JPS6128157Y2 -

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【考案の詳細な説明】本考案は真空装置の盲蓋、特に各種サイズのフ
ランジに共通に適合できるようにした盲蓋の構造
に関するものである。

一般に真空装置の接続部は、第１図に示すよう
に導管１，２，３，４の先端にフランジ５，６を
設け、該フランジ５，６の間にＯリング７を介在
させ、フランジ５，６を相互に締付けてリークが
生じないように構成している。

上記フランジ５，６の間に介在させるＯリング
７はフランジの一方に設けたＯリング嵌込み溝８
に挿入し装置を真空にした場合、外圧によつてＯ
リングが装置の内部へ吸込まれるのを防いでい
る。

上記Ｏリング嵌込み溝は接続部のフランジのど
ちらか一方のみに構成し、Ｏリング吸込みによる
リーク防止を行なつている。第１図の例ではフラ
ンジ５には溝がなく、フランジ６側にＯリング嵌
込み溝を設けた例を示している。

このような構成の真空装置において装置Ａ又は
Ｂのどちらかからリークが生じた場合、フランジ
６の部分から装置Ｂを取外し、フランジ５の部分
に盲蓋を取付けて装置Ａのリークチエツクを行
う。

この場合、先に述べたようにフランジ５にはＯ
リング嵌込み溝がないため、盲蓋の方にＯリング
嵌込み溝が必要である。このＯリング嵌込み溝が
ない場合、Ｏリングは装置内部に吸われて盲蓋部
からリークすることになる。

従つてＯリング嵌込み溝を設けた盲蓋を用いる
ことになるが、従来の盲蓋は盲蓋１個にＯリング
嵌込み溝が１つ、すなわち所定の規格のフランジ
に対して、これに適合する所定寸法の盲蓋を用意
していた。従つて規格の異なる真空フランジ部の
リークチエツクを行うには別の盲蓋を用意せねば
ならず不経済であつた。

本考案は盲蓋となす金属平板に異種サイズの真
空用Ｏリングが嵌まる同心状の溝を形成し、１個
の盲蓋で各種規格のフランジに対し、Ｏリングの
交換のみで盲蓋の目的を達成できるようにしたも
のである。

第２図は本考案による盲蓋１０を適用した１実
施例で、大きな真空装置のフランジ１１に、盲蓋
に形成した最外側の溝１２にＯリング１５を適合
している。このとき溝１２より小径のＯリング挿
入溝１３，１４にはＯリングは挿入していない。

また第３図の例では小さな真空装置のフランジ
１６に本考案の盲蓋１０を適用した例で、フラン
ジ１６に適合する最小径の溝１４にＯリング１７
を挿入しリーク防止を行なつている。

逆にフランジ１１，１６側にＯリングの溝があ
る場合には盲蓋１０の溝を形成しない面Ｃを用い
るとよい。また他の実施例として盲蓋１０の表裏
両面に各種のＯリング溝を設けても便利である。

以上述べたように本考案に従つて真空装置例の
フランジのサイズに応じたＯリングに適合するよ
う各種Ｏリング嵌込み溝を有する盲蓋を用いれば
盲蓋を多種類用意することもなく経済的である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の真空系を説明するための概略断
面図、第２図は本考案の盲蓋の１実施例を示す断
面図、第３図は本考案の盲蓋の他の実施例を示す
断面図である。１，２，３，４……導管、５，６，１１，１６
……フランジ、７，１５，１７……Ｏリング、
８，１２，１３，１４……Ｏリング嵌込み溝。