JPH0545885Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 Ａ 産業上の利用分野 本考案は薄膜形成装置の真空室などの内外でウ
エハなどを水平移送する移送機構の改良に関す
る。

Ｂ 従来の技術 従来、真空室内では室内環境を清浄に保つため
リンク移送機構が用いられ、しかも３リンクを越
える多リンクのものが用いられていた。即ち、第
４図の如く、４本のリンクL₁が直列にピン結合
され、その基端がギヤＧを介して係合され、末端
に他のギヤG₁を介してリンクL₂がピン結合され、
その先端に被移送物Ａが載置されていた。そし
て、ギヤＧが第１モータM₁でで回動されること
により、被移動物Ａが直線軌跡Ｎを描いて移送さ
れ、同時に第２モータM₂により軌跡Ｎを半径と
する360度の範囲に移送されていた。

Ｃ 考案が解決しようとする問題点 このようなリンク移送機構によると、リンクの
寸法精度、ピン軸受隙間、同期用歯車のバツクラ
ツシユ等に関して高い製作精度を必要とするが、
多リンクになるほどこれらの誤差が集積されるた
め組立精度が出しにくく、従つて取合点での位置
精度が不充分であつたり、これら部品に付着した
ダストが真空室内に飛散する問題があつた。しか
も、リンクの伸縮用と旋回用の２個のモータが必
要であつた。

本考案は上記問題点を解決し、製作精度を出し
やすく、しかも移送機能が高いうえ、ダスト発生
を抑えた移送機構を提供することを目的とする。

Ｄ 問題点を解決するための手段 上記目的を達成するため本考案の構成は次の通
りとする。即ち、固定の第１軸と、該第１軸に一
方端部を回転自在に支承された第１リンクと、該
第１リンクの他方端部に回転自在に支承された第
２軸と、該第２軸に一方端部が固定されて他方端
部に被移送物が載置される第２リンクと、前記第
１リンクに固定され、かつ、前記第１軸に回転自
在に貫挿された中空軸がモータで回転されるよう
にした第１リンク回動部と、前記第１軸に固定さ
れた太陽車が前記第２軸に固定された遊星車を前
記第１リンクの回動につれて回動させるようにし
た連動部とを含むことである。

Ｅ 作用 第１リンク回動部の作動により第１リンクが第
１軸まわりに回動されることにより、連動部を経
て第２リンクが第２軸まわりに逆方向へ回動し、
その他方端部に載置された被移送物は直線または
弧状軌跡を経て移送される。

Ｆ 実施例 以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。

第１図および第２図において、移送機構は固定
の鉛直第１軸１と、それに回転自在に一方端部を
支承された水平第１リンク２と、その他方端部に
回転自在に支承された鉛直第２軸３と、それに一
方端部が固定された水平第２リンク４とを有し、
該第２リンクの他方端部には被移送物であるウエ
ハＡが載置可能とされる。そして、前記第１リン
ク２は第１リンク回動部５を介して回動自在とさ
れ、第１リンク２の中空本体２ａ内には第２リン
ク４に回動を付与するための連動部６が設けられ
る。

しかして、前記第１軸１は真空チヤンバの下壁
Ｂを貫通して固定されたブラケツトＣに立設固着
され、頂部のスラスト軸受１０を介して前記第１
リンク２を支持する。

第１リンク回動部５は、前記第１リンク２の一
方端部に固定され、かつ、第１軸１い回転自在に
貫挿された中空軸５ａと、その下端部に外嵌され
た受動タイミングプーリ５ｂと、ステツピングモ
ータ５ｃと、それに直結された駆動タイミングプ
ーリ５ｄと、これら両プーリ間に張架されたタイ
ミングベルト５ｅとからなる。前記中空軸５ａと
軸１およびブラケツトＣとの摺回動面にはシール
材１２およびＯリング１３が装着されて気密が保
たれている。これにより第１リンク２は前記第１
軸に対し回転自在とされる。

連動部６は、第１軸１に固定され太陽車となつ
たタイミングプーリ６ａと、第２軸３に固定され
て遊星車となつたタイミングプーリ６ｂと、これ
ら両プーリ間に張架されたタイミングベルト６ｃ
とからなる。

