JPH0542339Y2 - - Google Patents
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- JPH0542339Y2 JPH0542339Y2 JP7082187U JP7082187U JPH0542339Y2 JP H0542339 Y2 JPH0542339 Y2 JP H0542339Y2 JP 7082187 U JP7082187 U JP 7082187U JP 7082187 U JP7082187 U JP 7082187U JP H0542339 Y2 JPH0542339 Y2 JP H0542339Y2
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- measuring tube
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、セラミツクス製の測定管を有する電
磁流量計に関するものである。さらに詳述すれば
本考案はこの種電磁流量計の電極部分の改良に関
するものである。
磁流量計に関するものである。さらに詳述すれば
本考案はこの種電磁流量計の電極部分の改良に関
するものである。
セラミツクス製の測定管を有する電磁流量計に
おいては、従来第５図に示すように、セラミツク
ス製の円筒状の測定管１の所定位置に導電性粉末
を混合し測定管１と一体に焼成することにより混
合部２１を形成し、この混合部２１を電極２とす
るものが知られている。そして混合する導電性粉
末としては、測定管の焼成温度より融点が高いこ
と、かつ耐蝕性を有することが必要で、例えば、
測定管がアルミナ（Al2O3）やジルコニア
（ZrO2）などの酸化物セラミツクスの場合には、
導電性粉末としては白金（Pt）あるいはパラジ
ウム（Pd）などが用いられる。
おいては、従来第５図に示すように、セラミツク
ス製の円筒状の測定管１の所定位置に導電性粉末
を混合し測定管１と一体に焼成することにより混
合部２１を形成し、この混合部２１を電極２とす
るものが知られている。そして混合する導電性粉
末としては、測定管の焼成温度より融点が高いこ
と、かつ耐蝕性を有することが必要で、例えば、
測定管がアルミナ（Al2O3）やジルコニア
（ZrO2）などの酸化物セラミツクスの場合には、
導電性粉末としては白金（Pt）あるいはパラジ
ウム（Pd）などが用いられる。
このような混合部を電極とする電磁流量計にお
いては、混合する導電性粉末の体積含有率が気密
性と耐ノイズ性に影響を与える。
いては、混合する導電性粉末の体積含有率が気密
性と耐ノイズ性に影響を与える。
すなわち、導電性粉末の体積含有率が高いと焼
成時の混合部の収縮率が小さくなり、測定管の素
地セラミツクスとの収縮率の差が大きくなる。収
縮率の差が大きくなると焼成時に混合部と測定管
の境界やその近傍に応力が生じ、焼成時またはそ
の後のサーマルシヨツク等により境界部分にクラ
ツクが発生しやすくなる。クラツクが発生すると
漏れ孔が形成され、気密性が確保できなくなる。
このため、気密性の面からは混合部における導電
性粉末の体積含有率を導電性が得られる範囲でな
るべく低くすることが望ましい。
成時の混合部の収縮率が小さくなり、測定管の素
地セラミツクスとの収縮率の差が大きくなる。収
縮率の差が大きくなると焼成時に混合部と測定管
の境界やその近傍に応力が生じ、焼成時またはそ
の後のサーマルシヨツク等により境界部分にクラ
ツクが発生しやすくなる。クラツクが発生すると
漏れ孔が形成され、気密性が確保できなくなる。
このため、気密性の面からは混合部における導電
性粉末の体積含有率を導電性が得られる範囲でな
るべく低くすることが望ましい。
一方、導電性粉末の体積含有率を低くすると、
導電性粉末と測定流体との接触面積が小さくな
り、接液インピーダンスが大きくなる。接液イン
ピーダンスが大きくなると、耐ノイズ性が悪化す
る。このため、耐ノイズ性の面からは導電性粉末
の体積含有率はなるべく高いほうが望ましい。
導電性粉末と測定流体との接触面積が小さくな
り、接液インピーダンスが大きくなる。接液イン
ピーダンスが大きくなると、耐ノイズ性が悪化す
る。このため、耐ノイズ性の面からは導電性粉末
の体積含有率はなるべく高いほうが望ましい。
このように従来の一体焼成により形成した混合
部を電極とする電磁流量計においては、気密性に
注目して導電性粉末の体積含有率を決めると、耐
ノイズ性が悪化し、他方耐ノイル性に注目して導
電性粉末の体積含有率を決めると高い気密性が確
保できなくなるという問題があつた。
部を電極とする電磁流量計においては、気密性に
注目して導電性粉末の体積含有率を決めると、耐
ノイズ性が悪化し、他方耐ノイル性に注目して導
電性粉末の体積含有率を決めると高い気密性が確
保できなくなるという問題があつた。
本考案の目的は、高い気密性を確保でき、しか
も耐ノイズ性を悪化させることのないセラミツク
ス製の測定管を有する電磁流量計を提供するにあ
る。
も耐ノイズ性を悪化させることのないセラミツク
ス製の測定管を有する電磁流量計を提供するにあ
る。
この目的を達成するために本考案では、測定流
