JPH0549355B2 - - Google Patents
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- JPH0549355B2 JPH0549355B2 JP16630489A JP16630489A JPH0549355B2 JP H0549355 B2 JPH0549355 B2 JP H0549355B2 JP 16630489 A JP16630489 A JP 16630489A JP 16630489 A JP16630489 A JP 16630489A JP H0549355 B2 JPH0549355 B2 JP H0549355B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- processing chamber
- solvent
- communication port
- tank
- Prior art date
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- Expired - Fee Related
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は洗浄装置に係るものであつて、機械部
品、電子部品、医療用具その他種々の被洗浄物を
液洗浄または蒸気洗浄した後、被洗浄物に付着し
た溶剤を外部に拡散する事なく、確実に処理する
事を目的とする。
品、電子部品、医療用具その他種々の被洗浄物を
液洗浄または蒸気洗浄した後、被洗浄物に付着し
た溶剤を外部に拡散する事なく、確実に処理する
事を目的とする。
従来の技術
従来被洗浄物を載置する洗浄台を、移動機構に
接続して位置移動自在に形成したものには、実公
昭59−28714号公報記載の考案が存在する。
接続して位置移動自在に形成したものには、実公
昭59−28714号公報記載の考案が存在する。
この考案に於いて、洗浄作業の完了した被洗浄
物は、洗浄槽から外部に持ち出された後に、被洗
浄物に付着した溶剤を、別個に設けた処理装置で
乾燥処理するものである。そのため、乾燥処理に
多くの手数を要するばかりでなく、処理装置に移
動するときに外気と接触し、溶剤がトリクロルエ
チレン、トリクロロトリフルオロエタン等の大気
中への拡散が好ましくないものである場合には、
健康被害、大気汚染等を生じるものとなる。
物は、洗浄槽から外部に持ち出された後に、被洗
浄物に付着した溶剤を、別個に設けた処理装置で
乾燥処理するものである。そのため、乾燥処理に
多くの手数を要するばかりでなく、処理装置に移
動するときに外気と接触し、溶剤がトリクロルエ
チレン、トリクロロトリフルオロエタン等の大気
中への拡散が好ましくないものである場合には、
健康被害、大気汚染等を生じるものとなる。
また、特公昭59−9228号公報記載の発明のごと
く、開閉可能な扉を介して洗浄槽と被洗浄物の収
納室を接続し、この収納室に溶剤ガスの処理装置
を接続したものが存在する。
く、開閉可能な扉を介して洗浄槽と被洗浄物の収
納室を接続し、この収納室に溶剤ガスの処理装置
を接続したものが存在する。
また、実開昭59−110003号公報記載の考案のご
とく、溶剤ガスを冷却凝縮する凝縮装置に収納室
を接続し、この凝縮装置と収納室との間を、循環
して溶剤ガスを除去しようとするものが存在す
る。
とく、溶剤ガスを冷却凝縮する凝縮装置に収納室
を接続し、この凝縮装置と収納室との間を、循環
して溶剤ガスを除去しようとするものが存在す
る。
発明が解決しようとする問題点
しかし、特公昭59−9228号公報記載の発明は、
開閉可能な扉を介して洗浄槽と被洗浄物の収納室
を接続し、この収納室に、溶剤ガスの処理装置を
