JPH0521248Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0521248Y2 JPH0521248Y2 JP2687487U JP2687487U JPH0521248Y2 JP H0521248 Y2 JPH0521248 Y2 JP H0521248Y2 JP 2687487 U JP2687487 U JP 2687487U JP 2687487 U JP2687487 U JP 2687487U JP H0521248 Y2 JPH0521248 Y2 JP H0521248Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- axis
- center
- shafts
- center chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 claims description 7
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims 1
- 238000001095 inductively coupled plasma mass spectrometry Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
＜産業上の利用分野＞
本考案は高周波誘導結合プラズマと質量分析計
とを結合させてなる高周波誘導結合プラズマ質量
分析計（Inductively Coupled Plasma−Mass
Spectrometer、以下、「ICP−MS」と略す）に
関する。
とを結合させてなる高周波誘導結合プラズマ質量
分析計（Inductively Coupled Plasma−Mass
Spectrometer、以下、「ICP−MS」と略す）に
関する。
＜従来の技術＞
ICP−MSは、高周波誘導結合プラズマを用い
て試料を励起させ、生じたイオンを例えばノズル
とスキマーからなるインターフエイスを介して精
密に測定することにより、上記試料中の被測定元
素等を分析するように構成されている。第２図は
このようなICP−MSの概略説明図であり、図中、
１は高周波誘導結合プラズマを生じさせるプラズ
マトーチ、２は該トーチ１に巻回された高周波誘
導コイル、３は該コイル２に高周波電流を供給す
る高周波電源（通常第２図の紙面に対し垂直方向
の位置に置かれるが、ここでは説明の便宜上水平
方向に置いた）、４はプラズマトーチ１が取り付
けられている取付け板、５はプラズマトーチ１や
高周波誘導コイル２等が収納されたトーチボツク
ス、６はノズル、７はスキマー、８はインターフ
エイス９内を例えば1torr.まで吸引する真空ポン
プ、１０は例えばイオンレンズ１１を収納するセ
ンターチヤンバー、１２はセンターチヤンバー１
０内を例えば10-4torr.まで吸引する第１油拡散ポ
ンプ、１４は例えば質量分析計検出器１３を収納
するリアチヤンバー、１５はリアチヤンバー１４
内を例えば10-5torr.まで吸引する第２油拡散ポン
プ、１６は二次電子増倍管、１７は演算処理部で
ある。このような構成からなる従来のICP−MS
において、フオアチヤンバー９の先端部（ノズル
６等）はプラズマトーチ１で発生した高周波誘導
結合プラズマ（図示せず）に直接さらされるよう
になつている。このため、フオアチヤンバー９は
センターチヤンバー１０等に比して保守点検の為
に着脱される回数も一般に多くなつていた。
て試料を励起させ、生じたイオンを例えばノズル
とスキマーからなるインターフエイスを介して精
密に測定することにより、上記試料中の被測定元
素等を分析するように構成されている。第２図は
このようなICP−MSの概略説明図であり、図中、
１は高周波誘導結合プラズマを生じさせるプラズ
マトーチ、２は該トーチ１に巻回された高周波誘
導コイル、３は該コイル２に高周波電流を供給す
る高周波電源（通常第２図の紙面に対し垂直方向
の位置に置かれるが、ここでは説明の便宜上水平
方向に置いた）、４はプラズマトーチ１が取り付
けられている取付け板、５はプラズマトーチ１や
高周波誘導コイル２等が収納されたトーチボツク
ス、６はノズル、７はスキマー、８はインターフ
エイス９内を例えば1torr.まで吸引する真空ポン
プ、１０は例えばイオンレンズ１１を収納するセ
ンターチヤンバー、１２はセンターチヤンバー１
０内を例えば10-4torr.まで吸引する第１油拡散ポ
ンプ、１４は例えば質量分析計検出器１３を収納
するリアチヤンバー、１５はリアチヤンバー１４
内を例えば10-5torr.まで吸引する第２油拡散ポン
プ、１６は二次電子増倍管、１７は演算処理部で
ある。このような構成からなる従来のICP−MS
において、フオアチヤンバー９の先端部（ノズル
６等）はプラズマトーチ１で発生した高周波誘導
結合プラズマ（図示せず）に直接さらされるよう
になつている。このため、フオアチヤンバー９は
センターチヤンバー１０等に比して保守点検の為
に着脱される回数も一般に多くなつていた。
＜考案が解決しようとする問題点＞
然し乍ら、上記従来例においては、センターチ
ヤンバー１０からフオアチヤンバー９を外し、そ
の後、該フオアチヤンバー９をセンターチヤンバ
ー１０に装着させようとすると、フオアチヤンバ
ー９の軸芯とセンターチヤンバー１０の軸芯を一