第２軸３は第１リンク本体２ａに対し、スラス
ト軸受１０およびラジアル軸受１１とによつて支
承される。

第２リンク４の他方端部にはウエハが支持され
るよう凹状の受部４ａが設けられる。

そして、該実施例によると、第１リンク２にお
ける第１軸１の軸心Ｍから第２軸３の軸心Ｏまで
の距離L₁と、軸心ＯからウエハＡの中心Ｐまで
の距離L₂は同一とされる。また太陽車６ａと遊
星車６ｂとの直径（歯数）の比はD₁：D₂＝２：
１である。

次に作動態様を説明する。モータ５ｃが起動さ
れ、その回転が第１リンク回動部５を経て第１リ
ンク２を第３図示の如く左まわりに180度回動さ
せる。この回動により第２軸３がO₀からO₈の直
線軌跡に従つて移動し、ウエハＡはP₀からP₈の
直線軌跡上を移動し、終点P₈まで正確に移送さ
れる。ここでウエハＡがおろされ、第１および第
２リンク２，４はモータ５ｃが逆回転されて元の
位置に戻る。

ここでD₁：D₂＝２：１，L₁：L₂＝１：２の場
合ではウエハＡは第３図のQ₀からQ₈の半楕円軌
跡上を経て運搬されるが、第１リンク２の回動角
度が180度のとき最終的な位置Q₈は第１軸１の中
心Ｍに対してQ₀と対称になる。このように、
L₁／L₂とD₁／D₂を変えることにより種々の移送
軌跡が描かれる。また、連動部６として、アイド
ラを含んだ歯車やチエンと鎖車が前記に代えて用
いられる。

第１リンク内に連動部６が収容されているの
で、真空室内のダスト飛散が防止される。

上記実施例の水平移送に加えてエアピストンシ
リンダ機構を用いた鉛直方向への作動機構を組合
わせることにより、ウエハの受取り、受渡しを行
うことにもできる。

また、第２リンクのウエハ受部に、エジエクタ
を使用した真空吸着ノズルを持たせてもよい。

本考案の移送機構は大気中でも適用できること
は勿論である。

Ｇ 考案の効果 本考案の移送機構は以上の如く、固定の第１軸
と、該第１軸に一方端部を回転自在に支承された
第１リンクと、第１リンクの他方端部に回転自在
に支承された第２軸と、該第２軸に一方端部が固
定されて他方端部に被移送物が載置される第２リ
ンクと、前記第１リンクに固定され、かつ、前記
第１軸に回転自在に貫挿された中空軸がモータで
回転されるようにした第１リンク回動部と、前記
第１軸に固定された太陽車が前記第２軸に固定さ
れた遊星車を前記第１リンクの回動につれて回動
させるようにした連動部とを含むことである。従
つて、リンクが２本で足りるので、製作精度を出
しやすく、正確な移送機能が確保でき、ダスト発
生が少なく、しかも一平面内での移送がモータ１
台で足りるので移送機構が安価に提供できること
となつた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す平面図、第２
図は縦断面図、第３図は作動態様説明図、第４図
は従来技術の説明図である。 Ａ……ウエハ、Ｂ……真空チヤンバ下壁、１…
…第１軸、２……第１リンク、３……第２軸、４
……第２リンク、５……第１リンク回動部、５ａ
……中空軸、５ｃ……モータ、６……連動部、６
ａ……太陽車、６ｂ……遊星車。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 固定の第１軸と、該第１軸に一方端部を回転自
   在に支承された第１リンクと、該第１リンクの他
   方端部に回転自在に支承された第２軸と、該第２
   軸に一方端部が固定されて他方端部に被移送物が
   載置される第２リンクと、前記第１リンクに固定
   され、かつ、前記第１軸に回転自在に貫挿された
   中空軸がモータで回転されるようにした第１リン
   ク回動部と、前記第１軸に固定された太陽車が前
   記第２軸に固定された遊星車を前記第１リンクの
   回動につれて回動させるようにした連動部とを含
   むことを特徴とする移送機構。