JPH0542393B2 - - Google Patents
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- JPH0542393B2 JPH0542393B2 JP59231935A JP23193584A JPH0542393B2 JP H0542393 B2 JPH0542393 B2 JP H0542393B2 JP 59231935 A JP59231935 A JP 59231935A JP 23193584 A JP23193584 A JP 23193584A JP H0542393 B2 JPH0542393 B2 JP H0542393B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- firing
- lead
- molded body
- ceramic molded
- powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
(産業上の利用分野)
本発明は鉛を含むセラミツクス成形体の焼成に
よる鉛の含有量の変化を抑えて均質な焼成物を得
る鉛を含むセラミツクス成形体の焼成方法に関す
る。 (従来技術) 一般に、セラミツクスコンデンサの誘電体材料
としては比較的低温で焼成することができること
から鉛を含む材料が使用されている。この鉛を含
む材料を所定の形状に成形したセラミツクス成形
体の焼成には、トンネル炉と呼ばれる横型の電気
炉やガス炉が使用されている。 この種のトンネル炉は、第2図aに示すよう
に、トンネル状の炉体1が水平に配置されたもの
で、炉体1の内部は予熱ゾーン1a、焼成ゾーン
1bおよび冷却ゾーン1cに区画され、これら予
熱ゾーン1a、焼成ゾーン1bおよび冷却ゾーン
1cは夫々第2図bに折れ線h1で示すような温度
分布を有している。 上記のような構成を有するトンネル炉でセラミ
ツクスコンデンサの誘電体として使用される鉛を
含むセラミツクス成形体を焼成する場合、第3図
に示すように、焼成するセラミツクス成形体2を
鉢部3aとその蓋部3bとからなる箱体状の焼成
匣3に詰め込む。この焼成匣3を第2図aに示す
ように台板4上に積載し、図示しないプツシヤに
より、先ず、炉体1の予熱ゾーン1a内に矢印
A1で示すように自動的にプツシユする。この予
熱ゾーン1a内にてセラミツクス成形体2中のバ
インダ(成形助剤)を燃焼させた(脱バインダ工
程)後、上記台板4を炉体1の焼成ゾーン1bに
プツシユしてセラミツクス成形体2を焼成する。
この焼成が完了すると、セラミツクス成形体2は
炉体1の冷却ゾーン1cにプツシユされて冷却さ
れた後、炉体1から矢印A2で示すように引き出
される。 上記のように、鉛を含むセラミツクス成形体2
を焼成匣3に詰め込んで焼成する場合、セラミツ
クス成形体2中の鉛は蒸発しやすいので、従来、
第3図に示すように、焼成時に焼成匣3内を鉛雰
囲気化して飛散する鉛量を抑制するため、経験的
に知られた所定の鉛含有率を有する鉛雰囲気調整
用敷粉5を一定量だけ焼成匣3の鉢部3aに敷
き、その上にセラミツクス成形体2を詰め込んで
焼成していた。 ところで、上記のように一定量の決められた種
類の鉛雰囲気調整用敷粉5を使用してセラミツク
ス成形体2を焼成しても、焼成後のセラミツクス
成形体2の焼成物はロツトによつてその組成特に
鉛成分が変化しており、すべてのロツトを通じて
化学量論的な組成を満足する均質な焼成物を得る
ことができなかつた。 (発明の目的) 本発明者等は、焼成匣内に生成される鉛雰囲気
がセラミツクス成形体の組成および焼成温度、焼
成匣の組成や種類さらには使用回数等々の焼成条
件によつて種々変化することに着目し、焼成条件
に対応して最適な鉛雰囲気を調整コントロールす
ることによつて、焼成物の重量変化特に鉛成分の
変化を皆無とすることができることを見い出し、
