに設けられ、移動テーブルを
Ｙ軸方向に摺動変位せしめるＹ軸アクチュエータ（Ｙ軸
方向移動機構）とから大略構成されている。

【０００４】そして、Ｘ軸，Ｙ軸アクチュエータとして
は電動サーボモータまたは油圧モータとボールねじを組
合せたロータリ式アクチュエータ、または復動式油圧シ
リンダを用いたアクチュエータが用いられる。

【０００５】このように構成されるＸ−Ｙテーブルにお
いてＸ軸方向の移動は、Ｘ軸アクチュエータを作動する
ことによって、Ｙ軸テーブル，移動テーブルを一体に動
かし、Ｙ軸方向の移動は、Ｙ軸アクチュエータを作動す
ることによって、移動テーブルを動かし、所望の位置に
位置決めするようになっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のＸ−Ｙテーブルにおいては、移動テーブルをＸ軸方
向に移動する場合、Ｙ軸テーブル全体を移動することに
より移動テーブルを目的位置に移動させるため、常にＸ
軸アクチュエータはＹ軸テーブルおよびＹ軸テーブル上
に設けられたＹ軸アクチュエータの全体を移動しなけれ
ばならず、大きな力が必要であった。

【０００７】また、Ｘ軸方向に移動する際の慣性重量が
大きいため、高速で高精度で制御を行なうことが不可能
であった。

【０００８】さらに、ベース（Ｘ軸テーブル）に対して
Ｙ軸アクチュエータを相対移動するため、Ｙ軸アクチュ
エータにつながる配線や配管等がＹ軸アクチュエータと
共にベース（Ｘ軸テーブル）上を動き、配線や配管等が
疲労により損傷することがあり、耐久性に問題があっ
た。

【０００９】本発明は上述した従来技術の問題に鑑みな
されたもので、本発明はベースにＸ軸アクチュエータと
Ｙ軸アクチュエータとを設けることにより、移動テーブ
ルとベースの２段で構成できるようにしたＸ−Ｙテーブ
ルを提供することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明が採用するＸ−Ｙテーブルは、ベース
と、該ベースの上方に配設された移動テーブルと、前記
ベースに固定されＸ軸方向に伸縮可能なロッドを有する
Ｘ軸アクチュエータと、前記ベースに固定され、該Ｘ軸
方向と略直角をなすＹ軸方向に伸縮可能なロッドを有す
るＹ軸アクチュエータと、前記移動テーブルあるいは前
記Ｘ軸アクチュエータのロッドのいずれか一方に設けら
れたＹ軸方向に伸びるＹ軸レールと、前記移動テーブル
あるいは前記Ｘ軸アクチュエータのロッドのいずれか他
方に設けられ、前記Ｙ軸レールを摺動可能に案内するＹ
軸ガイド部材と、前記移動テーブルあるいは前記Ｙ軸ア
クチュエータのロッドのいずれか一方に設けられたＸ軸
方向に伸びるＸ軸レールと、前記移動テーブルあるいは
前記Ｙ軸アクチュエータのロッドのいずれか他方に設け
られ、前記Ｘ軸レールを摺動可能に案内するＸ軸ガイド
部材とから構成したことにある。

【００１１】また、前記Ｘ軸およびＹ軸アクチュエータ
を、シリンダ内を二つの室に画成するピストンと、該ピ
ストンに固着され前記シリンダから突出するロッドとか
らなる液圧シリンダとし、前記各液圧シリンダの各室と
それぞれ接続され、該各室に圧液を供給する圧力源と、
前記各液圧シリンダの各室とそれぞれ接続され、該各室
から排出された液体を蓄積するタンクと、前記各液圧シ
リンダの各室と前記圧力源およびタンクとの間に設けら
れ、前記各液圧シリンダの各室への液体の給排制御を行
なう給排制御手段と、外部操作により前記各液圧シリン
ダの全ての各室とタンクとを同時に連通するタンク連通
手段とを設けることが望ましい。

【００１２】

【作用】上記構成により、移動テーブルをＸ軸方向に移
動させるときには、Ｘ軸アクチュエータのロッドを伸縮
させ、該ロッドと移動テーブル間に設けられたＹ軸レー
ルおよびＹ軸ガイド部材を介して前記移動テーブルを移
動させる。このとき、Ｙ軸アクチュエータのロッドと移
動テーブルとはＸ軸レールとＸ軸ガイド部材とが摺動可
能であるためＸ軸方向への相対移動は可能である。