体が流れるセラミツクス製測定管中の電極部分に
導電性粉末を混合し一体焼成した混合部を有する
電磁流量計において、前記混合部の接液側に良導
体からなる溶射層を設けて電極を形成したもので
ある。
体が流れるセラミツクス製測定管中の電極部分に
導電性粉末を混合し一体焼成した混合部を有する
電磁流量計において、前記混合部の接液側に良導
体からなる溶射層を設けて電極を形成したもので
ある。
このように本考案においては、混合部の接液側
に良導体からなる溶射層を設けているので、接液
インピーダンスは溶射層できまり、混合部は導電
性のみ考慮すればよく、混合する導電性粉末の体
積含有率を低くでき、高い気密性を確保できる。
また良導体からなる溶射層の接液インピーダンス
は十分に小さく、耐ノイズ性を確保できる。
に良導体からなる溶射層を設けているので、接液
インピーダンスは溶射層できまり、混合部は導電
性のみ考慮すればよく、混合する導電性粉末の体
積含有率を低くでき、高い気密性を確保できる。
また良導体からなる溶射層の接液インピーダンス
は十分に小さく、耐ノイズ性を確保できる。
第１図は本考案の一実施例の構成説明図であ
る。
る。
図において、２１は混合部で、二次粒子化され
た数十μのアルミナの顆粒を使用して成形した測
定管１の所定部分に、平均粒子径が50μの白金粉
末と平均粒子径が0.6μのアルミナ粉末を混合し、
1ton／cm2の圧力で成形した後、測定管１と一体に
焼成して形成したものである。この場合の混合部
２１と測定管１との収縮率の関係は第２図のよう
になり、白金の体積含有率が増すほど測定管１と
の収縮率の差が大きくなる。そして混合部２１は
白金の体積含有率が20％以上あれば導電性が得ら
れるので、この実施例では20％程度に選ばれてい
る。このように混合部２１の導電性粉末の体積含
有率は導電性が得られる範囲での最小値付近に選
ぶことができるため、測定管１との収縮率の差が
小さくなり、高い気密性が得られる。
た数十μのアルミナの顆粒を使用して成形した測
定管１の所定部分に、平均粒子径が50μの白金粉
末と平均粒子径が0.6μのアルミナ粉末を混合し、
1ton／cm2の圧力で成形した後、測定管１と一体に
焼成して形成したものである。この場合の混合部
２１と測定管１との収縮率の関係は第２図のよう
になり、白金の体積含有率が増すほど測定管１と
の収縮率の差が大きくなる。そして混合部２１は
白金の体積含有率が20％以上あれば導電性が得ら
れるので、この実施例では20％程度に選ばれてい
る。このように混合部２１の導電性粉末の体積含
有率は導電性が得られる範囲での最小値付近に選
ぶことができるため、測定管１との収縮率の差が
小さくなり、高い気密性が得られる。
２２は白金等の良導体の溶射層で、混合部２１
の接液側に設けられ、測定管１と凹凸がないよう
な厚さで施されている。なお溶射層２２の厚さを
測定管１より凸となるように施して、その後研削
およびまたは研磨加工して測定管１と凹凸がない
ようにしてもよい。また測定管１と混合部２１の
溶射層と接する部分が粗面であると、溶射層が粗
面を形成する凹凸部に十分噛み込み、溶射層２２
と測定管１および混合部２１との結合はさらに強
固になる。
の接液側に設けられ、測定管１と凹凸がないよう
な厚さで施されている。なお溶射層２２の厚さを
測定管１より凸となるように施して、その後研削
およびまたは研磨加工して測定管１と凹凸がない
ようにしてもよい。また測定管１と混合部２１の
溶射層と接する部分が粗面であると、溶射層が粗
面を形成する凹凸部に十分噛み込み、溶射層２２
と測定管１および混合部２１との結合はさらに強
固になる。
このように溶射層２２はセラミツクス測定管１
と混合部２１とを一体焼成した後設けられるた
め、溶射層２２としては白金に限らず、金属とし
てチタン（Ti）、タンタル（Ta）、導電性化合物
としてタングステンカーバイト（WC）、導電性
セラミツクとしてホウ化ジルコニユウム
（ZrB2）、炭化珪素（SiC）、炭化チタン（Tic）、
複合セラミツクとしてアルミナ炭化チタン（Al2
O3TiC）などを用いることができる。特に導電性
セラミツクはセラミツクス測定管と熱膨脹係数が
ほぼ等しいにもかかわらず、焼成温度が違うため
従来電極に使用できなかつたものである。また測
定管１としても酸化物セラミツクスに限らず、例
えばチツ化ケイ素（Si3N4）等の非酸化物セラミ
ツクスでも使用できる。
と混合部２１とを一体焼成した後設けられるた
め、溶射層２２としては白金に限らず、金属とし
てチタン（Ti）、タンタル（Ta）、導電性化合物
としてタングステンカーバイト（WC）、導電性
セラミツクとしてホウ化ジルコニユウム
（ZrB2）、炭化珪素（SiC）、炭化チタン（Tic）、
複合セラミツクとしてアルミナ炭化チタン（Al2
O3TiC）などを用いることができる。特に導電性
セラミツクはセラミツクス測定管と熱膨脹係数が
ほぼ等しいにもかかわらず、焼成温度が違うため
従来電極に使用できなかつたものである。また測
定管１としても酸化物セラミツクスに限らず、例
えばチツ化ケイ素（Si3N4）等の非酸化物セラミ
ツクスでも使用できる。
第３図は本考案の他の実施例の構成説明図で、
