JPH0539562Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案は、質量分析計のチヤンバ内部に試料を
導入する機構に関する。

(ロ) 従来技術とその問題点 質量分析計では、第３図および第４図に示すよ
うに、試料をチヤンバ１₀内部に導入する場合、
該試料をステンレスパイプ等からなる導入棒２₀
の先端に保持させたのち、この導入棒２₀をチヤ
ンバ１₀の開口部３₀から内部に挿入し、導入棒２
_０先端の試料を、チヤンバ１₀内部でイオン化室を
構成するボツクス４₀の挿入孔４a₀に挿入した状
態で、導入棒２₀に予め設けられているオフセツ
トフランジ５₀で開口部３₀を気密に遮蔽しつつ、
このオフセツトフランジ５₀を環状の押さえ板６₀
でチヤンバ１₀の外壁に固定する。

この場合、導入棒２₀は、チヤンバ１₀内のボツ
クス４₀の挿入孔４a₀に正確に中心合わせして、
その先端の試料を挿入孔４a₀に挿入する必要があ
るが、チヤンバ１₀の開口部３₀とボツクス４₀の
挿入孔４a₀との相対位置は、常に一定となつてい
るわけではなく、たとえばボツクス４₀を洗浄し
て再取付けするときの設置精度等の関係から、両
者の間には、通常、若干の位置ずれがある。

そのため、従来は、押さえ板６₀による固定を
緩めることにより、導入棒２₀およびそのオフセ
ツトフランジ５₀とを、チヤンバ１₀の開口部３₀
内で径方向に変位可能とし、その状態のもとで、
導入棒２₀を微量的に変位させて、ボツクス４₀の
挿入孔４a₀に対して中心合わせするようになつて
いる。

ところが、従来の上記機構では、導入棒２₀の
中心合わせの調整を行う場合、押さえ板６₀の周
部に設けられた数個（通常は４個）のボルト７₀，
……をそれぞれ緩めたり締めたりしなければなら
ず、そのため、中心合わせの調整操作が極めて面
倒であつた。

また、押えさ板６₀周部の各ボルト７₀の締め付
け力が均等でないと、気密漏れが生じるおそれが
あるので、各ボルト７₀の緩締を慎重に行う必要
があり、この点からも、中心合わせの調整操作が
面倒となつていた。

本考案は、このような事情に鑑みてなされたの
であつて、導入棒の中心合わせの調整操作を容易
化することを目的とする。

(ハ) 問題点を解決するための手段 本考案は、上記の目的を達成するために、オフ
セツトフランジを有する試料導入棒を、チヤンバ
の開口部内の一定位置に前記オフセツトフランジ
を介して気密に固定するようにした質量分析計の
試料導入機構において、前記チヤンバの開口部に
受けフランジを突設し、この受けフランジには、
前記オフセツトフランジを受けフランジとの間で
挟む可動フランジを対設し、この可動フランジも
しくは受けフランジのいずれか一方に他方のフラ
ンジと遠近方向に摺接自在に嵌合する嵌合部を形
成し、オフセツトフランジを挟持した受けフラン
ジおよび可動フランジの外周側に、両フランジを
互いに近接させるテーパ状の溝を有する開閉自在
のクランプを設けたものである。

(ニ) 作用 上記の構成によれば、クランプを閉じる方向に
締め付けると、そのテーパ状の溝を介して受けフ
ランジと可動フランジとが互いに近接し、その間
で導入溝のオフセツトフランジが挟圧固定され
る。一方、クランプを開くと、オフセツトフラン
ジの固定が解かれ、オフセツトフランジおよび導
入棒をチヤンバの開口部内で変位可能となり、導
入棒の中心合わせが行える。