本発明をなすに到つたものである。 すなわち、本発明は、セラミツクス成形体の焼
成条件に応じて適切な鉛雰囲気調整用敷粉の種類
および量を選択し、均質な焼成物を得るようにし
た鉛を含むセラミツクス成形体の焼成方法を提供
することを目的としている。 (発明の構成) このため、本発明は、鉛を含むセラミツクス成
形体の焼成に際し、鉛含有量の異なる鉛雰囲気調
整用敷粉を用意し、セラミツクス成形体の焼成条
件に応じて鉛雰囲気調整用敷粉の種類および使用
量を選択し、セラミツクス成形体中の鉛の含有量
が変化しないように焼成することを特徴としてい
る。すなわち、本発明は、セラミツクス成形体の
焼成条件に対応して実験により予め種類および使
用量が求められた鉛雰囲気調整用敷粉を使用する
もので、セラミツクス成形体の焼成条件に適合し
た種類および鉛雰囲気調整用敷粉を使用すること
により、均質な焼成物を得ることができる。 (発明の効果) 本発明は、実験により定めたセラミツクス成形
体の焼成条件に適合した種類および量の鉛雰囲気
調整用敷粉を使用してセラミツクス成形体を焼成
するので、焼成条件の変化によるセラミツクス成
形体からの鉛の飛散量の変化が補正され、常に均
質な焼成物を得ることができる。 (実施例) 以下、添付図面を参照して本発明を説明する。 本願の発明者等は、セラミツクス成形体の焼成
条件の変化による最適な鉛雰囲気調整用敷粉の種
類および量を知るため、以下に説明する〔実験
1.〕〔実験2.〕および〔実験3.〕を行つた。 〔実験1〕 鉛を含むセラミツクス成形体2として、チタン
酸ジルコン酸鉛の成形物(以下、PZT成形物と
記す。)を用意し、また、焼成匣としては、アル
ミナ(Al2O3)純度99.3パーセントで乾式プレス
成形したもの(以下、焼成匣Aと記す。)、アルミ
ナ(Al2O3)純度99.8パーセントで鋳込み成形し
たもの(以下、焼成匣Bと記す。)を用意した。 焼成匣Aおよび焼成匣Bにいずれも、ZrO2パ
ウダ90パーセントと鉛丹(Pb3O4)10パーセント
とからなる鉛雰囲気調整用敷粉(以下、単に敷粉
と記す。)を単位容積当たり30グラム敷いてその
上に焼成するPZT成形物を詰め込み、合計5回
焼成を行つて焼成完了毎にPZT焼成物の重量変
化を測定した。その結果、第1図aに示すよう
に、焼成匣Aおよび焼成匣Bについて夫々曲線
h1Aおよびh1Bで示す結果を得た。 次に、焼成匣Aおよび焼成匣Bにいずれも、
ZrO2パウダ90パーセントとチタン酸ジルコン酸
鉛の仮焼物(以下、PZT仮焼物と記す。)10パー
セントとからなる敷粉を単位容積当たり10グラム
敷いてその上に焼成するPZT成形物を詰め込み、
上記と同様に、合計5回焼成を行つて焼成完了毎
にPZT焼成物の重量変化を測定した。その結果、
第1図aに示すように、焼成匣Aおよび焼成匣B
について夫々曲線h2Aおよびh2Bで示す結果を得
た。 上記第1図aから分かるように、PZT成形物
の重量変化率は、焼成匣の使用回数とともに増加
し、焼成匣Aと焼成匣BとではPZT成形物の重
量変化率が異なつている。また、敷粉の種類によ
りPZT成形物の重量変化率が正(プラス)とな
る場合と負(マイナス)となる場合とがある。 〔実験2〕 一方、焼成匣AおよびBを使用し、これら焼成
匣AおよびBの各々について、1200℃の焼成温度
にて各5回焼成を行い、焼成匣AおよびBの累積
鉛吸着量を測定したところ、第1図bにおいて曲
線k1Aおよびk1Bで示す結果を得た。 同様に、焼成匣AおよびBの各々について、
1300℃の焼成温度にて各5回焼成を行い、焼成匣
AおよびBの累積鉛吸着量を測定したところ、第
1図bにおいて曲線k2Aおよびk2Bで示す結果を
得た。 第1図bは、焼成回数が増加すると焼成匣Aお
よびBに付着する鉛の量が変化していることを示
しているが、焼成匣Aと焼成匣Bとでは鉛吸着量
が大きく異なつていることが注目される。さら
に、焼成温度によつても焼成匣AおよびBへの鉛
吸着量が異なる。 以上の〔実験1〕および〔実験2〕の結果は、
