JPH0544791B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は結晶成長等に利用されるイメージ炉に
関し、特にイメージ炉の内部と外部を遮断する密
閉部材の溝の形状を改良したイメージ炉に関す
る。

〔従来の技術〕

イメージ炉は、回転楕円面から成る反射鏡の第
１の焦点部分に熱光源を置き、第２の焦点部分に
試料を置いてその熱光源を集中し、試料を加熱す
るものである。この装置には、反射鏡が１個の回
転楕円面のみで構成される単楕円型、反射鏡が２
個の回転楕円面の組合わせで構成され第２の焦点
を共有する構造の双楕円型、更に反射鏡が３個以
上の回転楕円面の組合わせで構成され第２の焦点
を共有する構造の多楕円型がある。

次に、従来のイメージ炉の構造を単楕円型イメ
ージ炉を例にして、図面を参照して詳細に説明す
る。第２図は従来の単楕円型のイメージ炉の一例
を示す縦断面図である。

従来、この種のイメージ炉は固定反射鏡２０１
及び開閉反射鏡２０２かなり、これらの反射鏡は
回転楕円反射鏡２００を形成しており、分割面２
１０にて分割されるようになつている。回転楕円
面の第１の焦点F₂₁部分に設置したハロゲンラン
プ等の熱光源２０３から発する熱光線は、回転楕
円面の第２の焦点F₂₂部分に設置されシヤフト２
０４に取り付けた試料２０５に集中しこれを加熱
する。また、固定反射鏡２０１及び開閉反射鏡２
０２には回転楕円反射鏡２００の内部を密閉構造
とするため、密閉部材であるＯリングの溝２０６
及び２０７がそれぞれの分割面２１０に設けてあ
り、溝２０６及び２０７の中にＯリング２０８及
び２０９を嵌め込んでいる。開閉反射鏡２０２は
分割面２１０で固定反射鏡２０１から引き離すこ
とができ、回転楕円反射鏡２００内部の試料２０
５の着脱や熱光源２０３の交換ができるようにな
つている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来のイメージ炉は、試料の着脱や熱
光源の交換などの際、固定反射鏡に設けられた回
転楕円反射鏡の内部と外部を遮断する密閉部材と
接する開閉反射鏡のフランジ面に、異物の混入や
操作上の不注意などにより損傷や打痕を生じて
も、２個の密閉部材を用いているため、回転楕円
反射鏡の密閉が不良になりにくく、従つて回転楕
円反射鏡内部を真空にしたり各種のガスを封入し
たり加圧する場合の漏れを生じにくくなつてい
る。しかし、２個の溝を有しているため固定反射
鏡及び開閉反射鏡のフランジ部に占める面積が増
加し、従つて固定反射鏡及び開閉反射鏡の直径が
大きくなり、操作性が悪いという欠点があつた。

本発明の目的は、このような従来の欠点を除去
し、固定反射鏡及び開閉反射鏡の直径を小さく
し、操作性を向上させたイメージ炉を提供するこ
とにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明のイメージ炉は、固定反射鏡と開閉反射
鏡の両方の分割面にそれぞれ断面形状がありみぞ
状の２個の溝がとなりあうように設けられ、これ
らの溝にそれぞれ嵌入され回転楕円面鏡の内部を
密閉封入するための２個の密閉部材を備えてい
る。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して詳細に説
明する。

第１図は本発明の一実施例の縦断面図である。
本実施例は固定反射鏡１０１と開閉反射鏡１０
２、熱光源１０３、シヤフト１０４、試料１０
５、溝１０６，１０７及びＯリング１０８，１０
９を有してなる。

固定反射鏡１０１と開閉反射鏡１０２とで回転
楕円反射鏡１００を形成しており、分割面１１０
にて分割されるようになつている。回転楕円面の
第１の焦点F₁₁部分に設置したハロゲンランプ等
の熱光源１０３から発する熱光線は、回転楕円面
の第２の焦点F₁₂部分に設置されシヤフト１０４
に取り付けられた試料１０５に集中しこれを加熱
する。また、固定反射鏡１０１及び固定反射鏡１
０２には回転楕円反射鏡１００の内部を密閉構造
とするため、溝の断面形状がありみぞ状になつて
いる密閉部材であるＯリングの溝１０６及び１０
７がそれぞれの分割面１１０にそれぞれがとなり
あうように設けてあり、それぞれの溝１０６及び
１０７の中に密閉部材１０８及び１０９が嵌め込
まれている。開閉反射鏡１０２は分割面１１０で
固定反射鏡１０１から引き離すことができ、回転
楕円反射鏡１１０の内部の試料１０５の着脱や熱
光源１０３の交換をすることができる。

このように本実施例によれば、Ｏリングの溝の
断面形状がありみぞ状になつているので、２個の
溝の間隔を小さくすることができ、固定反射鏡及
び開閉反射鏡の直径を小さくすることができる。

なお、本実施例では単楕円型のイメージ炉につ
いて説明してきたが、双楕円型あるいは多楕円型
のイメージ炉についても本実施例と同様に実施す
ることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、２個のＯリング
の溝の断面形状をありみぞ状にすることにより、
固定反射鏡及び開閉反射鏡の直径を小さくするこ
とができ、操作性を向上させることができる。ま
たＯリングの溝の断面形状がありみぞであるた
め、開閉反射鏡の開閉によつてＯリングが脱落す
ることもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の縦断面図、第２図
は従来の単楕円型のイメージ炉の一例を示す縦断
面図である。 １００，２００……回転楕円反射鏡、１０１，
２０１……固定反射鏡、１０２，２０２……開閉
反射鏡、１０３，２０３……熱光源、１０４，２
０４……シヤフト、１０５，２０５……試料、１
０６，１０７，２０６，２０７……溝、１０８，
１０９，２０８，２０９……Ｏリング、１１０，
２１０……分割面。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 回転楕円反射鏡の第１の焦点部分に熱光源を
   設け、前記回転楕円反射鏡の第２の焦点部分に置
   かれた試料に前記熱光源から発する熱光線を集中
   して前記試料を加熱し、前記回転楕円反射鏡の内
   部を密閉封入し、かつ前記回転楕円反射鏡の内部
   の前記熱光源や前記試料などを着脱するために前
   記回転楕円反射鏡が固定反射鏡と開閉反射鏡とに
   分割されるような構成のイメージ炉において、前
   記固定反射鏡と前記開閉反射鏡の両方の分割面に
   それぞれ断面形状がありみぞ状の２個の溝がとな
   りあうように設けられ、これらの溝にそれぞれ嵌
   入され前記回転楕円面鏡の内部を密閉封入するた
   めの２個の密閉部材を備えることを特徴とするイ
   メージ炉。