JPH054552B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

［産業上を利用分野］ 本発明は計装分野等で好適に採用されている電
気信号−空気圧変換器、電気信号−空気圧ポジシ
ヨナー、あるいは空気圧−空気圧ポジシヨナー等
に組み込まれるパイロツト弁機構に関する。 ［発明の背景］ この種のパイロツト弁機構はブリード型とノン
ブリード型とに大別することが出来る。ブリード
型パイロツト弁機構は供給側から与えられる空気
を大気中に逃がす構造のものでり、一方、ノンブ
リード型パイロツト弁機構は排気圧ポートはある
が主として供給側の空気はそのまま出力側へと導
出するよう構成されている。 そこで、ブリード型パイロツト弁機構とノンブ
リード型パイロツト弁機構の典型的な例を夫々第
１図並びに第２図に示す。 すなわち、ブリード型パイロツト弁機構によれ
ば、ボデイ２の一部に室４が画成され、この室４
にダイヤフラム６が配設されている。さらに、そ
の反対側にあつてボデイ２には室８が画成され、
この室８は供給ポート１０と連通状態にある。室
８の内部には板ばね１２が配設され、この板ばね
１２は給気弁１４を図において下方から上方へと
押圧している。実際、給気弁１４は室４と室８と
を連通する通孔１６内に臨むロツド１８の一端部
に固着され、当該ロツド１８の他端部は排気弁２
０と連結されている。この場合、通孔１６は分岐
する通孔１９となつて室４と連通する。テーパ状
の弁部を有する排気弁２０はダイヤフラム６と固
着され、着座部２２に着座することによつてこの
排気弁２０の弁の開閉動作を行う。通孔１６には
出力圧を導出するための通孔２４が画成される。
さらにまた、室４は排気圧を導出するための通孔
２６と連通状態にある。なお、ダイヤフラム６を
介して室４にはノズル２８が臨む。 以上のような構成において、ノズル２８に臨む
フラツパ２９を介してノズル背圧を変化させるこ
とにより、ダイヤフラム６は図において上下方向
に変位する。すなわち、ノズル背圧が高まること
によつてダイヤフラム６は下方へロツド１８を変
位させる。一方、給気弁１４は板ばね１２によつ
て上方へと押圧されているために、ダイヤフラム
６と板ばね１２とのバランスによつて給気弁１４
を通る供給圧が出力側へと通孔２４を介して導出
される際に制約を受け、また、通孔２６を介して
大気圧側へと放出される排気圧は排気弁２０と着
座部２２との離間距離によつて制約を受けること
になる。このように、ノズル背圧の変化が排気弁
２０と給気弁１４との変位動作を規制し、これに
よつて出力圧を所望の値に調整することが可能で
ある。 次に、ノンブリード型パイロツト弁機構につい
て説明する。 ボデイ３０に供給ポート３２と出力ポート３４
とが画成され、この供給ポート３２と出力ポート
３４との間には給気弁３６が配設されている。給
気弁３６はコイルスプリング３８によつて図にお
いて上方へと押圧され、着座部４０に着座される
ことによつて供給ポート３２と出力ポート３４と
の連通を遮断する。給気弁３６はロツドを介して
内弁４２と一体的に構成され、この内弁４２は排
気弁４４と係合する。ボデイ３０には室４６が画
成され、この室４６は通孔４８によつて供給ポー
ト３２と連通状態にある。室４６の内部には受圧
面積が比較的大きい第１のダイヤフラム５０と受
圧面積の小さい第２のダイヤフラム５２とが配設
され、これによつて、前記室４６は小室５４，５
６、および５８に区分されている。前記第１ダイ
ヤフラム５０と第２ダイヤフラム５２とは連結部
材６０によつて一体的に結合され、この連結部材
６０には、さらに、前記排気弁４４が形成されて