【００１３】また、移動テーブルをＹ軸方向に移動させ
るときには、Ｙ軸アクチュエータのロッドを伸縮させ、
該ロッドと移動テーブル間に設けられたＸ軸レールおよ
びＸ軸ガイド部材を介して前記移動テーブルを移動させ
る。このとき、Ｘ軸アクチュエータのロッドと移動テー
ブルとはＹ軸レールとＹ軸ガイド部材とが摺動可能であ
るためＹ軸方向への相対移動は可能である。

【００１４】さらに、外部操作により各液圧シリンダの
全ての各室とタンクとを同時に連通することにより、前
記液圧シリンダ内の液体は、出入り自在となり外部から
の手動操作により各液圧シリンダのロッドの伸縮が可能
となり、移動テーブルを手動で移動させることが可能と
なる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例を図１ないし図６に基
づき説明する。

【００１６】まず、図１および図５に基づいて、Ｘ−Ｙ
テーブルの移動機構の構成について説明する。

【００１７】図中、１はベースとしての固定台を示し、
該固定台１は板状に形成され、所定位置には作業台（図
示せず）に固定すべくねじ等が挿入される固定用穴１
Ａ，１Ａ，…が穿設されている。

【００１８】２は移動テーブルを示し、該移動テーブル
２は板状に形成され、前記固定台１の上方に位置して平
行に配設され、該移動テーブル２の下側には図４および
図５に示すように、後述のＸ軸方向に伸長するＸ軸ガイ
ドレール５，５´と、該Ｘ軸ガイドレール５，５´の一
端の先端側に離間し、Ｙ軸方向に伸長するＹ軸レール１
５と、前記Ｘ軸ガイドレール５，５´と平行に位置して
設けられたＸ軸位置検出センサ１９の受光部１９Ｂとが
突設されている。

【００１９】３，３は固定台１上にＸ軸方向に所定間隔
を離間し、スペーサ４，４を介して設けられ、前記移動
テーブル２のＹ軸方向への動きを案内するＹ軸ガイドレ
ールを示し、該各Ｙ軸ガイドレール３の側面には、後述
する各スライダ６のＹ軸方向摺動部６Ａが摺動可能に係
合する係合溝３Ａ，３Ａ，…が伸長方向に形成されてい
る。

【００２０】５，５´は前記移動テーブル２の下側にＹ
軸方向に所定間隔を離間して下側に突設されたＸ軸ガイ
ドレールを示し、該Ｘ軸ガイドレール５，５´の側面に
は、前記Ｙ軸ガイドレール３と同様に各スライダ６のＸ
軸方向摺動部６Ｂが係合する係合溝５Ａ，５Ａ，…が伸
長方向に形成されている。なお、Ｘ軸ガイドレール５´
はＸ軸レールの機能を有している。

【００２１】６，６，…はＸ軸ガイドレール５，５´と
前記各Ｙ軸ガイドレール３との間に設けられた４個のス
ライダを示し、該各スライダ６の下側にはＹ軸ガイドレ
ール３の各係合溝３Ａに係合され、Ｙ軸方向に案内され
て摺動するように略コ字状に形成されたＹ軸方向摺動部
６Ａと、上側にはＸ軸ガイドレール５の各係合溝５Ａに
係合されたＸ軸方向に案内されて摺動するように略コ字
状に形成されたＸ軸方向摺動部６Ｂと、該Ｘ軸方向摺動
部６ＢとＹ軸方向摺動部６Ａとを上下方向で連結する補
助プレート６Ｃ，６Ｄ（図４参照）とから構成され、該
スライダ６のＸ軸方向摺動部６ＢとＹ軸方向摺動部６Ａ
との軸線がそれぞれ上下位置で９０度ずれるように形成
されている。また、各スライダ６のうち、図２中の下側
に位置する一対の各スライダ６は、その補助プレート６
ＤがＹ軸方向に長尺に形成され、そのＹ軸方向端部には
後述する固定板１６が固着されるようになっている。

