JPH0542977Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案は、バキユームを用いないで、チヤツク
爪によりウエハを保持するメカニカルなウエハ搬
送チヤツクに係り、特にアンチヤツク時における
ウエハの横ズレ防止に関するものである。

〔考案の技術的背景とその問題点〕

従来のウエハ搬送チヤツクは、バキユームを用
いその吸着力でウエハを保持するのが一般的であ
る。この場合の欠点として、ウエハとフイラ（吸
口）の接触による損傷や清浄度の低下またはウエ
ハに付着している処理液の吸引によるバキユーム
装置の作動不良等があり、さらにコスト面を考慮
してバキユームによらないチヤツクを必要とする
場合がある。一方メカニカルなウエハ搬送チヤツ
クの場合には、チヤツク爪の先端部がウエハ表面
よりオーバハングし、ウエハの受取りや受渡しの
際相手側の保持具や搬送チヤツクに干渉するた
め、アプローチの途中でアンチヤツクしてから持
込みする必要があり、ウエハの横ズレを生じ、チ
ヤツク外に落下する恐れがあつた。

〔考案の目的〕

本考案は、バキユームを用いないでチヤツク爪
によりウエハを保持するものにおいてアンチヤツ
ク状態でウエハを受渡す際ウエハの横ズレを生じ
ないメカニカルなウエハ搬送チヤツクを提供する
ことを目的とする。

〔考案の概要〕

本考案は、上記の目的を達成するため、複数の
チヤツク爪でチヤツク本体側のウエハ受面との間
でウエハを保持するようにし、かつウエハの外周
部にスプリング等の弾性体により前記ウエハ受面
より飛び出しうるガイドを具備し、このガイドに
よつてアンチヤツク状態でウエハを受渡す際にお
いてもウエハの横ズレを防止するようにしたもの
である。

〔考案の実施例〕

以下本考案の一実施例を示す第１図ないし第５
図について説明する。第１図は、本発明によるウ
エハ搬送チヤツクＡがウエハ３を保持して機械の
保持具または他のウエハ搬送チヤツク（以下保持
具として説明する）Ｂの同心位置の真下に移送さ
れた状態を示す。このウエハ搬送チヤツクＡのチ
ヤツク本体１は、アームＣの先端に取付けられて
いる。アームＣは図示しない移送機構により上下
移動、水平移動（旋回も含む）を与えられるほか
必要に応じて回転しウエハ搬送チヤツクＡを反転
し得るように構成されている。

チヤツク本体１の第１図において上面２には凹
部２′が設けられ、この凹部２′の囲りの僅かな巾
（２〜４mm）のリング状の上面（以下ウエハ受面
という）２によつて、ウエハ３の外周寄り部分を
支持するようになつている。

チヤツク本体１の外周部には支点ピン４で支え
られた複数のチヤツク爪５が設けられている。チ
ヤツク爪５はシリンダ等の駆動装置９によつて前
記支点ピン４を中心に揺動されるようになつてい
る。チヤツク爪５は、第４図に拡大して示すよう
に、駆動装置９によりチヤツク状態にあるとき、
チヤツク本体１のストツパ面８で動きを制限さ
れ、ウエハ３の上面および外周面でのそれぞれに
対し僅少のスキマを持つようになつている。

また、チヤツク本体１の外周部には、上下に滑
動可能で背部のスプリング等の弾性体６によりウ
エハ受面２に対し垂直方向へ一定量飛び出し可能
な複数のピン状のガイド（チヤツク爪５に当る部
分を切欠したリング状体のものなどでもよい）７
が設けられている。このガイド７は、第５図に拡
大して示すように、ウエハ３の外周面に対し僅少
のスキマを持つようになつている。

次にウエハ３の保持具Ｂに対する受渡しの動作
について説明する。先づチヤツク爪５を開き、機
械または装置外から図示しない搬送ベルトなどに
より所定位置に位置付けされているウエハ３に対
し、アームＣの移動によつてウエハ受面２を接触
または僅少なスキマを置いて対向させ、駆動装置
９によりチヤツク爪５を閉じてウエハ３をウエハ
搬送チヤツクＡに保持する。なお、このウエハ搬
送チヤツクＡは、ウエハ３の表面すなわち実際に
半導体装置が形成される側の面（第１図において
下側の面）をウエハ受面２に対向させるようにな
つており、保持具Ｂによつて吸着される側すなわ
ち図において上面は裏面である。このウエハ３の
表面は、ウエハ受面２に設けた凹部２′により外
周部のみが支持され、かつチヤツク爪５による保
持を第４図に示したように僅少なスキマを持つて
行なうようにすることにより、損傷が避けられ
る。次いで、アームＣの移動により第１図に示す
ように、ウエハ搬送チヤツクＡを保持具Ｂの同心
位置の真下に対向させ、さらにアームＣを上昇さ
せる。ウエハ搬送チヤツクＡのチヤツク爪５が保
持具Ｂに当たる手前でチヤツク爪５を、第２図に
示すように、その先端がウエハ３の上面より後方
（第２図において下方）へ退避するまで開く。こ
のとき、チヤツク爪５によるウエハ３の保持は解
除されるが、ウエハ受面２より所定量突出してい
るガイド７があるため、ウエハ３は横ズレを生ず
ることなく、ウエハ受面２上に保持され続ける。