いる。小室５６は通孔６２によつて大気側へと連
通すると共に、小室５８は出力ポート３４に通孔
６４を介して連通している。なお、図中、参照符
号６６は室４６と連通する通路を有するノズル部
に示し、また、参照符号６８はフラツパを示す。 以上のような構成において、フラツパ６８を撓
曲させてノズル部６６のノズル背圧を変化させる
ことによつて第１のダイヤフラム５０と第２のダ
イヤフラム５２とが連結部材６０を介して排気弁
４４を下方へと変位させる。これによつて、給気
弁３６はコイルスプリング３８の弾発力に抗して
下方へと変位し、供給ポート３２から供給される
圧力空気は出力ポート３４側へと導出される。こ
の出力ポート３４の空気圧は通孔６４を介して出
力圧信号として取り出される。一方、この出力圧
は小室５８にフイードバツクされ、ノズル背圧と
対抗し、結局、着座部４０に対する給気弁３６の
離間距離を調整し、所望の出力圧空気を得られる
よう構成している。 そこで、一般的には、第１図に示すブリード型
パイロツト弁機構ではノズル背圧の変化に対する
出力圧変化の比、すなわち、パイロツト弁のゲイ
ンが約10倍乃至20倍と比較的大きく得ることが可
能である。然しながら、構造的には、前記のよう
に、常時、供給される圧力空気が通孔２６を介し
て排気圧側、すなわち、大気側へと導出されるた
めに空気消費量が極めて多くなる。例えば、供給
圧力1.4Kg／cm²に対して、その消費量は20n／
min.前後と、非常に多くなる。 一方、第２図に示すノンブリード型パイロツト
弁機構によれば、第１ダイヤフラム５０と第２ダ
イヤフラム５２の有効受圧面積で圧力ゲインが決
定される。然しながら、製品としてのサイズに所
定の制約がある以上、この種の構造のものでは略
３倍位のゲインしか得られない。然しながら、前
記の構造から容易に諒解されるように、ノンブリ
ード型パイロツト弁機構では平衡状態では大気側
へと連通している通孔６２からは出力用の圧力空
気が導出されることはないために、空気の消費量
がブリード型に比べて1/5乃至1/10程度と非常に
小さくすることが可能となつている。 従つて、以上のような構成からすれば、ブリー
ド型パイロツト弁機構あるいはノンブリード型パ
イロツト弁機構は、その目的によつて使い分けさ
れているのが現実である。然しながら、最近に至
り、省エネルギの観点から空気消費量が大きいブ
リード型よりも、寧ろ、ノンブリード型パイロツ
ト弁機構を採用する場合が多く、これに伴つて、
このノンブリード型パイロツト弁機構でありなが
ら可及的にゲインを大きくしたいという要求が高
まつている。 ［発明の目的］ 本発明は前記に鑑みなされたものであつて、ボ
デイの内部にダイヤフラム室を画成し、該ダイヤ
フラム室に互いに受圧面積が異なる３枚のダイヤ
フラムを所定間隔離間させて積層配置し、第１ダ
イヤフラムとボデイとの間に画成されるノズル背
圧室にはノズル背圧が印加され、前記第１ダイヤ
フラムと第２ダイヤフラムとの間に画成される出
力圧室には出力圧が印加されるように構成し、前
記第２ダイヤフラムと第３ダイヤフラムとの間に
画成される給気圧室には供給圧力を導入し、ま
た、この第３ダイヤフラムとボデイとの間に画成
される排気圧室は大気側へと連通させるように構
成している。これによつて、圧力ゲインが大きく
得ることが可能となると共に、設定圧力に対する
出力圧が行き過ぎてしまうオーバーシユート、若
しくはその設定値に対して圧力が低すぎるアンダ
ーシユートを惹起することを回避し、如何なる使
用条件においても応答性が迅速な且つ安定性に富
むパイロツト弁機構を提供することを目的とす
