JPH054211A - セラミツクグリーンシートの乾燥方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 反りやクラックあるいは波打ち等の欠陥がな
い品質の高いセラミックグリーンシートが得られるセラ
ミックグリーンシートの乾燥方法およびそのために好適
な提供。温度制御ができ且つ設備コストの低い装置を提
供する。 【構成】 キャリヤフィルム３上に塗布されたセラミッ
クスラリ１２を乾燥させてセラミックグリーンシート１
５を得るセラミックグリーンシートの乾燥装置であっ
て、セラミックスラリ１２が塗布されたキャリヤフィル
ム３の下側に配置された金属製プレート７と、このプレ
ート７の下側に配置され、電磁誘導によりプレート７を
発熱させる複数の電磁誘導コイル２１とを備える。キャ
リヤフィルム３に塗布されたセラミックスラリ１２は、
キャリヤフィルム３により、金属製プレート７の上を搬
送され、このとき、セラミックスラリ１２は、その下側
から、電磁誘導コイル２１により加熱されて金属製プレ
ート７からの熱を受けて乾燥する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、積層セラミックコンデ
ンサ等のセラミック電子部品の製造に使用されるセラミ
ックグリーンシートの乾燥方法およびその装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に、この種のセラミックグリーンシ
ートの製造には、ドクタブレード法やリバースロールコ
ータ法と呼ばれる方法等が採用されている。

【０００３】ドクタブレード法は、一つの方向に搬送さ
れるキャリヤフィルム上にセラミックスラリが溜められ
たスラリダムを配置し、キャリヤフィルムの移動に伴っ
て、上記スラリダム内のセラミックスラリがドクタブレ
ードとキャリヤフィルムとの間に形成されたギャップか
らキャリヤフィルム上に引き出してキャリヤフィルム上
に塗布し、このキャリヤフィルム上のセラミックスラリ
を乾燥装置で乾燥させてセラミックグリーンシートと
し、このセラミックグリーンシートを上記キャリヤフィ
ルムから剥離させて、セラミックグリーンシートを製造
するものである。

【０００４】従来、上記ドクタブレード法によるセラミ
ックグリーンシートの製造に際して、キャリヤフィルム
上に塗布されたセラミックスラリの乾燥には、電気ヒー
タから発生する熱風を熱風乾燥、赤外線源から放射され
る赤外線を用いる赤外線乾燥あるいはマイクロ波乾燥が
採用されてきた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、熱風乾燥や
赤外線乾燥では、キャリヤフィルム上に塗布されたセラ
ミックスラリの表面から熱が伝わるため、キャリヤフィ
ルム上のセラミックスラリの表面から乾燥して皮膜が形
成され、乾燥に時間がかかったり、セラミックスラリの
乾燥により得られるセラミックグリーンシートに反りや
クラックあるいは波打ち等が生じる。また、マイクロ波
乾燥では、温度制御が難しく、キャリヤフィルムに塗布
されたセラミックスラリの温度分布を制御することが困
難であるといった問題があった。

【０００６】このような問題を解消するため、キャリヤ
フィルムの上側ばかりでなく下側からも温水等を用いて
キャリヤフィルム上のセラミックスラリを加熱し、セラ
ミックスラリを上下から均一に加熱することも行われて
いるが、乾燥装置が複雑になり、設備コストが高くなる
という問題があった。

【０００７】本発明の目的は、反りやクラックあるいは
波打ち等の欠陥がない品質の高いセラミックグリーンシ
ートを得ることができるセラミックグリーンシートの乾
燥方法を提供することである。

【０００８】本発明のいま一つの目的は、セラミックス
ラリの温度分布の制御が容易で、乾燥温度を精度よく制
御することができる設備コストの低いセラミックグリー
ンシートの乾燥装置を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本願の請求項１に記載の発明は、キャリヤフィルム
上にドクタブレード法を用いてセラミックスラリを塗布
し、乾燥装置を通過させてキャリヤフィルム上のセラミ
ックスラリを乾燥させてセラミックグリーンシートを得
るセラミックグリーンシートの乾燥方法であって、下側
に配置した複数の電磁誘導コイルにより発熱する金属製
プレートの上側を、キャリヤフィルム上に塗布されたセ
ラミックグリーンシートを通過させて乾燥させることを
特徴としている。

【００１０】また、上記いま一つの目的を達成するた
め、本願の請求項２に記載の発明は、キャリヤフィルム
上に塗布されたセラミックスラリを乾燥させてセラミッ
クグリーンシートを得るセラミックグリーンシートの乾
燥装置であって、セラミックスラリが塗布されたキャリ
ヤフィルムの下側に配置された金属製プレートと、この
金属製プレートの下側に配置され、電磁誘導により上記
金属製プレートを発熱させる複数の電磁誘導コイルとか
らなる電磁誘導乾燥装置を備えたことを特徴としてい
る。

