JPS62113149A - 感光層を有する材料の露光装置 - Google Patents
感光層を有する材料の露光装置Info
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- JPS62113149A JPS62113149A JP61264156A JP26415686A JPS62113149A JP S62113149 A JPS62113149 A JP S62113149A JP 61264156 A JP61264156 A JP 61264156A JP 26415686 A JP26415686 A JP 26415686A JP S62113149 A JPS62113149 A JP S62113149A
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- photosensitive layer
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- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 20
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- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 claims 1
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
- G03B27/02—Exposure apparatus for contact printing
- G03B27/04—Copying apparatus without a relative movement between the original and the light source during exposure, e.g. printing frame or printing box
- G03B27/06—Copying apparatus without a relative movement between the original and the light source during exposure, e.g. printing frame or printing box for automatic repeated copying of the same original
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
- G03F7/2014—Contact or film exposure of light sensitive plates such as lithographic plates or circuit boards, e.g. in a vacuum frame
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0082—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the exposure method of radiation-sensitive masks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、装入装置、分離および供給位置、露光位置、
取り出しおよび収集位置、および収集装置からなる、感
光層を有する材料の露光装置に関する。
取り出しおよび収集位置、および収集装置からなる、感
光層を有する材料の露光装置に関する。
感光層を有する材料、特にプリント板素材の露光は、プ
リント板＋ＩＲ造方法のプロセスの一部である。
リント板＋ＩＲ造方法のプロセスの一部である。
従来技術
もともと次に説明するプリント板素材の露光様式は、一
般的に使用される方法であった．すなわちそれぞれフリ
ント板素材の上面および下面に適当な加工フィルムを視
覚により手動で配置し、続いてこのようにして準備した
プリント板素材を露光装置に手動で挿入し、がつ続いて
露光装置がら露光したプリント板素材を手動で取り出す
．この作業過程は半開がかかり、かつ費用がかかり、か
つそれ故に１９８３年以来、全自動露光装置によりこれ
ら欠点は徐々に取り除かれている。
般的に使用される方法であった．すなわちそれぞれフリ
ント板素材の上面および下面に適当な加工フィルムを視
覚により手動で配置し、続いてこのようにして準備した
プリント板素材を露光装置に手動で挿入し、がつ続いて
露光装置がら露光したプリント板素材を手動で取り出す
．この作業過程は半開がかかり、かつ費用がかかり、か
つそれ故に１９８３年以来、全自動露光装置によりこれ
ら欠点は徐々に取り除かれている。
しかしながらａおよびｂとして次に挙げる２つの処理ス
テップがドイツ連邦共和国特許出願第２月４１ ３５８
号明細書によるコピーフレームに説明され、かつこのコ
ピーフレームがその間に度々使われているとはいえ、現
在までに開発されたこれらの装置にとって、露光は、 ａ）両面同時にはできない５または ｂ）５０ ３０Ｃ）＋ｂａｒの圧力の場合のように密
に接触してはできない、 ということは共通している。
テップがドイツ連邦共和国特許出願第２月４１ ３５８
号明細書によるコピーフレームに説明され、かつこのコ
ピーフレームがその間に度々使われているとはいえ、現
在までに開発されたこれらの装置にとって、露光は、 ａ）両面同時にはできない５または ｂ）５０ ３０Ｃ）＋ｂａｒの圧力の場合のように密
に接触してはできない、 ということは共通している。
発明の目的
それ故に本発明の課題は、前記のコピーフレームにおい
て実現した処理ステップを、すなわちこれまで手動で行
っていた露光装置の装入および取り出しの過程を自動化
し、かつその際特に露光すべき材料を５ ０ − ３
０’Ｏｍｂｅｒの圧力で両面同時に露光できろようにす
ることにある。その他に加工フィルム／ガラスマスター
は、上下においてｘ −ｙ方向に互いに独立に位置決め
できるようにし、かつ付加的に露光装置全体は、装置を
覆ったほこりのない環境に設置するようにする。
て実現した処理ステップを、すなわちこれまで手動で行
っていた露光装置の装入および取り出しの過程を自動化
し、かつその際特に露光すべき材料を５ ０ − ３
０’Ｏｍｂｅｒの圧力で両面同時に露光できろようにす
ることにある。その他に加工フィルム／ガラスマスター
は、上下においてｘ −ｙ方向に互いに独立に位置決め
できるようにし、かつ付加的に露光装置全体は、装置を
覆ったほこりのない環境に設置するようにする。
発明の構成
本発明によればこの課題は次のようにして解決される．
すなわち露光装置により、未露光の感光層を有する材料
の積み重ね物から像に応じて正確に露光した感光層を有
する材料の積み重ね物へ、露光の完全自動処理を行うこ
とができ、その際材料の露光を、５０−３００ｍｂｅｒ
の負圧で正確に位置決めして接触法により両面同時に行
う。
すなわち露光装置により、未露光の感光層を有する材料
の積み重ね物から像に応じて正確に露光した感光層を有
する材料の積み重ね物へ、露光の完全自動処理を行うこ
とができ、その際材料の露光を、５０−３００ｍｂｅｒ
の負圧で正確に位置決めして接触法により両面同時に行
う。
本発明のその他の特徴は、特許請求の範囲従属請求項に
記載されている。
記載されている。
実施例の説明
本発明の実施例を以下図面により説明する。
図によれば、装置は５つの個別部所に分類される．すな
わち 装入装置Ｉ、 分離および供給位置■（位置■）、 露光位置ｍ、 取り出しおよび収集位ａＰＪ、および 収集装置Ｖ。
わち 装入装置Ｉ、 分離および供給位置■（位置■）、 露光位置ｍ、 取り出しおよび収集位ａＰＪ、および 収集装置Ｖ。
装入装置Ｉ：
位置■の外部にある装入装置には、装入装置に固定的に
結合された心出しピン２がプリント板素材の六３にはま
るように、プリント板素材１があらかじめおおまかに固
定される。続いてプリント板素材の外部固定は、正確に
案内され可動の垂直な固定棒４を介して行われ、これら
固定棒は、固定装置（図示せず）によりプリント板素材
に並べた後、装入装置に固定的に結合される。プリント
板素材のこの外部固定は、少なくとも３つの辺で行われ
る。このように形成されたかごに、プリント板素材が詰
められる。続いて装入装置はプリント板素材の固定した
積み重ね物と共に位置■に運び込まれ、がつ続いて次に
説明する作業経過が可能なように、詳細には説明しない
装置によって自動的に固定される。
結合された心出しピン２がプリント板素材の六３にはま
るように、プリント板素材１があらかじめおおまかに固
定される。続いてプリント板素材の外部固定は、正確に
案内され可動の垂直な固定棒４を介して行われ、これら
固定棒は、固定装置（図示せず）によりプリント板素材
に並べた後、装入装置に固定的に結合される。プリント
板素材のこの外部固定は、少なくとも３つの辺で行われ
る。このように形成されたかごに、プリント板素材が詰
められる。続いて装入装置はプリント板素材の固定した
積み重ね物と共に位置■に運び込まれ、がつ続いて次に
説明する作業経過が可能なように、詳細には説明しない
装置によって自動的に固定される。
分離および供給位置■：
装入装置からプリント板素材を個々に取り出し露光位置
■に挿入するまでの処理ステップは、供給装置にプリン
ト板素材を位置決めしかつ吸い込み、供給装置によりプ
リント板素材を持ち上げかつ露光値１７１１にプリンマ
・板素材を水平に運搬するという作業過程を介して行わ
れる。プ１Ｊ、ント板素材の位置決めは、２つの円錐形
位置決めピンを介して行われ、これら位置決めピンは、
プリント板素材の対応する２つの穴７にはまり、それに
より供給装置における正確な固定が行われる。プリント
板素材の吸い込み、持ち上げおよび露光位置■への運搬
は、吸い込みピン８と挿入装置５によって行われる。
■に挿入するまでの処理ステップは、供給装置にプリン
ト板素材を位置決めしかつ吸い込み、供給装置によりプ
リント板素材を持ち上げかつ露光値１７１１にプリンマ
・板素材を水平に運搬するという作業過程を介して行わ
れる。プ１Ｊ、ント板素材の位置決めは、２つの円錐形
位置決めピンを介して行われ、これら位置決めピンは、
プリント板素材の対応する２つの穴７にはまり、それに
より供給装置における正確な固定が行われる。プリント
板素材の吸い込み、持ち上げおよび露光位置■への運搬
は、吸い込みピン８と挿入装置５によって行われる。
露光位置■：
露光位置■において、挿入装置に付いたプリント板素材
は次のようにして固定される。すなわちプリント板素材
を降ろす際、まず２つの円錐形位置決めピン６は、これ
ら位置決めピンに対応して露光ユニットの下部フレーム
に固定された２つのレジスタスリーブ９内に止まるまで
はまり込む。
は次のようにして固定される。すなわちプリント板素材
を降ろす際、まず２つの円錐形位置決めピン６は、これ
ら位置決めピンに対応して露光ユニットの下部フレーム
に固定された２つのレジスタスリーブ９内に止まるまで
はまり込む。
それにより吸い込みピンの負圧を解消した後、プリント
板素材は、正確に位置決めしてレジスタスリーブ上に落
下し、かつそれから続いてレジスタスリーブを介してプ
リント板素材に接触する加圧駆動シリンダによって露光
ユニットの下部フレームに押し付けられる。その後供給
装置は露光ユニットから出て、露光ユニットの上部フレ
ームは案内棒を介して下方へうごかされ、かつ露光ユニ
ットは閉じられる。上部フレームは案内棒において最小
限可動に支持されている。低下する際に上部フレームの
２つのピンを介して下部フレームの対応する２つのスリ
ーブに正確に重なる。露光ユニットの上部フレームと下
部フレームの間に５０−３００ ｍｂａｒの負圧を加え
た後、プリント板素材両面同時に露光される。露光後に
露光ユニットは開かれ、上部フレームは再び気圧により
上方へ動かされかつ保持され、続いて取り出し装置１０
が露光ユニット内の取り出すべきプリント板素材の上方
へ動かされ、かつ後続の処理ステップとして、取り出し
装置に取り付けられた気圧シリンダ１１は、シーソーレ
バー１２を介してレジスタスリーブからプリント板素材
を押し出す。
板素材は、正確に位置決めしてレジスタスリーブ上に落
下し、かつそれから続いてレジスタスリーブを介してプ
リント板素材に接触する加圧駆動シリンダによって露光
ユニットの下部フレームに押し付けられる。その後供給
装置は露光ユニットから出て、露光ユニットの上部フレ
ームは案内棒を介して下方へうごかされ、かつ露光ユニ
ットは閉じられる。上部フレームは案内棒において最小
限可動に支持されている。低下する際に上部フレームの
２つのピンを介して下部フレームの対応する２つのスリ
ーブに正確に重なる。露光ユニットの上部フレームと下
部フレームの間に５０−３００ ｍｂａｒの負圧を加え
た後、プリント板素材両面同時に露光される。露光後に
露光ユニットは開かれ、上部フレームは再び気圧により
上方へ動かされかつ保持され、続いて取り出し装置１０
が露光ユニット内の取り出すべきプリント板素材の上方
へ動かされ、かつ後続の処理ステップとして、取り出し
装置に取り付けられた気圧シリンダ１１は、シーソーレ
バー１２を介してレジスタスリーブからプリント板素材
を押し出す。
取り出しおよび収集位置■、収集装置Ｖニブリント板素
材は、取り出した後取り出し装置により装入とは逆の処
理経過をたどって露光ユニットから取り出しおよび収集
位置■を介して収集装置Ｖに収納される。
材は、取り出した後取り出し装置により装入とは逆の処
理経過をたどって露光ユニットから取り出しおよび収集
位置■を介して収集装置Ｖに収納される。
全処理経過がコンピュータプログラムにより制御され、
かつプリント板素材毎に中断する、：となく、毎時はぼ
１５０−２００個が、前記のように装入装置から露光位
置と介して収集装置に送られることは明らかである。
かつプリント板素材毎に中断する、：となく、毎時はぼ
１５０−２００個が、前記のように装入装置から露光位
置と介して収集装置に送られることは明らかである。
露光ユニットの上部および十部フレームのガラス板の間
に５０−３００ ｍｂａｒの負圧を形成できるようにす
るため、ガラス板は熱初応力をかけたガラスから構成す
ることが必要である。これら熱初応力をかけたガラス板
の位置は、上下に関係なく、露光のため固定したプリン
ト板素材の穴の像に、このガラス板に接着により転写し
た加工フィルム／′ガラスマスターを位置決めするため
にマイクロメータねじを介して変更、調節および！＆適
化することができる。
に５０−３００ ｍｂａｒの負圧を形成できるようにす
るため、ガラス板は熱初応力をかけたガラスから構成す
ることが必要である。これら熱初応力をかけたガラス板
の位置は、上下に関係なく、露光のため固定したプリン
ト板素材の穴の像に、このガラス板に接着により転写し
た加工フィルム／′ガラスマスターを位置決めするため
にマイクロメータねじを介して変更、調節および！＆適
化することができる。
調節またははめ込みのためにガラス板と完全に可動にす
るため、ふくらませ可能なホースパツキンが、金属製上
部または下部フレームとガラス板の間に挿入され、これ
らホースパツキンは、動かずため空気を抜かれ、かつ製
造のため空気を入れられる。
るため、ふくらませ可能なホースパツキンが、金属製上
部または下部フレームとガラス板の間に挿入され、これ
らホースパツキンは、動かずため空気を抜かれ、かつ製
造のため空気を入れられる。
歩留まりを上げるために必要な露光位置における十分な
ほこり防止は、装置をろ過した空気で最小の負圧にする
ことにより行うことができる。ばらばらになった飛しん
が、流出気流に逆らって露光位置に浸入することはない
。
ほこり防止は、装置をろ過した空気で最小の負圧にする
ことにより行うことができる。ばらばらになった飛しん
が、流出気流に逆らって露光位置に浸入することはない
。
分離して露光位置に運び込まれるプリント板素材は、運
び込む直前にブラシがけしがっ清掃する装置の停止時間
を最小にするため、例えば別のフォーマットの新しいプ
リント板素材積み重ね物を露光する際、ガラス板におけ
る加工フィルムまたはガラスマスターの接着は、装置の
外部で行うと有利である。そのため簡単かつ絶対的に正
確に露光位置に組込むことができる第２の独立した準備
装置が必要である。必要な給電線および電源装置の接続
は、迅速コネクタによって行われる。
び込む直前にブラシがけしがっ清掃する装置の停止時間
を最小にするため、例えば別のフォーマットの新しいプ
リント板素材積み重ね物を露光する際、ガラス板におけ
る加工フィルムまたはガラスマスターの接着は、装置の
外部で行うと有利である。そのため簡単かつ絶対的に正
確に露光位置に組込むことができる第２の独立した準備
装置が必要である。必要な給電線および電源装置の接続
は、迅速コネクタによって行われる。
適正な位置に取り付ける加工フィルムまたはガラスマス
ターの接着のため、スプレー接着剤を使用すると有利で
ある。
ターの接着のため、スプレー接着剤を使用すると有利で
ある。
本発明により得られた利点は、特に露光の際プリント板
素材が装置を完全に自動的に通過し、５０ ３００ ｍ
ｂａｒで接触して両面同時に露光され、露光中の上部／
下部フレームのピン止めを介した高い整合精度が得られ
、熱初応力をかけたガラスからなる負圧に適したガラス
板の互いに独立な調節能力により２つの加工フィルム／
ガラスマスターが最適に調節でき、かつかなりの程度ま
でほこりのない露光が行われる、可変フォーマツ１〜の
方式が提供されることにある。
素材が装置を完全に自動的に通過し、５０ ３００ ｍ
ｂａｒで接触して両面同時に露光され、露光中の上部／
下部フレームのピン止めを介した高い整合精度が得られ
、熱初応力をかけたガラスからなる負圧に適したガラス
板の互いに独立な調節能力により２つの加工フィルム／
ガラスマスターが最適に調節でき、かつかなりの程度ま
でほこりのない露光が行われる、可変フォーマツ１〜の
方式が提供されることにある。
図は、本発明による感光層を有する材料、特にプリント
板素材を露光する装置の構成を示す斜視図である。 ■−挿入装置。■−骨分離よび供給位置、■−露光位置
、■−取り出しおよび収集位置、Ｖ−収集装置、１−プ
リント板素材、２−心出しピン、３−穴、４−固定棒、
５−挿入装置、６−位置決めピン、９−レジスタスリー
ブ、１２−シーソーレバー
板素材を露光する装置の構成を示す斜視図である。 ■−挿入装置。■−骨分離よび供給位置、■−露光位置
、■−取り出しおよび収集位置、Ｖ−収集装置、１−プ
リント板素材、２−心出しピン、３−穴、４−固定棒、
５−挿入装置、６−位置決めピン、９−レジスタスリー
ブ、１２−シーソーレバー
Claims (14)
- （１）装入装置（ I ）、分離および供給位置（II）、
露光位置（III）、取り出しおよび収集位置（IV）、お
よび収集装置（Ｖ）からなる、感光層を有する材料の露
光装置において、 露光装置により、未露光の感光層を有する材料の積み重
ね物から像に応じて正確に露光した感光層を有する材料
の積み重ね物へ、露光の完全自動処理を行うことができ
、その際材料の露光を、５０−３００ｍｂｅｒの負圧で
正確に位置決めして接触法により両面同時に行うことを
特徴とする、感光層を有する材料の露光装置。 - （２）露光装置により、可変フォーマットおよび体系で
感光層を有する材料の露光を行うことができる、特許請
求の範囲第１項記載の装置。 - （３）装入装置（ I ）上に、心出しピン（２）が底板
に対して垂直に立てて配置されている、特許請求の範囲
第１項記載の装置。 - （４）装入装置（ I ）上に、正確に案内され可動の垂
直な固定棒（４）が配置されている、特許請求の範囲第
１または３項記載の装置。 - （５）分離および供給位置（II）の供給装置（５）が、
２つの円錐形位置決めピン（６）を有する、特許請求の
範囲第１、３または４項記載の装置。 - （６）露光ユニットの下部フレーム内に２つの円錐形レ
ジスタスリーブ（９）が配置されている、特許請求の範
囲第１および３−５項の１つに記載の装置。 - （７）露光ユニットの下部フレームに、２つのシーソー
レバー（１２）が配置されている、特許請求の範囲第１
および３−６項の１つに記載の装置。 - （８）露光ユニットの上部または下部フレームとガラス
板の間に、ふくらませ可能なホースパッキンが挿入され
ている、特許請求の範囲第１および３−７項の１つに記
載の装置。 - （９）露光位置（III）のガラス板が、熱初応力を与え
たガラスからなる、特許請求の範囲第１および３−８項
の１つに記載の装置。 - （１０）露光位置（III）の入口に、炭素繊維ブラシが
配置されている、特許請求の範囲第１および３−９項の
１つに記載の装置。 - （１１）露光中に露光ユニット内において、上部フレー
ムの２つのピンまたは下部フレームの対応する２つのス
リーブによつて、それぞれ上部および下部フレームが互
いに正確に位置決めされている、特許請求の範囲第１お
よび３−１０項の１つに記載の装置。 - （１２）ふくらませ可能なホースパッキンと熱初応力を
与えたガラス板との間の露光空間に、５０−３００ｍｂ
ｅｒの負圧が形成可能である、特許請求の範囲第１およ
び３−１１項の１つに記載の装置。 - （１３）露光中に露光位置（III）が最小の過圧に維持
されている、特許請求の範囲第１および３−１２項の１
つに記載の装置。 - （１４）露光装置が、ガラス板に加工フィルムまたはガ
ラスマスターをはり付けるため第２の準備装置を有する
、特許請求の範囲第１および３−１３項の１つに記載の
装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3539690.3 | 1985-11-08 | ||
| DE19853539690 DE3539690A1 (de) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | Geraet zum belichten von lichtempfindlich beschichteten materialien |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62113149A true JPS62113149A (ja) | 1987-05-25 |
Family
ID=6285503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61264156A Pending JPS62113149A (ja) | 1985-11-08 | 1986-11-07 | 感光層を有する材料の露光装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0225457A1 (ja) |
| JP (1) | JPS62113149A (ja) |
| DE (1) | DE3539690A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE460659B (sv) * | 1987-08-27 | 1989-11-06 | Svecia Silkscreen Maskiner Ab | Anordning foer att automatiskt och i tur och ordning kunna framstaella ett antal tryckformar |
| US5267825A (en) * | 1990-07-13 | 1993-12-07 | Ono Sokki Co., Ltd. | Carrier device |
| DE4038545C2 (de) * | 1990-12-04 | 1994-03-31 | Krause Biagosch Gmbh | Vorrichtung zur Herstellung von Druckplatten |
| GB2309089B (en) * | 1993-09-07 | 1997-11-05 | Gerber Systems Corp | Apparatus for exposing images on media sheets |
| DE19851575A1 (de) * | 1998-11-09 | 2000-05-11 | Mania Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten zweier Fotomasken zueinander und gegebenenfalls eines unbelichteten Leiterplatten-Rohlings und zum anschließenden simultanen Belichten bei der Herstellung von doppelseitigen Leiterplatten |
| CN105217311A (zh) * | 2015-09-09 | 2016-01-06 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 | 一种ldi单机自动装置 |
| CN114585164B (zh) * | 2022-02-15 | 2024-05-24 | 深圳市华尔博思科技有限公司 | 一种用于手机集成主板的加工设备 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3143358A1 (de) * | 1981-11-02 | 1983-05-11 | Basf Ag, 6700 Ludwigshafen | Kopierrahmen zum genauen, visuell-manuellen einrichten und zum halten eines plattenfoermigen werkstuecks |
| DE3340653A1 (de) * | 1983-11-10 | 1985-05-23 | Hans 6250 Limburg Haus | Vorrichtung zum gleichzeitigen oder aufeinanderfolgenden belichten von, auf beide seiten von leiterplatten o. dgl. aufgelegten ebenen kopiervorlagen |
| JPS60168148A (ja) * | 1984-02-13 | 1985-08-31 | Oak Seisakusho:Kk | 焼付機 |
-
1985
- 1985-11-08 DE DE19853539690 patent/DE3539690A1/de not_active Withdrawn
-
1986
- 1986-10-23 EP EP86114734A patent/EP0225457A1/de not_active Withdrawn
- 1986-11-07 JP JP61264156A patent/JPS62113149A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3539690A1 (de) | 1987-05-14 |
| EP0225457A1 (de) | 1987-06-16 |
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