さらにウエハ搬送チヤツクＡを上昇させると、
先づガイド７の先端が保持具Ｂに当たるが、この
ガイド７は弾性体６に抗して押込められ、第３図
に示すように、ウエハ３の上面が保持具Ｂに接触
または僅少なスキマを置いて対向する。この状態
で、保持具Ｂを作動させ、例えばバキユームによ
る吸着力などによつてウエハ３を保持具Ｂによつ
て保持する。このとき、ウエハ３を強く保持具Ｂ
へ押圧することは好ましくないので、一般には極
く軽く接触させるかまたは前記のように僅少なス
キマを置いて対向させるため、前記吸着に伴つて
ウエハ３が横スベリを生じようとするが、このウ
エハ３の横スベリはガイド７によつて阻止され、
ウエハ３は保持具Ｂの所定位置に正確に保持され
る。

こうしてウエハ３を保持具Ｂへ渡し終つたなら
ば、チヤツク爪５を開いたまま、アームＣを下降
させ、さらに機械および装置外にアームＣを移動
させ、次の動作に供える。

前記保持具Ｂに保持されているウエハ３をウエ
ハ搬送チヤツクＡに受取る場合は、前述した動作
と逆になるが、ウエハ３をウエハ受面２側へ確実
に受取るために、保持具Ｂに保持されているウエ
ハ３に対し、ウエハ受面２を若干離して対向さ
せ、保持具Ｂ側のバキユームを加圧に変えてウエ
ハ３を積極的に離脱することが好ましい。このよ
うな場合にも、ガイド７はウエハ３の横ズレを防
止するため、ウエハ３はウエハ受面２上に位置ズ
レを生ずることなく、移換えられる。

なお、上記のアームＣの上下動の一部または全
部は保持具Ｂ側がおこなつても良い。

〔考案の効果〕 本考案は以上説明したように、バキユームを用
いないためローコストであり、フイラ（吸口）に
よるウエハの損傷や洗浄度の低下もなく、また最
終的に製品として使用されないウエハの外周部を
チヤツク面と受面に使用することによりウエハの
表面に損傷等の悪影響を与えず、しかもウエハの
受授に際しアンチヤツク状態でも、ウエハの横ズ
レを防ぐことができるという効果をもつものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第５図は本考案の実施例を示すもの
で第１図はウエハを保持した状態、第２図は保持
具にアプローチし、チヤツク爪の干渉防止上アン
チヤツクした状態、第３図はウエハの受渡しと受
取りの状態、第４図はチヤツクした時の拡大図、
第５図はガイドの拡大図である。 Ａ……ウエハ搬送チヤツク、Ｂ……相手保持
具、Ｃ……アーム、１……チヤツク本体、２……
ウエハ受面、３……ウエハ、４……支点ピン、５
……チヤツク爪、６……スプリング、７……ガイ
ド、８……ストツパ面、９……シリンダ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエハを複数のチヤツク爪で保持する搬送チ
   ヤツクにおいて、 チヤツク本体のウエハ受面上に前記ウエハを
   保持すべく前記チヤツク本体の外周部に半径方
   向へ揺動可能に設けられた複数のチヤツク爪
   と、 前記ウエハの外周部と僅かなスキマをもつ
   て、弾性体により前記ウエハ受面に対し上下垂
   直に滑動可能に設けられたガイドとを具備し、 前記チヤツクの爪の先端は、チヤツク状態に
   あるとき、ウエハの外周および上面に対向可能
   に形成されると共に、アンチヤツク状態にある
   とき、ウエハ受面上のウエハ上面より後方へ退
   避可能に形成されている ことを特徴とするウエハ搬送チヤツク。 (2) ガイドが複数のピンであることを特徴とする
   実用新案登録請求の範囲第１項のウエハ搬送チ
   ヤツク。 (3) ガイドがチヤツク爪部を切欠したリング状体
   であることを特徴とする実用新案登録請求の範
   囲第１項のウエハ搬送チヤツク。 (4) ウエハ受面が前記ウエハの外周部より内側の
   極く少ない巾に限定されていることを特徴とす
   る実用新案登録請求の範囲第１項のウエハ搬送
   チヤツク。