PZT成形物の焼成に使用される焼成匣の種類、
その使用回数およびPZT成形物の焼成温度に関
係なく、一種類の敷粉を一定量使用してPZT成
形物を焼成しても、PZT成形物中の鉛量を制御
できないことを示している。 〔実験3〕 そこで、本願の発明者等は、PZT成形物の焼
成時の鉛雰囲気を増加させる敷粉として、ZrO2
パウダに鉛丹(Pb3O4)を混合したものを使用
し、鉛雰囲気の増加量の調整にはZrO2パウダと
鉛丹との混合比および使用量を変化させた。 また、PZT成形物の焼成時の鉛雰囲気を減少
させる敷粉として、ZrO2パウダにPZT仮焼物を
粉砕して混合したものを使用し、鉛雰囲気の減少
量の調整にはZrO2パウダとPZT仮焼物との混合
比および使用量を変化させた。 すなわち、ZrO2パウダとPZT仮焼物とを90パ
ーセントと10パーセントの割合で混合した敷粉
P1と、ZrO2パウダと鉛丹とを90パーセントと10
パーセントの割合で混合した敷粉P2と、焼成匣
Bを用意し、焼成匣Bの単位体積当たり敷粉P1
を30グラムおよび10グラム敷いて1250℃で焼成を
行つたとき、および焼成匣Bの単位体積当たり敷
粉P2を10グラムおよび30グラム敷いて1250℃で
焼成を行つたときのPZT成形物の重量変化率を
測定した。 その結果を次の表に示す。
よる鉛の含有量の変化を抑えて均質な焼成物を得
る鉛を含むセラミツクス成形体の焼成方法に関す
る。 (従来技術) 一般に、セラミツクスコンデンサの誘電体材料
としては比較的低温で焼成することができること
から鉛を含む材料が使用されている。この鉛を含
む材料を所定の形状に成形したセラミツクス成形
体の焼成には、トンネル炉と呼ばれる横型の電気
炉やガス炉が使用されている。 この種のトンネル炉は、第2図aに示すよう
に、トンネル状の炉体1が水平に配置されたもの
で、炉体1の内部は予熱ゾーン1a、焼成ゾーン
1bおよび冷却ゾーン1cに区画され、これら予
熱ゾーン1a、焼成ゾーン1bおよび冷却ゾーン
1cは夫々第2図bに折れ線h1で示すような温度
分布を有している。 上記のような構成を有するトンネル炉でセラミ
ツクスコンデンサの誘電体として使用される鉛を
含むセラミツクス成形体を焼成する場合、第3図
に示すように、焼成するセラミツクス成形体2を
鉢部3aとその蓋部3bとからなる箱体状の焼成
匣3に詰め込む。この焼成匣3を第2図aに示す
ように台板4上に積載し、図示しないプツシヤに
より、先ず、炉体1の予熱ゾーン1a内に矢印
A1で示すように自動的にプツシユする。この予
熱ゾーン1a内にてセラミツクス成形体2中のバ
インダ(成形助剤)を燃焼させた(脱バインダ工
程)後、上記台板4を炉体1の焼成ゾーン1bに
プツシユしてセラミツクス成形体2を焼成する。
この焼成が完了すると、セラミツクス成形体2は
炉体1の冷却ゾーン1cにプツシユされて冷却さ
れた後、炉体1から矢印A2で示すように引き出
される。 上記のように、鉛を含むセラミツクス成形体2
を焼成匣3に詰め込んで焼成する場合、セラミツ
クス成形体2中の鉛は蒸発しやすいので、従来、
第3図に示すように、焼成時に焼成匣3内を鉛雰
囲気化して飛散する鉛量を抑制するため、経験的
に知られた所定の鉛含有率を有する鉛雰囲気調整
用敷粉5を一定量だけ焼成匣3の鉢部3aに敷
き、その上にセラミツクス成形体2を詰め込んで
焼成していた。 ところで、上記のように一定量の決められた種
類の鉛雰囲気調整用敷粉5を使用してセラミツク
ス成形体2を焼成しても、焼成後のセラミツクス
成形体2の焼成物はロツトによつてその組成特に
鉛成分が変化しており、すべてのロツトを通じて
化学量論的な組成を満足する均質な焼成物を得る
ことができなかつた。 (発明の目的) 本発明者等は、焼成匣内に生成される鉛雰囲気
がセラミツクス成形体の組成および焼成温度、焼
成匣の組成や種類さらには使用回数等々の焼成条
件によつて種々変化することに着目し、焼成条件