る。 ［目的を達成するための手段］ 前記の目的を達成するために、本発明は弁本体
の内部に設けられたノズルフラツパ機構と、 前記弁本体に画成された入力ポートと出力ポー
トとの間に変位自在に配設された給気弁と、 当該弁本体内に所定間隔離間して積層配置され
た第１のダイヤフラムと、この第１ダイヤフラム
より受圧面積が小さい第２のダイヤフラムと、前
記第２ダイヤフラムより受圧面積が小さい第３の
ダイヤフラムと、 前記第１乃至第３ダイヤフラムと連結し、前記
第１乃至第３ダイヤフラムの変位に連動して変位
し、一端部が給気弁に当接して該給気弁を開閉可
能とする連結部材と、 前記入力ポートに連通して前記ノズルフラツパ
機構のノズル背圧を受ける前記第１ダイヤフラム
により画成されたノズル背圧室と、 前記入力ポートに連通し、前記第２ダイヤフラ
ムと第３ダイヤフラムとの間で画成された給気圧
室と、 前記出力ポートに連通し、前記第１ダイヤフラ
ムと第２ダイヤフラムとの間で画成された出力圧
室と、 を備えることを特徴とする。 ［実施態様］ 次に、本発明に係るノンブリード型パイロツト
弁機構について好適な実施態様を挙げ、添付の図
面を参照しながら以下詳細に説明する。 第３図において、参照符号７０は本発明に係る
ノンブリード型パイロツト弁機構を示す。このパ
イロツト弁機構７０は、実際、ボデイ７２を含
み、このボデイ７２には入力ポート７４と出力ポ
ート７６とが画成されている。入力ポート７４と
出力ポート７６とを連通する通路には給気弁７８
が配設される。この給気弁７８は着座部８０と係
合して前記入力ポート７４から出力ポート７６へ
と送られる圧力空気の連通を遮断する。給気弁７
８にはコイルスプリング８２が配設されている。
コイルスプリング８２は支持体８４によつて前記
給気弁７８を着座部８０に対して、常時、押圧す
る。給気弁７８はロツド８６を介して内弁８８と
一体的に構成されている。当該内弁８８は後述す
る排気弁と係合可能である。 ボデイ７２の略中央部にダイヤフラム室９０が
画成される。ダイヤフラム室９０には夫々図にお
いて上方から受圧面積が比較的大きい第１ダイヤ
フラム９２、この第１ダイヤフラム９２からさら
に受圧面積が小さい第２のダイヤフラム９４、さ
らにこの第２ダイヤフラム９４よりも受圧面積の
小さい第３のダイヤフラム９６が配設される。図
から容易に諒解されるように、この第１ダイヤフ
ラム９２、第２ダイヤフラム９４、第３ダイヤフ
ラム９６は連結部材９８によつて一体的に結合さ
れ、相互に所定間隔離間して配置される。従つ
て、第１ダイヤフラム９２、第２ダイヤフラム９
４、第３ダイヤフラム９６によつてダイヤフラム
室９０はノズル背圧室としての小室１０２、出力
圧室としての小室１０４、給気圧室としての小室
１０６および排気圧室としての小室１０７に区分
されることになる。連結部材９８には、一体的
に、排気弁１０８が形成され、この排気弁１０８
はその先端部が内弁８８と係合自在である。実
際、排気弁１０８はその軸線方向に延在する通孔
１１０を有し、この通孔１１０に内弁８８が臨む
ことによつて排気通路の開閉を行う。排気弁１０
８の通孔１１０は軸線と直交する通孔１１２を有
し、この通孔１１２は小室１０７と連通状態にあ
る。 ボデイ７２には入力ポート７４と連通して通孔
１１４が設けられる。この通孔１１４は上方に立
ち上がつて屈曲した後、小室１０２と連通状態に
ある。また、この通孔１１４は分岐して通孔１１
６となり、小室１０６と連通状態である。さらに
また、ボデイ７２に画成される出力ポート７６に
は通孔１１８が画成され、この通孔１１８は圧力
センサ１２０に臨む。また、この通孔１１８は分
