JPH0543540U - ウエーハ支持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 列状に支持するウェーハの各種直径寸法に対
応の容易化を図り、また該ウェーハの各種処理条件に対
応してウェーハ配列の間隔変更の容易化を図ったウェー
ハ支持装置を提供する事を目的とする。 【構成】 多数枚のウェーハ１０を列状に支持可能に構
成したウェーハ支持装置において、ウェーハを保持する
保持体２０と、長手方向に沿う複数の面に夫々前記保持
体を脱着自在に支持する配列部を複数列設してなる多角
柱体３０と、該多角柱体を少なくとも両端支持可能な嵌
合部を形成した本体４０からなる事を特徴とする。更
に、前記多角柱体の配列部形成間隔を各面毎に異ならせ
た事を特徴とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ウェーハの熱処理を行う熱処理装置のウェーハ支持装置に係り、特 に、横型若しくは縦型の熱処理装置に用いるウェーハ支持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来より、例えば図３に示すように、石英ガラス棒材を融着させて船形状の枠 組１０１を構成するとともに、該枠組のうち長手方向に平行に延設する棒材の対 面する内周側に、夫々多数のウェーハ支承溝１０２を削成し、該支承溝１０２上 に多数のウェーハを直立させて保持するように構成したウェーハ支持治具は、広 く知られているところである。 かかる支持治具に使用される石英ガラス材は、化学的に安定した物質であるた めに炉内汚染の心配がなく、この面では有利であるが、高温下に晒されると、特 に融着部分または重量負担の大なる部分で熱軟化を起こし、該治具や支承溝の変 形によりウェーハを所望位置に保持するのが困難になったり、また前記熱軟化に よりウェーハにボート跡が付いたりする等の問題が有った。

【０００３】 そこで例えば、実開平１−１０８９２６号においては、図４に示すように、前 記支承溝を有するウェーハ１０を保持する棒材１１１を枠組１１０から分離可能 にシリコン材を用いて形成し、しかも該枠組の所望位置に戴設可能に構成したウ ェーハ支持装置を提案している。かような構成によると、シリコン材による前記 ウェーハ保持部材の支承部は高温に耐え長期間変形する事なく、また石英ガラス 棒材の枠組に固定されているのではなく、単に戴設または遊嵌状態で保持されて いるために、前記両部材間の熱膨張率の差異によるずれが生じても、両部材の接 触部分は破損する事はない。 更に、前記ウェーハ保持部材は取り外しが容易であるので、材料に応じた洗浄 が可能となり、損耗による部品交換も容易になる。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、近年のようにウェーハが大直径化するにつれ、各種直径のウェ ーハを処理する事になり、前記従来技術にあっては、各直径に応じたウェーハ支 持装置を夫々準備しなくてはならなくなった。即ち、前記ウェーハ保持部材は軸 方向には調節可能なるも、ウェーハ保持部材同士の間隔は、前記枠組によって規 制され、枠組を変更しない限り、直径が異なるウェーハは保持不能である。 更に、処理条件によっては、列状に並べたウェーハの間隔を変更する場合があ り、前記従来技術にあっては前記支承溝の間隔が異なった別のウェーハ保持部材 を準備する事になる。この際、前記構成上、該ウェーハ保持部材は３本一組で製 作・保管・管理する煩雑さがあった。 本考案はかかる従来技術の欠点に鑑み、列状に支持するウェーハの各種直径寸 法に対応の容易化を図り、また該ウェーハの各種処理条件に対応してウェーハ配 列の間隔変更の容易化を図った事を特徴とするウェーハ支持装置を提供する事を 目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案は、かかる技術課題を解決するために、多数枚のウェーハを列状に支持 可能に構成したウェーハ支持装置において、ウェーハを保持する保持体と、長手 方向に沿う複数の面に夫々前記保持体を脱着自在に支持する配列部を複数列設し てなる多角柱体と、該多角柱体を少なくとも両端支持可能な嵌合部を形成した本 体からなる事を特徴とする。 更に、本考案は、前記多角柱体の配列部形成間隔を各面毎に異ならせた事を特 徴とする。