第１図の実施例と異なるところは、溶射層２２を
混合部２１で囲むようにして、溶射層２２が直接
測定管１のセラミツクスに接触しないようにした
ものである。このように構成することによつて、
混合部２１がバツフアとして機能し、セラミツク
ス製の測定管１と溶射層２２の熱膨脹係数の差に
基く測定流体の温度変化等による影響を緩和でき
る。この場合溶射層２２を囲む混合部分は必ずし
も導電性を有する必要がないので、第３図の実施
例に示すように混合部分２１を導電性のある部分
２１ａと導電性のない部分２１ｂとに分けて形成
してもよい。この場合導電性のない混合部分２１
ｂの混入する導電性粉末の体積含有率を例えば10
％にすれば、測定管１と導電性のない混合部分２
１ｂとの体積含有率の差、および導電性のない混
合部分２１ｂと導電性のある混合部分２１ａとの
体積含有率の差がそれぞれ10％となり、焼成時の
収縮率の差をさらに小さくできる。
第１図の実施例と異なるところは、溶射層２２を
混合部２１で囲むようにして、溶射層２２が直接
測定管１のセラミツクスに接触しないようにした
ものである。このように構成することによつて、
混合部２１がバツフアとして機能し、セラミツク
ス製の測定管１と溶射層２２の熱膨脹係数の差に
基く測定流体の温度変化等による影響を緩和でき
る。この場合溶射層２２を囲む混合部分は必ずし
も導電性を有する必要がないので、第３図の実施
例に示すように混合部分２１を導電性のある部分
２１ａと導電性のない部分２１ｂとに分けて形成
してもよい。この場合導電性のない混合部分２１
ｂの混入する導電性粉末の体積含有率を例えば10
％にすれば、測定管１と導電性のない混合部分２
１ｂとの体積含有率の差、および導電性のない混
合部分２１ｂと導電性のある混合部分２１ａとの
体積含有率の差がそれぞれ10％となり、焼成時の
収縮率の差をさらに小さくできる。
以上説明したように本考案においては、測定流
体が流れるセラミツクス製の測定管中の電極部分
に導電性粉末を混入し、測定管とともに一体焼成
した混合部分の接液側に溶射層を設けて電極を形
成しているので、高い気密性を確保でき、しかも
耐ノイズ性を悪化させることのないセラミツク製
の測定管を有する電磁流量計が得られる。
体が流れるセラミツクス製の測定管中の電極部分
に導電性粉末を混入し、測定管とともに一体焼成
した混合部分の接液側に溶射層を設けて電極を形
成しているので、高い気密性を確保でき、しかも
耐ノイズ性を悪化させることのないセラミツク製
の測定管を有する電磁流量計が得られる。
第１図は本考案電磁流量計の一実施例を示す構
成説明図、第２図は動作説明のため特性線図、第
３図および第４図は本考案電磁流量計の他の実施
例を説明するための要部の拡大図、第５図は従来
の電磁流量計の一例を示す構成説明図である。 １……セラミツクス製の測定管、２……電極、
２１……混合部、２１ａ……導電性のある混合
部、２１ｂ……導電性のない混合部、２２……良
導体の溶射層。
成説明図、第２図は動作説明のため特性線図、第
３図および第４図は本考案電磁流量計の他の実施
例を説明するための要部の拡大図、第５図は従来
の電磁流量計の一例を示す構成説明図である。 １……セラミツクス製の測定管、２……電極、
２１……混合部、２１ａ……導電性のある混合
部、２１ｂ……導電性のない混合部、２２……良
導体の溶射層。
Claims (1)
- 測定流体が流れるセラミツク製測定管中の電極
部分に導電性粉末を混合し一体焼成した混合部を
有する電磁流量計において、前記混合部の接液側
に良導体からなる溶射層を設けて電極を形成した
ことを特徴とする電磁流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7082187U JPH0542339Y2 (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7082187U JPH0542339Y2 (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63181822U JPS63181822U (ja) | 1988-11-24 |
| JPH0542339Y2 true JPH0542339Y2 (ja) | 1993-10-26 |
Family
ID=30912805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7082187U Expired - Lifetime JPH0542339Y2 (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0542339Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-05-12 JP JP7082187U patent/JPH0542339Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63181822U (ja) | 1988-11-24 |
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