に対応して最適な鉛雰囲気を調整コントロールす
ることによつて、焼成物の重量変化特に鉛成分の
変化を皆無とすることができることを見い出し、
本発明をなすに到つたものである。 すなわち、本発明は、セラミツクス成形体の焼
成条件に応じて適切な鉛雰囲気調整用敷粉の種類
および量を選択し、均質な焼成物を得るようにし
た鉛を含むセラミツクス成形体の焼成方法を提供
することを目的としている。 (発明の構成) このため、本発明は、鉛を含むセラミツクス成
形体の焼成に際し、鉛含有量の異なる鉛雰囲気調
整用敷粉を用意し、セラミツクス成形体の焼成条
件に応じて鉛雰囲気調整用敷粉の種類および使用
量を選択し、セラミツクス成形体中の鉛の含有量
が変化しないように焼成することを特徴としてい
る。すなわち、本発明は、セラミツクス成形体の
焼成条件に対応して実験により予め種類および使
用量が求められた鉛雰囲気調整用敷粉を使用する
もので、セラミツクス成形体の焼成条件に適合し
た種類および鉛雰囲気調整用敷粉を使用すること
により、均質な焼成物を得ることができる。 (発明の効果) 本発明は、実験により定めたセラミツクス成形
体の焼成条件に適合した種類および量の鉛雰囲気
調整用敷粉を使用してセラミツクス成形体を焼成
するので、焼成条件の変化によるセラミツクス成
形体からの鉛の飛散量の変化が補正され、常に均
質な焼成物を得ることができる。 (実施例) 以下、添付図面を参照して本発明を説明する。 本願の発明者等は、セラミツクス成形体の焼成
条件の変化による最適な鉛雰囲気調整用敷粉の種
類および量を知るため、以下に説明する〔実験
1.〕〔実験2.〕および〔実験3.〕を行つた。 〔実験1〕 鉛を含むセラミツクス成形体2として、チタン
酸ジルコン酸鉛の成形物(以下、PZT成形物と
記す。)を用意し、また、焼成匣としては、アル
ミナ(Al2O3)純度99.3パーセントで乾式プレス
成形したもの(以下、焼成匣Aと記す。)、アルミ
ナ(Al2O3)純度99.8パーセントで鋳込み成形し
たもの(以下、焼成匣Bと記す。)を用意した。 焼成匣Aおよび焼成匣Bにいずれも、ZrO2パ
ウダ90パーセントと鉛丹(Pb3O4)10パーセント
とからなる鉛雰囲気調整用敷粉(以下、単に敷粉
と記す。)を単位容積当たり30グラム敷いてその
上に焼成するPZT成形物を詰め込み、合計5回
焼成を行つて焼成完了毎にPZT焼成物の重量変
化を測定した。その結果、第1図aに示すよう
に、焼成匣Aおよび焼成匣Bについて夫々曲線
h1Aおよびh1Bで示す結果を得た。 次に、焼成匣Aおよび焼成匣Bにいずれも、
ZrO2パウダ90パーセントとチタン酸ジルコン酸
鉛の仮焼物(以下、PZT仮焼物と記す。)10パー
セントとからなる敷粉を単位容積当たり10グラム
敷いてその上に焼成するPZT成形物を詰め込み、
上記と同様に、合計5回焼成を行つて焼成完了毎
にPZT焼成物の重量変化を測定した。その結果、
第1図aに示すように、焼成匣Aおよび焼成匣B
について夫々曲線h2Aおよびh2Bで示す結果を得
た。 上記第1図aから分かるように、PZT成形物
の重量変化率は、焼成匣の使用回数とともに増加
し、焼成匣Aと焼成匣BとではPZT成形物の重
量変化率が異なつている。また、敷粉の種類によ
りPZT成形物の重量変化率が正(プラス)とな
る場合と負(マイナス)となる場合とがある。 〔実験2〕 一方、焼成匣AおよびBを使用し、これら焼成
匣AおよびBの各々について、1200℃の焼成温度
にて各5回焼成を行い、焼成匣AおよびBの累積
鉛吸着量を測定したところ、第1図bにおいて曲
線k1Aおよびk1Bで示す結果を得た。 同様に、焼成匣AおよびBの各々について、
1300℃の焼成温度にて各5回焼成を行い、焼成匣
AおよびBの累積鉛吸着量を測定したところ、第
1図bにおいて曲線k2Aおよびk2Bで示す結果を
得た。 第1図bは、焼成回数が増加すると焼成匣Aお
よびBに付着する鉛の量が変化していることを示