岐して通孔１２２となり、この通孔１２２は小室
１０４と連通状態にある。この場合、小室１０７
は通孔１２４によつて大気側と連通状態にある。 ダイヤフラム室９０の上部にはノズル１３０が
設けられ、このノズル１３０は狭径な通孔１３２
を介して小室１０２と連通状態にある。従つて、
実質的には小室１０２はノズル背圧室を構成する
ことが容易に諒解出来よう。 ノズル１３０は、この場合、室１３４に臨み、
この室１３４の内部には板状のフラツパ１３６が
その先端部をノズル１３０に近接して配置されて
いる。前記フラツパ１３６は電極（図示せず）が
施された２枚の圧電セラミツク１３８，１３８と
これらの圧電セラミツク１３８，１３８に挟まれ
た中間電極板１４０とからなる、所謂、電歪素子
で形成され、夫々の圧電セラミツク１３８，１３
８に形成されたリード線１４２，１４２を介して
所定の電圧が印加されるように構成されている。
実際、フラツパ１３６にはコントローラ１４４が
接続され、このコントローラ１４４は、また、圧
力センサ１２０と電気的に接続されている。な
お、室１３４は通孔１４５により大気側と連通状
態にある。 第４図に、この空気圧−電気制御系をブロツク
図で示す。先ず、コントローラ１４４の出力側は
前記の通り、フラツパ１３６に接続される。この
フラツパ１３６の出力によつて、すなわち、ノズ
ル背圧の変化によつて第１ダイヤフラム９２が加
圧される。第１ダイヤフラム９２の受圧作用下に
給気弁７８並びに排気弁１０８が変位する。これ
によつて出力ポート７６からの出力圧が決定され
る。 一方、この出力ポート７６からの出力圧信号は
通孔１１８を介して通孔１２２に至り、次いで、
小室１０４にフイードバツクされる。このため、
結局、給気圧を受ける小室１０６の第２ダイヤフ
ラム９４と第３ダイヤフラム９６との面積差に対
応する力と、出力圧を受ける小室１０４の第１ダ
イヤフラム９２と第２ダイヤフラム９４の面積差
に対応する力およびノズル背圧が作用するダイヤ
フラム９２の三者との間で力の加減算がなされ
る。 なお、この場合、出力圧は通孔１１８からさら
に圧力センサ１２０に到達し、電気信号に変換さ
れた上で入力信号に加算されることになる。 本発明に係るノンブリード型パイロツト弁機構
は基本的には以上のように構成されるものであ
り、次にその作用について説明する。 そこで先ず、入力ポート７４に図示しない空気
圧供給源からの所定圧の空気を送給する。この場
合、コイルスプリング８２の弾発力によつて給気
弁７８は着座部８０に圧接されているために、入
力ポートと出力ポート７６との連通状態は遮断さ
れている。この入力ポート７４からの圧力空気は
通孔１１４を介して小室１０２に到達すると共
に、通孔１１６から小室１０６へと到達する。 このような状態において、入力信号がコントロ
ーラ１１４に送られる。これによつて、フラツパ
１３６はその入力される電圧信号に応じて撓曲
し、当該フラツパ１３６の先端部はノズル１３０
に近づく。これによつて、入力ポート７４、通孔
１１４、小室１０２、通孔１３２を介して外部へ
と導出される圧力はノズル背圧の高まりとなつて
第１ダイヤフラム９２を加圧変位させる。 この結果、連結部材９８を介して第１ダイヤフ
ラム９２、第２ダイヤフラム９４、第３ダイヤフ
ラム９６が排気弁１０８と一体的に図において下
方へと変位し、この結果、給気弁７８は着座部８
０から離間する。これによつて、入力ポート７４
からの圧力空気は出力ポート７６へと導出される
ことになる。 ところで、この出力ポート７６から導出される
空気圧信号は通孔１１８を介して基本的にはブリ
ツジ回路からなる圧力センサ１２０へと導入さ
れ、電気信号に変換される。そして、圧力センサ
１２０はコントローラ１４４にその電気信号を送
り、コントローラの内部で入力信号との差が取ら
れる。 従つて、結果的にはフラツパ１３６に印加され
る電圧はコントローラ１４４に導入される入力信
号と、圧力センサ１２０から得られるフイードバ
ツク信号との差がさらに増幅器で増幅されたもの
となる。 ところで、出力ポート７６、通孔１１８を介し
て得られる圧力空気は、さらに、通孔１２２を介
して小室１０４に印加される。この場合、第１ダ
イヤフラム９２と第２ダイヤフラム９４とは、そ
の受圧面積が異なるように構成されている。従つ
て、仮に第１ダイヤフラム９２の上側に作用する
ノズル背圧が増加した場合について考えると、今
まで平衡していた力のバランスが崩れ、排気弁１
０８を下方に変化させ、その結果、入力ポートが
開いて出力圧が増加する。この増加した出力圧は
前記小室１０４にフイードバツクされ、第１ダイ
ヤフラム９２と第２ダイヤフラム９４の両方に作
用するが、第１ダイヤフラム９２の方が有効面積
が大きいので、結局、この両者の力の差の分が上
向きに作用し、上記ノズル背圧による下向きの力
と対抗して給気弁を閉じる方向に働く。なお、小
室１０６には供給圧が印加され、第２ダイヤフラ
ム９４と第３ダイヤフラム９６に作用している
が、第２ダイヤフラム９４の方が面積が大きいの
で面積差に相当する力が常に上向きに働き、一種
の空気式のばねの役目を果たしている。このよう
にして入力信号とフイードバツク信号とが加算さ
れ、その差信号に見合つた圧力レベルに至ると給
気弁７８は閉成されて、系としては新しい平衡状
態が得られることになる。 入力信号が出力ポート７６から得られる出力圧
より低い場合には前記とは逆の作用により、排気
弁１０８が上方へと変位し、出力ポート７６から
通孔１１０、通孔１１２を通過し通孔１２４から
大気圧側へと圧力空気が流れるために、これによ
つて系が安定することになる。このようにして、
常に、入力信号に比例した出力圧が得られる。 以上が基本的な動作の説明である。そこで、第
３図のように構成されるパイロツト弁機構のゲイ
ンを求めるため、力の平衡状態について考える。
この場合、第１ダイヤフラム９２の受圧有効面積
をA₁とし、第２ダイヤフラム９４の受圧面積を
A₂とし、第３ダイヤフラム９６の受圧面積をA₃
とし、給気弁７８の受圧面積をA₄とする。そし
て、小室１０２に印加される空気圧をP_o、小室
１０４に印加される圧力をP₀、さらに、小室１
０６に印加される圧力をP_sとする。そこで、 P_o・A₁＋P₀・A₂＋P_o・A₃ ＝P₀・A₁＋P_s・A₂＋P_s・A₄＋F_s ……(1) この(1)式を整理して次の(2)式を得る。 P₀＝A₁／A₁−A₂×P_o ＋A₃−（A₂＋A₄）／A₁−A₂×P_s−F_s／A₁−A₂ ……(2) 上記(2)式において、第１ダイヤフラム９２、第
２ダイヤフラム９４、第３ダイヤフラム９６並び
に給気弁７８の各有効受圧面積A₁、A₂、A₃、A₄
を定め、さらに、供給圧力P_sは初期設定されるこ
と、コイルスプリング８２の弾発力F_sは一定の定
数項であることから前記(2)式は次の(3)、(4)式のよ
うに表される。 P₀＝A₁／A₁−A₂×P_o＋K_p−K_f ……(3) 但し、 K_p＝A₃−（A₂＋A₄）／A₁−A₂×P_S K_f＝F_s／A₁−A₂ である。 従つて、 P₀＝K₁×P_o−K₂ ……(4) 但し、 K₁＝A₁／A₁−A₂、K₂＝K_p−K_f となる。 この(4)式におけるK₁、すなわち、A₁／（A₁−
A₂）が本発明に係るパイロツト弁機構のゲイン
となる。パイロツト弁のゲインK₁はA₁／（A₁−
A₂）の式で表されるように、第１ダイヤフラム
９２の受圧面積A₁と第２ダイヤフラム９４の受
圧面積A₂の差が可及的に０に近づくことにより
無限大に近い値を得ることが可能である。 そこで、第２ダイヤフラム９４の受圧面積A₂
と第１ダイヤフラム９２の受圧面積A₁との差を
可及的に少なくした場合に得られた計算結果に係
るゲインを第１表に示す。

【表】 この表から容易に諒解されるように、A₂−A₁
を、例えば、0.95になるように前記第１ダイヤフ
ラム９２と第２ダイヤフラム９４との有効受圧面
積を選択すれば、20倍の圧力ゲインが得られるこ
とになる。すなわち、ノンブリード型でありなが
らブリード型のパイロツト弁機構のゲインと同等
の圧力ゲインが容易に得られることになる。しか
も、第４図に示すように、入力信号に対して出力
側から分岐する圧力を圧力センサで電気信号に変
換する第１の大きなフイードバツク系と、給排気
弁の圧力をダイヤフラム９２，９４で受けて、そ
れをダイヤフラム９２の変位量としてフイードバ
ツクする圧力系からなるフイードバツク系の２つ
の系を設けている。 従つて、この第２のフイードバツク系によつて
出力圧がダイヤフラム９２に直接フイードバツク
されていることになる。このため、出力圧側でオ
ーバーシユートがあると直ちにフイードバツクが
圧力信号として伝達されるため、電気信号で置換
した上でフイードバツクをかけるものと異なり、
迅速にフイードバツクがかかり、従つて、系とし
ては非常に安定性が高くなる。また、圧力センサ
１２０によつてさらに電気信号としてもフイード
バツクがかかり、ノズル背圧を調整するよう構成
されているため、より一層精度の高い制御が達成
されることになる。 なお、前記の実施態様では３枚のダイヤフラム
の中、ノズル背圧が作用する第１ダイヤフラム９
２の反対側に出力圧側をフイードバツクし、他の
２枚のダイヤフラム９４，９６の中間に供給圧を
加えるように構成している。然しながら、夫々積
層配置される３枚のダイヤフラムの有効面積を適
宜に選択することによつて、出力圧側と供給圧側
の通流する位置を適当に選択することも可能であ
る。 さらにまた、この実施態様においては、出力圧
をフイードバツクするために圧力センサを組み込
んでいるが、この圧力センサに代替して変位セン
サを用いることも可能である。これを第５図に示
す。すなわち、出力ポート７６からの出力を分岐
させて、ダイヤフラムアクチユエータ２００に導
入する。ダイヤフラムアクチユエータ２００のダ
イヤフラム本体には軸２０２が連結されると共
に、コイルスプリング２０４によつて、常時、上
方へとこのダイヤフラムアクチユエータ２００は
押圧されている。前記軸２０２にはピン２０５が
植設され、このピン２０４に長孔２０６が穿設さ
れたレバー２０８が係合する。レバー２０８の先
端部にカム２１０が固着されている。カム２１０
の周面にはローラ２１２が転動自在に係合する。
ローラ２１２は板ばね２１４によつて支点２１６
で支承され、前記板ばね２１４の途上にはストレ
ンゲージで構成される変位センサ２１８が係着さ
れている。変位センサ２１８の出力側はコントロ
ーラ１４４に供給される。なお、図中、参照符号
２２０は軸２０２に変位動作によつて開閉される
弁体を示す。 以上の構成において、出力ポート７６から導出
される出力圧の変化によりコイルスプリング２０
４の弾発力に抗してダイヤフラムアクチユエータ
２００のダイヤフラム本体が、例えば、加圧され
る。これに伴つて、軸２０２が下降すると、ピン
２０５がレバー２０８を揺動させ、カム２１０の
ローラーラ２１２に対するカムリフトを変化させ
る。この結果、板ばね２１４が撓み、変位センサ
２１８はその変位力を電気信号に代えてコントロ
ーラ１４４にフイードバツク信号として送ること
になる。すなわち、これによつて、電気信号−空
気圧ポジシヨナーが構成されるという利点があ
り、また、これは空気式ポジシヨナーに適用可能
である。 ［発明の効果］ 以上のように、本発明によれば、圧力系のみか
らなるフイードバツク系と電気信号系からなるフ
イードバツク系との２つを併せ有し、その構成と
しては弁本体内に所定間隔離間して積層配置され
た第１と第２と第３の夫々の受圧面積が異なるダ
イヤフラムを設けている。従つて、入力側に対す
る出力側のゲインが極めて大きく選択出来ると共
に、ノンブリード型に構成しているために、供給
圧力空気を大気側へと放出することなく、結局、
空気消費量も極めて少なくてすむ。さらに、系全
体としてフイードバツク系を圧力系と電気系の２
つの系で構成したので、より一層精密な制御がな
されるという効果が得られる。 以上、本発明について好適な実施態様を挙げて
説明したが、本発明はこの実施態様に限定される
ものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲に
おいて種々の改良並びに設計の変更が可能なこと
は勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来技術に係るブリード型パイロツト
弁の概略縦断説明図、第２図は従来技術に係るノ
ンブリード型パイロツト弁の従来技術の縦断説明
図、第３図は本発明に係るノンブリード型パイロ
ツト弁機構の縦断説明図、第４図は第３図に組み
込まれる夫々異なるフイードバツクを有する制御
ブロツク図、第５図はアクチユエータを用いるこ
とによつてフイードバツク信号を得る概略説明図
である。 ７０……ノンブリード型パイロツト弁機構、７
２……ボデイ、７４……入力ポート、７６……出
力ポート、７８……給気弁、８８……内弁、９
２，９４，９６……ダイヤフラム、１０８……排
気弁、１３０……ノズル、１２０……圧力セン
サ、１３６……フラツパ、１４４……コントロー
ラ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 弁本体の内部に設けられたノズルフラツパ機
   構と、 前記弁本体に画成された入力ポートと出力ポー
   トとの間に変位自在に配設された給気弁と、 当該弁本体内に所定間隔離間して積層配置され
   た第１のダイヤフラムと、この第１ダイヤフラム
   より受圧面積が小さい第２のダイヤフラムと、前
   記第２ダイヤフラムより受圧面積が小さい第３の
   ダイヤフラムと、 前記第１乃至第３ダイヤフラムと連結し、前記
   第１乃至第３ダイヤフラムの変位に連動して変位
   し、一端部が給気弁に当接して該給気弁を開閉可
   能にする連結部材と、 前記入力ポートに連通して前記ノズルフラツパ
   機構のノズル背圧を受ける前記第１ダイヤフラム
   により画成されたノズル背圧室と、 前記入力ポートに連通し、前記第２ダイヤフラ
   ムと第３ダイヤフラムとの間で画成された給気圧
   室と、 前記出力ポートに連通し、前記第１ダイヤフラ
   ムと第２ダイヤフラムとの間で画成された出力圧
   室と、 を備えることを特徴とするノンブリード型パイロ
   ツト弁機構。 ２ 特許請求の範囲第１項記載のパイロツト弁機
   構において、前記第３ダイヤフラムと弁本体との
   間で排気圧室を画成し、この排気圧室は排気弁を
   開成することにより出力ポートと連通することを
   特徴とするノンブリード型パイロツト弁機構。