致させるのが非常に難しいという欠点があつた。
このため、熟練したサービスマン等が経験と感に
頼つて上記フオアチヤンバー９の装着作業を行な
わなければならないという欠点もあつた。
ヤンバー１０からフオアチヤンバー９を外し、そ
の後、該フオアチヤンバー９をセンターチヤンバ
ー１０に装着させようとすると、フオアチヤンバ
ー９の軸芯とセンターチヤンバー１０の軸芯を一
致させるのが非常に難しいという欠点があつた。
このため、熟練したサービスマン等が経験と感に
頼つて上記フオアチヤンバー９の装着作業を行な
わなければならないという欠点もあつた。
本考案はかかる状況に鑑みてなされたものであ
り、その目的は、経験や感に頼ることなく容易に
フオアチヤンバーの軸芯とセンターチヤンバーの
軸芯を一致させることができるようなICP−MS
を提供することにある。
り、その目的は、経験や感に頼ることなく容易に
フオアチヤンバーの軸芯とセンターチヤンバーの
軸芯を一致させることができるようなICP−MS
を提供することにある。
＜問題点を解決するための手段＞
上述のような問題点を解決する本考案の特徴
は、ICP−MSにおいて、フオアチヤンバーの軸
芯を上下方向および左右方向に夫々位置決めする
第１および第２の軸をガイドとしてスライドさせ
るようにしてフオアチヤンバーの着脱を行なうよ
うにしたことにある。
は、ICP−MSにおいて、フオアチヤンバーの軸
芯を上下方向および左右方向に夫々位置決めする
第１および第２の軸をガイドとしてスライドさせ
るようにしてフオアチヤンバーの着脱を行なうよ
うにしたことにある。
＜実施例＞
以下、本考案について図を用いて詳しく説明す
る。第１図は本考案実施例の要部構成説明図であ
り、図中、１８はフオアチヤンバー、１９はセン
ターチヤンバー、２０ａはセンターチヤンバー１
９の軸芯に対しフオアチヤンバー１８の軸芯を上
下方向に位置決めするための例えば、外径10m／
ｍ、長さ60m／ｍで断面が略〓形の第１軸、２０
ｂはセンターチヤンバー１９の軸芯に対しフオア
チヤンバー１８の軸芯を左右方向に位置決めする
ための例えば、外径10m／ｍ長さ60m／ｍで断面
が略〓形の第２軸、２１は第１、第２軸２０ａ，
２０ｂからフオアチヤンバー１８が抜け落ちるの
を防止する抜止め金具、２２は空気圧で駆動され
フオアチヤンバー１８とセンターチヤンバー１９
を結ぶ通路を断続的に遮断する例えば薄板状の仕
切り部材である。このような構成からなる本考案
の実施例において、フオアチヤンバー１８の軸芯
とセンターチヤンバー１９の軸芯が一致するよう
に製造段階で調整されて第１、第２の軸２０ａ，
２０ｂがセンターチヤンバー１９に固着されてい
る。また、フオアチヤンバー１８（第１図のフオ
アチヤンバー９と同じ）は第１図の真空ポンプ８
によつて例えば10-1torr.まで吸引されており、セ
ンターチヤンバー１９（第１図のセンターチヤン
バー１０と同じ）は第１図の第１油拡散ポンプ１
２によつて例えば10-4torr.まで吸引されている。
このため、上記フオアチヤンバー１８又は９を外
すには、仕切り部材２２を駆動させてフオアチヤ
ンバー１８とセンターチヤンバー１９を連通する
通路を遮断し、その後、抜止め金具２１を外しフ
オアチヤンバー１８をセンターチヤンバー１９か
ら外すようにしていた。一方、保守点検等が終了
したフオアチヤンバー１８は次のようにしてセン
ターチヤンバー１９に装着される。即ち、センタ
ーチヤンバー１９の軸芯を対称点として該チヤン
バー１９に固着されている第１，第２の軸２０
ａ，２０ｂをガイドにしてスライドさせるように
しながらフオアチヤンバー１８をセンターチヤン
バー１９に押し付け、該フオアチヤンバー１８側
からボルト締め（図示せず）等を行なうことによ
つてセンターチヤンバー１９にフオアチヤンバー
１８を組み付け、最後に、第１軸２０ａに抜止め
金具２１を取付ける。このように第１、第２軸２
０ａ，２０ｂをガイドとしてフオアチヤンバー１
８を装着させるため該フオアチヤンバー１８の装
着が熟練者でなくとも容易に行なえるようにな
る。尚、本考案は上述の実施例に限定されること
なく種々の変形が可能であり、例えば、第１、第
２の軸２０ａ，２０ｂをセンターチヤンバー１９
に固着させる代りにフオアチヤンバー１８に固着
させてもよいものとする。
る。第１図は本考案実施例の要部構成説明図であ
り、図中、１８はフオアチヤンバー、１９はセン
ターチヤンバー、２０ａはセンターチヤンバー１
９の軸芯に対しフオアチヤンバー１８の軸芯を上
下方向に位置決めするための例えば、外径10m／
ｍ、長さ60m／ｍで断面が略〓形の第１軸、２０
ｂはセンターチヤンバー１９の軸芯に対しフオア
チヤンバー１８の軸芯を左右方向に位置決めする
ための例えば、外径10m／ｍ長さ60m／ｍで断面
が略〓形の第２軸、２１は第１、第２軸２０ａ，
２０ｂからフオアチヤンバー１８が抜け落ちるの
を防止する抜止め金具、２２は空気圧で駆動され
フオアチヤンバー１８とセンターチヤンバー１９
を結ぶ通路を断続的に遮断する例えば薄板状の仕
切り部材である。このような構成からなる本考案
の実施例において、フオアチヤンバー１８の軸芯
とセンターチヤンバー１９の軸芯が一致するよう
に製造段階で調整されて第１、第２の軸２０ａ，
２０ｂがセンターチヤンバー１９に固着されてい
る。また、フオアチヤンバー１８（第１図のフオ