接続するが、溶剤ガスを含んだ気体を処理装置に
一回だけ通過させ、後は大気中に放出してしまう
ものであるため、多くの溶剤ガスが未処理状態で
外部に放出され、確実な有害物質除去は困難なも
のであつた。
開閉可能な扉を介して洗浄槽と被洗浄物の収納室
を接続し、この収納室に、溶剤ガスの処理装置を
接続するが、溶剤ガスを含んだ気体を処理装置に
一回だけ通過させ、後は大気中に放出してしまう
ものであるため、多くの溶剤ガスが未処理状態で
外部に放出され、確実な有害物質除去は困難なも
のであつた。
また、実開昭59−110003号公報記載の考案は、
溶剤ガスを冷却凝縮する凝縮装置に収納室を接続
し、この凝縮装置と収納室との間を、循環して溶
剤ガスを除去するものであるが、溶剤ガスの凝縮
による除去に限界が有るため、多量の溶剤ガスを
未処理状態で外部に放出させてしまうものとなつ
ていた。
溶剤ガスを冷却凝縮する凝縮装置に収納室を接続
し、この凝縮装置と収納室との間を、循環して溶
剤ガスを除去するものであるが、溶剤ガスの凝縮
による除去に限界が有るため、多量の溶剤ガスを
未処理状態で外部に放出させてしまうものとなつ
ていた。
即ち、上記方法は溶剤ガスを冷却し凝縮させる
ことによつて除去するものである。そして、通常
の冷却凝縮温度の0〜20℃程度では一定の蒸気圧
を保つものとなる。そのため、例えば沸点が47.6
℃のフロンを10℃に冷却した場合、蒸気圧は0.25
Kgf/cm2・absと成り、250000ppmの濃度を保
つものとなる。従つて、10℃に冷却凝縮した場合
の上記フロン濃度は、250000ppm以下に下げるこ
とはできない。
ことによつて除去するものである。そして、通常
の冷却凝縮温度の0〜20℃程度では一定の蒸気圧
を保つものとなる。そのため、例えば沸点が47.6
℃のフロンを10℃に冷却した場合、蒸気圧は0.25
Kgf/cm2・absと成り、250000ppmの濃度を保
つものとなる。従つて、10℃に冷却凝縮した場合
の上記フロン濃度は、250000ppm以下に下げるこ
とはできない。
そのため、冷却凝縮装置を循環流通し得る循環
路の中に位置し、溶剤ガスを複数回循環してもそ
の濃度を低下できず、被洗浄物の出入のために収
納室を開放すれば、上記の例では250000ppmの溶
剤ガスが外部に放出されるものとなる。
路の中に位置し、溶剤ガスを複数回循環してもそ
の濃度を低下できず、被洗浄物の出入のために収
納室を開放すれば、上記の例では250000ppmの溶
剤ガスが外部に放出されるものとなる。
また、上述のごとき従来の処理装置は、洗浄槽
と別個に形成しているため、大型で複雑な機構と
成り、溶剤の回収コストを高価なものとしてい
た。
と別個に形成しているため、大型で複雑な機構と
成り、溶剤の回収コストを高価なものとしてい
た。
本発明は上述のごとき問題点を解決しようとす
るものであつて、被洗浄物を液洗浄または蒸気洗
浄した後の、被洗浄物に付着した溶剤の処理を、
洗浄装置内で手数を要する事なく行う。また、外
部に有害な物質を拡散しないようにする事を、簡
略な機構で廉価に行おうとするものである。
るものであつて、被洗浄物を液洗浄または蒸気洗
浄した後の、被洗浄物に付着した溶剤の処理を、
洗浄装置内で手数を要する事なく行う。また、外
部に有害な物質を拡散しないようにする事を、簡
略な機構で廉価に行おうとするものである。
問題点を解決するための手段
本発明は上述のごとき問題点を解決するため、
被洗浄物を載置する洗浄台を、移動機構に接続し
て位置移動自在に形成することにより、洗浄台に
載置した被洗浄物を、洗浄槽の上部をケーシング
で被覆して設けた処理室と洗浄槽の間で、連通口
を介して往復移動可能とし、この処理室と洗浄槽
とを、遮蔽体により遮蔽可能とするとともにケー
シングの外周に、一定間隔を介して被覆体を設
