JPH0541475A - リードフレームの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体装置等に用いられるリードフレームの
製造方法に係り、リードやフレームの変形の少ないリー
ドフレームを簡単な構成により容易に製造できるように
することを目的とする。 【構成】 製造すべきリードフレームの複数箇所を順送
り金型により順次打抜く工程を有し、上記複数箇所のう
ちのいずれかの打抜き方向を他の打抜き方向と異ならせ
て、打抜き方向の異なる打抜き箇所が１つのリードフレ
ーム内に混在するようにしたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体装置等に用いられ
るリードフレームの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】上記のようなリードフレームを製造する
に当たっては、製造すべきリードフレームの隣り合うリ
ード間等の複数箇所を、プレス加工機等の順送り金型に
より順次打抜くことが行われている。上記のような打抜
き加工を行った場合、打抜き箇所の周辺部に応力や歪み
が局部的に残留し、リードやフレームに変形を生じるお
それがある。特に前記のように順送り金型により順次打
抜く際の打抜き方向は、従来は全て同一方向であり、フ
レームに残留する応力や歪みの方向もほぼ同一方向とな
るため、それ等の応力や歪みが集積されてリードやフレ
ームが往々にして一方向に大きく変形する。リードやフ
レームに変形が生じた場合、特に内部リード（インナー
リード部）に変形が生じた場合には、後にワイヤーボン
ディング等を行う際に位置ずれが生じ接続不良等を生じ
るおそれがある。そのため、上記の内部リードやフレー
ムの変形に対しては、所定の受入れ規格が定められてい
る。

【０００３】上記の受入れ規格を満たすため、従来はリ
ードフレームを打抜く際にフレームを矯正することが行
われている。すなわち前記のフレームの変形には、フレ
ーム幅方向の反りと、フレーム長手方向の反り等があ
り、フレーム長手方向の反りはプレス機前に設置された
レベラーと呼ばれる材料の反り調整装置（図示せず）に
よりリードフレームが打抜かれた後のフレームの長手方
向の反りを考慮して経験的に矯正している。また、フレ
ーム幅方向の反りは順送り金型内に設けられた凸形状の
治具（図示せず）を多数設け、それにより部材を塑性変
形させ、反りとは逆方向の伸びを与えることで矯正して
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが近年、上記の
ようなプレス加工により製造されるリードフレームにお
いても多ピン化が要求され、内部リードおよび外部リー
ド（アウターリード部）の数が増大する傾向にあり、そ
れに伴って打抜き箇所も増加するため、内部リードやフ
レームの変形が大きくなり、前記従来の矯正方法では必
ずしも充分に矯正することができない等の問題があっ
た。

【０００５】本発明は上記の問題点に鑑みて提案された
もので、リードやフレームの変形の少ないリードフレー
ムを、簡単な構成により容易に製造できるようにするこ
とを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明によるリードフレームの製造方法は以下の構
成としたものである。即ち、製造すべきリードフレーム
の複数箇所を順送り金型により順次打抜く工程を有し、
上記複数箇所のうちのいずれかの打抜き方向を他の打抜
き方向と異ならせて、打抜き方向の異なる打抜き箇所が
１つのリードフレーム内に混在するようにしたことを特
徴とする。

【０００７】

【作用】上記のように、打抜き方向の異なる打抜き箇所
が１つのリードフレーム内に混在するようにしたことに
よって、上記の打抜いた際に残留する応力や歪みが互い
に相殺されて、リードやフレームに変形等が生じるのを
可及的に低減することが可能となる。

【０００８】なお打抜き方向を異ならせる手段は適宜で
あり、例えば順送り金型に送り込む素材の向きを途中で
反転させる、あるいは順送り金型の複数組のダイとポン
チのうち、いずれかのダイとポンチを上下反対に配置し
てもよい。また打抜き方向を異ならせる箇所は任意であ
り、内部リードや外部リードもしくはフレームの形状、
材質、板厚などを勘案して適宜設定することができる。