【００２２】７は各Ｙ軸ガイドレール３の下側に位置
し、前記各スペーサ４，４を貫通して前記固定台１に固
着されたＸ軸アクチュエータとしてのＸ軸油圧シリンダ
を示し、該Ｘ軸油圧シリンダ７はシリンダ７Ａと、該シ
リンダ７Ａ内に摺動可能に設けられ、該シリンダ７Ａ内
を二つの油室（伸長側油室Ａ，縮小側油室Ｂ）に画成す
るピストン７Ｂ（図６参照）と、該ピストン７Ｂに固着
され、前記シリンダ７Ａから伸縮可能に伸長するロッド
７Ｃとから構成されている。また、前記シリンダ７Ａの
先端側および基端側には、ロッド縮小用給排口７Ｄおよ
びロッド伸長用給排口７Ｅが形成され、該各給排口７
Ｄ，７Ｅは後述する制御弁装置２１と油圧配管８，８を
介して接続されている。該各圧油配管８は本実施例にお
いては、移動しないので金属製の剛性管とすることが可
能である。

【００２３】９はＸ軸油圧シリンダ７の上側に位置し、
該Ｘ軸油圧シリンダ７と直交するように各補助部１０，
１０および保持部１１を介して前記固定台１に固着され
たＹ軸アクチュエータとしてのＹ軸油圧シリンダを示
し、該Ｙ軸油圧シリンダ９は前記Ｘ軸油圧シリンダ７と
ほぼ同様に、シリンダ９Ａと、該シリンダ９Ａ内に摺動
可能に設けられ、該シリンダ９Ａ内を二つの油室（伸長
側油室Ａ，縮小側油室Ｂ）に画成するピストン９Ｂ（図
６参照）と、該ピストン９Ｂに固着され、前記シリンダ
９Ａから伸縮可能に伸長するロッド９Ｃとから構成さ
れ、前記シリンダ９Ａの先端側および基端側には、ロッ
ド縮小用給排口９Ｄおよびロッド伸長用給排口９Ｅが形
成され、該各給排口９Ｄ，９Ｅは後述する制御弁装置２
１と油圧配管８，８を介して接続されている。

【００２４】１２はＸ軸油圧シリンダ７のロッド７Ｃの
先端側に位置し、ナット１３により固着されたＹ軸ガイ
ド部材を示し、該Ｙ軸ガイド部材１２は支持部１２Ａ
と、該支持部１２Ａ上にボルト１４，１４，…により固
着され、略コ字状に形成することにより後述するＹ軸レ
ール１５に係合する摺動部１２Ｂとから構成されてい
る。そして、該Ｙ軸ガイド部材１２は前記Ｘ軸油圧シリ
ンダ７のロッド７Ｃの伸長，縮小によりＸ軸方向に移動
し、これに伴って、Ｙ軸レール１５をＸ軸方向に移動さ
せ、これによって、移動テーブル２をＸ軸方向に移動さ
せる。

【００２５】１５は移動テーブル２の下側端部にＹ軸方
向に伸長するように突設されたＹ軸レールを示し、該Ｙ
軸レール１５の両側面には伸長方向に係合溝１５Ａ，１
５Ａが形成され、前記Ｙ軸ガイド部材１２の摺動部１２
Ｂに係合される。そして、前記移動テーブル２がＹ軸方
向に移動するときに前記Ｙ軸ガイド部材１２の摺動部１
２Ｂに摺動しつつ案内され、Ｙ軸方向に移動する。

【００２６】１６は前記Ｙ軸油圧シリンダ９のロッド９
Ｃの先端側に位置して設けられた固定板を示し、該固定
板１６はロッド９Ｃにキャップボルト１７を介して固着
されると共に、前記スライダ６に形成された補助プレー
ト６Ｄ，６Ｄにボルト１８，１８，…を介して固着さ
れ、該固定板１６は、前記Ｘ軸方向摺動部６Ｂ，補助プ
レート６Ｄと共に、Ｘ軸ガイド部材を形成している。そ
して、Ｙ軸油圧シリンダ９のロッド９Ｃの伸長，縮小に
より該各スライダ６のＹ軸方向摺動部６Ａが各Ｙ軸ガイ
ドレール３上を摺動してＹ軸方向に移動し、これに伴っ
て、各Ｘ軸方向摺動部６Ｂに係合されたＸ軸ガイドレー
ル５´をＹ軸方向に移動させ、これにより、移動テーブ
ル２をＹ軸方向に移動させる。