【０００６】

【作用】

かかる技術手段によれば、第１の特徴のウェーハ保持体を独立した構成部材と した事により、ウェーハを保持する半円形の支承溝の半径を、ウェーハの直径に 応じてウェーハ保持体を準備すれば、直径が異なる各種ウェーハを保持する事が できる。 また、ウェーハの厚さに応じて前記支承溝の幅が違った各種ウェーハ保持体を 準備して、厚さが違った各種ウェーハを保持する事も可能である。 更に、第２の特徴である前記多角柱体の支持部形成間隔を各面毎に異ならせた ために、所望の間隔に配列部が形成された該多角柱の一面を選択する事により、 ウェーハの配列間隔を変更する事ができる。 なお、該多角柱体を正多角柱にすると、該多角柱体断面の正多角形の一辺或い は対角辺の長さに等しい溝を左右両本体内側に形成するだけで、該溝に該多角柱 体の両端を嵌合させ支持する事ができる。

【０００７】

【実施例】

以下、図面を参照して本考案の好適な実施例を例示的に詳しく説明する。但し 、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置など は特に特定的な記載がない限りは、この考案の範囲をそれのみに限定する趣旨で はなく、単なる説明例に過ぎない。

【０００８】 図１は、本考案の実施例に係わるウェーハ支持装置の全体構成図で、図１（ａ ）及び図１（ｂ）は夫々該支持装置の正面図及び側面図である。 該ウェーハ支持装置は、ウェーハ１０を保持するウェーハ保持体２０、該ウェ ーハ保持体２０を支持し本体４０に架設された四角柱体３０から構成されている 。

【０００９】 前記シリカ製のウェーハ保持体２０は、上部に半円弧状の支承部２１、下部に 脚部２３が形成されている。 また、該支承部２１の内周には前記ウェーハ１０の外径に相当する半径で、ま たウェーハ１０の厚さに相当する幅で支承溝２２が刻設されている。 更に、該脚部２３の外側面距離は本体４０の内側面距離に相当し、脚部２３の 内側面距離は四角柱体３０の外側面距離に相当し、従って該脚部２３は、本体４ ０に架設された四角柱体３０と該本体４０との間隙に嵌合可能である。 また、該脚部２３の内股中央部には突起２４が設けられており、該突起２４は 四角柱体３０の長手方向に沿う各面に複数穿設・列設した配列孔３３に嵌合する 。該配列孔３３の間隔は、目的とする処理条件に適応させて各面毎に相違する。 なお図１では、該突起２４と配列孔３３の断面形状を、それぞれ四角状突起、 及び四角状孔に図示しているが、生産技術上有利であれば、円形状突起、及び円 形状孔であってもよい。即ち、前記脚部２３によって該四角柱体３０を抱持させ ながら複数のウェーハ保持体２０を平行に載設可能であるので、前記突起２４と 配列孔３３との嵌合は、単に位置を決めるだけのものであってよいからである。

【００１０】 前記本体４０は、該本体の左右両内側面には、前記四角柱体３０の辺の長さに 相当する幅で、該辺の長さより長く本体４０の内側面を貫通しない深さの嵌合溝 ４１を夫々設け、また該嵌合溝４１同士間の内のりを前記四角柱体３０の長手方 向長さに相当させて、四角柱体３０が該嵌合溝４１に嵌合可能に、また該四角柱 ３０は該嵌合溝４１の底により支持されるように構成されている。 また、前記本体４０の上下両端面は貫通・開放されており、更に、底部には本 体脚部４２を設けて、本体４０底部の間隙にフォークを挿入してウェーハ支持装 置を搬送可能に構成する。

【００１１】 ウェーハ保持体２０の材質は、シリカ製であると前に述べた。本ウェーハ支持 装置各部材の材料は、基本的には耐熱性の構造材料であって、後述のアームロボ ットによる装填・架設・搬送可能程度の寸法精度に加工できる材料であればよく 、また炉内に搬入・搬出等の摺動によりパーティクルが発生しない材料であれば よく、従って、シリカの他に、カーボランダム、珪素、グラファイト、窒化ケイ 素等が対象となる。いずれも焼結・研削により、各部材は形成可能である。

