JPH0547998A - 高密度実装化半導体装置 - Google Patents
高密度実装化半導体装置Info
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- JPH0547998A JPH0547998A JP3209025A JP20902591A JPH0547998A JP H0547998 A JPH0547998 A JP H0547998A JP 3209025 A JP3209025 A JP 3209025A JP 20902591 A JP20902591 A JP 20902591A JP H0547998 A JPH0547998 A JP H0547998A
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- Japan
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- semiconductor element
- wiring board
- density
- semiconductor device
- semiconductor
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
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- H10W72/874—On different surfaces
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- H10W72/851—Dispositions of multiple connectors or interconnections
- H10W72/874—On different surfaces
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- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
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- H10W90/732—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors between stacked chips
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】配線基板への半導体素子の実装密度を高めるこ
とを目的とする。 【構成】配線基板1にバンプ3を介してフリップチップ
ボンディングした第1の半導体素子2の背面4に、ダイ
ボンディング樹脂5で第2の半導体素子6を接着、固定
し、この半導体素子6の各電極と前記配線基板1上に形
成されたパッド7とをボンディングワイヤ8で接続して
構成した高密度実装化半導体装置。 【効果】従来技術の2倍の高密度実装ができ、そして上
下間の熱的結合がきわめて良いので温度依存性がある半
導体素子の温度補償が効果的に行える。
とを目的とする。 【構成】配線基板1にバンプ3を介してフリップチップ
ボンディングした第1の半導体素子2の背面4に、ダイ
ボンディング樹脂5で第2の半導体素子6を接着、固定
し、この半導体素子6の各電極と前記配線基板1上に形
成されたパッド7とをボンディングワイヤ8で接続して
構成した高密度実装化半導体装置。 【効果】従来技術の2倍の高密度実装ができ、そして上
下間の熱的結合がきわめて良いので温度依存性がある半
導体素子の温度補償が効果的に行える。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、超小型化電子機器に
実装するための高密度実装化半導体装置に関するもので
ある。
実装するための高密度実装化半導体装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来技術の高密度実装化方法の一つとし
て、図2に示したような方法がある。即ち、配線基板1
の配線と半導体素子2の各電極とをバンプ3を介して、
半導体素子2を配線基板1に接続する、所謂フリップチ
ップボンディング法による実装方法である。
て、図2に示したような方法がある。即ち、配線基板1
の配線と半導体素子2の各電極とをバンプ3を介して、
半導体素子2を配線基板1に接続する、所謂フリップチ
ップボンディング法による実装方法である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この実装方
法では、その半導体素子2が実装されている部分の面積
には他の電子部品を実装することができず、その半導体
素子2そのものが専有する面積になっている。近年、ラ
ジオ、8mmビデオカメラ、CDプレーヤ、ヘッドホン
ステレオ等の電子機器は、電子部品が高密度実装化さ
れ、小型化されるに至っているが、なお一層小型化そし
て薄型化するために、なお一層電子部品の高密度実装化
が要請されている。この発明は、この要請に応えるため
に、前記半導体素子2が占める面積を2倍に活用しよう
とするものである。
法では、その半導体素子2が実装されている部分の面積
には他の電子部品を実装することができず、その半導体
素子2そのものが専有する面積になっている。近年、ラ
ジオ、8mmビデオカメラ、CDプレーヤ、ヘッドホン
ステレオ等の電子機器は、電子部品が高密度実装化さ
れ、小型化されるに至っているが、なお一層小型化そし
て薄型化するために、なお一層電子部品の高密度実装化
が要請されている。この発明は、この要請に応えるため
に、前記半導体素子2が占める面積を2倍に活用しよう
とするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】それ故、この発明では、
配線基板1にフリップチップボンディングした前記半導
体素子2の背面にダイボンディング樹脂を介して第2の
半導体素子を固着し、そしてこの第2の半導体素子の各
電極と前記配線基板1上の配線とをボンディングワイヤ
で接続するように構成した。
配線基板1にフリップチップボンディングした前記半導
体素子2の背面にダイボンディング樹脂を介して第2の
半導体素子を固着し、そしてこの第2の半導体素子の各
電極と前記配線基板1上の配線とをボンディングワイヤ
で接続するように構成した。
【0005】
【作用】従って、この発明によれば、従来技術における
半導体素子2の専有面積を2倍に活用でき、電子機器に
組み込まれる電子部品の一層の高密度実装化ができる。
半導体素子2の専有面積を2倍に活用でき、電子機器に
組み込まれる電子部品の一層の高密度実装化ができる。
【0006】
【実施例】以下、図1を用いて、この発明の高密度実装