【００２７】１９，２０は移動テーブル２の移動位置検
出手段としての光学式のＸ軸位置検出センサ，Ｙ軸位置
検出センサをそれぞれ示し、該Ｘ軸位置検出センサ１９
は前記固定板１６に設けられた発光素子を有する発光部
１９Ａと、該発光部１９Ａに対向して前記移動テーブル
２のＸ軸方向に伸長して設けられた複数個の受光素子を
有する受光部１９Ｂとから構成され、移動テーブル２の
Ｘ軸方向の移動に伴って受光部１９Ｂを移動させ、発光
部１９Ａからの光を該受光部１９Ｂの受光素子で受光
し、この受光素子の位置を検出することによって、Ｘ軸
方向の位置検出を行なう。また、Ｙ軸位置検出センサ２
０はＸ軸位置検出センサ１９と同様に構成され、固定台
１に設けられた発光部２０Ａと、該発光部２０Ａを固定
台１に固定する固定部材２０Ｂと、前記発光部２０Ａに
対向して各スライダ６の端面に固着された受光部２０Ｃ
とからなり、移動テーブル２のＹ軸方向の移動に伴って
受光部２０Ｃが移動させ、発光部２０Ａからの光を該受
光部２０Ｃで受光することによって、Ｙ軸方向の位置検
出を行なう。

【００２８】次に、図２および図６に基づいて、前記各
油圧シリンダ７，９を制御する油圧回路の構成について
説明する。

【００２９】２１は制御弁装置を示し、該制御弁装置２
１は固定台１の端部に設けられ、該制御弁装置２１内に
は給排制御手段としてのＸ軸用サーボ弁２２，Ｙ軸用サ
ーボ弁２３，およびタンク連通手段としてのＸ軸用バイ
パス弁２４，Ｙ軸用バイパス弁２５等から大略構成さ
れ、該制御弁装置２１は外部に設けられた圧力源として
の油圧ポンプ２６およびタンク２７と接続されている。
また、油圧ポンプ２６は途中で分岐する圧油供給配管２
８を介して各サーボ弁２２，２３の供給ポートに接続さ
れ、タンク２７は途中で分岐する圧油排出配管２９を介
して各サーボ弁２２，２３の排出ポートに接続されてい
る。

【００３０】ここで、Ｘ軸用サーボ弁２２，Ｙ軸用サー
ボ弁２３は、４ポート３位置の電磁比例制御弁により構
成され、常時は中立位置（イ）におかれ、外部からの通
電により中立位置（イ）から切換位置（ロ）または
（ハ）に切り換えられる。そして、該各サーボ弁２２，
２３はそれぞれ切換位置（ロ）に切り換えられることに
より、油圧ポンプ２６からの圧油を圧油供給配管２８お
よび各圧油配管８を介して各油圧シリンダ７，９の縮小
側油室Ｂに供給すると共に、伸長側油室Ａ内の油液を各
圧油配管８および圧油排出配管２９を介して外部に設け
られたタンク２７に排出し、各ロッド７Ｃ，９Ｃをシリ
ンダ７Ａ，９Ａに対してそれぞれ縮小させる。一方、そ
れぞれ切換位置（ハ）に切り換えることにより、油圧ポ
ンプ２６からの圧油を圧油供給配管２８および各圧油配
管８を介して各油圧シリンダ７，９の伸長側油室Ａに供
給すると共に、縮小側油室Ｂ内の油液を各圧油配管８お
よび圧油排出配管２９を介して外部に設けられたタンク
２７に排出し、各ロッド７Ｃ，９Ｃをシリンダ７Ａ，９
Ａに対してそれぞれ伸長させる。

【００３１】また、Ｘ軸用バイパス弁２４，Ｙ軸用バイ
パス弁２５は３ポート２位置の油圧パイロット式切換弁
として構成され、３ポートのうち２ポートは各シリンダ
７，９の各油室Ａ，Ｂに圧油を供給する各圧油配管８に
それぞれ接続され、残りの１ポートは圧油排出配管２９
に接続されている。そして、該各バイパス弁２４，２５
は圧油供給配管２８内のパイロット圧により制御部２４
Ａ，２５Ａを介して切り換えられ、油圧ポンプ２６の駆
動時には、この圧力により閉弁位置に切り換えられ、油
圧ポンプ２６の停止時には、開弁位置に切り換えられ、
各シリンダ７，９のピストン７Ｂ，９Ｂを自由に動かす
ことができるようにする。