(ホ) 実施例 以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。

第１図は本考案の一実施例に係る質量分析計の
試料導入機構の断面図、第２図はその正面図であ
る。

この実施例に係る試料導入機構は、真空状態に
維持されるチヤンバ１を有する。このチヤンバ１
の内部には、イオン化室を構成するボツクス２が
設けられている。チヤンバ１の外壁には、ボツク
ス２の試料挿入孔２ａに対向する個所に、試料導
入のための開口部３が開設され、この開口部３を
通じて、オフセツトフランジ４を有する試料導入
棒５が挿入しうるようになつている。６はオフセ
ツトフランジ４の一面に設けたＯリングである。

チヤンバ１の開口部３には、これと同内径の筒
部７が突設され、該筒部７の先端に受けフランジ
８が一体に形成されている。この受けフランジ８
は、オフセツトフランジ４を面接触により受け止
めるもので、先端側の面は導入棒５の挿入方向と
直交する受け面となつており、他側の面は外径側
ほど受け面に近付くテーパ面となつている。

受けフランジ８の受け面側には、可動フランジ
９が対設されている。この可動フランジ９は、前
記受けフランジ８との間でオフセツトフランジ４
を挟圧するもので、受けフランジ８側の面が導入
棒５の挿入方向と直交する押さえ面となつてお
り、他側の面が外径側ほど押さえ面に近付くテー
パ面となつている。９ａは、可動フランジ９の中
心部にオフセツトフランジ４の筒部４ａを通すた
めに形成された透孔である。受けフランジ８と可
動フランジ９とは、オフセツトフランジ４より若
干大径に形成されており、オフセツトフランジ４
が、受けフランジ８と可動フランジ９とに挟み込
まれた状態で径方向に変位しうるようになつてい
る。可動フランジ９の外周には、受けフランジ８
の外周縁に遠近方向に摺接自在に嵌合する筒状の
嵌合部９ｂが一体に形成されている。

受けフランジ８および可動フランジ９の外周側
には、クランプ１０が設けられている。このクラ
ンプ１０は、オフセツトフランジ４を挟み込んだ
受けフランジ８および可動フランジ９を互いに近
接させるためのもので、一対の割りリング状のク
ランプ片１０ａ，１０ｂから構成されている。ク
ランプ１０は、両クランプ片１０ａ，１０ｂの基
端側（第２図において右側）を結合部材１１を介
して互いに枢着結合することにより、開閉自在と
なつており、両クランプ片１０ａ，１０ｂの他端
側（第２図において左側）に設けたクランプボル
ト１２とクランプナツト１３との締結にり、閉じ
た状態に締め付けられるようになつている。各ク
ランプ片１０ａ，１０ｂの内周にはその内周縁に
沿つて、中心側に向けて広がつたテーパ状の溝１
４，１４が形成されており、この溝１４内に、オ
フセツトフランジ４を挟み込んだ受けフランジ８
および可動フランジ９の外周縁が嵌入するように
なつている。溝１４のテーパ面は、対応するフラ
ンジ８，９のテーパ面と同一の傾斜角度に形成さ
れている。

次に、この実施例の使用方法と作用とを説明す
る。

試料をチヤンバ１内部に導入する場合、まず、
クランプ１０を開いて受けフランジ８および可動
フランジ９から外し、かつ可動フランジ９を受け
フランジ８から外しておく。導入すべき試料は、
導入棒５の先端に保持させたのち、この導入棒５
をチヤンバ１の筒部７と開口部３とを通じてチヤ
ンバ１内部に挿入し、挿入棒５に設けられたオフ
セツトフランジ４を受けフランジ８の受け面に当
てがう。こののち、オフセツトフランジ４の他面
に可動フランジ９を当てがつて、受けフランジ８
との間でオフセツトフランジ４を挟み込むととも
に、可動フランジ９の嵌合部９ｂを受けフランジ
８の外周縁に嵌合させる。これによつて、可動フ
ランジ９は、受けフランジ８に同軸状態に係合
し、径方向には位置ずれしなくなる。