け、この被覆体の内面とケーシングの外面との間
に循環路を形成し、この循環路内に、活性炭によ
り構成した溶剤を処理する処理機構を位置して成
るものである。
被洗浄物を載置する洗浄台を、移動機構に接続し
て位置移動自在に形成することにより、洗浄台に
載置した被洗浄物を、洗浄槽の上部をケーシング
で被覆して設けた処理室と洗浄槽の間で、連通口
を介して往復移動可能とし、この処理室と洗浄槽
とを、遮蔽体により遮蔽可能とするとともにケー
シングの外周に、一定間隔を介して被覆体を設
け、この被覆体の内面とケーシングの外面との間
に循環路を形成し、この循環路内に、活性炭によ
り構成した溶剤を処理する処理機構を位置して成
るものである。
また、活性炭は、カセツト状に形成し、循環路
から交換可能としたものであつても良い。
から交換可能としたものであつても良い。
また、処理機構は、加熱部と冷却部を設け、活
性炭に吸着した溶剤を加熱分離するとともに冷却
部で冷却凝縮し、溶剤を回収し得るようにしたも
のであつても良い。
性炭に吸着した溶剤を加熱分離するとともに冷却
部で冷却凝縮し、溶剤を回収し得るようにしたも
のであつても良い。
また、遮蔽体は、処理室と洗浄槽を連通する連
通口よりも大きな直径に洗浄台を形成し、この洗
浄台を、洗浄台の移動に伴う被洗浄物の処理室収
納時に、処理室と洗浄槽の連通口外周に押圧係合
して、連通口を密閉することにより、処理室と洗
浄槽とを遮蔽するものであつても良い。
通口よりも大きな直径に洗浄台を形成し、この洗
浄台を、洗浄台の移動に伴う被洗浄物の処理室収
納時に、処理室と洗浄槽の連通口外周に押圧係合
して、連通口を密閉することにより、処理室と洗
浄槽とを遮蔽するものであつても良い。
また、遮蔽体は、外部操作により処理室と洗浄
槽との連通口を開放または遮蔽するものであつて
も良い。
槽との連通口を開放または遮蔽するものであつて
も良い。
作 用
本発明は上述のごとく構成したものであるか
ら、移動機構を作動して、被洗浄物を載置した洗
浄台を洗浄槽中に挿入し、液洗浄、蒸気洗浄等を
行う。この液洗浄、蒸気洗浄の完了後は再び移動
機構を作動して、洗浄台に載置した被洗浄物を、
洗浄槽に接続して設けた処理室に収納する。この
収納後、または収納と同時に、処理室と洗浄槽と
を遮蔽体により遮蔽し、被洗浄物に付着した溶剤
を除去するための処理機構を作動する。
ら、移動機構を作動して、被洗浄物を載置した洗
浄台を洗浄槽中に挿入し、液洗浄、蒸気洗浄等を
行う。この液洗浄、蒸気洗浄の完了後は再び移動
機構を作動して、洗浄台に載置した被洗浄物を、
洗浄槽に接続して設けた処理室に収納する。この
収納後、または収納と同時に、処理室と洗浄槽と
を遮蔽体により遮蔽し、被洗浄物に付着した溶剤
を除去するための処理機構を作動する。
この処理機構は、気体が循環流通し得る循環路
内に活性炭を設けたものであるから、処理室内の
気体は反復して連続的に活性炭に接触することが
可能となる。そのため、被洗浄物に付着した有機
溶剤等を確実に除去するまで、溶剤の除去作業を
繰り返し行うことが出来る。この処理後に、被洗
浄物を処理室から取り出せば、有害な気体を大気
中に拡散したり、作業者が吸引することも無く、
完全な洗浄作業を可能とする。
内に活性炭を設けたものであるから、処理室内の
気体は反復して連続的に活性炭に接触することが
可能となる。そのため、被洗浄物に付着した有機
溶剤等を確実に除去するまで、溶剤の除去作業を
繰り返し行うことが出来る。この処理後に、被洗
浄物を処理室から取り出せば、有害な気体を大気
中に拡散したり、作業者が吸引することも無く、
完全な洗浄作業を可能とする。
また、溶剤の付着した被洗浄物は、洗浄装置か
ら外部に出る事なく洗浄槽から処理室に収納さ
れ、付着溶剤の処理を行うものである。そのた