【００３２】２１Ａ，２１Ｂは前記各サーボ弁２２，２
３を制御するための制御信号線の端子を示し、前記信号
線は前記Ｘ軸位置検出センサ１９とＹ軸位置検出センサ
２０とに信号線（図示せず）と共に、Ｘ−Ｙテーブルの
位置制御を行なう制御回路（図示せず）に接続されてい
る。

【００３３】本実施例におけるＸ−Ｙテーブルの構成は
上述した如くであり、次に、その動作について図２ない
し図６に基づいて説明する。

【００３４】まず、油圧ポンプ２６を駆動することによ
り、圧油供給配管２８内のパイロット圧により各バイパ
ス弁２４，２５は閉弁位置に切り換えられ、移動テーブ
ル２のＸ軸，Ｙ軸方向の移動は各油圧シリンダ７，９の
ロッド７Ｃ，９Ｃによる伸長，縮小動作により制御され
る。

【００３５】ここで、移動テーブル２をＸ軸方向に移動
する場合には、Ｘ軸油圧シリンダ７のロッド７Ｃを伸長
させるべくＸ軸サーボ弁２２を切換位置（ハ）にして、
伸長側油室Ａに圧油を供給すると共に、縮小側油室Ｂの
圧油を排出する。これによって、伸長したロッド７Ｃは
該ロッド７Ｃの先端に設けられたＹ軸ガイド部材１２を
Ｘ軸方向に矢示ｘのように移動させ、これに伴って該Ｙ
軸ガイド部材１２に係合されたＹ軸レール１５も矢示ｘ
に移動する。そして、このＹ軸レール１５は移動テーブ
ル２に固着されているから、移動テーブル２は矢示ｘに
移動する。また、移動テーブル２の矢示ｘの移動により
各Ｘ軸ガイドレール５は各スライダ６のＸ軸方向摺動部
６Ｂを摺動しつつ矢示ｘに移動する。さらに、Ｘ軸位置
検出センサ１９の受光部１０Ｃも矢示ｘに移動し、固定
板１６に設けられた発光部１９Ａとの相対位置を受光部
１９Ｂで検出することにより、移動テーブル２のＸ軸方
向の移動を検出し、Ｘ軸方向の移動位置が所望の位置に
なっているか否かをフィードバック制御している。

【００３６】一方、移動テーブル２をＹ軸方向に移動す
る場合には、Ｙ軸油圧シリンダ９のロッド９Ｃを伸長さ
せるべくＹ軸サーボ弁２３を切換位置（ハ）にして、伸
長側油室Ａに圧油を供給すると共に、縮小側油室Ｂの圧
油を排出する。これによって、伸長したロッド９Ｃは該
ロッド９Ｃの先端に設けられた固定板１６をＹ軸方向に
矢示ｙのように移動させ、補助プレート６Ｄを介して各
スライダ６を各Ｙ軸ガイドレール３に沿って矢示ｙに移
動させる。これに伴って、各スライダ６に係合された各
Ｘ軸ガイドレール５も矢示ｙに移動し、移動テーブル２
を矢示ｙに移動させる。このとき、Ｙ軸ガイド部材１２
に係合されたＹ軸レール１５もＹ軸ガイド部材１２を摺
動して矢示ｙに移動する。また、Ｙ軸検出センサ２０の
受光部２０Ｃもスライダ６の矢示ｙの移動と共に移動
し、固定台１に固定部材２０Ｂを介して設けられた発光
部２０Ａとの相対位置を受光部２０Ｃで検出することに
より、移動テーブル２のＹ軸方向の移動を検出し、Ｙ軸
方向の移動位置が所望の位置になっているか否かをフィ
ードバック制御している。

【００３７】また、各油圧シリンダ７，９のロッド７
Ｃ，９Ｃの縮小方向への移動は前述した伸長方向の移動
と同様にして行なうことができる。さらに、Ｘ軸，Ｙ軸
方向の移動は同時に行なうことも可能である。