【０００９】例えば内部リードと外部リードとを、それ
ぞれ別の金型で互いに反対方向から打抜いた場合には、
内部リードを打抜いた際に残留した応力や歪みと、外部
リードを打抜いた際に残留した応力や歪みとが、互いに
反対方向となって相殺され、上記の応力や歪みによるフ
レームの変形を抑制することができるものである。上記
の内部リードと外部リードの数が多い場合には、それぞ
れを複数組の金型で打抜き、その各打抜き方向を異なら
せることもできる。また必要に応じて前記従来のフレー
ムの矯正方法を併用してもよい。

【００１０】

【実施例】板厚０．１５ｍｍの４２アロイ合金（Ｆｅ−
４２％Ｎｉ合金）の素材を用いて、内部リード先端ピッ
チ０．２６ｍｍ、先端幅０．１３ｍｍ、リード長さ１３
ｍｍのリードフレームを製造するに当り、内部リードを
２組の金型で同一方向から打抜き、外部リードを１組の
金型で内部リードとは逆の方向から打抜いてリードフレ
ームを形成する構成とし、その際にフレームおよび内部
リードの変形を従来の矯正方法により矯正した。

【００１１】上記の比較例として前記従来のように内部
リードおよび外部リードを同一方向から打抜く構成と
し、その際に前記の矯正方法で矯正しながら上記と同様
のリードフレームを製造した。

【００１２】その比較例による場合と、本発明に基づく
上記実施例による場合との内部リードおよびフレームの
変形状態を比較した。その結果を図１および図２に示
す。図１は内部リードの変形のひとつであるリード段差
のバラツキ、図２はフレームの幅方向の反りを示すヒス
トグラムである。なお図１、図２において、Ａは本発明
に基づく上記実施例による場合、Ｂは上記比較例による
場合を表す。

【００１３】上記図１における内部リードの段差は、内
部リードと外部リードとの間の中間部（左右のダムバー
の平均値）を基準とし、それに対する内部リードの先端
部のずれを、前記比較例および実施例のリードフレーム
についてそれぞれ１６０個ずつ測定したもので、従来の
比較例による場合は、平均が−９５．４μｍ、標準偏差
が３４．３μｍであったのに対し、本発明に基づく上記
実施例による場合は、平均−５０．５μｍ、標準偏差が
３０．５μｍとなり、従来よりもリード段差を小さく且
つバラツキを少なくすることができた。

【００１４】また図２におけるフレームの幅方向の反り
は、フレーム厚さ方向の撓み量を、前記比較例および実
施例のリードフレームについてそれぞれ９０個ずつ測定
したもので、従来の比較例による場合は、平均０．１７
３ｍｍ、標準偏差０．０２９であったのに対し、本発明
に基づく上記実施例による場合は、平均０．１２６ｍ
ｍ、標準偏差０．０１８ｍｍとなり、従来よりもフレー
ムの幅方向の反りも従来よりも小さく且つバラツキを少
なくすることができた。以上の結果からも明らかなよう
に、本発明によれは前記従来の場合よりもリードフレー
ムの変形をより小さく、しかもバラツキを少なくできる
ものである。

【００１５】

【発明の効果】以上のように本発明を実施することで、
内部リードおよびフレームの変形が抑制され、バラツキ
が少なく安定した品質のリードフレームを、簡単な構成
により容易に製造することができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明と従来法による場合の内部リード先端の
段差のバラツキを示す図。

【図２】本発明と従来法による場合のフレームの幅方向
の反りのバラツキを示す図。

【符号の説明】

Ａ 本発明による場合 Ｂ 従来法による場合

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 製造すべきリードフレームの複数箇所を
   順送り金型により順次打抜く工程を有し、上記複数箇所
   のうちのいずれかの打抜き方向を他の打抜き方向と異な
   らせて、打抜き方向の異なる打抜き箇所が１つのリード
   フレーム内に混在するようにしたことを特徴とするリー
   ドフレームの製造方法。