【００１１】

【作用】上記キャリヤフィルムに塗布されたセラミック
スラリは、キャリヤフィルムにより、金属製プレートの
上を搬送される。このとき、金属製プレートは電磁誘導
コイルにより加熱されているので、キャリヤフィルム上
のセラミックスラリは、その下側から、金属製プレート
の熱を受けて乾燥する。

【００１２】

【発明の効果】本発明によれば、キャリヤフィルム上の
セラミックスラリの乾燥状態に応じて、誘導加熱により
金属製プレートの温度および温度分布を制御し、反りや
クラックあるいは波打ち等の欠陥のない高品質なセラミ
ックグリーンシートを製造することができる。

【００１３】また、本発明によれば、誘導コイルにより
金属プレートに発生する誘導電流を容易に制御すること
ができるので、金属プレートの温度および温度分布を制
御し、キャリヤフィルム上のセラミックスラリの乾燥状
態に応じて乾燥温度を精度よく制御することができるう
え、構造が簡単な電磁誘導乾燥装置を用いた設備コスト
の低い乾燥装置を得ることができる。

【００１４】

【実施例】以下、添付の図面を参照して本発明の実施例
を説明する。本発明に係るセラミックグリーンシートの
乾燥装置を備えたセラミックグリーンシートの製造装置
を図１に示す。

【００１５】図１に示すセラミックグリーンシートの製
造装置は、電磁誘導加熱を用いた本発明に係るセラミッ
クグリーンシートの電磁誘導乾燥装置１とそれに続いて
配置された電気ヒータによる熱風乾燥装置２を併用した
ものである。

【００１６】上記電磁誘導乾燥装置１および熱風乾燥装
置２を間にして、キャリヤフィルム３の供給ロール４と
巻取りロール５とが配置される。上記キャリヤフィルム
３は、ほぼ一定幅を有する樹脂フィルムよりなり、上記
供給ロール４に巻装されている。キャリヤフィルム３
は、ガイドローラ６により案内されて、図１において矢
印Ａ１で示すように、上記電磁誘導乾燥装置１および熱
風乾燥装置２を通過したのち、巻取ロール５に巻き取ら
れる。

【００１７】上記キャリヤフィルム３は、電磁誘導乾燥
装置１では、この電磁誘導乾燥装置２の構成要素である
後に説明する金属プレート７により下方から支持され、
また、熱風乾燥装置２では、キャリヤフィルム３の下に
配置された一対のロール８，９に張り渡された無端ベル
ト１１により支持される。一対の上記ロール８，９は、
矢印Ａ２，Ａ３で示すように駆動され、キャリヤフィル
ム３の移動に合致して無端ベルト１１を移動させる。

【００１８】上記電磁誘導乾燥装置１とキャリヤフィル
ム３の供給ロール４との間には、キャリヤフィルム３の
上に、セラミックスラリ１２が溜められたスラリダム１
３を配置している。このスラリダム１３内に貯蔵された
セラミックスラリ１２は、キャリヤフィルム３の上記移
動に伴って、ドクタブレード１４とキャリヤフィルム３
との間に形成されたギャップ（図示せず。）からキャリ
ヤフィルム３上に引き出される。これにより、スラリダ
ム１３内のセラミックスラリ１２は、キャリヤフィルム
３上に一定厚さで塗布される。

【００１９】キャリヤフィルム３の上に塗布されたセラ
ミックスラリ１２は、キャリヤフィルム３の移動に伴っ
て、上記電磁誘導乾燥装置１および熱風乾燥装置２にて
乾燥されてラミックグリーンシート１５となり、このセ
ラミックグリーンシート１５が剥離ローラ１６にて上記
キャリヤフィルム３から剥離されて、一対のローラ１
７，１８の間から取り出される。

【００２０】上記電磁誘導乾燥装置１は、セラミックス
ラリ１２が塗布されたキャリヤフィルム３の下側に配置
された上記金属製プレート７と、この金属製プレート７
の下側に配置され、電磁誘導により上記金属製プレート
７を発熱させる複数の電磁誘導コイル２１，２１，…と
からなる。

【００２１】上記金属製プレート７は、たとえば鉄等の
金属材料からなり、キャリヤフィルム３の幅よりもやや
大きな幅を有する。

【００２２】上記金属製プレート３の下側には、上記電
磁誘導コイル２１，２１，…が配置される。これら電磁
誘導コイル２１，２１，…は、たとえば図２に示すよう
に、樹脂２２でモールドされ、キャリヤフィルム３の搬
送方向Ａ１に間隔をおいて配置される。そして、これら
電磁誘導コイル２１，２１，…のコイルの巻回数は、電
磁誘導乾燥装置１（図１参照）の入口側に近いものほ
ど、コイルの巻回数が少なく、出口側に向かうほどコイ
ルの巻回数が多くなるように設定している。

【００２３】このような構成を有する電磁誘導乾燥装置
１を有するセラミックグリーンシート１５の製造装置を
用い、セラミック粉体と有機溶剤、もしくは水とバイン
ダとを混合したセラミックスラリを、ドクタブレード法
によりキャリヤフィルム３上に塗布し、電磁誘導乾燥装
置１を通過させて乾燥を行った。

【００２４】この乾燥の過程で、キャリヤフィルム３上
に塗布されたセラミックスラリ１２は、電磁誘導乾燥装
置１の金属製プレート７の上を搬送されるにつれて、各
電磁誘導コイル２１の巻回数に応じた加熱温度で徐々に
加熱され、キャリヤフィルム３の幅方向の全体がほぼ同
時に乾燥が進行し、セラミックスラリ１２の均一な乾燥
が行われる。これにより、反りやクラックあるいは波打
ちのない品質の良好なセラミックグリーンシート１５を
得ることができる。上記電磁誘導乾燥装置１と従来の乾
燥装置の比較例を次の表１に示す。

【００２５】

【表１】

【００２６】表１から、上記電磁誘導乾燥装置１が、温
度ばらつき、温度傾斜のつけやすさ、温度制御のしやす
さ、およびコスト等の面で、従来の電磁誘導乾燥装置よ
りもすぐれていることがわかる。

【００２７】上記実施例では、電磁誘導コイル２１，２
１，…は、図２に示すように、キャリヤフィルム３の搬
送方向に間隔をおいて配置し、これら電磁誘導コイル２
１，２１，…のコイルの巻回数を、電磁誘導乾燥装置１
の入口側に近いものほど、コイルの巻回数が少なく、出
口側に向かうほどコイルの巻回数が多くなるように設定
したが、セラミックスラリ１２は、キャリヤフィルム３
の両端部分よりも、キャリヤフィルム３の中央部分にな
るほど乾燥しにくいことを考慮し、図３に示すように、
キャリヤフィルム３の幅方向にも複数の電磁誘導コイル
２１，２１，…を配置し、これら電磁誘導コイル２１，
２１，…を、キャリヤフィルム３の両側に近いものほ
ど、コイルの巻回数が少なく、中央に近いものほど、コ
イルの巻回数を多くなるように設定してもよい。

【００２８】また、金属製プレート７によるキャリヤフ
ィルム３上のセラミックスラリ１２の加熱条件は、上記
のように、各電磁誘導コイル２１の巻数、配置を変える
ことにより制御することができるほか、各電磁誘導コイ
ル２１の電流を変化させたり、金属製プレート７と電磁
誘導コイル２１との間隔を調整することによっても制御
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電磁誘導乾燥装置を備えたセラミ
ックグリーンシートの製造装置の概略構造を示す説明図
である。

【図２】金属製プレートに対する電磁誘導コイルの配置
の一例の説明図である。

【図３】金属製プレートに対する電磁誘導コイルの配置
の一例の説明図である。

【符号の説明】

１ 電磁誘導乾燥装置 ３ キャリヤフィルム ７ 金属製プレート １２ セラミックスラリ １３ スラリダム １４ ドクタブレード １５ セラミックグリーンシート １６ 剥離ローラ ２１ 電磁誘導コイル

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 キャリヤフィルム上にドクタブレード法
   を用いてセラミックスラリを塗布し、乾燥装置を通過さ
   せてキャリヤフィルム上のセラミックスラリを乾燥させ
   てセラミックグリーンシートを得るセラミックグリーン
   シートの乾燥方法であって、下側に配置した複数の電磁
   誘導コイルにより発熱する金属製プレートの上側を、キ
   ャリヤフィルム上に塗布されたセラミックグリーンシー
   トを通過させて乾燥させることを特徴とするセラミック
   グリーンシートの乾燥方法。
2. 【請求項２】 キャリヤフィルム上に塗布されたセラミ
   ックスラリを乾燥させてセラミックグリーンシートを得
   るセラミックグリーンシートの乾燥装置であって、セラ
   ミックスラリが塗布されたキャリヤフィルムの下側に配
   置された金属製プレートと、この金属製プレートの下側
   に配置され、電磁誘導により上記金属製プレートを発熱
   させる複数の電磁誘導コイルとからなる電磁誘導乾燥装
   置を備えたことを特徴とするセラミックグリーンシート
   の乾燥装置。