JPH054000Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH054000Y2 JPH054000Y2 JP17241285U JP17241285U JPH054000Y2 JP H054000 Y2 JPH054000 Y2 JP H054000Y2 JP 17241285 U JP17241285 U JP 17241285U JP 17241285 U JP17241285 U JP 17241285U JP H054000 Y2 JPH054000 Y2 JP H054000Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- irradiation device
- vacuum
- beam irradiation
- box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 24
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案は、真空排気機器を気密性の函体内に
一括して収納した電子線照射装置に関する。
一括して収納した電子線照射装置に関する。
第２図は、従来の電子線照射装置の一例を示す
概略図である。この装置は、搬送ライン２上を搬
送される例えばテープ状、シート状等をした被照
射物１１に、電子線加速器１から電子線Ｅを照射
するようになつている。そして当該電子線加速器
１には、その内部を真空排気するために、真空配
管４および仕切用のゲートバルブ５を介して高真
空引用の油拡散ポンプ６が接続されており、当該
油拡散ポンプ６にはフレキシブルチユーブ８を介
して荒引用の油回転ポンプ７が接続されており、
当該油回転ポンプ７からは排気ダクト９が出され
ている。また電子線加速器１には、その内部の真
空度を計るための真空ゲージ１０が取り付けられ
ている。
概略図である。この装置は、搬送ライン２上を搬
送される例えばテープ状、シート状等をした被照
射物１１に、電子線加速器１から電子線Ｅを照射
するようになつている。そして当該電子線加速器
１には、その内部を真空排気するために、真空配
管４および仕切用のゲートバルブ５を介して高真
空引用の油拡散ポンプ６が接続されており、当該
油拡散ポンプ６にはフレキシブルチユーブ８を介
して荒引用の油回転ポンプ７が接続されており、
当該油回転ポンプ７からは排気ダクト９が出され
ている。また電子線加速器１には、その内部の真
空度を計るための真空ゲージ１０が取り付けられ
ている。
一方、電子線加速器１、搬送ライン２、真空配
管４等の周囲はＸ線漏れを防止するためにＸ線遮
蔽体３で覆われており、更に真空配管４もＸ線漏
れを防止するために曲管を使用している。
管４等の周囲はＸ線漏れを防止するためにＸ線遮
蔽体３で覆われており、更に真空配管４もＸ線漏
れを防止するために曲管を使用している。
近年、磁気テープの磁性塗膜の硬化等のような
コンバーテイング分野等において、電子線照射装
置の防爆仕様が望まれている。これは、電子線照
射装置を、溶剤等を扱つている火気禁止の部屋に
設置する等のためである。
コンバーテイング分野等において、電子線照射装
置の防爆仕様が望まれている。これは、電子線照
射装置を、溶剤等を扱つている火気禁止の部屋に
設置する等のためである。
ところが、第２図に示したような従来の電子線
照射装置の構造では、真空ポンプ６，７や真空ゲ
ージ１０等が、より具体的にはその電気接続部分
等がむき出しになつているため、好ましくない。
照射装置の構造では、真空ポンプ６，７や真空ゲ
ージ１０等が、より具体的にはその電気接続部分
等がむき出しになつているため、好ましくない。
この考案の電子線照射装置は、真空排気機器を
気密性の函体内に一括して収納したことを特徴と
する。
気密性の函体内に一括して収納したことを特徴と
する。
第１図は、この考案の一実施例に係る電子線照
射装置を示す概略図である。第２図と同等部分に
は同一符号を付してその説明を省略する。
射装置を示す概略図である。第２図と同等部分に
は同一符号を付してその説明を省略する。
この実施例においては、前述したゲートバルブ
５、油拡散ポンプ６、油回転ポンプ７、真空ゲー
ジ１０等の真空排気機器を気密性の函体１２内に
一括して収納して、排気ダクト９の先端部のみを
当該函体１２外に引き出している。従つて構造が
非常に単純となる。更にこの実施例では函体１２
に設けられた空気吸込み口１３から空気Ａを内部
に吹き込んで（即ちエアーパージして）当該函体
１２内を適当な正圧に保つようにしており、これ
によつてJISの防爆基準（例えばJIS C0903−83）
で定める防爆仕様に合致させている。
５、油拡散ポンプ６、油回転ポンプ７、真空ゲー
ジ１０等の真空排気機器を気密性の函体１２内に
一括して収納して、排気ダクト９の先端部のみを
当該函体１２外に引き出している。従つて構造が
非常に単純となる。更にこの実施例では函体１２
に設けられた空気吸込み口１３から空気Ａを内部
に吹き込んで（即ちエアーパージして）当該函体
１２内を適当な正圧に保つようにしており、これ
によつてJISの防爆基準（例えばJIS C0903−83）
で定める防爆仕様に合致させている。
更にこの実施例においては、函体１２はＸ線遮
蔽体を兼ねる構造として構造が更に簡素化されて
おり、しかも函体１２がＸ線遮蔽体を兼ねている
ため、電子線加速器１とゲートバルブ５との間の
接続は従来と違つて直管の真空配管１４で最短距
離で行うことができる。その結果当該真空配管１
４の部分のコンダクタンスが良くなるため、電子
線加速器１の真空排気も良好に行える。
蔽体を兼ねる構造として構造が更に簡素化されて
おり、しかも函体１２がＸ線遮蔽体を兼ねている
ため、電子線加速器１とゲートバルブ５との間の
接続は従来と違つて直管の真空配管１４で最短距
離で行うことができる。その結果当該真空配管１
４の部分のコンダクタンスが良くなるため、電子
線加速器１の真空排気も良好に行える。
以上のようにこの考案によれば、単純な構成の
電子線照射装置が得られる。
電子線照射装置が得られる。
第１図は、この考案の一実施例に係る電子線照
射装置を示す概略図である。第２図は、従来の電
子線照射装置の一例を示す概略図である。 １……電子線加速器、５……ゲートバルブ、６
……油拡散ポンプ、７……油回転ポンプ、１０…
…真空ゲージ、１１……被照射物、１２……函
体、Ｅ……電子線、Ａ……空気。
射装置を示す概略図である。第２図は、従来の電
子線照射装置の一例を示す概略図である。 １……電子線加速器、５……ゲートバルブ、６
……油拡散ポンプ、７……油回転ポンプ、１０…
…真空ゲージ、１１……被照射物、１２……函
体、Ｅ……電子線、Ａ……空気。
Claims (1)
- 被照射物に電子線を照射するための電子線加速
器と、当該電子線加速器の内部を真空排気するた
めの真空排気機器を有し、前記真空排気機器を気
密性の函体内に一括して収納したことを特徴とす
る電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17241285U JPH054000Y2 (ja) | 1985-11-09 | 1985-11-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17241285U JPH054000Y2 (ja) | 1985-11-09 | 1985-11-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6281100U JPS6281100U (ja) | 1987-05-23 |
| JPH054000Y2 true JPH054000Y2 (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=31108922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17241285U Expired - Lifetime JPH054000Y2 (ja) | 1985-11-09 | 1985-11-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH054000Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-11-09 JP JP17241285U patent/JPH054000Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6281100U (ja) | 1987-05-23 |
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