化半導体装置の構成を説明する。なお、図2に示した構
成部分と同一部分には同一の符号を用いて説明する。配
線基板1の配線と第1の半導体素子2の各電極とを、半
田或いは金からなるバンプ3を介して、第1の半導体素
子2を配線基板1に接続する。この発明の高密度実装化
半導体装置は、この第1の半導体素子2の背面4に、ダ
イボンディング樹脂5で第2の半導体素子6を重ね合わ
せるようにして接着、固定し、この半導体素子6の各電
極(図示していない)と配線基板1に形成された電気回
路配線の対応するそれぞれのパッド7とをボンディング
ワイヤ8接続するように構成した。
化半導体装置の構成を説明する。なお、図2に示した構
成部分と同一部分には同一の符号を用いて説明する。配
線基板1の配線と第1の半導体素子2の各電極とを、半
田或いは金からなるバンプ3を介して、第1の半導体素
子2を配線基板1に接続する。この発明の高密度実装化
半導体装置は、この第1の半導体素子2の背面4に、ダ
イボンディング樹脂5で第2の半導体素子6を重ね合わ
せるようにして接着、固定し、この半導体素子6の各電
極(図示していない)と配線基板1に形成された電気回
路配線の対応するそれぞれのパッド7とをボンディング
ワイヤ8接続するように構成した。
【0007】このような構成のこの発明の高密度実装化
半導体装置としては、第1及び第2の各半導体素子2及
び6は直接接合されるので、熱的結合が極めて高く、例
えば、温度特性を有する半導体素子を第2の半導体素子
6とし、温度補償回路を含む周辺回路の半導体素子を第
1の半導体素子2として、これらとの組合せで実装する
と効果的である。更にまた、リモコン用やレーザドライ
バー等の少素子モジュールでは、LED、レーザ素子の
ような機能素子を第2の半導体素子6とし、その周辺の
半導体素子を第1の半導体素子2として同一箇所に実装
できるので、超小型モジュールを実現できる。
半導体装置としては、第1及び第2の各半導体素子2及
び6は直接接合されるので、熱的結合が極めて高く、例
えば、温度特性を有する半導体素子を第2の半導体素子
6とし、温度補償回路を含む周辺回路の半導体素子を第
1の半導体素子2として、これらとの組合せで実装する
と効果的である。更にまた、リモコン用やレーザドライ
バー等の少素子モジュールでは、LED、レーザ素子の
ような機能素子を第2の半導体素子6とし、その周辺の
半導体素子を第1の半導体素子2として同一箇所に実装
できるので、超小型モジュールを実現できる。
【0008】
【発明の効果】以上のように、この発明の高密度実装化
半導体装置によれば、従来技術の2倍の高密度実装が可
能になり、また上下半導体素子間の熱的結合が極めて良
いので温度依存性がある素子の温度補償が効果的に行え
るという特徴がある。
半導体装置によれば、従来技術の2倍の高密度実装が可
能になり、また上下半導体素子間の熱的結合が極めて良
いので温度依存性がある素子の温度補償が効果的に行え
るという特徴がある。
【図1】この発明の実施例である高密度実装化半導体装
置を示す断面側面図である。
置を示す断面側面図である。
【図2】従来技術の半導体装置の配線基板への実装方法
を説明するための断面側面図である。
を説明するための断面側面図である。
1 配線基板 2 半導体素子(第1の半導体素子) 3 バンプ 4 背面 5 ダイボンディング樹脂 6 第2の半導体素子 7 パッド 8 ボンディングワイヤ
Claims (1)
- 【請求項1】配線基板にフリップチップボンディングし
た第1の半導体素子の背面にダイボンディング樹脂を介
して第2の半導体素子を固着し、そしてこの第2の半導
体素子の各電極と前記配線基板上の配線とをボンディン
グワイヤで接続したことを特徴とする高密度実装化半導
体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3209025A JPH0547998A (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | 高密度実装化半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3209025A JPH0547998A (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | 高密度実装化半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0547998A true JPH0547998A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=16566024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3209025A Pending JPH0547998A (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | 高密度実装化半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0547998A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996017505A1 (en) * | 1994-12-01 | 1996-06-06 | Motorola Inc. | Method, flip-chip module, and communicator for providing three-dimensional package |
| US5815372A (en) * | 1997-03-25 | 1998-09-29 | Intel Corporation | Packaging multiple dies on a ball grid array substrate |
| WO2001018864A1 (en) * | 1999-09-03 | 2001-03-15 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device, method of manufacture thereof, circuit board, and electronic device |
| US6353263B1 (en) * | 1999-04-14 | 2002-03-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
| US6509638B2 (en) | 2000-09-07 | 2003-01-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor device having a plurality of stacked semiconductor chips on a wiring board |
| US6784529B2 (en) * | 2002-01-04 | 2004-08-31 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor device |
| US6828174B2 (en) | 2001-06-07 | 2004-12-07 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor device and a method of manufacturing the same |
| CN100378992C (zh) * | 2002-06-28 | 2008-04-02 | 矽品精密工业股份有限公司 | 一种半导体封装件及其制法 |
| US7436063B2 (en) | 2004-10-04 | 2008-10-14 | Rohm Co., Ltd. | Packaging substrate and semiconductor device |
| DE19905220B4 (de) * | 1998-02-11 | 2008-11-20 | Microelectronic Packaging Dresden Gmbh | Multichipanordnung |
-
1991
- 1991-08-21 JP JP3209025A patent/JPH0547998A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996017505A1 (en) * | 1994-12-01 | 1996-06-06 | Motorola Inc. | Method, flip-chip module, and communicator for providing three-dimensional package |
| US5815372A (en) * | 1997-03-25 | 1998-09-29 | Intel Corporation | Packaging multiple dies on a ball grid array substrate |
| DE19905220B4 (de) * | 1998-02-11 | 2008-11-20 | Microelectronic Packaging Dresden Gmbh | Multichipanordnung |
| US6353263B1 (en) * | 1999-04-14 | 2002-03-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
| WO2001018864A1 (en) * | 1999-09-03 | 2001-03-15 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device, method of manufacture thereof, circuit board, and electronic device |
| US6621172B2 (en) | 1999-09-03 | 2003-09-16 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device and method of fabricating the same, circuit board, and electronic equipment |
| US6777796B2 (en) | 2000-09-07 | 2004-08-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Stacked semiconductor chips on a wiring board |
| US6707143B2 (en) | 2000-09-07 | 2004-03-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Stacked semiconductor chips attached to a wiring board |
| US6693347B2 (en) | 2000-09-07 | 2004-02-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor device |
| EP1187210A3 (en) * | 2000-09-07 | 2005-03-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor device |
| US7078818B2 (en) | 2000-09-07 | 2006-07-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor device |
| US6509638B2 (en) | 2000-09-07 | 2003-01-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor device having a plurality of stacked semiconductor chips on a wiring board |
| US6828174B2 (en) | 2001-06-07 | 2004-12-07 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor device and a method of manufacturing the same |
| KR100856609B1 (ko) * | 2001-06-07 | 2008-09-03 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | 반도체장치 및 그 제조방법 |
| US6784529B2 (en) * | 2002-01-04 | 2004-08-31 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor device |
| CN100378992C (zh) * | 2002-06-28 | 2008-04-02 | 矽品精密工业股份有限公司 | 一种半导体封装件及其制法 |
| US7436063B2 (en) | 2004-10-04 | 2008-10-14 | Rohm Co., Ltd. | Packaging substrate and semiconductor device |
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