アチヤンバー９と同じ）は第１図の真空ポンプ８
によつて例えば10-1torr.まで吸引されており、セ
ンターチヤンバー１９（第１図のセンターチヤン
バー１０と同じ）は第１図の第１油拡散ポンプ１
２によつて例えば10-4torr.まで吸引されている。
このため、上記フオアチヤンバー１８又は９を外
すには、仕切り部材２２を駆動させてフオアチヤ
ンバー１８とセンターチヤンバー１９を連通する
通路を遮断し、その後、抜止め金具２１を外しフ
オアチヤンバー１８をセンターチヤンバー１９か
ら外すようにしていた。一方、保守点検等が終了
したフオアチヤンバー１８は次のようにしてセン
ターチヤンバー１９に装着される。即ち、センタ
ーチヤンバー１９の軸芯を対称点として該チヤン
バー１９に固着されている第１，第２の軸２０
ａ，２０ｂをガイドにしてスライドさせるように
しながらフオアチヤンバー１８をセンターチヤン
バー１９に押し付け、該フオアチヤンバー１８側
からボルト締め（図示せず）等を行なうことによ
つてセンターチヤンバー１９にフオアチヤンバー
１８を組み付け、最後に、第１軸２０ａに抜止め
金具２１を取付ける。このように第１、第２軸２
０ａ，２０ｂをガイドとしてフオアチヤンバー１
８を装着させるため該フオアチヤンバー１８の装
着が熟練者でなくとも容易に行なえるようにな
る。尚、本考案は上述の実施例に限定されること
なく種々の変形が可能であり、例えば、第１、第
２の軸２０ａ，２０ｂをセンターチヤンバー１９
に固着させる代りにフオアチヤンバー１８に固着
させてもよいものとする。
＜考案の効果＞
以上詳しく説明したような本考案によれば、第
１、第２の軸２０ａ，２０ｂをガイドにしてスラ
イドさせるようにしながらフオアチヤンバー１８
を装着させるような構成であるため、経験や感に
頼ることなく容易にフオアチヤンバーの軸芯とセ
ンターチヤンバーの軸芯を一致させることができ
る利点がある。
１、第２の軸２０ａ，２０ｂをガイドにしてスラ
イドさせるようにしながらフオアチヤンバー１８
を装着させるような構成であるため、経験や感に
頼ることなく容易にフオアチヤンバーの軸芯とセ
ンターチヤンバーの軸芯を一致させることができ
る利点がある。
第１図は本考案の要部構成説明図、第２図は従
来例の概略説明図である。 １……プラズマトーチ、９，１８……フオアチ
ヤンバー、１０，１９……センターチヤンバー、
２０ａ，２０ｂ……軸、２１……止め金具、２２
……仕切り部材。
来例の概略説明図である。 １……プラズマトーチ、９，１８……フオアチ
ヤンバー、１０，１９……センターチヤンバー、
２０ａ，２０ｂ……軸、２１……止め金具、２２
……仕切り部材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 高周波誘導結合プラズマと質量分析計とを結
合させてなりイオンサンプリングノズルを有す
るフオアチヤンバーの軸芯とイオンレンズ等を
有するセンターチヤンバーの軸芯とを一致させ
るようにした分析計において、前記センターチ
ヤンバーの軸芯に対し前記フオアチヤンバーの
軸芯を上下方向に位置決めする第１軸と、前記
センターチヤンバーの軸芯に対し前記フオアチ
ヤンバーの軸芯を左右方向に位置決めする第２
軸とを具備し、これらの軸をガイドとしスライ
ドさせるようにして前記フオアチヤンバーの着
脱を行なうことを特徴とする高周波誘導結合プ
ラズマ質量分析計。 (2) 前記第１および第２の軸は、前記センターチ
ヤンターチヤンバーの軸芯を対称点として該セ
ンターチヤンバーに固着された軸でなる実用新
案登録請求の範囲第(1)項記載の分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2687487U JPH0521248Y2 (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2687487U JPH0521248Y2 (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63134448U JPS63134448U (ja) | 1988-09-02 |
| JPH0521248Y2 true JPH0521248Y2 (ja) | 1993-05-31 |
Family
ID=30828372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2687487U Expired - Lifetime JPH0521248Y2 (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0521248Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3494553B2 (ja) * | 1996-08-30 | 2004-02-09 | 株式会社日立製作所 | 質量分析装置 |
-
1987
- 1987-02-25 JP JP2687487U patent/JPH0521248Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63134448U (ja) | 1988-09-02 |
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