め、従来のごとく、処理機構への被洗浄物の移送
手数を要しないばかりでなく、溶剤を拡散したり
することも無い。
ら外部に出る事なく洗浄槽から処理室に収納さ
れ、付着溶剤の処理を行うものである。そのた
め、従来のごとく、処理機構への被洗浄物の移送
手数を要しないばかりでなく、溶剤を拡散したり
することも無い。
また、循環路は、ケーシングの外周に、一定間
隔を介して被覆体を設け、この被覆体の内面とケ
ーシングの外面との間に循環路を形成し、この循
環路の内部に処理機構を位置したものである。そ
のため、装置を小型化し簡略で廉価な溶剤処理を
可能とするものである。
隔を介して被覆体を設け、この被覆体の内面とケ
ーシングの外面との間に循環路を形成し、この循
環路の内部に処理機構を位置したものである。そ
のため、装置を小型化し簡略で廉価な溶剤処理を
可能とするものである。
実施例
以下本発明の一実施例を図面に於いて説明すれ
ば、1は洗浄台で、被洗浄物2を上面に載置する
とともにエアシリンダー、オイルシリンダー、チ
エーン装置等の適宜の移動機構3に接続して上下
方向に位置移動自在に形成している。この洗浄台
1は、移動機構3を作動させることにより、上面
に載置した被洗浄物2を、洗浄槽4の上部に連通
口7を介して接続し、処理室5と洗浄槽4との間
で、往復移動可能にする。また、この処理室5と
洗浄槽4とを、遮蔽体6により遮蔽可能としてい
る。
ば、1は洗浄台で、被洗浄物2を上面に載置する
とともにエアシリンダー、オイルシリンダー、チ
エーン装置等の適宜の移動機構3に接続して上下
方向に位置移動自在に形成している。この洗浄台
1は、移動機構3を作動させることにより、上面
に載置した被洗浄物2を、洗浄槽4の上部に連通
口7を介して接続し、処理室5と洗浄槽4との間
で、往復移動可能にする。また、この処理室5と
洗浄槽4とを、遮蔽体6により遮蔽可能としてい
る。
また、この遮蔽は、第1図、第2図に示すごと
く、処理室5と洗浄槽4を連通する連通口7より
も大きな直径に洗浄台1を形成して行う。即ち、
この洗浄台1を、洗浄台1の移動に伴う被洗浄物
2の処理室5への収納時に、2点鎖線で示すごと
く、処理室5と洗浄槽4の連通口7外周に押圧係
合する。そして、連通口7を密閉することによ
り、処理室5と洗浄槽4とを遮蔽するもので、遮
蔽体6と洗浄台1とを兼用するものである。
く、処理室5と洗浄槽4を連通する連通口7より
も大きな直径に洗浄台1を形成して行う。即ち、
この洗浄台1を、洗浄台1の移動に伴う被洗浄物
2の処理室5への収納時に、2点鎖線で示すごと
く、処理室5と洗浄槽4の連通口7外周に押圧係
合する。そして、連通口7を密閉することによ
り、処理室5と洗浄槽4とを遮蔽するもので、遮
蔽体6と洗浄台1とを兼用するものである。
また、洗浄槽4と処理室5との連通口7は、特
別の固定手段を持たない蓋体10を処理室5側に
位置することにより被覆している。そして、被洗
浄物2が洗浄槽4内に位置する時は、常時、連通
口7を閉止している。また、洗浄台1の上昇時に
は、洗浄台1の上面に突出した支持棒11によつ
て、2点鎖線で示すごとく蓋体10を持ち上げ開
放するものである。
別の固定手段を持たない蓋体10を処理室5側に
位置することにより被覆している。そして、被洗
浄物2が洗浄槽4内に位置する時は、常時、連通
口7を閉止している。また、洗浄台1の上昇時に
は、洗浄台1の上面に突出した支持棒11によつ
て、2点鎖線で示すごとく蓋体10を持ち上げ開
放するものである。
また、上記の処理室5は洗浄槽4の上部をケー
シング8で被覆することにより形成している。ま
た、このケーシングの外周に、一定間隔を介して
被覆体を設け、この被覆体の内面とケーシングの
外面との間に循環路を形成している。
シング8で被覆することにより形成している。ま
