JPH0542610Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、イオン光学系の保守が容易かつ効率
的に行なえるようにした高周波誘導結合プラズマ
質量分析計に関する。

〈従来の技術〉 高周波誘導結合プラズマ質量分析計は、高周波
誘導結合プラズマを用いて試料を励起してイオン
化させ、生じたイオンをノズルとスキマーからな
るインターフエイスを介して質量分析計に導いて
電気的に検出し該イオン量を精密に測定すること
により、試料中の被測定元素を高精度に分析する
ように構成されている。第２図は、このような高
周波誘導結合プラズマ質量分析計の全体的な構成
説明図であり、図中、１は高周波誘導結合プラズ
マを生じさせるプラズマトーチ、２はプラズマト
ーチ１に巻回された高周波誘導コイル、３は高周
波誘導コイル２に電流を供給する高周波電源、４
はアルゴンガスを供給するアルゴンガス供給源、
５は試料を霧化してプラズマトーチ１に供給する
ネプライザ、６はノズル、７はスキマー、８はイ
ンターフエイス９内を例えば1torr.まで吸引する
真空ポンプ、１０は例えばイオンレンス１１を収
納するセンターチヤンバー、１０ａは高周波誘導
結合プラズマ内のイオンをスキマー７内に引き出
すための引き出し電極、１０ｂはセンターチヤン
バー内を気密構造に仕切つて二室に分けるバル
ブ、１２はセンターチヤンバー１０内を例えば
10^-4torr.まで吸引する第１油拡散ポンプ、１４は
例えば質量分析計検出器１３を収納するリアチヤ
ンバー、１５はリアチヤンバー１４内を例えば
10^-5torr.まで吸引する第２油拡散ポンプ、１６は
二次電子増倍管、１７は演算処理部である。この
ような構成からなる従来のICP−MSにおいて、
プラズマトーチ１で高周波誘導結合プラズマが生
じていない状態のとき第２図のバルブ１０ｂより
左側は10^-6〜10^-7torr.であるのに対して右側は大
気圧に保されている。一方、引出し電極１０ａ
は、イオンレンズ１１やマスフイルタ１３等他の
イオン光学系部品に比して比較的真空度の低い部
分で使用されているため、該他のイオン光学系部
品に比して汚れの程度も大きい。このため、イオ
ン光学系の保守に際しては、ノズル６やスキマー
７のみならず引出し電極１０ａも交換してクリー
ニングを行なう必要がある。

〈考案が解決しようとする問題点〉 然しながら、上記実施例においては、フオアチ
ヤンバー９部分を全部外さなければ引出し電極１
０ａを掃除できない構造になつていた。このた
め、重いフオアチヤンバー９の部分を二人ががり
で外しながら引出し電極１０ａを掃除しなければ
ならないという大きな欠点があつた。

本考案は、かかる状況に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、イオン光学系の保守が一人で
も容易かつ効率的に行なえるような高周波誘導結
合プラズマ質量分析計を提供することにある。

〈問題点を解決するための手段〉 上述のような問題点を解決する本考案の特徴
は、高周波誘導結合プラズマ質量分析計におい
て、スキマー内へのイオン引出しを助長する引出
し電極を取り付けるボデイとスキマーを取り付け
るボデイを一体化して共用ボデイとし、該共用ボ
デイを取り外して引出し電極の取り外し、取り付
け、および交換を行なうように構成したことにあ
る。

〈実施例〉 以下、本考案について図を用いて詳細に説明す
る。第１図は本考案実施例の要部構成説明図であ
り、図中、第２図と同一記号は同一意味をもたせ
て使用しここでの重複説明は省略する。また、１
８，１９はフオアチヤンバー９のボデイ、２０は
共用ボデイ、２１ａ，２１ｂはノズル６をボデイ
１８に固着するネジ、２２ａ，２２ｂは共用ボデ
イ２０をボデイ１９に固着するネジ、２３ａ，２
３ｂはスキマー７を共用ボデイ２０に固着するネ
ジ、２４は引出し電極１０ａを共用ボデイ２０に
装着するネジ、５は引出し電極１０ａに設けられ
ているバネ、２６は引出し電極１０ａ用のコネク
タである。尚、スキマー７と共用ボデイ２０の間
およびフオアチヤンバーボデイ１９と共用ボデイ
２０の間は夫々Ｏ−リングによつて気密構造にシ
ールされている。また、フオアチヤンバーボデイ
１９、共用ボデイ２０、および引出し電極１０ａ
はいずれもステンレス製であることが多い。この
ような要部構成からなる本考案の実施例におい
て、スキマー７の交換は次の(イ)〜(ニ)のようにして
行われる。即ち、(イ)ネジ２１ａ，２１ｂの螺合を
解除してノズル６を外す。(ロ)ネジ２３ａ，２３ｂ
の螺合を解除してスキマー７を外す。(ハ)新しいス
キマー７を装着しネジ２３ａ，２３ｂを螺合す
る。(ニ)ノズル６を装着しネジ２１ａ，２１ｂを螺
合する。また、引出し電極１０ａの交換は次の(イ)
〜(ニ)のようにして行われる。即ち、(イ)ネジ２１
ａ，２１ｂの螺合を解除してノズル６を外す。(ロ)
ネジ２２ａ，２２ｂの螺合を解除して共用ボデイ
２０を外す。(ハ)該共用ボデイ２０から引出し電極
１０ａを外す。(ニ)新しい引出し電極１０を共用ボ
デイ２０に取付ける。(ホ)共用ボデイ２０を装着し
ネジ２２ａ，２２ｂを螺合する。(ヘ)ノズル６を装
着しネジ２１ａ，２１ｂを螺合する。

〈考案の効果〉 以上詳しく説明したような本考案の実施例によ
れば、引出し電極が容易に取り出せるようになり
クリーニングが簡単になるため、イオン光学系の
保守が一人でも容易かつ効率的に行なえる利点が
ある。また、高周波誘導結合プラズマ質量分析計
の感度が良好状態に保つことが容易にできる上、
引出し電極の汚れのために起こる信号のドリフト
も改善される利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案実施例の要部構成説明図、第２
図は高周波誘導結合プラズマ質量分析計の全体的
な構成説明図である。 １……プラズマトーチ、６……ノズル、７……
スキマ、１０ａ……引出し電極、１０ｂ……バル
ブ、１８，１９……フオアチヤンバーのボデイ、
２０……共用ボデイ、２５……バネ、２６……コ
ネクタ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起
   してイオン化させ生じたイオンをノズルとスキ
   マーからなるインターフエイスを介して質量分
   析計に導いて前記試料中の被測定元素を分析す
   る分析計において、前記スキマー内へのイオン
   引出しを助長する引出し電極を取り付けるボデ
   イと前記スキマーを取り付けるボデイを一体化
   して共用ボデイとし、該共用ボデイを取り外し
   て前記引出し電極の取り外し、取り付け、およ
   び交換を行なうことを特徴とする高周波誘導結
   合プラズマ質量分析計。 (2) 前記共用ボデイと引出し電極はいずれもステ
   ンレス材料でなる実用新案登録請求範囲第(1)項
   記載の高周波誘導結合プラズマ質量分析計。