そして、このようにオフセツトフランジ４を挟
み込んだ両フランジ８，９の外周にクランプ１０
を嵌め込んで、両クランプ片１０ａ，１０ｂをク
ランプボルト１２およびクランプナツト１３の締
結により小径に締め付ける。この締め付けに伴
い、各クランプ片１０ａ，１０ｂの溝１４のテー
パ面が両フランジ８，９のテーパ面を押圧し、両
フランジ８，９を互いに近接させることになる。
これによつて、受けフランジ８と可動フランジ９
との間でオフセツトフランジ４が挟圧固定される
とともに、開口部３が気密に遮蔽される。

ここで、イオン化用のボツクス２の挿入孔２ａ
に対して導入棒５の中心合わせを行う必要がある
が、その場合は、クランプボルト１２とクランプ
ナツト１３との締結を緩めて、クランプ１０を広
げる。このようにクランプ１０を広げると、受け
フランジ８と可動フランジ９との挟圧力が小さく
なり、両フランジ８，９間でオフセツトフランジ
４が径方向に変位可能となる。そこで、オフセツ
トフランジ４と導入棒５とを開口部３内で適当量
変位させて、ボツクス２の挿入孔２ａに対して中
心合わせを行い、この中心合わせの調整が完了す
ると、クランプボルト１２とクランプナツト１３
とを締め付ける。これによつて、オフセツトフラ
ンジ４が再び受けフランジ８と可動フランジ９と
に挟圧固定されることになり、導入棒５は、ボツ
クス２に対して中心合わせされた状態で固定され
る。

なお、上記実施例では、可動フランジ９に嵌合
部９ｂを形成したが、このような嵌合部を受けフ
ランジ８側に一体に形成し、この嵌合部に可動フ
ランジ９を遠近方向に摺接自在に嵌合させてもよ
い。

(ヘ) 効果 以上のように、本考案によれば、クランプの開
閉操作により、導入棒と一体のオフセツトフラン
ジを固定したり、その固定を解いたりすることが
でき、しかも、クランプの開閉は、クランプボル
ト等の単一の締結具の操作で行えるから、従来の
ように数個のボルトを操作するような面倒さがな
く、簡単な操作で容易に導入棒の中心合わせ調整
を行うことができる。

しかも、可動フランジと受けフランジとは嵌合
部を介して同軸状態に係合するから、受けフラン
ジに対して可動フランジが径方向に位置ずれせ
ず、しかも、クランプから受けフランジおよび可
動フランジの外周部には、各部均等の押し付け力
が作用するから、オフセツトフランジの挟圧力は
周部各部で一定しており、クランプの締め付けを
特に慎重に行わなくても、気密漏れが生じるおそ
れがなく、したがつて、この点からも、中心合わ
せの調整操作が容易となる。

さらに、受けフランジに対して可動フランジが
同軸の状態に保持され、位置ずれしたままで押し
付けられることがないから、両フランジやクラン
プに無理がかからず、これらの部材を損傷するお
それがない。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本考案の一実施例に係
り、第１図は断面図、第２図は正面図である。第
３図および第４図は従来例に係り、第３図は断面
図、第４図は正面図である。 １……チヤンバ、２……ボツクス、３……開口
部、４……オフセツトフランジ、５……導入棒、
８……受けフランジ、９……可動フランジ、９ｂ
……嵌合部、１０……クランプ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 オフセツトフランジを有する試料導入棒を、チ
   ヤンバの開口部内の一定位置に前記オフセツトフ
   ランジを介して気密に固定するようにした質量分
   析計の試料導入機構において、 前記チヤンバの開口部に受けフランジを突設
   し、この受けフランジには、前記オフセツトフラ
   ンジを受けフランジとの間で挟む可動フランジを
   対設し、この可動フランジもしくは受けフランジ
   のいずれか一方に他方のフランジと遠近方向に摺
   接自在に嵌合する嵌合部を形成し、オフセツトフ
   ランジを挟持した受けフランジおよび可動フラン
   ジの外周側に、両フランジを互いに近接させるテ
   ーパ状の溝を有する開閉自在のクランプを設けた
   ことを特徴とする質量分析計の試料導入機構。