【００３８】かくして、本実施例では、固定台１にＸ軸
油圧シリンダ７およびＹ軸油圧シリンダ９を設け、該Ｘ
軸油圧シリンダ７のロッド７Ｃの先端には、移動テーブ
ル２に固着されたＹ軸レール１５を案内するＹ軸ガイド
部材１２を設ける。一方、前記Ｙ軸用油圧シリンダ９の
ロッド９Ｃの先端には、固定板１６を介して図２中下側
のスライダ６の補助プレート６Ｄと連結し、該各スライ
ダ６は固定台１に設けられた各Ｙ軸ガイドレール３に沿
ってＹ軸に移動すると共に、前記移動テーブル２に固着
され、各スライダ６に係合される各Ｘ軸ガイドレール５
をＹ軸方向に移動する構成としたから、Ｘ軸油圧シリン
ダ７およびＹ軸油圧シリンダ９の圧油の各伸長側油室
Ａ，縮小側油室Ｂの圧油給排によって、各ロッド７Ｃ，
９Ｃの縮小，伸長を行なうことにより容易に移動テーブ
ル２を移動させることができる。

【００３９】従って、従来技術のように、移動機構をそ
れぞれ有する２台のテーブル（Ｘ軸テーブル，Ｙ軸テー
ブル）を縦に積み重ねるような構成を必要とせず、固定
台１にＸ軸方向，Ｙ軸方向のアクチュエータを設けるこ
とができるから、該各アクチュエータにかかる搭載荷重
は移動テーブル２およびワークの荷重だけとなり、圧力
源となる油圧ポンプ２６の容量も小さくでき、コンパク
トで安価なＸ−Ｙテーブルを製造することができる。

【００４０】さらに、固定台１に設けた移動機構となる
Ｘ軸油圧シリンダ７およびＹ軸油圧シリンダ９等は該固
定台１の占有面積内に収容することができるから、Ｘ−
Ｙテーブルの設置位置が狭い場所であっても設置するこ
とができる。

【００４１】さらにまた、各油圧シリンダ７，９を制御
する油圧回路の途中に各バイパス弁２４，２５を設ける
ことにより、油圧ポンプ２６の駆動を停止したときに
は、手動で移動テーブル２を移動させることができ、こ
のときに、各位置検出センサ１９，２０により位置を前
記制御回路にメモリーさせることによって、移動テーブ
ル２の手動操作による位置決めを行なうことができ、移
動行程をダイレクトティーチングすることができる。ま
た、この各位置検出センサ１９，２０によりフィードバ
ック制御を行なうことにより、正確な移動テーブル２の
位置決めを行なうことができる等、種々の効果を奏す
る。

【００４２】なお、前記実施例においては、Ｘ軸アクチ
ュエータおよびＹ軸アクチュエータとして油圧シリンダ
７，９を用いた例を示したが、モータによりボールねじ
を介してロッドを伸縮させる電動式アクチュエータ等を
用いてもよい。

【００４３】また、前記実施例では、移動テーブル２に
加わる大きい荷重を支え、かつ、移動テーブル２のＸ軸
およびＹ軸方向の移動精度を高くするために２本のＸ軸
ガイドレール５，５´とＹ軸ガイドレール３を設けた
が、Ｘ軸レールとしての機能を持たせたＸ軸ガイドレー
ル５´を設ければよく、小型軽量とした場合には、Ｘ軸
ガイドレール５とＹ軸ガイドレール３は特に必要なく、
廃止することも可能である。

【００４４】さらに、前記実施例では、スライダ６を４
個設けるものとして述べたが、本発明はこれに限らず、
Ｙ軸ガイドレール３上に一対のスライダ６を設け、該各
スライダ６にはＸ軸ガイドレール５にＸ軸方向摺動部を
２個有するようにしたスライダを用いることもできる。

【００４５】さらにまた、移動テーブル２に設けたＸ軸
ガイドレール５およびＹ軸レール１５を溝として形成
し、これに係合するスライダ６およびＹ軸ガイド部材１
２を係合突起として構成するようにしてもよい。

【００４６】またさらに、前記実施例においては、各油
圧シリンダ７，９を上下に重ねた例を示したが、Ｘ軸油
圧シリンダ７のヘッド側（図２中右側）にＹ軸油圧シリ
ンダ９を設けることにより、各油圧シリンダ７，９を重
ねずに、さらに、高さの低いＸ−Ｙテーブルとすること
も可能である。

【００４７】また、タンク連通手段として油圧ポンプ２
６からのパイロット圧を用いた各バイパス弁２４，２５
を用いたが、パイロット圧を用いずに外部からの電気信
号等により開弁する電磁開閉弁として構成するようにし
てもよい。