【００１２】 図２は、本考案の実施例に係わるウェーハ支持装置と関連部材をも含めた該装 置の全体構成を示す斜視図で、前記図１に示したウェーハ支持装置の他に、関連 部材としてボートリフト５０及び固定台６０が追加構成されている。 前記ボートリフト５０は、本体脚部４２を本体固定部５３に嵌挿させて前記本 体４０を戴設しており、該本体４０及びボートリフト５０は、駆動部５１及びボ ールねじ５２により上下方向に移動可能に構成されている。 前記固定台６０は、ボールねじ固定部６１によりボールねじ５２の一端を固持 しており、前記四角柱体３０の両端側を支持する角柱支持体３０を垂直に固着立 設しており、また前記ボートリフト５０には貫通孔５５が設けてあり該角柱支持 体６１が通過可能に構成されている。

【００１３】 以上の記述のようにウェーハ支持装置と関連部材が構成されているので、次に 記述する作業によりウェーハ１０はウェーハ支持装置に装填される。 即ち、図２に示すとおり、配列孔３３の間隔が熱処理条件に適合すべく選択さ れた配列面を上方にして四角柱体３０を角柱支持体６１に戴設し、ボートリフト ５０を下方に移動させて準備する。

【００１４】 一方、図示しないウェーハカセットに装填されたウェーハ１０は、図示されて いない装置上に整列配置された複数のウェーハ保持体２０に転装されており、該 ウェーハ保持体２０は、例えばアームロボットにより前記四角柱体６１に配列孔 ３３を介して戴設する。この際、該四角柱体３０の左端面を基準面に利用して該 四角柱体３０の位置決めがなされているので、プログラム化されたアームロボッ トの動作によっても、突起２４を配列孔３３に嵌合させながら戴設可能である。 全てのウェーハ保持体２０を該四角柱体３０に戴設し終えたら、ボートリフト ５０を上昇させ該四角柱体３０の両端を嵌合溝４１に滑らせながら該嵌合溝４１ の底部に達せしめ、更に上昇を続けて該四角柱体３０を本体４０と共に上昇させ 、更に角柱支持体６１の頭部がボートリフト５０に設けられた貫通孔５５を通過 するまで上昇を続ける。

【００１５】 以上の作業によりウェーハを保持したウェーハ支持装置は、本体４０底面とボ ートリフト５０上面との間隙に挿入したフォークにより、次工程に搬送される。

【００１６】

【考案の効果】

以上記載のごとく本実施例によれば、列状に支持するウェーハ直径の各種寸法 に対応して半円弧状の支承部を変更製作し、予め準備しておいた該ウェーハ保持 体に取替える事により各種寸法対応の容易化を図る事ができる。 また、該ウェーハの各種処理条件に対応してウェーハ配列の各種間隔に配列孔 を多角柱体の各面に設けておき、該多角柱の所望間隔の配列面を選択することに より配列間隔変更の容易化を図る事ができる。 更に本考案によると、本ウェーハ支持装置は複数の部材から構成されているの で、各部材毎に製法上有利な材料、目的に沿った材料を選択する事ができ、また 、たとえ機械的減耗・高温変形しても部材毎に交換することにより該装置全体の 長寿命化を図ることができる。 等の種々の著効を有する。

【００１７】

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例に係わるウェーハ支持装置の全
体構成図で、図１（ａ）及び図１（ｂ）は夫々該ウェー
ハ支持装置の正面図及び側面図。

【図２】本考案の実施例に係わるウェーハ支持装置と関
連部材をも含めた該装置の全体構成を示す斜視図。

【図３】従来技術に係わるウェーハ支持治具の全体斜視
図

【図４】従来技術に係わるウェーハ支持治具の全体斜視
図

【符号の説明】

１０ ウェーハ ２０ ウェーハ保持体 ３０ 多
角柱体 ４０ 本体

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 多数枚のウェーハを列状に支持可能に構
   成したウェーハ支持装置において、ウェーハを保持する
   保持体と、長手方向に沿う複数の面に夫々前記保持体を
   脱着自在に支持する支持部を複数列設してなる多角柱体
   と、該多角柱体を少なくとも両端支持可能な嵌合部を形
   成した本体からなる事を特徴とするウェーハ支持装置
2. 【請求項２】 前記支持部形成間隔を各面毎に異ならせ
   た請求項第１項記載のウェーハ支持装置