JPH0548623B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0548623B2 JPH0548623B2 JP59245770A JP24577084A JPH0548623B2 JP H0548623 B2 JPH0548623 B2 JP H0548623B2 JP 59245770 A JP59245770 A JP 59245770A JP 24577084 A JP24577084 A JP 24577084A JP H0548623 B2 JPH0548623 B2 JP H0548623B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- circuit
- integrated circuit
- signal
- under test
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はストロボ電子ビーム装置に係り、特に
被検集積回路内部の電圧の変化を観測するストロ
ボ電子ビームにおいて、不規則的に動作異常が該
被検集積回路内で発生した場合にもこれを観測出
来るようにした電子ビーム装置に関する。
被検集積回路内部の電圧の変化を観測するストロ
ボ電子ビームにおいて、不規則的に動作異常が該
被検集積回路内で発生した場合にもこれを観測出
来るようにした電子ビーム装置に関する。
従来から被検集積回路内の動作電圧を観測する
ためにストロボ電子ビーム装置が広く利用されて
いる。該ストロボ電子ビーム装置は電子ビーム装
置の試料室内に被検体である集積回路を載置し、
集積回路試験回路によつて該被検体を動作させて
電子ビーム装置から該被検体の電圧作動周期と同
期させて電子ビームパルスを被検体に照射する。
このようなストロボ的な電子ビーム照射によつて
該被検体から発生する２次電子を検出することで
集積回路の電圧の変化を観測するために２次電子
を計算機を利用してブラウン管等の表示装置に信
号処理して表示するようにしている。
ためにストロボ電子ビーム装置が広く利用されて
いる。該ストロボ電子ビーム装置は電子ビーム装
置の試料室内に被検体である集積回路を載置し、
集積回路試験回路によつて該被検体を動作させて
電子ビーム装置から該被検体の電圧作動周期と同
期させて電子ビームパルスを被検体に照射する。
このようなストロボ的な電子ビーム照射によつて
該被検体から発生する２次電子を検出することで
集積回路の電圧の変化を観測するために２次電子
を計算機を利用してブラウン管等の表示装置に信
号処理して表示するようにしている。
上述の従来の構造のストロボ電子ビーム装置に
よると被検集積回路の動作異常が定常的に発生す
る場合、すなわち異常動作状態で、被検集積回路
の配線の電圧が周期的な変化をしている場合には
異常状態における電圧変化の観測が可能である
が、周期によつて異常動作が発生したり或いは発
生しなかつたりするように異常動作の発生がラン
ダムである場合には加算平均によつて波形観測が
なされるためにストロボ観察が不可能になる問題
が発生する。すなわち加算平均回数を100回とし
てその内で異常状態がランダムに２〜３回あつた
としても加算平均して波形観察を行うために２〜
３回の異常現象は97回〜98回の正常現象の中に埋
もれてしまうことになる。従つて実際には被検集
積回路内には不規則的な動作異常を生ずるものが
あつてもこれを正常と判断することになる。
よると被検集積回路の動作異常が定常的に発生す
る場合、すなわち異常動作状態で、被検集積回路
の配線の電圧が周期的な変化をしている場合には
異常状態における電圧変化の観測が可能である
が、周期によつて異常動作が発生したり或いは発
生しなかつたりするように異常動作の発生がラン
ダムである場合には加算平均によつて波形観測が
なされるためにストロボ観察が不可能になる問題
が発生する。すなわち加算平均回数を100回とし
てその内で異常状態がランダムに２〜３回あつた
としても加算平均して波形観察を行うために２〜
３回の異常現象は97回〜98回の正常現象の中に埋
もれてしまうことになる。従つて実際には被検集
積回路内には不規則的な動作異常を生ずるものが
あつてもこれを正常と判断することになる。
上述の如き問題を解決するために本発明におい
ては、ストロボ電子ビーム装置の電子ビームパル
スを被検集積回路に照射して２次電子信号データ
を取得し、正常動作周期と異常動作周期で区別処
理して保存または表示するようにした電子ビーム
装置を提供するものであり、その原理的構成を第
１図について詳記する。
ては、ストロボ電子ビーム装置の電子ビームパル
スを被検集積回路に照射して２次電子信号データ
を取得し、正常動作周期と異常動作周期で区別処
理して保存または表示するようにした電子ビーム
装置を提供するものであり、その原理的構成を第
１図について詳記する。
第１図において、１は電子ビーム鏡筒で被検集
積回路６が配置される試料室１ａを含み、該電子
ビーム鏡筒１内には上側より、電子銃２、パルス
ゲート３、偏向コイル４等が順次配列配置されて
いる。試料室１ａには２次電子検出器１２が配設
され、電子銃２から発射された電子ビームは被検
集積回路の繰り返し動作に同期してパルス化され
て被検集積回路６上に照射され、２次電子７が発
生する。２次電子検出器１２はこの２次電子を検
出してアナログ２次電子信号を信号処理回路１３
に加える。１４は制御用計算機で第１の遅延回路
９に遅延時間を示す遅延データ１４ａを、分周回
路１６に分周回路制御データ１４ｂを、信号処理
回路１３に信号処理制御データ１４ｃを、電子ビ
ームパルスゲートドライバ１０に電子ビームパル
ス制御データ１４ｄをさらに偏向電圧制御回路１
１に電子ビーム偏向制御データ１４ｅを加える。
８はICテスター等の正常異常検出手段で該正
常・異常検出手段８は被検集積回路６に駆動電圧
８ａを与えて被検集積回路６を動作状態となし、
更に被検集積回路６からの出力信号８ｄから異常
動作か正常動作かを判断して信号処理回路１３に
エラー検出信号８ｂを与える。８ｃは集積回路繰
り返し信号で分周回路１６に与えられ、該分周回
路１６の出力は第１の遅延回路９に加えられ、該
第１の遅延回路９の出力即ちストローブ信号９ａ
は電子ビームパルスドライバ１０と信号処理回路
１３に与えられ、該電子ビームパルスドライバ１
０の出力でパルスゲート３を駆動することで電子
銃２からの電子ビームはパルス化されて被検集積
回路６に照射される。勿論偏向電圧制御回路１１
の出力は偏向コイル４に加えられてパルスビーム
は適当に偏向される。信号処理回路１３からは制
御用計算機１４にデイジタルデータ１３ａと加算
平均終了信号１３ｂが加えられ、制御用計算機出
力に接続した表示装置１５に正常周期、異常周期
の区別を行つて表示する。
積回路６が配置される試料室１ａを含み、該電子
ビーム鏡筒１内には上側より、電子銃２、パルス
ゲート３、偏向コイル４等が順次配列配置されて
いる。試料室１ａには２次電子検出器１２が配設
され、電子銃２から発射された電子ビームは被検
集積回路の繰り返し動作に同期してパルス化され
て被検集積回路６上に照射され、２次電子７が発
生する。２次電子検出器１２はこの２次電子を検
出してアナログ２次電子信号を信号処理回路１３
に加える。１４は制御用計算機で第１の遅延回路
９に遅延時間を示す遅延データ１４ａを、分周回
路１６に分周回路制御データ１４ｂを、信号処理
回路１３に信号処理制御データ１４ｃを、電子ビ
ームパルスゲートドライバ１０に電子ビームパル
ス制御データ１４ｄをさらに偏向電圧制御回路１
１に電子ビーム偏向制御データ１４ｅを加える。
８はICテスター等の正常異常検出手段で該正
常・異常検出手段８は被検集積回路６に駆動電圧
８ａを与えて被検集積回路６を動作状態となし、
更に被検集積回路６からの出力信号８ｄから異常
動作か正常動作かを判断して信号処理回路１３に
エラー検出信号８ｂを与える。８ｃは集積回路繰
り返し信号で分周回路１６に与えられ、該分周回
路１６の出力は第１の遅延回路９に加えられ、該
第１の遅延回路９の出力即ちストローブ信号９ａ
は電子ビームパルスドライバ１０と信号処理回路
１３に与えられ、該電子ビームパルスドライバ１
０の出力でパルスゲート３を駆動することで電子
銃２からの電子ビームはパルス化されて被検集積
回路６に照射される。勿論偏向電圧制御回路１１
の出力は偏向コイル４に加えられてパルスビーム
は適当に偏向される。信号処理回路１３からは制
御用計算機１４にデイジタルデータ１３ａと加算
平均終了信号１３ｂが加えられ、制御用計算機出
力に接続した表示装置１５に正常周期、異常周期
の区別を行つて表示する。
上記構成の動作を第２図の波形図を用いて詳細
に説明する。まずICテスターである正常・異常
検出手段８からの集積回路繰り返し信号が第２図
ｂの如く導出されて分周回路１６に与えられる。
該分周回路には制御用計算機１４から分周回路制
御データ１４ｂが加えられていて所定の繰り返し
周期に分周される（第２図には分周＝１の場合を
図示した）。
に説明する。まずICテスターである正常・異常
検出手段８からの集積回路繰り返し信号が第２図
ｂの如く導出されて分周回路１６に与えられる。
該分周回路には制御用計算機１４から分周回路制
御データ１４ｂが加えられていて所定の繰り返し
周期に分周される（第２図には分周＝１の場合を
図示した）。
該所定の繰り返し周期に分周された集積回路繰
り返し信号は第１の遅延回路９に与えられて制御
用計算機１４からの遅延制御データ１４ａに基づ
いて所定の遅延がなされる。該第１の遅延回路９
からの遅延信号９ａは電子ビームパルスゲートド
ライバ１０に、更にストローブ信号として信号処
理回路１３に加えられる。電子ビームパルスゲー
トドライバ１０は電子ビームパルスゲート３を駆
動して、電子銃２からの電子ビームをパルス化す
る。その際、EBパルスの発生位相は、遅延制御
データ１４ａによつて第２図ｄに示すように例え
ばφo-1に固定しておき、正常動作周期と異常動作
周期の両方共、所定回数（図の例では両方共１）
発生した後に１ステツプ進めてφoとするという
ように制御される。このように所定繰り返し信号
周期（第２図ｂ）で電子ビームパルスを被検集積
回路６に照射すると第２図ｅに示す２次電子信号
が２次電子検出器１２に検出される。この際、上
記ICテスターである正常・異常検出手段８から
のエラー検出信号８ｂが信号処理回路１３に与え
られる。この正常・異常検出手段８は被検集積回
路６の入出力関係を基準の入出力関係と比較して
例えば第２図ｃに示すように被検集積回路６の動
作異常を検出する。勿論この状態では偏向コイル
４には偏向電圧制御回路１１よりの制御電圧で偏
向がなされ、これら制御電圧は制御用計算機１４
からの電子ビーム偏向制御データでコントロール
される。また被検集積回路６はICテスターであ
る正常・異常検出手段８からの被検集積回路駆動
電圧８ａが加えられている。この状態の繰り返し
信号毎の電子ビームパルス照射によつて放出され
る２次電子７は２次電子検出器１２に捕捉されて
該２次電子検出器１２からのアナログ２次電子信
号１２ａは信号処理回路１３に与えられ、該アナ
ログ２次電子信号並びにエラー検出信号８ｂは制
御用計算機１４からの信号処理制御データ１４ｃ
と電子ビームパルスと同期したストローブ９ａに
基づいて第２図ｆのサンプリング信号により正常
及び異常のデイジタルデータ１３ａを制御用計算
機１４に出力する。なお、１３ｂは加算平均終了
信号である。上記説明では簡単のために加算平均
を１として表してストロボ電圧波形取得の説明を
したが実際にはより多くの加算平均がなされる。
すなわち処理回路１３ではサンプリングして１時
記憶した２次電子信号のデイジタルデータを正常
周期、異常周期のどちらのものであるかを区別し
てそれぞれに対し加算平均処理を行い、その結果
は制御用計算機１４で処理され表示装置１５に表
示される。
り返し信号は第１の遅延回路９に与えられて制御
用計算機１４からの遅延制御データ１４ａに基づ
いて所定の遅延がなされる。該第１の遅延回路９
からの遅延信号９ａは電子ビームパルスゲートド
ライバ１０に、更にストローブ信号として信号処
理回路１３に加えられる。電子ビームパルスゲー
トドライバ１０は電子ビームパルスゲート３を駆
動して、電子銃２からの電子ビームをパルス化す
る。その際、EBパルスの発生位相は、遅延制御
データ１４ａによつて第２図ｄに示すように例え
ばφo-1に固定しておき、正常動作周期と異常動作
周期の両方共、所定回数（図の例では両方共１）
発生した後に１ステツプ進めてφoとするという
ように制御される。このように所定繰り返し信号
周期（第２図ｂ）で電子ビームパルスを被検集積
回路６に照射すると第２図ｅに示す２次電子信号
が２次電子検出器１２に検出される。この際、上
記ICテスターである正常・異常検出手段８から
のエラー検出信号８ｂが信号処理回路１３に与え
られる。この正常・異常検出手段８は被検集積回
路６の入出力関係を基準の入出力関係と比較して
例えば第２図ｃに示すように被検集積回路６の動
作異常を検出する。勿論この状態では偏向コイル
４には偏向電圧制御回路１１よりの制御電圧で偏
向がなされ、これら制御電圧は制御用計算機１４
からの電子ビーム偏向制御データでコントロール
される。また被検集積回路６はICテスターであ
る正常・異常検出手段８からの被検集積回路駆動
電圧８ａが加えられている。この状態の繰り返し
信号毎の電子ビームパルス照射によつて放出され
る２次電子７は２次電子検出器１２に捕捉されて
該２次電子検出器１２からのアナログ２次電子信
号１２ａは信号処理回路１３に与えられ、該アナ
ログ２次電子信号並びにエラー検出信号８ｂは制
御用計算機１４からの信号処理制御データ１４ｃ
と電子ビームパルスと同期したストローブ９ａに
基づいて第２図ｆのサンプリング信号により正常
及び異常のデイジタルデータ１３ａを制御用計算
機１４に出力する。なお、１３ｂは加算平均終了
信号である。上記説明では簡単のために加算平均
を１として表してストロボ電圧波形取得の説明を
したが実際にはより多くの加算平均がなされる。
すなわち処理回路１３ではサンプリングして１時
記憶した２次電子信号のデイジタルデータを正常
周期、異常周期のどちらのものであるかを区別し
てそれぞれに対し加算平均処理を行い、その結果
は制御用計算機１４で処理され表示装置１５に表
示される。
本発明の上記した電子ビーム装置の信号処理回
路１３の一実施例を第３図及び第４図を用いて詳
記する。第３図は信号処理回路の内部を示す系統
図、第４図は信号処理回路１３の正常および異常
出力波形の一例を示すもので２次電子検出器１２
からのアナログ２次電子信号１２ａは増幅器１７
で増幅されてアナログ−デイジタル変換回路１８
に加えられて第２の遅延回路１９からのサンプリ
ング信号１９ａで与えられるタイミングでサンプ
リングされてデイジタル化される。該第２の遅延
回路１９には制御用計算機１４からのサンプルタ
イミングデータ１４ｆと第１の遅延回路９からの
ストローブ信号９ａが加えられる。ストローブ信
号９ａは２次電子発生のタイミングを知るために
バツフアメモリ２０と加算平均制御回路２１にも
加えられる。該加算平均制御回路２１には、IC
テスターである正常・異常検出手段８からのエラ
ー検出信号８ｂが与えられている。アナログ−デ
イジタル変換回路１８でデイジタル変換されたデ
イジタル信号はバツフアメモリ２０に加えられて
一時蓄積された後に加算平均制御回路２１からの
読み取り制御信号２１ａにより読み出され、切換
スイツチ２２を介して第１及び第２の加算平均回
路２３，２４に加えられる。上記切換スイツチ２
２は切換信号２１ｂにより第１の加算平均回路２
３と第２の加算平均回路２４を選択する。第１及
び第２の加算平均制御信号２１ｃ，２１ｄは加算
平均制御回路２１より、第１及び第２の加算平均
回路２３，２４に与えられてこれら各回路を動作
状態とする。すなわちICテスターである正常・
異常検出手段８が得たエラー検出信号によつて２
次信号データを正常動作周期用の第１の加算平均
回路２３と異常動作周期用の第２の加算平均回路
２４に第２図ｇ，ｈのように振り分けて第１及び
第２の加算平均回路２３，２４で各々の波形を所
定回数（例えば100回）加算平均して被測定位相
に対するデータとする。測定位相を１ステツプず
つ進めながら一連のデータを取得し、例えば第４
図に示すような正常波形２６と異常波形２７を表
示装置１５に制御用計算機１４を介して表示させ
て正常周期、異常周期の観察を行う。勿論これら
をメモリ等に保存するようにしても良い。
路１３の一実施例を第３図及び第４図を用いて詳
記する。第３図は信号処理回路の内部を示す系統
図、第４図は信号処理回路１３の正常および異常
出力波形の一例を示すもので２次電子検出器１２
からのアナログ２次電子信号１２ａは増幅器１７
で増幅されてアナログ−デイジタル変換回路１８
に加えられて第２の遅延回路１９からのサンプリ
ング信号１９ａで与えられるタイミングでサンプ
リングされてデイジタル化される。該第２の遅延
回路１９には制御用計算機１４からのサンプルタ
イミングデータ１４ｆと第１の遅延回路９からの
ストローブ信号９ａが加えられる。ストローブ信
号９ａは２次電子発生のタイミングを知るために
バツフアメモリ２０と加算平均制御回路２１にも
加えられる。該加算平均制御回路２１には、IC
テスターである正常・異常検出手段８からのエラ
ー検出信号８ｂが与えられている。アナログ−デ
イジタル変換回路１８でデイジタル変換されたデ
イジタル信号はバツフアメモリ２０に加えられて
一時蓄積された後に加算平均制御回路２１からの
読み取り制御信号２１ａにより読み出され、切換
スイツチ２２を介して第１及び第２の加算平均回
路２３，２４に加えられる。上記切換スイツチ２
２は切換信号２１ｂにより第１の加算平均回路２
３と第２の加算平均回路２４を選択する。第１及
び第２の加算平均制御信号２１ｃ，２１ｄは加算
平均制御回路２１より、第１及び第２の加算平均
回路２３，２４に与えられてこれら各回路を動作
状態とする。すなわちICテスターである正常・
異常検出手段８が得たエラー検出信号によつて２
次信号データを正常動作周期用の第１の加算平均
回路２３と異常動作周期用の第２の加算平均回路
２４に第２図ｇ，ｈのように振り分けて第１及び
第２の加算平均回路２３，２４で各々の波形を所
定回数（例えば100回）加算平均して被測定位相
に対するデータとする。測定位相を１ステツプず
つ進めながら一連のデータを取得し、例えば第４
図に示すような正常波形２６と異常波形２７を表
示装置１５に制御用計算機１４を介して表示させ
て正常周期、異常周期の観察を行う。勿論これら
をメモリ等に保存するようにしても良い。
本発明は上述の如く構成し且つ動作させたので
従来の電子ビーム装置では観測できなかつた被検
集積回路の電圧動作異常が不規則的に発生する場
合の電圧異常状態を観測することが可能となる特
徴を有するものである。
従来の電子ビーム装置では観測できなかつた被検
集積回路の電圧動作異常が不規則的に発生する場
合の電圧異常状態を観測することが可能となる特
徴を有するものである。
第１図は本発明のストロボ型の電子ビーム装置
の系統図、第２図は第１図の動作説明用波形図、
第３図は本発明の電子ビーム装置の信号処理回路
の詳細を説明する系統図、第４図は本発明の電子
ビーム装置によつて得られた正常及び異常電圧の
１例を示す波形図である。 １……電子ビーム鏡筒、２……電子銃、３……
パルスゲート電極、６……被検集積回路、７……
２次電子、８……正常・異常検出手段（ICテス
ター）、９……第１の遅延回路、１０……電子ビ
ームパルスゲートドライバ、１１……偏向電圧制
御回路、１２……２次電子検出器、１３……信号
処理回路、１４……制御用計算機、１５……表示
装置、１６……分周回路、１７……増幅器、１５
……アナログ−デイジタル変換回路、１９……第
２の遅延回路、２０……バツフアメモリ、２１…
…加算平均制御回路、２２……切換スイツチ、２
３……第１の加算平均回路、２４……第２の加算
平均回路。
の系統図、第２図は第１図の動作説明用波形図、
第３図は本発明の電子ビーム装置の信号処理回路
の詳細を説明する系統図、第４図は本発明の電子
ビーム装置によつて得られた正常及び異常電圧の
１例を示す波形図である。 １……電子ビーム鏡筒、２……電子銃、３……
パルスゲート電極、６……被検集積回路、７……
２次電子、８……正常・異常検出手段（ICテス
ター）、９……第１の遅延回路、１０……電子ビ
ームパルスゲートドライバ、１１……偏向電圧制
御回路、１２……２次電子検出器、１３……信号
処理回路、１４……制御用計算機、１５……表示
装置、１６……分周回路、１７……増幅器、１５
……アナログ−デイジタル変換回路、１９……第
２の遅延回路、２０……バツフアメモリ、２１…
…加算平均制御回路、２２……切換スイツチ、２
３……第１の加算平均回路、２４……第２の加算
平均回路。
Claims (1)
- １ 高速動作する被検集積回路の電圧の変化を検
知するためのストロボ電子ビーム手段と、該スト
ロボ電子ビーム手段内の被検集積回路に電子ビー
ムを照射して該被検集積回路から放出された２次
電子を検出する２次電子検出手段と、被検集積回
路の入出力関係から該被検集積回路が正常動作を
しているか、異常動作をしているかを検出する正
常・異常検出手段と、上記２次電子検出手段出力
と正常・異常検出手段出力に基づいて異常及び正
常の周期に対する２次電子検出手段出力データを
区分して処理する信号処理手段とを具備すること
を特徴とする電子ビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59245770A JPS61124148A (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 | 電子ビ−ム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59245770A JPS61124148A (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 | 電子ビ−ム装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61124148A JPS61124148A (ja) | 1986-06-11 |
| JPH0548623B2 true JPH0548623B2 (ja) | 1993-07-22 |
Family
ID=17138549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59245770A Granted JPS61124148A (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 | 電子ビ−ム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61124148A (ja) |
-
1984
- 1984-11-20 JP JP59245770A patent/JPS61124148A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61124148A (ja) | 1986-06-11 |
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