しているが、焼成匣Aと焼成匣Bとでは鉛吸着量
が大きく異なつていることが注目される。さら
に、焼成温度によつても焼成匣AおよびBへの鉛
吸着量が異なる。 以上の〔実験1〕および〔実験2〕の結果は、
PZT成形物の焼成に使用される焼成匣の種類、
その使用回数およびPZT成形物の焼成温度に関
係なく、一種類の敷粉を一定量使用してPZT成
形物を焼成しても、PZT成形物中の鉛量を制御
できないことを示している。 〔実験3〕 そこで、本願の発明者等は、PZT成形物の焼
成時の鉛雰囲気を増加させる敷粉として、ZrO2
パウダに鉛丹(Pb3O4)を混合したものを使用
し、鉛雰囲気の増加量の調整にはZrO2パウダと
鉛丹との混合比および使用量を変化させた。 また、PZT成形物の焼成時の鉛雰囲気を減少
させる敷粉として、ZrO2パウダにPZT仮焼物を
粉砕して混合したものを使用し、鉛雰囲気の減少
量の調整にはZrO2パウダとPZT仮焼物との混合
比および使用量を変化させた。 すなわち、ZrO2パウダとPZT仮焼物とを90パ
ーセントと10パーセントの割合で混合した敷粉
P1と、ZrO2パウダと鉛丹とを90パーセントと10
パーセントの割合で混合した敷粉P2と、焼成匣
Bを用意し、焼成匣Bの単位体積当たり敷粉P1
を30グラムおよび10グラム敷いて1250℃で焼成を
行つたとき、および焼成匣Bの単位体積当たり敷
粉P2を10グラムおよび30グラム敷いて1250℃で
焼成を行つたときのPZT成形物の重量変化率を
測定した。 その結果を次の表に示す。
【表】
上記表から分かるように、敷粉をP1からP2に
変え、その使用量を変えることにより、PZT成
形物の重量変化率は負(マイナス)から正(プラ
ス)に変化している。従つて、焼成匣Bを使用す
る場合、敷粉P2を使用し、その使用量を適切な
値に選択することにより、PZT成形物重量変化
率を零とすることができる。 すなわち、PZT成形物の焼成温度、焼成匣の
種類および焼成匣の使用回数等の焼成条件に対応
して敷粉の種類および使用量を定めておけば、
PZT成形物重量変化率を零とすることができる。 なお、上記〔実験1〕、〔実験2〕および〔実験
3〕で使用したPZT仮焼物は、Pb3O4、TiO2お
よびZrO2を規定量混合して800℃ないし1000℃で
仮焼し、この仮焼によりできた仮焼物を、粒度
0.5μmないし30μmに粉砕したものである。この
PZT仮焼物は、周知のPZT組成、PZ組成、PT
組成、および変性PZT組成を有するものを使用
することができる。 本発明は上記のようなPZT成形物に限らず、
鉛を含むセラミツクス成形体の焼成に広く適用す
ることができる。 以上のように、本発明は鉛を含むセラミツクス
成形体の焼成条件に適合した種類および量の敷粉
を使用し、鉛の飛散量を制御するようにしたの
で、均質な焼成物を得ることができる。
変え、その使用量を変えることにより、PZT成
形物の重量変化率は負(マイナス)から正(プラ
ス)に変化している。従つて、焼成匣Bを使用す
る場合、敷粉P2を使用し、その使用量を適切な
値に選択することにより、PZT成形物重量変化
率を零とすることができる。 すなわち、PZT成形物の焼成温度、焼成匣の
種類および焼成匣の使用回数等の焼成条件に対応
して敷粉の種類および使用量を定めておけば、
PZT成形物重量変化率を零とすることができる。 なお、上記〔実験1〕、〔実験2〕および〔実験
3〕で使用したPZT仮焼物は、Pb3O4、TiO2お
よびZrO2を規定量混合して800℃ないし1000℃で
仮焼し、この仮焼によりできた仮焼物を、粒度
0.5μmないし30μmに粉砕したものである。この
PZT仮焼物は、周知のPZT組成、PZ組成、PT
組成、および変性PZT組成を有するものを使用
することができる。 本発明は上記のようなPZT成形物に限らず、
鉛を含むセラミツクス成形体の焼成に広く適用す
ることができる。 以上のように、本発明は鉛を含むセラミツクス
成形体の焼成条件に適合した種類および量の敷粉
を使用し、鉛の飛散量を制御するようにしたの
で、均質な焼成物を得ることができる。
第1図aは焼成匣の使用回数とセラミツクス成
形体の重量変化率の関係を示すグラフ、第1図b
は焼成匣の使用回数と焼成匣への累積鉛吸着量を
示すグラフ、第2図aはセラミツクス成形体の焼
成炉の説明図、第2図bは第2図aの焼成炉の炉
体内部の温度分布図、第3図は鉛を含むセラミツ
クス成形体の焼成匣の横断面図である。 2……鉛を含むセラミツクス成形体、3……焼
成匣、5……鉛雰囲気調整用敷粉。
形体の重量変化率の関係を示すグラフ、第1図b
は焼成匣の使用回数と焼成匣への累積鉛吸着量を
示すグラフ、第2図aはセラミツクス成形体の焼
成炉の説明図、第2図bは第2図aの焼成炉の炉
体内部の温度分布図、第3図は鉛を含むセラミツ
クス成形体の焼成匣の横断面図である。 2……鉛を含むセラミツクス成形体、3……焼
成匣、5……鉛雰囲気調整用敷粉。
Claims (1)
- 1 鉛を含むセラミツクス成形体を鉛雰囲気調整
用敷粉を敷いた焼成匣内に収容し、この焼成匣を
焼成炉内に送り込んでセラミツクス成形体を焼成
するセラミツクス成形体の焼成方法であつて、鉛
含有量の異なる鉛雰囲気調整用敷粉を用意し、セ
ラミツクス成形体の焼成温度、焼成匣の種類およ
び焼成匣の使用回数等の焼成条件に対応して鉛雰
囲気調整用敷粉の種類および使用量を選択し、セ
ラミツクス成形体中の鉛の含有量が変化しないよ
うに焼成することを特徴とする鉛を含むセラミツ
クス成形体の焼成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59231935A JPS61111971A (ja) | 1984-11-02 | 1984-11-02 | 鉛を含むセラミツクス成形体の焼成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59231935A JPS61111971A (ja) | 1984-11-02 | 1984-11-02 | 鉛を含むセラミツクス成形体の焼成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61111971A JPS61111971A (ja) | 1986-05-30 |
| JPH0542393B2 true JPH0542393B2 (ja) | 1993-06-28 |
Family
ID=16931367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59231935A Granted JPS61111971A (ja) | 1984-11-02 | 1984-11-02 | 鉛を含むセラミツクス成形体の焼成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61111971A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4776439B2 (ja) * | 2005-11-28 | 2011-09-21 | 京セラ株式会社 | ジルコニア焼結体 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6045149B2 (ja) * | 1979-10-17 | 1985-10-08 | 松下電器産業株式会社 | チタン酸バリウム系半導体磁器の製造方法 |
-
1984
- 1984-11-02 JP JP59231935A patent/JPS61111971A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61111971A (ja) | 1986-05-30 |
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