【００４８】

【発明の効果】以上詳述した如く、本発明によれば、ベ
ースにＸ軸アクチュエータとＹ軸アクチュエータとを固
定しているため、Ｘ軸方向やＹ軸方向にテーブルを移動
する際に、Ｘ軸アクチュエータやＹ軸アクチュエータを
移動する必要がないから、その駆動力は比較的小さな力
ですみ、また、テーブル側の慣性重量が小さくなるため
高速で精度の高い制御を行なうことが可能となる。

【００４９】さらに、ベースに対して各アクチュエータ
が相対移動しないため、各アクチュエータにつながる配
線や配管等が固定でき、配線や配管等が疲労により損傷
することがなく、耐久性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例によるＸ−Ｙテーブルの正面図
である。

【図２】図１中の矢示II−II方向からみた移動テーブル
を除いた平面図である。

【図３】図２中の矢示III −III 方向からみた断面図で
ある。

【図４】図１中の矢示IV−IV方向からみた断面図であ
る。

【図５】本実施例による移動テーブルの斜視図である。

【図６】本実施例の油圧回路図である。

【符号の説明】

１ 固定台（ベース） ２ 移動テーブル ３ Ｙ軸ガイドレール ５ Ｘ軸ガイドレール ５´ Ｘ軸ガイドレール（Ｘ軸レール） ６ スライダ ６Ｂ Ｘ軸方向摺動部（Ｘ軸ガイド部材） ６Ｄ 補助プレート（Ｘ軸ガイド部材） ７ Ｘ軸油圧シリンダ（Ｘ軸アクチュエータ） ９ Ｙ軸油圧シリンダ（Ｙ軸アクチュエータ） １２ Ｙ軸ガイド部材 １５ Ｙ軸レール １６ 固定板（Ｘ軸ガイド部材） １９ Ｘ軸位置検出センサ ２０ Ｙ軸位置検出センサ ２１ 制御弁装置 ２２ Ｘ軸用サーボ弁（給排制御手段） ２３ Ｙ軸用サーボ弁（給排制御手段） ２４ Ｘ軸用バイパス弁（タンク連通手段） ２５ Ｙ軸用バイパス弁（タンク連通手段） ２６ 油圧ポンプ（圧力源） ２７ タンク

【手続補正書】

【提出日】平成３年９月６日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ベースと、該ベースの上方に配設された
   移動テーブルと、前記ベースに固定されＸ軸方向に伸縮
   可能なロッドを有するＸ軸アクチュエータと、前記ベー
   スに固定され、該Ｘ軸方向と略直角をなすＹ軸方向に伸
   縮可能なロッドを有するＹ軸アクチュエータと、前記移
   動テーブルあるいは前記Ｘ軸アクチュエータのロッドの
   いずれか一方に設けられたＹ軸方向に伸びるＹ軸レール
   と、前記移動テーブルあるいは前記Ｘ軸アクチュエータ
   のロッドのいずれか他方に設けられ、前記Ｙ軸レールを
   摺動可能に案内するＹ軸ガイド部材と、前記移動テーブ
   ルあるいは前記Ｙ軸アクチュエータのロッドのいずれか
   一方に設けられたＸ軸方向に伸びるＸ軸レールと、前記
   移動テーブルあるいは前記Ｙ軸アクチュエータのロッド
   のいずれか他方に設けられ、前記Ｘ軸レールを摺動可能
   に案内するＸ軸ガイド部材とからなるＸ−Ｙテーブル。
2. 【請求項２】 前記Ｘ軸およびＹ軸アクチュエータを、
   シリンダ内を二つの室に画成するピストンと、該ピスト
   ンに固着され前記シリンダから突出するロッドとからな
   る液圧シリンダとし、前記各液圧シリンダの各室とそれ
   ぞれ接続され、該各室に圧液を供給する圧力源と、前記
   各液圧シリンダの各室とそれぞれ接続され、該各室から
   排出された液体を蓄積するタンクと、前記各液圧シリン
   ダの各室と前記圧力源およびタンクとの間に設けられ、
   前記各液圧シリンダの各室への液体の給排制御を行なう
   給排制御手段と、外部操作により前記各液圧シリンダの
   全ての各室と前記タンクとを同時に連通するタンク連通
   手段とを設けてなる請求項１記載のＸ−Ｙテーブル。