JPH0330881A - 洗浄装置 - Google Patents

洗浄装置

Info

Publication number
JPH0330881A
JPH0330881A JP16630489A JP16630489A JPH0330881A JP H0330881 A JPH0330881 A JP H0330881A JP 16630489 A JP16630489 A JP 16630489A JP 16630489 A JP16630489 A JP 16630489A JP H0330881 A JPH0330881 A JP H0330881A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaning
processing chamber
solvent
processing
cleaned
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP16630489A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0549355B2 (ja
Inventor
Masahide Uchino
正英 内野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JAPAN FUIRUDO KK
Japan Field Co Ltd
Original Assignee
JAPAN FUIRUDO KK
Japan Field Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JAPAN FUIRUDO KK, Japan Field Co Ltd filed Critical JAPAN FUIRUDO KK
Priority to JP16630489A priority Critical patent/JPH0330881A/ja
Publication of JPH0330881A publication Critical patent/JPH0330881A/ja
Publication of JPH0549355B2 publication Critical patent/JPH0549355B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は洗浄装置に係るものであって、機械部品、電子
部品、医療用具その他種々の被洗浄物を液洗浄または蒸
気洗浄した後、被洗浄物に付着した溶剤を外部に拡散す
る事なく、確実に処理する事を目的とするとともに被洗
浄物に付着した湿気や、被洗浄物を洗浄装置に収納する
ときに流入する外気の湿気を洗浄作業前に除去すること
を目的としたものである。
従来の技術 従来被洗浄物を載置する洗浄台を、移動機構に接続して
位置移動自在に形成したものには、実公昭59−287
14号公報記載の考案が存在するが、洗浄作業の完了し
た被洗浄物は、洗浄槽から外部に持ち出された後に、被
洗浄物に付着した溶剤を、別個に設けた処理装置で乾燥
処理することが行われている。そのため、乾燥処理に多
くの手数を要するばかりでなく、処理装置に移動すると
きに外気と接触し、溶剤がトリクロルエチレン、トリク
ロロトリフルオロエタン等の大気中への拡散が好ましく
ないものである場斤には、健康被害、大気汚染等を生じ
るものとなる。また上記の処理装置も、活性炭等の吸着
物質、冷却凝縮機構等を備えたものが存在するが、上述
のごとき有害物質を吸着除去するのに、有害物質を含ん
だ気体を処理装置に一回だけ通過させ、後は大気中に放
出してしまうものであるため、確実な有害物質除去は困
難なものであった。また従来の処理装置は、洗浄槽と別
個に形成しているため、大型で複雑な機構と成り、溶剤
の回収コストを高価なものとしていた。
また従来は、洗浄作業前の被洗浄物に付着した湿気や、
被洗浄物を洗浄装置に収納するときに流入する外気の湿
気を、A浄作業に入る前に除去する有効な手段が無いた
め、水分が溶剤中に混入し、洗浄効率を悪くしたり、水
分分子a器によって溶剤中の水分を除去する作業を必要
としている。
発明が解決しようとする問題点 本発明は上述のごとき問題点を解決しようとするもので
あって、機械部品、電子部品、医療用具その他種々の被
洗浄物を液洗浄または蒸気洗浄した後の、被洗浄物にf
1着した溶剤の処理を、洗浄装置内で手数を要する事な
く、また外部に有害な物質を拡散しないようにするとと
もに洗浄作業前に被洗浄物に付着した湿気や、被洗浄物
を洗浄装置に収納するときに流入する外気の湿気を、洗
浄作業に入る前に、簡略な機構で廉価に処理しようとす
るものである。
問題点を解決するための手段 本発明は上述のごとき問題点を解決するため、被洗浄物
を載置する洗浄台を、移動i横に接続して位I?f移動
自在に形成することにより、洗浄台にa置した被洗浄物
を、洗浄槽に接続して設けた9μ埋室と洗浄槽の間で往
復移動可能とし、この処理室と洗浄槽とを、遮蔽体によ
り遮蔽可能とするとともに処理室の外周に、気体が循環
流通し得る循環路を形成し、この循環路内に溶剤を処理
する処理機構を位置して成るものである。
また本発明は、被洗浄物をi置する洗浄台を、移動機構
に接続して位置移動自在に形成することにより、洗浄台
に載置した被洗浄物を、洗浄槽に接続して設けた処理室
と洗浄槽の間で往復移動可能とし、この処理室と洗浄槽
とを、遮蔽体により遮蔽可能とするとともに処理室の外
周に、気体がWi環液流通得る循環路を形成し、この循
環路内に湿気を処理する処理機構を位置して成るもので
ある。
処理機構は、溶剤を吸着し得る吸着物質を備えたもので
あっても良い。
処理機構は、湿気を吸着し得る吸着物質を備えたもので
あっても良い。
吸着物質は、カセット状に形成し交換可能としたもので
あっても良い。
処理機構は、加熱部と冷却部を設け、吸着物質に吸着し
た溶剤を加熱分離するとともに冷却部で冷却凝縮し、溶
剤を回収し得るようにしたものであっても良い。
処理機構は、溶剤を凝縮し得る冷却手段を備えたもので
あっても良い。
処理機構は、湿気を凝縮し得る冷却手段を備えたもので
あっても良い。
遮蔽体は、処理室と洗浄槽を連通する連通口よりも大き
な直径に洗浄台を形成し、この洗浄台を、洗浄台の移動
に伴う被洗浄物の処理室収納時に、処理室と洗浄槽の連
通口外周に押圧係合して、連通口を密閉することにより
、処理室と洗浄槽とを遮蔽するものであっても良い。
遮蔽体は、外部操作により処理室と洗浄槽との連通口を
開放または遮蔽するものであっても良い。
作  用 本発明は上述のごとく構成したものであるから、機械部
品、電子部品、医療用具その他種々の被洗浄物を液洗浄
または蒸気洗浄するには、移動機構を作動して、被洗浄
物を載置した洗浄台を洗浄槽中に挿入し、液洗浄、蒸気
洗浄等を行う。この’t/を洗浄、蒸気洗浄の完了後は
再び移動機構を作動して、洗浄台に載置した被洗浄物を
、洗浄槽に接続して設(1な処理室に収納4−る。この
収納陳、または収納と同時に、処理室と洗浄槽と5:遮
蔽体により遮蔽し、被洗浄物に付着した溶剤を除去する
だめの処理機構を作動する。この処理機構は、気体が循
環流通し得る循環路内に設けたものであるから、処理室
内の気体は反復して連続的に処理機構で処理する事が可
能となり、被洗浄物にf・1着した有機溶剤等を確実に
除去するまで、溶剤の除去作業を繰り返し行うことが出
来る。この処理後に、被洗浄物を処理室から収り出せば
、有害な気体を大気中に拡散したり、作業者が吸引する
ことも無く、安全な洗浄作業を可能とする。
また溶剤の付着した被洗浄物は、洗浄装置から外部に出
る事なく洗浄槽から処理室に収納され、1・1着溶剤の
処理を行うものであるから、従来のごとく、処理機構へ
の被洗浄物の移送手数を要しないばかりでなく、溶剤を
拡散したりすることも無い。また循環路は、処理室の外
周に設けるとともに内部に処理#!4楕を位置したもの
であるから、機構を簡略化し1■価な溶剤処理を可能と
するものである。
また上記の被洗浄物の液洗浄または蒸気洗浄に先立って
、被洗浄物が湿気を帯びている場合とか。
外部から処理室に被洗浄物を収納するときに外気が流入
し、処理室内に湿気が流入する場合には、湿気を処理す
る処理機構機構を作動し、シリカゲル等の湿気吸着物質
に湿気を吸着させれば、湿気を除去した被洗浄物の洗浄
作業が可能となり、水分が溶剤中に混入して洗浄効率を
悪くしたりすることが無く、また従来必ず必要とされて
宋だ、水分分離器による溶剤中の水分除去作業を不要と
し、水分分離器を備える必要が無く、廉価で効率の高い
洗浄作業を可能とする。
実施例 以下本発明の一実施例を図面に於いて説明すれば、(1
)は洗浄台で、被洗浄物(2)を上面に載置するととも
にエアシリンダー、オイルシリンダーチェーン装;り等
の適宜の移動機構(3)に接続1.て上下方向に位置移
動自在に形成している。この洗浄台(1)は、移動機構
(3)を作動さぜることに、Lす、上面に載置した被洗
浄物(2)を、洗浄槽(・1)の上部に接続して設けた
処理室(5)と洗浄槽(4)との間て′、往1¥移動i
丁1屯にするとともに、二の隅■甲室(5)と洗浄槽(
11)とを、遮蔽fk(6)により遮蔽可能としている
この遮蔽は、第1図、第2 [Nに示すごとく、処理室
(5)と洗浄槽(4)を連通ずる連通口(7〉よりも大
きな直径に洗浄台(1)を形成し・、この洗(?台(1
)を、洗浄台(1)の移動に伴う被洗?争物(2)の処
理室(5)への収納時に、2点鎖線で示すごとく、処理
室(5)と洗浄槽(4)の連通口(7)外周に押圧係合
して、連通口(7)を密閉することにより、処理室(5
)と洗浄槽(4)とを遮蔽するもので、遮蔽体(6)と
洗浄台(1〉とを兼用Vるものである。
また、洗浄槽(4)と処理室(5)との連通口(7)は
、特別の固定手段を持たない蓋体(10)を処理室(5
)側に位置することにより、被洗浄物〈2)が洗浄槽(
4)内に位置する時は、常時、連通n(7)を閉止し、
洗浄台(1)の−F昇時に、洗浄台(1)の」二面に突
出した支持棒(11)によって、2点鎖線で示すごとく
蓋体(10)を持ち上げ開放するものである。
まl:、上記のり処理室(5)の外周には気体が1N環
流通しl)る循環路(12)を設け、この循環路(12
)内に、被洗浄物(2)に付着した溶剤を除去するため
の処理機tM(13)を位置している。この処理機構(
13)は、溶剤を吸着し得る活性炭等の吸着物質(14
)を固定的またはカセット状に形成し、交換可能として
いる。
また循環路(12)には、処理室(5)と接続する導入
口(15)に、循環路(12)へ強制的に溶剤ガスを導
入するためのファン(16)を設けるとともに導入口(
15)に対向する位置の処理室(5)には、循環路(1
2)の排出口(17)を開口し、溶剤ガスの強制循環を
可能としている。
上述のごとく構成したものに於いて、機械部品、電子部
品、医療用具その他の種々の被洗浄物(2)な、液洗浄
または蒸気洗浄するには、移動a横(3)を作動して、
被洗浄物(2)を載置した洗浄台(1)を洗浄槽〈4)
中に下降挿入し、液洗浄または蒸気洗浄若しくはその双
方の洗浄を行う。この液洗浄、蒸気洗浄の完了後は、移
動機構(3)を洗浄台(1)の上昇方向に作動して、洗
浄台(1)に載置した被洗浄物(2)を、洗浄槽(4)
の上部に設けな処理室(へ ) I゛IIマ 拍 1 
    in’、 iT’  I曹(1) !y  1
J11. l甲 室 (”;  ’J  !<IMj 
、0ンする。
この遮蔽は、洗浄台(1)を連通口(7)よりも大きな
直径に形成しているから、この洗浄台(1)が被洗浄物
(2)を処理室(5)に収納すれば、第1図、第2図の
2点鎖線に示すごとく、連通口(7)の下面外周に洗浄
台(1)の上面が押圧され、連通し+(7)を密閉する
ことができ、処理室(5)と洗浄槽(4)とを遮蔽ずろ
ものとなる。
この遮蔽を行った隣、フ7・ン(16)を作動fhば、
処理室(5)内の空気は、溶剤ガスとともに強制的に循
環路(12)に流入し、吸打物ff(14)によって溶
剤ガスを吸着除去することができる。そしてこの吸着除
去は、気体が循環流通し得る循環路(12)から排出口
(17)、処理室(5)を介して導入[IN、5>に導
入されるもので、P)るから、処理室(5)内の気体は
溶剤カスが完全に除去されるまで、反復して連続的に処
理機構(13)で処理する事が可能となり、被洗浄物(
2)に付着した有機溶剤笠を確実に除去することか出来
る。この処理降に、被洗/TI’IN □、)を−押室
(へ)かr’、 11’(り出11ば有害な気体を大気
中に拡散したり、作業者が吸弓することも無く、安全な
洗浄作業を可能とする。
また処理機構(13)を構成する吸着物質(14)を、
カセット状にすれば吸着物ff(14)の交換を簡易に
行うことができ、常に優れた溶剤ガスの吸着効率を得る
ことができる。
また溶剤の付着した被洗浄物(2)は、洗浄装置から外
部に出る事なく処理室(5)に収納され、(=f着した
溶剤の除去処理を行うものであるから、従来のごとく処
理機構(13)への被洗浄物(2)の移送手数を要しな
いばかりでなく、溶剤を拡散したりすることも無いもの
である。
また上記実施例に於いては、遮蔽体(6)を洗浄台(1
)と兼用したが、他の異なる実施例では、第3図、第4
FAに示すごとく、一対の下板状の遮蔽体(6)を、洗
浄台(1)の下面両側に支持軸(18)で開開自在に軸
支するとともにこの支持軸(18)の外方に係り部(2
0)を突出し、このf系&部(20)を、洗浄台(1)
の移動に伴う被洗浄物(2)の処理室(5)への収納時
に処理室(5)と洗浄槽(6)の連通口〈7)外周に係
合して、支持軸(18)を支点に回動し、遮蔽体(6)
を密閉することにより、処理室(5)と洗浄槽(4)と
を遮蔽するものである。
この遮蔽は、洗浄台〈1)の上昇に伴い、遮蔽体(6)
の側面に突出した係り部(20)を、連通口(7)の洗
浄槽(4)fIllの外周に突出した係り枠(21)に
係合して、支持軸(18)を支点にして、遮蔽体(6)
を同動密閉することにより、処理室(5)と洗浄槽(4
)とを遮蔽するものである。
また遮蔽体(6)による遮蔽方法は、必ずしも上記方法
による必要はなく、任意の方法を選択することが可能で
あり、遮蔽体(6)は、外部操乍により処理室(5)と
洗浄槽(4)との連通口(7)を、シャッター等の任意
の方法で開放または遮蔽するものであっても良いし、被
洗浄物(2)の処理室(5)への収納を、適宜のセンサ
ーで感知し、シャッター等の遮蔽体(6)で処理室(5
)と洗浄槽(4)とを遮蔽するもので有っても良い。
また、上記実施例では洗浄槽(4)の上部に処理室(5
〉を設けたが、他の異なる実施例では洗浄槽(4)と処
理室(5)とを平行に設けても良く、移動機y!(3)
も洗浄台(1)を平面的に移動させるように構成しても
良く、洗浄目的に応じて、任意の設計が可能である。
また前記実施例では処理機構(13)を、吸着物質(1
4)に溶剤ガスを吸着させ、カセット状等に形成して適
宜交換し得るように構成したが、他の異なる実施例では
吸着物質(14)を交換しなくとも良いように、処理機
構(13)を構成している。
即ち、第2図に示すごとく、吸着物質(14)を適宜間
隔で充填した循環路(12)内に、ボイラー等の加熱手
段(22)に配管(23)を接続した加熱部(24)を
、吸着物質(14)の充填間隔に各々位置し、この加熱
部(24)で吸着物質(14)に吸着された溶剤を加熱
して、ガス化するとともに循環路(12)末端の排出口
(17〉近くに、冷却水タンク(25)と配管〈23)
で接続した冷却部(26)を設け、吸着物質(14)に
吸着した溶剤を加熱分離するとともに冷却部(26〉で
冷却凝縮し、回収容器く27)に回収し得るようにして
いる。この加熱による溶剤の回収は、洗浄作業の完了後
に一定の時間をかけて行うのが望ましい。
また処理機構(13)は、吸着物質(14)を必ずしも
用いる必要は無く、溶剤を凝縮し得る冷却手段を、循環
路(12)中に備えたものであっても良い。
また処理機構(13)は、大気中に放出しても無害な水
等の溶剤を熱風にて加熱除去する、加熱手段を備えたも
のであっても良し、被洗浄物に(−1着した灯油等の粘
度の高い溶剤を、エアブロ−により吹き飛ばし、これを
液化回収するエリミネータ−を備えたものであっても良
い。
また上記発明に於いては、被洗浄物に付着した溶剤の除
去および回収について説明したが、第2の発明に置いて
は、溶剤を処理する処理機構に代えて、湿気を処理する
処理機構を設けることにより、洗浄作業前に被洗浄物に
付着した湿気や、被洗浄物を洗浄装置に収納するときに
流入する外気の湿気を、洗浄作業に入る前に、簡略なF
1%椹で廉価に処理し、水分が溶剤中に混入して洗浄効
率を悪くしたりすることが無く、また従来必ず必要とさ
れて来た、水分分離器による溶剤中の水分除去作業を不
要とし、水分分離器を備える必要が無く廉価で効率の高
い洗浄作業を可能とすることができる。またこの第2の
発明に於いても、第1の発明とは、処理する対象物が溶
剤と湿気の差が有るのみで、溶剤吸着物質と湿気吸着物
質の点で異なるが、他の作用、構成:まいては全く同一
で有り、実施例についても同様である。
発明の効果 本発明は、上述のごとく構成したものであるから、機械
部品、電子部品、医療用具そ力池種々の被洗浄物を液洗
浄または蒸気洗浄した後の、被洗浄物に付着した溶剤を
、手数を要する事なく被洗浄物を洗浄装置内に位置した
まま、確天な除去処理が可能であるとともにこの除去処
理を、外部に有機溶剤等の有害な物質を拡散することな
く行うことができる。また循環路は、処理室の外周に設
けるとともに内部に処理機構を位置したものであるから
、機構を簡略化し廉価な溶剤処理を可能とする。
また、第2の発明に置いては、溶剤を処理する処理機構
に代えて、湿気を処理する処理機構を設けることにより
、洗浄作業前に被洗浄物に付着した湿気や、被洗浄物を
洗浄装置に収納するときに流入する外気の湿気と、洗浄
作業に入る前に、簡晴な機構で廉価に処理し、水分が溶
剤中に混入して洗浄効率を悪くしたりすることが無く、
また従来必ず必要とされて来た、水分分屋器による溶剤
中の水分除去作業を不要とし、水分分離器を備える必要
が無く、廉価で効率の高い洗浄作業を可能とすることが
できるものである。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図は断面図
、第2図は吸着物質に吸着した溶剤の回収機構を設けた
異なる実施例の断面図、第3図は遮蔽体の異なる実施例
を示すもので被洗浄物の洗浄状態を示す断面図、第4図
は第3図の実施例に於ける溶剤除去状態の断面図である
。 (1)・・洗浄台 (2)・・ (3)・・移動機1iI(4)・ (5)・・処理室 (6)・ (7)・・連通口 (12)・ (13)・・処理機構 (14)・・ 被洗浄物 ・洗浄槽 ・遮蔽体 ・循環路 吸着物質 (24)・ 第 図 加熱部 (26)・ 冷却部

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被洗浄物を載置する洗浄台を、移動機構に接続し
    て位置移動自在に形成することにより、洗浄台に載置し
    た被洗浄物を、洗浄槽に接続して設けた処理室と洗浄槽
    の問で往復移動可能とし、この処理室と洗浄槽とを、遮
    蔽体により遮蔽可能とするとともに処理室の外周に、気
    体が循環流通し得る循環路を形成し、この循環路内に溶
    剤を処理する処理機構を位置した事を特徴とする洗浄装
    置。
  2. (2)被洗浄物を載置する洗浄台を、移動機構に接続し
    て位置移動自在に形成することにより、洗浄台に載置し
    た被洗浄物を、洗浄槽に接続して設けた処理室と洗浄槽
    の間で往復移動可能とし、この処理室と洗浄槽とを、遮
    蔽体により遮蔽可能とするとともに処理室の外周に、気
    体が循環流通し得る循環路を形成し、この循環路内に湿
    気を処理する処理機構を位置した事を特徴とする洗浄装
    置。
  3. (3)処理機構は、溶剤を吸着し得る吸着物質を備えた
    ものであることを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。
  4. (4)処理機構は、湿気を吸着し得る吸着物質を備えた
    ものであることを特徴とする請求項2記載の洗浄装置。
  5. (5)吸着物質は、カセット状に形成し交換可能とした
    ものであることを特徴とする請求項3または4記載の洗
    浄装置。
  6. (6)処理機構は、加熱部と冷却部を設け、吸着物質に
    吸着した溶剤を加熱分離するとともに冷却部で冷却凝縮
    し、溶剤を回収し得るようにしたことを特徴とする請求
    項4または5記載の洗浄装置。
  7. (7)処理機構は、溶剤を凝縮し得る冷却手段を備えた
    ものであることを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。
  8. (8)処理機構は、湿気を凝縮し得る冷却手段を備えた
    ものであることを特徴とする請求項2記載の洗浄装置。
  9. (9)遮蔽体は、処理室と洗浄槽を連通する連通口より
    も大きな直径に洗浄台を形成し、この洗浄台を、洗浄台
    の移動に伴う被洗浄物の処理室収納時に、処理室と洗浄
    槽の連通口外周に押圧係合して、連通口を密閉すること
    により、処理室と洗浄槽とを遮蔽するものであることを
    特徴とする請求項1または2記載の洗浄装置。
  10. (10)遮蔽体は、外部操作により処理室と洗浄槽との
    連通口を開放または遮蔽するものであることを特徴とす
    る請求項1または2記載の洗浄装置。
JP16630489A 1989-06-28 1989-06-28 洗浄装置 Granted JPH0330881A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16630489A JPH0330881A (ja) 1989-06-28 1989-06-28 洗浄装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16630489A JPH0330881A (ja) 1989-06-28 1989-06-28 洗浄装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0330881A true JPH0330881A (ja) 1991-02-08
JPH0549355B2 JPH0549355B2 (ja) 1993-07-26

Family

ID=15828860

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16630489A Granted JPH0330881A (ja) 1989-06-28 1989-06-28 洗浄装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0330881A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10321580A (ja) * 1997-05-15 1998-12-04 Tokyo Electron Ltd 基板の洗浄ユニット及び洗浄システム
JP2017170425A (ja) * 2016-03-18 2017-09-28 株式会社クリンビー ワーク洗浄方法およびワーク洗浄装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10321580A (ja) * 1997-05-15 1998-12-04 Tokyo Electron Ltd 基板の洗浄ユニット及び洗浄システム
JP2017170425A (ja) * 2016-03-18 2017-09-28 株式会社クリンビー ワーク洗浄方法およびワーク洗浄装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0549355B2 (ja) 1993-07-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3348948B2 (ja) 土壌中有機溶剤の除去装置
US4282015A (en) Method of and apparatus for regenerating an adsorption agent
JPH0330881A (ja) 洗浄装置
KR900702080A (ko) 공해용매, 특히 할로겐 탄화수소로써 대상물을 세척하는 방법 및 장치
US4917807A (en) Method for recovering solvent
US4770197A (en) Apparatus for recovering solvent
JP2000237703A (ja) 真空洗浄乾燥方法及び装置
JPH0372984A (ja) 洗浄機構の溶剤回収装置
JP2018013278A (ja) 封じ込め装置
US5311891A (en) Solvent recovering system for a cleaning machine
JP2894548B2 (ja) 小物品乾燥機
JPH057270B2 (ja)
JPS593523B2 (ja) パイプの油焼きもどし装置
JPS61152020A (ja) 処理装置
JPH0551357B2 (ja)
JPH0415343Y2 (ja)
JPH03176A (ja) 洗浄装置に設置する乾燥装置
JPH0542316B2 (ja)
JPS6330536Y2 (ja)
JP3807886B2 (ja) Pcb汚染機器の浄化方法
JPS6218037A (ja) パススル−ル−ム
JPH0710716Y2 (ja) ドライクリーニング装置の溶剤回収装置
JPS6320081A (ja) 移動式蒸気洗浄装置
JPH07211687A (ja) 蒸気洗浄方法とその装置
JP2004160350A (ja) Pcb汚染物の除染装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees