JPH0548939B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体装置の組立装置に関する。

［従来の技術］ 半導体装置の組立は、一般に次の工程を順次経
て製造される。即ち、粘着テープに貼付けられ、
かつ個々のペレツトに分割されたウエハの前記各
ペレツトの外観上の良、不良を検出するマツピン
グ工程と、リードフレームのペレツト付け部にペ
ーストを滴下するペースト滴下工程と、前記良品
のペレツトのみを１個づつリードフレームにボン
デイングするペレツトボンデイング工程と、リー
ドフレームとペレツト間に介在する前記ペースト
を乾燥してペレツトをリードフレームに固定させ
るキユア工程と、ペレツトのパツドとリードフレ
ームのリードポストとにワイヤを接続するワイヤ
ボンデイング工程と、最後にペレツトとリードフ
レームの一部を樹脂モールドするモールド工程を
経て製造される。

ところで、前記各工程を行う異種の組立装置を
一列に配設して一貫処理させる場合、前後の異種
組立装置の処理能力に応じ、同一機種を並列に接
続して前後の異種組立装置間のバランスを図る必
要がある。例えば、ペレツトボンデイングを行う
ペレツトボンデイング装置とワイヤボンデイング
を行うワイヤボンデイング装置の構成の場合、ペ
レツトボンデイング装置はワイヤボンデイング装
置に対して処理能力が高いので、１台のペレツト
ボンデイング装置に対して複数台のワイヤボンデ
イング装置を並設させる必要がある。

そこで、かかる一貫組立装置の機能を最大限に
発揮させるには、異種組立装置間におけるリード
フレームの移送及び同一組立装置へのリードフレ
ームの分配の機構並びに前後の異種組立装置間の
バランスがくずれた場合における対処に左右され
る。

従来、一貫組立装置として、例えば特開昭55−
86124号公報、特開昭55−88339号公報及び特開昭
55−88341号公報に示すようにリードフレームの
送りを爪送り機構によつて行うものと、例えば特
開昭58−206132号公報に示すようにコンベアによ
って行うものとが知られている。

前者の爪送り機構は、構造が複雑となり、高価
になる。また送り爪の水平方向の往復動作と上下
動作によつて１ピツチづつ送るので、目的とする
組立装置への迅速な供給が行えなく、生産性の問
題がある。また同一機種へのリードフレームの分
配は困難である。

この点、後者のコンベア機構は、各組立装置の
前方の一列にメインコンベアを配設し、このメイ
ンコンベアに交差して各組立装置にリードフレー
ムを供給、排出するサブコンベアを配設してなる
ので、リードフレームの移送及び同一組立装置へ
の分配は容易であり、前者の問題点は解消され
る。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、前記コンベアによる移送機構は、サ
ブコンベアを単にメインコンベアの側方に配設し
たのみであるので、メインコンベアよりサブコン
ベアに、またサブコンベアよりメインコンベアに
リードフレームを受け渡すための供給装置、例え
ば真空吸着して移送させる供給装置を必要とす
る。

このように特別の供給装置を必要とするので、
必然的に装置が高価になると共に、迅速なリード
フレームの受け渡しが行えない。

また前記コンベアによる移送機構を用いた特開
昭58−206132号公報には、例えば１台のペレツト
ボンデイング装置と複数台のワイヤボンデイング
装置の処理能力のバランスが組立装置の故障、作
業調整等でくずれた場合については何ら考慮が払
われていない。このような問題点に対処するに
は、ペレツトボンデイング装置とワイヤボンデイ
ング装置を結ぶメインコンベア間に、例えば特開
昭55−88339号公報に示すバツフア装置を設ける。

しかし、前記バツフア装置は、フレーム水平送
りピンの水平方向の往復動作及上下回動によつて
収納及送出するので、収納及送出動作の１サイク
ルに多大の時間がかかり、迅速な動作が行えな
い。またバツフア装置にリードフレームが空の時
は、後工程の組立装置が停止しても前工程の組立
装置から送出されたリードフレームを収納するこ
とはできるが、リードフレームが既に収納されて
いる状態で、後工程の組立装置が故障した時は、
前工程の組立装置より送出されたリードフレーム
は収納できない。また逆に、リードフレームが収
納されている時は、前工程の組立装置が停止して
もリードフレームを次工程の組立装置に供給でき
るが、リードフレームが空の時は次工程の組立装
置に供給できない。

本発明の目的は、異種の組立装置を組合せた場
合における機能を最大限に発揮させることができ
る半導体装置の組立装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記従来技術の問題点は、少なくともペレツト
ボンデイング装置とワイヤボンデイング装置との
間にバツフア装置を配設し、このバツフア装置よ
り前記ワイヤボンデイング装置の前方にメインコ
ンベアを配設し、このメインコンベアに交差して
該メインコンベアよりワイヤボンデイング装置に
向けてサブコンベアを配設した半導体装置の組立
装置において、前記バツフア装置は、第１のバツ
フア装置と、この第１のバツフア装置に並設して
一体に設けられた第２のバツフア装置とからな
り、前記第１のバツフア装置は、対向面にリード
フレームを支持する溝が複数個形成されたマガジ
ンと、このマガジンを間欠的に上下駆動するマガ
ジン上下駆動機構と、前記マガジン内に伸びて配
設された搬送ベルトを備えた搬送ベルト機構と、
前記搬送ベルトを駆動する搬送ベルト駆動機構と
を備え、前記第２のバツフア装置は、平リードフ
レームを収納する積上げマガジンを載置するテー
ブルと、このテーブルを所定ピツチづつ昇降させ
るテーブル上下動機構と、前記テーブル上の積上
げマガジンに前記リードフレームを送り込む経路
に沿つて設けられたコンベア装置と、このコンベ
ア装置の走路に平行にかつ回転自在に設けられ、
動力駆動されて往復動するスライダと、このスラ
イダに設けられたアームに支持され、アームの揺
動によつて前記コンベア装置の走路に沿つて所定
位置に配置及びこの所定位置から退避させること
が可能に設けられたプツシヤとを備え、前記メイ
ンコンベアと、前記サブコンベアとの交差した対
向した部分は、一方が他方より低くなるように構
成することにより構成される。

［実施例］ 以下、本発明を図示の一実施例により説明す
る。第１図及び第２図に示すように、左側から右
側にマツピング装置１、ペースト滴下機構を備え
たペレツトボンデイング装置２、キユア炉３、バ
ツフア装置４，４Ａ、複数台（実施例は４台）の
ワイヤボンデイング装置５，５Ａ，５Ｂ…及びバ
ツフア装置４，４Ｂが順次配設されている。

マツピング装置１の左側には粘着テープに貼付
けられ、かつ個々のペレツトに分割されたウエハ
を収納するウエハマガジン６が配設されている。
ペレツトボンデイング装置２の前方には前記マツ
ピング装置１より送り出されたウエハを保持し、
ペレツトを１個づつ突上げる突上げ機構部７が配
設されている。またペレツトボンデイング装置２
の左側にはリードフレームを収納したフレームマ
ガジン８が配設されている。ワイヤボンデイング
装置５，５Ａ，５Ｂ…の前方にはバツフア装置
４，４Ａから送り出されたリードフレームを搬送
するメインコンベア９，９Ａ，９Ｂ…が一列に配
設されている。また各メインコンベア９，９Ａ，
９Ｂ…から各ワイヤボンデイング装置５，５Ａ，
５Ｂに対応してメインコンベア９，９Ａ，９Ｂ…
に直交してローダ用サブコンベア１０，１０Ａ，
１０Ｂ…及びアンローダ用サブコンベア１１，１
１Ａ，１１Ｂ…が配設されている。またローダ用
サブコンベア１０，１０Ａ，１０Ｂ…とアンロー
ダ用サブコンベア１１，１１Ａ，１１Ｂ…間には
移送装置１２，１２Ａ，１２Ｂ…が配設されてい
る。

そこで、ウエハマガジン６よりマツピング装置
１にウエハが供給され、このマツピング装置１に
よつてウエハの分割された各ペレツトの良、不良
が検出される。検査が終了したウエハは突上げ機
構部７に送られる。一方、ペレツトボンデイング
装置２にはフレームマガジン８よりリードフレー
ムが供給される。そして、このリードフレームの
ペレツトボンデイング部にペレツトボンデイング
装置２のペースト滴下機構によつてペーストが滴
下される。その後ペレツトボンデイング装置２の
ペレツトボンデイング機構の吸着ノズルが前記突
上げ機構部７の上方への移動、下降及び上昇動作
を行つてペレツトを吸着する。そして、再び前記
の逆の動作を行つてペレツトをリードフレームの
上方に位置させ、続いて吸着ノズルが下降してペ
レツトをペーストを介してリードフレームに押付
け、ペレツトボンデイングを行う。ペレツトボン
デイングが完了したリードフレームはキユア炉３
に送られてペーストが乾燥され、ペレツトはリー
ドフレームに固定される。キユア炉３を通つたリ
ードフレームはバツフア装置４に収納される。

そして、ワイヤボンデイング装置５，５Ａ，５
Ｂ…にいずれからリードフレームの要求がある
と、バツフア装置４，４Ａからリードフレームが
メインコンベア９，９Ａに送出され、メインコン
ベア９，９Ａ，９Ｂ…によつて要求のあつたワイ
ヤボンデイング装置５，５Ａ，５Ｂ…のローダ用
サブコンベア１０，１０Ａ，１０Ｂ…に対応した
位置に送られる。そして、ローダ用サブコンベア
１０，１０Ａ，１０Ｂ…によつて後方に送られ、
その後移送装置１２，１２Ａ，１２Ｂ…によつて
ローダ用サブコンベア１０，１０Ａ，１０Ｂ…よ
りアンローダ用サブコンベア１１，１１Ａ，１１
Ｂ…の方に送られる。この間にワイヤボンデイン
グ装置５，５Ａ，５Ｂ…によつてワイヤボンデイ
ングが行われる。アンローダ用サブコンベア１
１，１１Ａ，１１Ｂ…に送られたリードフレーム
はアンローダ用サブコンベア１１，１１Ａ，１１
Ｂ…によつてメインコンベア９，９Ａ，９Ｂ…上
に送られ、メインコンベア９，９Ａ，９Ｂ…によ
つてバツフア装置４，４Ｂに収納される。

次に本発明の要旨とするバツフア装置４，４
Ａ，４Ｂ、メインコンベア９，９Ａ，９Ｂ…とサ
ブコンベア１０，１０Ａ，１０Ｂ…，１１，１１
Ａ，１１Ｂ…からなる搬送装置について説明す
る。

バツフア装置４，４Ａ，４Ｂ 以下、バツフア装置４の一実施例を第３図乃至
第７図により説明する。本装置は、常時組立装置
間に加工されるリードフレームを受け渡すために
搬送する搬送ベルト間に配設される第１のバツフ
ア装置２０と、この第１のバツフア装置２０に並
設して一体に設けられ、前後のいずれかの組立装
置が停止した後に組立装置間を結ぶ前記コンベア
間に配設させるための第２のバツフア装置２１と
を備えている。以下、第１のバツフア装置２０及
び第２のバツフア装置２１の個々の構成及び作用
について説明し、その後両バツフア装置２０，２
１の組合せによる作用について説明する。

第１のバツフア装置２０の構成（第３図乃至第６
図参照） 加工されるリードフレームを収納するマガジン
２２は、底板２３と、この底板２３上に対向して
配設され、ボルト２４とナツト２５で底板２３に
固定された側板２６，２７とからなり、側板２
６，２７の対向面にはリードフレーム（図示せ
ず）の両側端部を支持する溝２６ａ，２７ａが等
間隔に形成されている。前記底板２３上には、リ
ードフレームの搬送方向Ａと直角方向にガイドレ
ール２８，２９が固定され、かつボルト２４の挿
通穴２３ａはガイドレール２８，２９と平行に長
溝に形成されており、前記ガイドレール２８，２
９に沿つて前記側板２６，２７は摺動できるよう
になつている。

従つて、ナツト５０を緩め、側板２６，２７を
ガイドレール２８，２９に沿って移動させること
により、リードフレームの幅に適合するように側
板２６，２７の対向間隔を自由に変えることがで
きる。

架台３０にはベース板３１及びモータ支持板３
２が固定されており、ベース板３１及びモータ支
持板３２には、軸受３３を介して２本のガイド棒
３４，３５が垂直に摺動自在に設けられている。
このガイド棒３４，３５の上端には支持板３６が
ボルト３７で固定されており、支持板３６は前記
底板２３の底面にボルト３８で固定されている。
またモータ支持板３２のガイド棒３４，３５間に
はパルスモータ３９が固定されている。このパル
スモータ３９の出力軸３９ａにはカツプリング４
０を介して雄ねじ４１が固定されている。雄ねじ
４１の上端は前記ベース板３１に軸受４２を介し
て回転自在に支承されており、この雄ねじ４１に
は前記ガイド棒３４，３５にボルト４３で固定さ
れた上下動板４４が螺合している。またマガジン
２２の上下動範囲を規制するために、モータ支持
板３２には前記上下動板４４に当接するように上
限スイツチ４５及び下限スイツチ４６が固定され
ている。

従つて、パルスモータ３９が回転すると、上下
動板４４が上下動するので、上下動板４４と共に
ガイド棒３４，３５が軸受３３に沿つて上下摺動
し、マガジン２２が矢印Ｂ方向に上下駆動する。

マガジン２２の左右側ベース板３１上には、そ
れぞれ相対向して支持板５０，５１及び５２，５
３がそれぞれボルト５４、ナツト（図示せず）で
固定されている。支持板５０，５１には、相対向
した部分に回転軸５５，５６がそれぞれ軸受５７
を介して回転自在に支承されており、この回転軸
５５，５６の内側及び外側にはそれぞれプーリ５
８，５９及び６０，６１が固定されている。前記
支持板５２，５３にはも同様に相対向した部分に
回転軸６２，６３がそれぞれ軸受（図示せず）を
介して回転自在に支承されており、この回転軸６
２，６３の内側にはそれぞれプーリ６４，６５が
固定されている。そして、前記プーリ５８と６４
及び６０と６５には搬送ベルト６６，６７が前記
マガジン２２の側板２６，２７間に位置するよう
にそれぞれ掛けられている。また搬送ベルト６
６，６７の往路のたるみを防止するために、支持
板５０と５２及び５１と５３にはそれぞれベルト
支持板６８が固定されている。

前記ベース板３１上には、リードフレームの搬
送方向Ａと直角方向にガイドレール７０，７１が
固定され、かつボルト５４の挿通穴３１ａはガイ
ドレール７０，７１と平行に長溝に形成されてお
り、前記ガイドレール７０，７１に沿つて前記支
持板５０，５１，５２，５３は摺動できるように
なつている。また支持板５０と５１及び５２と５
３のマガジン２２側の上方面には補強板７２，７
３がボルト７４，７５で固定されており、ボルト
７５の挿通孔７２ａ，７３ａは前記ガイドレール
７０，７１と同じ方向に長溝に形成されている。

従つて、ボルト５４，７５を緩め、支持板５０
〜５３をガイドレール７０，７１に沿つて移動さ
せることにより、リードフレームの幅に適合する
ように支持板５０〜５３の対向間隔を自由に変え
ることができる。

支持板５０の外側には支柱８０及び支持板８１
を介してモータ８２が固定されており、このモー
タ８２の出力軸にはプーリ８３が固定されてい
る。プーリ８３と５９間における支持板５０，５
１の部分には中間回転軸８４が回転自在に支承さ
れており、この中間回転軸８４の外側にはプーリ
８５，８６が固定されている。そして、プーリ８
３と８５，８５と５９，８６と６１にはそれぞれ
伝達ベルト８７，８８，８９が掛けられている。

従つて、モータ８２が矢印Ｃ方向に回転する
と、伝達ベルト８７，８８，８９を介して搬送ベ
ルト６６，６７が矢印Ａ方向に移動する。

第１のバツフア装置２０の作用 次にかかる構成よりなる第１のバツフア装置２
０の作用について説明する。本バツフア装置２０
は、前後の組立装置を結ぶ主搬送ベルト間及びま
たは主搬送ベルトから個々の組立装置に結ぶサブ
搬送ベルト間に設置して用いる。以下、主搬送ベ
ルト間に用いた場合について説明する。

今、マガジン２２にリードフレームを収納する
場合について説明する。後工程の組立装置の処理
能力が低下した場合は、前工程より送られたリー
ドフレームはマガジン２２内に収納される。マガ
ジン２２に収納する場合は、マガジン２２は下降
した状態にあり、側板２６，２７の最上部の溝２
６ａ，２７ａから順次収納される。即ち、前工程
が終了したリードフレームが図示しない搬送ベル
トにより送られ、本装置の搬送ベルト６６，６７
上に載せられると、図示しないセンサがそれを検
知し、モータ８２が矢印Ｃ方向に一定量回転し、
リードフレームはマガジン２２の溝２６ａ，２７
ａ内に沿つて送られ、マガジン２２に収納され
る。

次にパルスモータ３９が回転し、マガジン２２
は１ピツチだけ上昇させられ、次の溝２６ａ，２
７ａが搬送ラインに位置させられる。以後、前記
した動作によつて順次当該溝２６ａ，２７ａにリ
ードフレームが収納される。

次にマガジン２２に収納されたリードフレーム
を後工程に供給する場合について説明する。前工
程の組立装置の処理能力が低下した場合は、マガ
ジン２２に収納されたリードフレームが後工程に
供給される。この場合は、マガジン２２は上昇し
た位置にあり、マガジン２２に収納された最下方
のリードフレームが搬送ベルト６６，６７上に載
るようにパルスモータ３９が駆動させられる。そ
して、モータ８２が矢印Ｃ方向に回転し、搬送ベ
ルト６６，６７上のリードフレームは、搬送ベル
ト６６，６７によつて矢印Ａ方向に送られ、図示
しない後工程の主搬送ベルト上に送られる。次に
再び後工程よりリードフレームの要求があると、
バルスモータ３９が回転し、マガジン２２は１ピ
ツチ下降し、次のリードフレームが搬送ベルト６
６，６７上に載置される。続いて前記したように
モータ８２が回転し、搬送ベルト６６，６７によ
つて該リードフレームは後工程の主搬送ベルトに
供給される。以後、後工程よりリードフレームの
供給要求信号が出力する度に前記した動作を繰返
す。

このように、マガジン２２内に搬送ベルト６
６，６７を配置してなるので、多量のリードフレ
ームを収納及び供給することができると共に、迅
速なリードフレームの受け渡しが行える。従つ
て、前後工程の一部の組立装置が停止しても他の
組立装置の生産能力をダウンさせる必要がなく、
生産性が向上する。

第２のバツフア装置２１の構成（第３図、第４
図、第５図、第７図参照） 第７図に矢印Ｄで示す方向が半導体リードフレ
ームの収納のための送り込み方向、矢印Ｅで示す
方向が送出方向である。箱型構造の本体９５の中
央よりやや送出側にはテーブル９６が設けられて
いる。テーブル９６は周知の構造をもつてリード
フレームを積み上げて収納する積上げマガジン９
７を前記送り込み及び送出方向Ｄ，Ｅに対して並
列に２個載置することが可能である。テーブル９
６には垂直案内棒９８が固定されており、垂直案
内棒９８は積上げマガジン９７の並び方向に沿つ
て滑動可能に本体９５に支持された支持台９９に
設けたボールガイド１００によりテーブル９６に
支承されている。そしてテーブル９６は周知の送
り機構によつて所定ピツチ昇降され、更に積上げ
マガジン９７の並び方向にも移動される。

本体９５の送り込み側には、第２のバツフア装
置２１内にリードフレームを送り込むためのベル
トコンベア１０５が設けられている。ベルトコン
ベア１０５はリードフレームの送り込みの経路に
沿つて設けられた２本１対の丸ベルトからなり、
本体９５に回転可能に支持された１対の第１支持
軸１０６及び同じく１対の第２支持軸１０７にそ
れぞれ固定されたプーリ１０８，１０９の間にか
け合わされている。そして、この第１支持軸１０
６は一方にプーリ１１０を他方にプーリ１１１を
備え、同様に本体９５に回転可能に支持された第
３支持軸１１２に固定されたプーリ１１３及び１
１４との間に丸ベルト１１５，１１６がかけ合わ
されている。ここで、プーリ１１０と１１３の減
速比とプーリ１１１と１１４の間の減速比は等し
く設定されており、１対のベルトコンベア１０５
は互いにに等速で周回運動を行う。第３支持軸１
１２は本体９５に設けたモータ１１７の出力軸１
１７ａに固定されたプーリ１１８とプーリ１１３
との間にかけ合わされた丸ベルト１１９によつて
動力駆動される。

また第３支持軸１１２の一端には偏心カム１２
５が固定され、その中央部には１回転信号検出の
ための指令カム１２６が備えられており、指令カ
ム１２６に対向して検出スイツチ１２７が本体に
固定されている。本体９５に揺動可能に支持され
前記偏心カム１２５に接するカムフロア１２８を
備えたカムレバー１２９は、コイルバネ１３０に
よつて常時偏心カム１２５を押圧する側に付勢さ
れている。ベルトコンベア１０５の走路に平行に
丸棒状のガイドレール１３１が設けられており、
ガイドレール１３１にはスライダ１３２が嵌合し
ている。スライダ１３２はガイドレール１３１の
まわりに回動かつその軸方向に摺動可能に設けら
れ、カムレバー１２９の先端に設けたベアリング
１３４と係合する。スライダ１３２から伸長する
アーム１３５にはプツシヤ１３６が支持されてお
り、プツシヤ１３６はベルトコンベア１０５の走
路に沿つて配置されている。またベルトコンベア
１０５の上方にはリードフレームの送り込みを確
認する近接センサー１３７が配置されている。

第２のバツフア装置２１の作用 次にかかる構成よりなる第２のバツフア装置２
１の作用について説明する。第２のバツフア装置
２１を前工程の組立装置で作業を終えたリードフ
レームを収納するバツフアとして使用する場合
は、まずテーブル９６の上に空の積上げマガジン
９７を２個並列に載置し、テーブル９６をその並
列方向に移動させて積上げマガジン９７の一方を
送り込み、送出位置に対してセツトする。そして
プツシヤ１３６をアーム１３５、スライダ１３２
ごと旋回させることで、ベルトコンベア１０５の
走路に沿つた所定位置から第４図に想像線で示し
た位置にまで退避せしめる。しかる後、モータ１
１７を起動すると、ベルトコンベア１０５が周回
運動を始める。ベルトコンベア１０５は前工程の
組立装置からの搬出路に連続して配置されている
ため、作業を終えたリードフレームが搬出路へ送
り出されてくると、これを受けてベルトコンベア
１０５上に載せて搬出し、テーブル９６上の積上
げマガジン９７に送り込む。そして、近接センサ
ー１３７によりリードフレームが送り込まれたこ
とを確認すると、検出スイツチ１２７の信号によ
つてモータ１１７が１時停止し、テーブル９６が
所定のピツチ上昇もしくは下降して積上げマガジ
ン９７のリードフレーム収納位置を順次位置決め
し、以後この動作を繰り返していく。こうして積
上げマガジン９７の中に一定のリードフレームが
収納される。

次に第２のバツフア装置２１を後工程の組立装
置のためにリードフレームを供給するバツフアと
して使用する場合について説明する。まずテーブ
ル９６上にリードフレームが収納された積上げマ
ガジン９７を２個並列に載置し、テーブル９６を
その並列方向に移動し、積上げマガジン９７の一
方を送り込み、送出位置にセツトする。そして、
プツシヤ１３６をアーム１３５，スライダ１３２
ごと旋回させてベルトコンベア１０５の走路に沿
つた所定位置に配置し、しかる後モータ１１７を
起動すると、偏心カム１２５の回転によつてカム
レバー１２９が揺動してスライダ１３２を滑動さ
せ、これによつてプツシヤ１３６が積上げマガジ
ン９７に収納されたリードフレームの１枚を押し
出し、後工程の組立装置の搬入側に設けたコンベ
ア上に進出させて送出動作を完了させる。そし
て、検出スイツチ１２７の信号によつて第３支持
軸１１２の１回転動作を確認すると、モータ１１
７が１時停止し、テーブル９６が所定の１ピツチ
上昇もしくは下降して積上げマガジン９７のリー
ドフレーム収納位置を順次位置決めし、以後この
動作を繰り返していく。こうして積上げマガジン
９７の中からリードフレームが送出されていく。

このように、リードフレームの収納、送出の機
能を極めて簡単な構造よりなる１つの第２のバツ
フア装置２１で達成できる。

両バツフア装置１，２の組合せによる作用 通常は、前後の組立装置を結ぶ主搬送ベルト間
に第１のバツフア装置２０の搬送ベルト６６，６
７の部分を配設して使用する。そして、前後の組
立装置が正常に稼動している時は、前工程の組立
装置より搬送ベルト６６，６７上に送られたリー
ドフレームは、マガジン２２の溝２６ａ，２７ａ
内を単に通過して後工程の組立装置の主搬送ベル
トに送られるように搬送ベルト６６，６７は作動
する。

後工程の組立装置の処理能力が低下又は故障し
た場合は、その後工程の停止信号により、第１の
バツフア装置２０のマガジン２２に第１のバツフ
ア装置２０の作用の項で説明したようにして前工
程の組立装置から送られてきたリードフレームは
順次収納される。

マガジン２２への収納はあくまでも一時的なも
のであるので、第２のバツフア装置２１に空の積
上げマガジン９７をセツトし、この積上げマガジ
ン９７に収納されるように、手動又は自動によつ
て第２のバツフア装置２１のベルトコンベア１０
５が前後の組立装置を結ぶ主搬送ベルト内に位置
するように本バツフア装置全体を移動させる。そ
して、その後は第２のバツフア装置２１の積上げ
マガジン９７に第２のバツフア装置２１の作用の
項で説明したようにして前工程の組立装置から送
られてきたリードフレームは順次収納される。

次に前工程の組立装置の処理能力が低下又は故
障した場合について説明する。ところで、第１の
バツフア装置２０のマガジン２２には予め数枚の
リードフレームを収納させておく。そこで、前工
程の組立装置の停止信号により、マガジン２２内
のリードフレームが後工程の組立装置に送出され
るように、第１のバツフア装置２０の作用の項で
説明したようにして順次送出させる。

この場合も、マガジン２２からの送出はあくま
でも一時的であるので、第２のバツフア装置２１
にリードフレームの収納された積上げマガジン９
７をセツトし、この積上げマガジン９７内のリー
ドフレームを送出するように、手動又は自動によ
つて第２のバツフア装置２１のベルトコンベア１
０５が前後の組立装置を結ぶ主搬送ベルト内に位
置するように本バツフア装置全体を移動させる。
その後は第２のバツフア装置２１の積上げマガジ
ン９７から第２のバツフア装置２１の作用の項で
説明したようにしてリードフレームは順次送出さ
れる。

このように、前後のいずれかの組立装置が停止
しても、第２のバツフア装置２１を配設するまで
は第１のバツフア装置２０でカバーするので、正
常な組立装置を一旦停止させなくてもよく、生産
性は向上する。この場合、前後のいずれかの組立
装置の停止が短時間で、第１のバツフア装置２０
のマガジン２２で処理できる範囲であれば、第２
のバツフア装置２１は用いなくてもよい。

搬送装置９，９Ａ，９Ｂ…，１０，１０Ａ，１０
Ｂ…，１１，１１Ａ，１１Ｂ… 以下、搬送装置９，１０，１１の一実施例を図
により説明する。第８図に示すように、ワイヤボ
ンデイング装置５の前方にはリードフレーム１３
を搬送するメインコンベア９が配設されている。
ワイヤボンデイング装置５の加工具５ａの両側に
は、前記メインコンベア９に一端側が交差して直
交するようにローダ用及びアンローダ用サブコン
ベア１０，１１が配設されている。またローダ用
及びアンローダ用サブコンベア１０，１１間でワ
イヤボンデイング装置５の加工具５ａの下方に
は、ローダ用サブコンベア１０から送られてきた
リードフレーム１３，１３ｂを加工具５ａの真下
に送ると共に、加工具５ａの真下よりアンローダ
用サブコンベア１１に送る移送装置１２が配設さ
れている。

前記ワイヤボンデイング装置は、周知の構造よ
りなり、また本発明の要旨に直接関係ないので、
ここではこれ以上の説明は省略する。また移送装
置１２は単に四角のブロツクで図示したが、例え
ば特開昭60−67308号公報に示すものを用いる。
この場合、前記特開昭60−67308号公報に示すロ
ーダ用及びアンローダ用マガジンを除き、このロ
ーダ用及びアンローダ用マガジンの部分に本実施
例のローダ用及びアンローダ用サブコンベア１
０，１１が配設されることはいうまでもない。こ
の移送装置１２は、本発明の要旨に直接関係ない
ので、ここではこれ以上の説明は省略する。

次に前記メインコンベア９及びサブコンベア１
０，１１の構造について説明する。

メインコンベア９（第８図、第９図、第１１図参
照） 架台１４０上にはコンベア台１４１が固定され
ており、このコンベア台１４１上にメインコンベ
ア台１４２が固定されている。メインコンベア台
１４２には一定間隔を保つて２個の支持板１４
３，１４４が平行に固定されており、支持板１４
３，１４４には後記するサブコンベア１０，１１
が交差して配設されるための逃げ溝１４３ａ，１
４４ａが形成されている。支持板１４３には中央
より右側下方側にモータ１４５が固定されてお
り、このモータ１４５の出力軸にはプーリ１４６
が固定されている。また支持板１４３及び支持板
１４３の外側でメインコンベア台１４２に固定さ
れた支持板１４７には前記モータ１４５の上方位
置に駆動軸１４８が回転自在に支承されており、
この駆動軸１４８には支持板１４３の外側に突出
した部分にプーリ１４９が固定されている。そし
て、プーリ１４６と１４９とにタイミングベルト
１５０が掛けられている。

前記駆動軸１４８には支持板１４３，１４４の
内側にそれぞれプーリ１５１が固定されている。
また支持板１４３，１４４の上方側には前記プー
リ１５１と同じレベルでそれぞれプーリ１５２が
回転自在に支承されている。また支持板１４３、
１４４の逃げ溝１４３ａ，１４４ａの下方の内側
部分にもそれぞれプーリ１５３が回転自在に支承
されている。更に支持板１４３，１４４の下方の
左右の内側にもそれぞれプーリ１５４が回転自在
に支承されている。そして、前記プーリ１５１〜
１５４にはベルト１５５が掛けられている。

従つて、モータ１４５が矢印Ａ方向に回転させ
られると、プーリ１４６、タイミングベルト１５
０、プーリ１４９を介して駆動軸１４８、即ちプ
ーリ１５１が矢印Ｂ方向に回転し、ベルト１５５
は矢印Ｃ方向に送られる。

前記支持板１４３，１４４の中央上方のベルト
１５５の下面側には、ベルト１５５のたるみを防
止するためのたるみ防止板１５６が配設されてい
る。また支持板１４３の中央より左側上方には、
支軸１５７が固定されており、この支軸１５７に
は一端がベルト１５５の上方に伸びたストツパ１
５８が回転自在に支承されている。ストツパ１５
８は水平な折り曲げ部１５８ａを有し、この折曲
げ部１５８ａの下面にソレノイド１５９の作動部
が当接するようにソレノイド１５９は支持板１４
３に固定されている。また前記ストツパ１５８に
当接したリードフレーム１３を検出するために、
支持板１４４の内側にはセンサ１６０が固定され
ている。

サブコンベア１０，１１（第８図、第１０図、第
１３図乃至第１６図参照） ローダ用サブコンベア１０とアンローダ用サブ
コンベア１１とはほぼ同じ構造よりなるので、以
下第１３図乃至第１６図に拡大図で示すローダ用
サブコンベア１０について説明する。

第１０図に示すコンベア台１４１上にはサブコ
ンベア台１６５が固定されている。第１３図、第
１５図、第１６図に示すように、サブコンベア台
１６５の中央上方には回転軸１６６が回転自在に
支承されており、この回転軸１６６には４個のプ
ーリ１６７，１６８，１６９，１７０が固定され
ている。また回転軸１６６の真下のサブコンベア
台１６５の部分には第１４図、第１５図に示すよ
うに、固定軸１７１が固定されており、固定軸１
７１には４個の揺動ブロツク１７２，１７３，１
７４，１７５が軸受１７６を介して回転自在に支
承されている。揺動ブロツク１７２，１７３は第
１４図においては下方側、第１５図においては左
側に伸びており、揺動ブロツク１７４，１７５は
逆に第１４図においては上方側、第１５図におい
ては右側に伸びている。揺動ブロツク１７２，１
７３及び１７４，１７５にはそれぞれ中間ブロツ
ク１７７，１７８が固定されており、中間ブロツ
ク１７７，１７８にはそれぞれ４個のプーリ支持
アーム１７９，１７８が固定されている。プーリ
支持アーム１７９，１８０には第１３図及び第１
５図に示すようにそれぞれ端部プーリ１８１〜１
８４及び１８５〜１８８が回転自在に支承されて
いる。

そして、プーリ１８１と１６７，１８２と１６
８，１８３と１６９，１８４と１７０にはそれぞ
れベルト１８９が掛けられ、同様にプーリ１８５
と１６７，１８６と１６８，１８７と１６９，１
８８と１７０にもそれぞれベルト１９０が掛けら
れている。また第１６図に示すように、サブコン
ベア台１６５の下方にはモータ１９１が固定され
ており、このモータ１９１の出力軸に固定された
プーリ１９２と前記プーリ１６７とにはベルト１
９３が掛けられている。

従つて、モータ１９１が正回転すると、プーリ
１９２、ベルト１９３を介してプーリ１６８，１
６９，１７０が回転するので、ベルト１８９，１
９０は第１５図に示すように矢印Ｄ方向に送られ
る。またモータ１９１が逆回転すると、ベルト１
８９，１９０は矢印Ｅ方向に逆転させられる。即
ち、ローダ用サブコンベア１０においては、ベル
ト１８９，１９０を矢印Ｄ方向に回転させ、アン
ローダ用サブコンベア１１にはベルト１８９，１
９０が矢印Ｅ方向に回転させて使用する。

第１５図及び第１６図に示すように、前記揺動
ブロツク１７２，１７５は下方に伸びた舌片部１
７２ａ，１７５ａを有し、この舌片部１７２ａ，
１７５ａにはそれぞれ受けねじ２００が螺合され
ている。受けねじ２００にはサブコンベア台１６
５に固定されたスピードコントローラ付きのシリ
ンダ２０１，２０２の作動部が対向して設けられ
ており、受けねじ２００がシリンダ２０１，２０
２の作動部に圧接するように揺動ブロツク１７
２，１７５はばね２０３で付勢されている。また
揺動ブロツク１７２，１７５には検出板２０４，
２０５が固定されており、この検出板２０４，２
０５をはさむ形でセンサ２０６，２０７がサブコ
ンベア台１６５に固定されている。

従つて、シリンダ２０１，２０２の作動部が作
動して突出すると、受けねじ２００を介して揺動
ブロツク１７２，１７５が固定軸１７１を中心と
して回動し、これにより中間ブロツク１７７，１
７８を介してプーリ支持アーム１７９，１８０が
回動し、プーリ１８１〜１８４は矢印Ｆ方向に下
降し、プーリ１８５〜１８８は矢印Ｇ方向に上昇
する。また前記と逆にシリンダ２０１，２０２の
作動部が作動して引込むと、前記と逆にプーリ１
８１〜１８４は矢印Ｈ方向に上昇し、プーリ１８
５〜１８８は矢印Ｉ方向に下降する。

第１３図、第１４図、第１５図に示すように、
プーリ支持アーム１８０の部分には、プーリ支持
アーム１８０を逃げるための逃げ溝２１０ａ，２
１１ａが形成された２個のリードフレームガイド
板２１０，２１１がベルト１９０の直角に配設さ
れている。一方のリードフレームガイド板２１０
はサブコンベア台１６５に固定されており、他方
のリードフレームガイド板２１１より低く形成さ
れてリードフレーム１３のストツパも兼ねてい
る。他方のリードフレームガイド板２１１は前記
一方のリードフレームガイド板２１０に固定され
た軸２１２に摺動自在に設けられている。そこ
で、リードフレーム１３の幅に合わせてリードフ
レームガイド板２１１を摺動させ、図示しないね
じでリードフレームガイド板２１１を軸２１２に
固定する。

また前記軸２１２にはプツシヤ用アングル２１
３が摺動自在に設けられており、プツシヤ用アン
グル２１３は軸２１２に図示しないねじで固定さ
れている。プツシヤ用アングル２１３にはプツシ
ヤフレーム２１４が固定されており、このプツシ
ヤフレーム２１４にシリンダ２１５が固定されて
いる。シリンダ２１５の作動ロツドにはプツシヤ
アーム２１６が固定されており、このプツシヤア
ーム２１６はプツシヤフレーム２１４に固定され
た回り止め板２１７に沿つて移動するように設け
られている。

なお、前記した部品番号２１０〜２１７で示す
部材は、ローダ側サブコンベア１０のみに設けら
れており、アンローダ側サブコンベア１１には設
けられていない。その代り、アンローダ側サブコ
ンベア１１には第８図に示す移送装置１２から送
られて来たリードフレーム１３を支持する上板２
１８が２点鎖線で示すようにサブコンベア台１６
５に固定されている。

次にかかる構成よりなる搬送装置の作用につい
て説明する。今、第１図に示す第２番目のローダ
用サブコンベア１０Ｂのみよりリードフレーム１
３の要求があつた場合について説明する。第８
図、第１１図、第１２図に示すストツパ１５８
は、常時図示の状態より上方に回動してベルト１
５５による搬送レベル外に位置した状態にある。
そこで、ローダ用サブコンベア１０Ｂよりリード
フレーム１３の要求信号が出力されると、バツフ
ア装置４Ａからリードフレーム１３がメインコン
ベア９Ａ上に送り出されると共に、メインコンベ
ア９Ｂのソレノイド１５９が作動する。ソレノイ
ド１５９が作動すると、ストツパ１５８は支軸１
５７を中心として下降し、第１１図の状態とな
る。従つて、バツフア装置４Ａから送りだされた
リードフレーム１３はメインコンベア９Ａのベル
ト１５５によつて矢印Ｃ方向に搬送され、メイン
コンベア９Ａ上は単に通過するのみでメインコン
ベア９Ｂ上に送られる。メインコンベア９Ｂによ
つて送られると、そのリードフレーム１３はスト
ツパ１５８に当接する。

そして、メインコンベア９に設けられた第８図
に示すセンサ１６０がそのリードフレーム１３を
検出すると、ローダ用サブコンベア１０Ｂの第１
６図に示すモータ１９１が始動すると共に、シリ
ンダ２０１が突出するように作動する。モータ１
９１が始動すると、サブコンベア１０，１１の項
で説明したように、ベルト１８９，１９０が矢印
Ｄ方向に作動する。またシリンダ２０１が作動す
ると、サブコンベア１０，１１の項で説明したよ
うに、プーリ１８１〜１８４が第１５図に示す矢
印Ｈ方向に上昇する。即ち、ローダ用サブコンベ
ア１０Ｂのプーリ１８１〜１８４は第１１図に示
す状態より上昇し、前記したようにストツパ１５
８に止められていたリードフレーム１３はローダ
用サブコンベア１０Ｂのベルト１８９に乗り、メ
インコンベア９のベルト１５５から浮き上げられ
る。そこで、リードフレーム１３はベルト１８
９，１９０の移動によつて矢印Ｄ方向に送られ、
第１５図に示すリードフレームガイド板２１０に
当接する。リードフレームガイド板２１０，２１
１間上にリードフレーム１３がある場合には、前
記リードフレーム１３はリードフレームガイド板
２１０に当接した状態を保持する。第８図におい
て、１３ａはリードフレームガイド板２１０に当
接されたリードフレーム１３を、１３ｂはリード
フレームガイド板２１０，２１１間のリードフレ
ーム１３を示す。即ち、ローダ用サブコンベア１
０，１０Ｂ上には２個のリードフレーム１３を保
持することができるようになつている。

リードフレームガイド板２１０，２１１間にリ
ードフレーム１３がある場合は、モータ１９１の
回転が停止すると共に、シリンダ２０１が引込
む。これによりベルト１８９，１９０が停止する
と共に、プーリ１８１〜１８４が第１５図に示す
矢印Ｆ方向に下降し、ベルト１８９はメインコン
ベア９のベルト１５５の搬送レベルより下方に位
置する。また同時にソレノイド１５９もオフとな
り、ストツパ１５８はベルト１５５による搬送レ
ベル外に位置する。

リードフレームガイド板２１０，２１１間にリ
ードフレーム１３がない場合又はあつてもリード
フレームガイド板２１０，２１１から送り出され
た場合は、モータ１９１の回転が続行又は始動
し、ベルト１８９，１９０の矢印Ｄ方向に移動す
ると共に、シリンダ２０２が作動してプーリ１８
５〜１８８は矢印Ｇ方向に上昇する。これによ
り、ベルト１９０はリードフレームガイド板２１
０より高く位置し、リードフレームガイド板２１
０に位置決めされていたリードフレーム１３を持
ち上げる。そして、リードフレーム１３はベルト
１９０によつて送られ、リードフレームガイド板
２１１に当接する。その後モータ１９１が停止す
ると共に、シリンダ２０２が引込み、プーリ１８
５〜１８８は矢印Ｉ方向に下降する。これによ
り、ベルト１９０上のリードフレーム１３はリー
ドフレームガイド板２１０，２１１に載置され
る。

ワイヤボンデイング装置５より要求があると、
シリンダ２１５が作動し、プツシヤアーム２１６
によつてリードフレームガイド板２１０，２１１
上のリードフレーム１３は移送装置１２側に送り
出される。そして、移送装置１２により１ピツチ
間欠的に送られ、その度にワイヤボンデイング装
置５により加工が施される。加工が終了したリー
ドフレーム１３が第１０図及び第１５図に示すロ
ーダ用サブコンベア１１の上板２１８上、即ち第
８図にリードフレーム１３ｃで示す位置に送られ
ると、ローダ用サブコンベア１１のモータ１９１
が回転してベルト１９０，１８９が矢印Ｅ方向に
移動すると共に、シリンダ２０２が作動してプー
リ１８５〜１８８が上昇する。プーリ１８５〜１
８８が上昇すると、上板２１８上のリードフレー
ム１３をベルト１９０で持ち上げる。これによ
り、リードフレーム１３はベルト１９０，１８９
により矢印Ｅ方向に送られ、支持板１４３の側壁
に当接して停止する。その後シリンダ２０２が引
込んでプーリ１８５〜１８８は下降する。

そして、メインコンベア９上にリードフレーム
１３が流れていない場合で、バツフア装置４Ｂが
受け入れ態勢にある場合には、シリンダ２０１が
作動し、プーリ１８１〜１８４が上昇し、リード
フレーム１３を支持板１４３の上方に持ち上げ
る。これにより、リードフレーム１３はベルト１
８９で矢印Ｅ方向に送られ、支持板１４４の内側
に当接する。その後シリンダ２０１が引込んでプ
ーリ１８１〜１８４は下降する。これにより、リ
ードフレーム１３はメインコンベア９上に載置さ
れ、メインコンベア９によつて搬送されてバツフ
ア装置４Ｂ内に収納される。

なお、上記実施例においては、メインコンベア
２０に対してサブコンベア４５，４６を直交して
配設したが、斜めに交差するように配設してもよ
い。またメインコンベア２０とサブコンベア４
５，４６の交差して対向した部分は、メインコン
ベア２０の上方にサブコンベア４５，４６が配設
されるようにしたが、逆にサブコンベア４５，４
６の上方にサブコンベア４５，４６が配設される
ようにしてもよい。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、リードフレームを一時収納、送出する機能を
有する第１のバツフア装置と、多量のリードフレ
ームを収納、送出する機能を有する第２のバツフ
ア装置とを並設して一体に設けてなるので、生産
性の向上が図れる。また第２図のバツフア装置は
リードフレームの収納、送出する機能を有するの
で、バツフア装置が大型化することもない。また
メインコンベアは、サブコンベアに対向した部分
が該サブコンベアより低くなるように構成され、
前記サブコンベアは、前記メインコンベアに一端
側が交差するように該メインコンベアの上方に配
設されてなるので、メインコンベアとサブコンベ
アとの被加工体の受渡しを特別の供給装置を設け
なくても行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２
図は第１図の正面図、第３図はバツフア装置の一
実施例を示す平面図、第４図は第３図の左側断面
図、第５図は第３図の右側断面図、第６図は第１
のバツフア装置の正面図、第７図は第２のバツフ
ア装置の正面図、第８図は搬送装置の一実施例を
示す全体概略構成平面図、第９図は第８図のメイ
ンコンベアと加工装置関係を示す一部断面右側面
図、第１０図は第８図のサブコンベアと加工装置
関係を示す右側面図、第１１図はメインコンベア
の内側部より見た正面図、第１２図はメインコン
ベアに設けられたストツパ部を示す左側図、第１
３図乃至第１６図はサブコンベアを示し、第１３
図は一部断面平面図、第１４図は固定軸部分を断
面で示す第１３図と同じ平面図、第１５図は右側
面図、第１６図は正面図である。 ９，９Ａ，９Ｂ………メインコンベア、１０，
１０Ａ，１０Ｂ………ローダ用サブコンベア、１
１，１１Ａ，１１Ｂ………アンローダ用サブコン
ベア、２２……マガジン、２６，２７……側板、
２６ａ，２７ａ……溝、３４，３５……ガイド
棒、３９……パルスモータ、４１……雄ねじ、４
４……上下動板、５５，５６……回転軸、５８〜
６１……プーリ、６２，６３……回転軸、６４，
６５……プーリ、６６，６７……搬送ベルト、８
２……モータ、８３……プーリ、８４……中間
軸、８５，８６……プーリ、８７，８８，８９…
…伝達ベルト、９６……テーブル、１０５……ベ
ルトコンベア、１１７……モータ、１２５……偏
心カム、１３２……スライダ、１３５……アー
ム、１３６……プツシヤ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 少なくともペレツトボンデイング装置とワイ
   ヤボンデイング装置との間にバツフア装置を配設
   し、このバツフア装置より前記ワイヤボンデイン
   グ装置の前方にメインコンベアを配設し、このメ
   インコンベアに交差して該メインコンベアよりワ
   イヤボンデイング装置に向けてサブコンベアを配
   設した半導体装置の組立装置において、前記バツ
   フア装置は、第１のバツフア装置と、この第１の
   バツフア装置に並設して一体に設けられた第２の
   バツフア装置とからなり、前記第１のバツフア装
   置は、対向面にリードフレームを支持する溝が複
   数個形成されたマガジンと、このマガジンを間欠
   的に上下駆動するマガジン上下駆動機構と、前記
   マガジン内に伸びて配設された搬送ベルトを備え
   た搬送ベルト機構と、前記搬送ベルトを駆動する
   搬送ベルト駆動機構とを備え、前記第２のバツフ
   ア装置は、平リードフレームを収納する積上げマ
   ガジンを載置するテーブルと、このテーブルを所
   定ピツチづつ昇降させるテーブル上下動機構と、
   前記テーブル上の積上げマガジンに前記リードフ
   レームを送り込む経路に沿つて設けられたコンベ
   ア装置と、このコンベア装置の走路に平行にかつ
   回転自在に設けられ、動力駆動されて往復動する
   スライダと、このスライダに設けられたアームに
   支持され、アームの揺動によつて前記コンベア装
   置の走路に沿つて所定位置に配置及びこの所定位
   置から退避させることが可能に設けられたプツシ
   ヤとを備え、前記メインコンベアと前記サブコン
   ベアとの交差して対向した部分は、１方が他方よ
   り低くなるように構成されされていることを特徴
   とする半導体装置の組立装置。