た、このケーシングの外周に、一定間隔を介して
被覆体を設け、この被覆体の内面とケーシングの
外面との間に循環路を形成している。
また、この循環路12内に、被洗浄物2に付着
した溶剤を除去するための処理機構13を位置し
ている。この処理機構13は、溶剤を吸着し得る
活性炭14を固定的またはカセツト状に形成し、
交換可能としている。
した溶剤を除去するための処理機構13を位置し
ている。この処理機構13は、溶剤を吸着し得る
活性炭14を固定的またはカセツト状に形成し、
交換可能としている。
また循環路12には、処理室5と接続する導入
口15に、循環路12へ強制的に溶剤ガスを導入
するための、フアン16を設けている。そしてま
た、導入口15に対向する位置の処理室5には、
循環路12の排出口17を開口し、溶剤ガスの強
制循環を可能としている。
口15に、循環路12へ強制的に溶剤ガスを導入
するための、フアン16を設けている。そしてま
た、導入口15に対向する位置の処理室5には、
循環路12の排出口17を開口し、溶剤ガスの強
制循環を可能としている。
上述のごとく構成したものに於いて、被洗浄物
2を、液洗浄または蒸気洗浄するには、移動機構
3を作動して、被洗浄物2を載置した洗浄台1を
洗浄槽4中に下降挿入する。そして、液洗浄また
は蒸気洗浄若しくはその双方の洗浄を行う。この
液洗浄、蒸気洗浄の完了後は、移動機構3を洗浄
台1の上昇方向に作動して、洗浄台1に載置した
被洗浄物2を、洗浄槽4の上部に設けた処理室5
に収納し、洗浄槽4と処理室5とを遮蔽する。
2を、液洗浄または蒸気洗浄するには、移動機構
3を作動して、被洗浄物2を載置した洗浄台1を
洗浄槽4中に下降挿入する。そして、液洗浄また
は蒸気洗浄若しくはその双方の洗浄を行う。この
液洗浄、蒸気洗浄の完了後は、移動機構3を洗浄
台1の上昇方向に作動して、洗浄台1に載置した
被洗浄物2を、洗浄槽4の上部に設けた処理室5
に収納し、洗浄槽4と処理室5とを遮蔽する。
この遮蔽は、洗浄台1を連通口7よりも大きな
直径に形成しているから、この洗浄台1が被洗浄
物2を処理室5に収納すれば、第1図、第2図の
2点鎖線に示すごとく、連通口7の下面外周に洗
浄台1の上面が押圧される。そして、連通口7を
密閉することができ、処理室5と洗浄槽4とを遮
蔽するものとなる。
直径に形成しているから、この洗浄台1が被洗浄
物2を処理室5に収納すれば、第1図、第2図の
2点鎖線に示すごとく、連通口7の下面外周に洗
浄台1の上面が押圧される。そして、連通口7を
密閉することができ、処理室5と洗浄槽4とを遮
蔽するものとなる。
この遮蔽を行つた後、フアン16を作動すれ
ば、処理室5内の空気は、溶剤ガスとともに強制
的に循環路12に流入し、活性炭14によつて溶
剤ガスを吸着除去することができる。
ば、処理室5内の空気は、溶剤ガスとともに強制
的に循環路12に流入し、活性炭14によつて溶
剤ガスを吸着除去することができる。
そして、この吸着除去は、気体が循環流通し得
る循環路12から排出口17、処理室5を介して
導入口15に導入される。そのため、処理室5内
の気体は、溶剤ガスが完全に除去されるまで、反
復して連続的に処理機構13で処理する事が可能
となり、被洗浄物2に付着した有機溶剤等を確実
に除去することが出来る。
る循環路12から排出口17、処理室5を介して
導入口15に導入される。そのため、処理室5内
の気体は、溶剤ガスが完全に除去されるまで、反
復して連続的に処理機構13で処理する事が可能
となり、被洗浄物2に付着した有機溶剤等を確実
に除去することが出来る。
この処理後に、被洗浄物2を処理室5から取り
出せば、有害な気体を大気中に拡散したり、作業
者が吸引することも無く、完全な洗浄作業を可能
とする。
出せば、有害な気体を大気中に拡散したり、作業
者が吸引することも無く、完全な洗浄作業を可能
とする。
また、処理機構13を構成する活性炭14をカ
セツト状にすれば、活性炭14の交換を簡易に行
うことができ、常に優れた溶剤ガスの吸着効率を
得ることができる。
セツト状にすれば、活性炭14の交換を簡易に行
うことができ、常に優れた溶剤ガスの吸着効率を
得ることができる。
また溶剤の付着した被洗浄物2は、洗浄装置か
ら外部に出る事なく処理室5に収納され、付着し
た溶剤の除去処理を行うものであるから、従来の
ごとく処理機構13への被洗浄物2の移送手数を
要しないばかりでなく、溶剤を拡散したりするこ
とも無いものである。
ら外部に出る事なく処理室5に収納され、付着し
た溶剤の除去処理を行うものであるから、従来の
ごとく処理機構13への被洗浄物2の移送手数を
要しないばかりでなく、溶剤を拡散したりするこ
とも無いものである。
また、上記実施例に於いては、遮蔽体6を洗浄
台1と兼用したが、他の異なる実施例では、第3
図、第4図に示すごとく、一対の平板状の遮蔽体
6を、洗浄台1の下面両側に支持軸18で開閉自
在に軸支する。そして、この支持軸18の外方に
係合部20を突出する。この係合部20を、洗浄
台1の移動に伴う被洗浄物2の処理室5への収納
時に、処理室5と洗浄槽4の連通口7外周に係合
する。そして、支持軸18を支点にして遮蔽体6
を回動し、遮蔽体6を密閉することにより、処理
室5と洗浄槽4とを遮蔽するものである。
台1と兼用したが、他の異なる実施例では、第3
図、第4図に示すごとく、一対の平板状の遮蔽体
6を、洗浄台1の下面両側に支持軸18で開閉自
在に軸支する。そして、この支持軸18の外方に
係合部20を突出する。この係合部20を、洗浄
台1の移動に伴う被洗浄物2の処理室5への収納
時に、処理室5と洗浄槽4の連通口7外周に係合
する。そして、支持軸18を支点にして遮蔽体6
を回動し、遮蔽体6を密閉することにより、処理
室5と洗浄槽4とを遮蔽するものである。
この遮蔽は、洗浄台1の上昇に伴い、遮蔽体6
の側面に突出した係合部20を、連通口7の洗浄
槽4側の外周に突出した係合枠21に係合する。
そして、支持軸18を支点にして、遮蔽体6を回
動密閉することにより、処理室5と洗浄槽4とを
遮蔽するものである。
の側面に突出した係合部20を、連通口7の洗浄
槽4側の外周に突出した係合枠21に係合する。
そして、支持軸18を支点にして、遮蔽体6を回
動密閉することにより、処理室5と洗浄槽4とを
遮蔽するものである。
また、遮蔽体6による遮蔽方法は、必ずしも上
記方法による必要はなく、任意の方法を選択する
ことが可能であり、遮蔽体6は、外部操作により
処理室5と洗浄槽4との連通口7を、シヤツター
等の任意の方法で開放または遮蔽するものであつ
ても良い。
記方法による必要はなく、任意の方法を選択する
ことが可能であり、遮蔽体6は、外部操作により
処理室5と洗浄槽4との連通口7を、シヤツター
等の任意の方法で開放または遮蔽するものであつ
ても良い。
また、被洗浄物2の処理室5への収納を、適宜
のセンサーで感知し、シヤツター等の遮蔽体6で
処理室5と洗浄槽4とを遮蔽するもので有つても
良い。
のセンサーで感知し、シヤツター等の遮蔽体6で
処理室5と洗浄槽4とを遮蔽するもので有つても
良い。
また、前記実施例では処理機構13を、活性炭
14に溶剤ガスを吸着させ、カセツト状等に形成
して適宜交換し得るように構成した。しかし、他
の異なる実施例では活性炭14を交換しなくとも
良いように、処理機構13を構成している。
14に溶剤ガスを吸着させ、カセツト状等に形成
して適宜交換し得るように構成した。しかし、他
の異なる実施例では活性炭14を交換しなくとも
良いように、処理機構13を構成している。
即ち、第2図に示すごとく、活性炭14を適宜
間隔で充填した循環路12内に、ボイラー等の加
熱手段22に配管23を接続した加熱部24を儲
ける。この加熱部24は、活性炭14の充填間隔
に各々位置し、この加熱部24で活性炭14に吸
着された溶剤を加熱して、ガス化する。そして、
循環路12末端の排出口17近くに、冷却水タン
ク25と配管23で接続した冷却部26を設け、
る。そして、活性炭14に吸着した溶剤を加熱分
離するとともに冷却部26で冷却凝縮し、回収容
器27に回収し得るようにしている。この加熱に
よる溶剤の回収は、洗浄作業の完了後に一定の時
間をかけて行うのが望ましい。
間隔で充填した循環路12内に、ボイラー等の加
熱手段22に配管23を接続した加熱部24を儲
ける。この加熱部24は、活性炭14の充填間隔
に各々位置し、この加熱部24で活性炭14に吸
着された溶剤を加熱して、ガス化する。そして、
循環路12末端の排出口17近くに、冷却水タン
ク25と配管23で接続した冷却部26を設け、
る。そして、活性炭14に吸着した溶剤を加熱分
離するとともに冷却部26で冷却凝縮し、回収容
器27に回収し得るようにしている。この加熱に
よる溶剤の回収は、洗浄作業の完了後に一定の時
間をかけて行うのが望ましい。
発明の効果
本発明は、上述のごとく構成したものであるか
ら、洗浄した後の、被洗浄物に付着した溶剤を、
洗浄装置内に位置したまま行い、外部に有害な溶
剤を拡散することがない。
ら、洗浄した後の、被洗浄物に付着した溶剤を、
洗浄装置内に位置したまま行い、外部に有害な溶
剤を拡散することがない。
また、溶剤ガスの処理は活性炭により行い、気
体が循環流通し得る循環路を介して収納室に処理
機構を接続するから、活性炭を通過する度に溶剤
ガスは吸着され減少する。そして、収納室内の有
機溶剤等を確実に除去するまで、繰り返して溶剤
の除去作業を行うことが出来る。
体が循環流通し得る循環路を介して収納室に処理
機構を接続するから、活性炭を通過する度に溶剤
ガスは吸着され減少する。そして、収納室内の有
機溶剤等を確実に除去するまで、繰り返して溶剤
の除去作業を行うことが出来る。
この処理は、溶剤ガスが循環流通し得る循環路
を介して繰り返し行うものであるから、処理機構
の能力を小さなものとしても、高度の溶剤ガスの
処理能力を有するものとなる。そのため、小型で
廉価な処理機構を得ることが可能となる。
を介して繰り返し行うものであるから、処理機構
の能力を小さなものとしても、高度の溶剤ガスの
処理能力を有するものとなる。そのため、小型で
廉価な処理機構を得ることが可能となる。
また、循環路は、処理室のケーシングの外周
に、一定間隔を介して被覆体を設け、この被覆体
の内面とケーシングの外面との間に循環路を形成
し、たものであるから、機構を小型で簡略化でき
廉価な溶剤処理を可能とする。
に、一定間隔を介して被覆体を設け、この被覆体
の内面とケーシングの外面との間に循環路を形成
し、たものであるから、機構を小型で簡略化でき
廉価な溶剤処理を可能とする。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図
は断面図、第2図は吸着物質に吸着した溶剤の回
収機構を設けた異なる実施例の断面図、第3図は
遮蔽体の異なる実施例を示すもので被洗浄物の洗
浄状態を示す断面図、第4図は第3図の実施例に
於ける溶剤除去状態の断面図である。 1……洗浄台、2……被洗浄物、3……移動機
構、4……洗浄槽、5……処理室、6……遮蔽
体、7……連通口、12……循環路、13……処
理機構、14……吸着物質、24……加熱部、2
6……冷却部。
は断面図、第2図は吸着物質に吸着した溶剤の回
収機構を設けた異なる実施例の断面図、第3図は
遮蔽体の異なる実施例を示すもので被洗浄物の洗
浄状態を示す断面図、第4図は第3図の実施例に
於ける溶剤除去状態の断面図である。 1……洗浄台、2……被洗浄物、3……移動機
構、4……洗浄槽、5……処理室、6……遮蔽
体、7……連通口、12……循環路、13……処
理機構、14……吸着物質、24……加熱部、2
6……冷却部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 被洗浄物を載置する洗浄台を、移動機構に接
続して位置移動自在に形成することにより、洗浄
台に載置した被洗浄物を、洗浄槽の上部をケーシ
ングで被覆して設けた処理室と洗浄槽の間で、連
通口を介して往復移動可能とし、この処理室と洗
浄槽とを、遮蔽体により遮蔽可能とするとともに
ケーシングの外周に、一定間隔を介して被覆体を
設け、この被覆体の内面とケーシングの外面との
間に循環路を形成し、この循環路内に、活性炭に
より構成した溶剤を処理する処理機構を位置した
事を特徴とする洗浄装置。 2 活性炭は、カセツト状に形成し、循環路から
交換可能としたものであることを特徴とする請求
項1記載の洗浄装置。 3 処理機構は、加熱部と冷却部を設け、活性炭
に吸着した溶剤を加熱分離するとともに冷却部で
冷却凝縮し、溶剤を回収し得るようにしたことを
特徴とする請求項1または2記載の洗浄装置。 4 遮蔽体は、処理室と洗浄槽を連通する連通口
よりも大きな直径に洗浄台を形成し、この洗浄台
を、洗浄台の移動に伴う被洗浄物の処理室収納時
に、処理室と洗浄槽の連通口外周に押圧係合し
て、連通口を密閉することにより、処理室と洗浄
槽とを遮蔽するものであることを特徴とする請求
項1記載の洗浄装置。 5 遮蔽体は、外部操作により処理室と洗浄槽と
の連通口を開放または遮蔽するものであることを
特徴とする請求項1記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16630489A JPH0330881A (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16630489A JPH0330881A (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | 洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0330881A JPH0330881A (ja) | 1991-02-08 |
| JPH0549355B2 true JPH0549355B2 (ja) | 1993-07-26 |
Family
ID=15828860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16630489A Granted JPH0330881A (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0330881A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10321580A (ja) * | 1997-05-15 | 1998-12-04 | Tokyo Electron Ltd | 基板の洗浄ユニット及び洗浄システム |
| JP2017170425A (ja) * | 2016-03-18 | 2017-09-28 | 株式会社クリンビー | ワーク洗浄方法およびワーク洗浄装置 |
-
1989
- 1989-06-28 JP JP16630489A patent/JPH0330881A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0330881A (ja) | 1991-02-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |