JPH0551434U - 枠付平板状半透膜モジュール - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】多孔スペーサーに通過抵抗を少なくするための
特殊な加工とか、粗目の余分な部材を使用することな
く、透過流体の通過抵抗を少なくすることが可能とな
り、且つ構造を単純にすることが出来て、従来よりも安
価で故障の少ない外圧式平板状半透膜モジュールを提供
する。 【構成】 気体混合物又は液体混合物中に設置し、気体
混合物又は液体混合物中の特定物質を選択的に分離する
半透膜モジュールであって、平板状多孔性支持体の両表
面又は片表面に平板状半透膜３−１，３−２を設置し、
その周辺部を枠１−１，１−２で気密に封止し、該周辺
部の枠に膜を透過した流体を取出すためのサクションノ
ズル４を設けてなる外圧式平板型半透膜モジュールにお
いて、該周辺部の枠内に該平板状多孔性支持体と連通す
る空間を設けることを特徴とする枠付平板状半透膜モジ
ュール。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、浸透気化（パーベーパレーション）法又は蒸気透過（ベーパパーミ エイション）法によって、液体混合物又は気体混合物中の特定物質を選択的に分 離するために利用される枠付平板状半透膜モジュールに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

外圧式平板型半透膜モジュールには、膜を透過した液体を取出すためのサクシ ョンノズルを半透膜周辺部の枠に設ける方式と、半透膜部分に設ける方式とがあ る。 従来の支持体の周辺部の枠にサクションノズルを設ける場合においては、透過 流体を多孔プレート、網目状物或はコルゲート等の平板状支持体（以下、多孔ス ペーサーと略す）を通して枠内のサクションノズル部に集めるので、多孔スペー サーでの通過抵抗を減少させるために種々の工夫が成されている。

【０００３】 例えば、図５及び図６に見られる如く、多孔スペーサーの一部である２１−１ と２１−２に多数の孔を開けると同時に、該スペーサー２１−１と２１−２の相 対する面に凸形２９部を設けて、相対する先端を接触させることにより、外圧に よる凹みを防ぐ対策を施し、さらに該スペーサーと半透膜２４−１と２４−２（ 以下、説明図において２４−１と２４−２は同じものなので "２４" とする。他 も同様である。）の間に２１の孔２８から離れた位置から透過流体を該孔まで導 くための網目構造のスペーサー２３を設けるなどの工夫がなされている。図５及 び図６において、２１は平板状の多孔スペーサー、２２は裏パッキン、２３はプ ラスチック又は金属の網目構造の多孔スペーサー、２４は半透膜、２５は表パッ キン、２６は押え枠、２７はサクションノズルを夫々示し、又２８は多孔プレー トの孔を、２９は多孔プレート２１−１と２１−２との相対する面を接触させる ことにより、真空による多孔スペーサーの撓みを防ぐための凸形を示す。

【０００４】 また、図７及び図８に見られる如く、使用する多孔スペーサー３２に透過流体 の通過抵抗の少ない粗い目のものを使用し、さらに半透膜３４と該スペーサーの 間に細かい目の布、例えばプラスチックの網構造のスペーサー３３を挟むことに より半透膜３４の外圧による凹みと損傷を防ぐ等の工夫がなされている。図７及 び図８において、３１はプラスチック又は金属より成る枠を、３２は粗めのプラ スチック又は金属の網目構造物或は焼結金属より成る多孔スペーサーを、３４は 半透膜を、３５は透過流体のサクションノズルを夫々示す。

【０００５】 一方、多孔スペーサーの中心付近からサクションノズルを取出す方式の例とし て図９及び図１０がある。該方式の長所は、多孔スペーサー内の透過流体の通路 が短かく、従って通過抵抗が少ないところにある。構造としてはコアー４４と４ ５を設けて、該コアーを介して透過流体を排出するが、多孔スペーサーにプラス チックの網等を使用した場合、このコアーを安定させるために、その部分に剛体 の構造物の補強材４６を組込む必要がある。図９及び図１０において、４１はプ ラスチック又は金属より成る枠を、４２はプラスチック又は金属の網目構造物或 は焼結金属より成る多孔スペーサーを、４３は半透膜を、４４と４５はプラスチ ック又は金属より成るコアーを、４６は該コアーを取付けるための補強部材を、 ４７は透過流体のサクションノズルを夫々示す。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

サクションノズルを周辺部の枠に設ける方式の外圧式平板型半透膜モジュール の場合は、透過流体を半透膜の中心付近より取出す方式に比べ、透過流体が多孔 スペーサー内を通る距離が長くなる。その為、多孔スペーサーの通過抵抗を減少 させるための工夫が必要となって、厚くて複雑な構造の物となる。 一方、多孔スペーサーの中心付近にサクションノズルを設ける方式の外圧式平 板型半透膜モジュールの場合も、周辺部を液密に封止する他に平膜に孔を開けて サクションノズルを取付けるために、又保持と漏洩封止のためにも構造の改良が 必要となり、その結果複雑な構造になると言った欠点を有している。 このように通過抵抗の減少を図るために多孔スペーサーに複雑な加工を施すか 、或は使用部品点数を多く使用することは、製作費・原材料の比例費の増加をも たらすだけでなく、製造工程の歩留まりを悪くする原因となる。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本考案は上記の構造が複雑のために製作費が高くなり、且つ故障が多い従来の 半透膜モジュールの問題点を解決する為には、透過流体が多孔スペーサー内を最 も抵抗の少ない流れ方で通過してサクションノズルに到達する事が必要であると 考えて、透過流体を多孔スペーサーの全周辺から取出す事ができれば、透過抵抗 は最小になる事に着目した。そこで、周辺枠内部に多孔スペーサーと連通し、同 時に枠内を好ましくは全周辺、少なくとも部分的に周辺を連通し、サクションノ ズルと連通する流路を設ける事によって、最も抵抗が少ない方法で透過流体を枠 に設けたサクションノズルに導くことが出来ると考えて、本考案を完成するに至 ったものである。 即ち本考案は、気体混合物又は液体混合物中に設置し、気体混合物又は液体混 合物中の特定物質を選択的に分離する半透膜モジュールであって、平板状多孔性 支持体の両表面又は片表面に平板状半透膜を設置し、その周辺部を枠で気密に封 止し、該周辺部の枠に膜を透過した流体を取出すためのサクションノズルを設け て成る外圧式平板型半透膜モジュールにおいて、該周辺部の枠内に該平板状多孔 性支持体と連通する空間を設けることを特徴とする枠付平板状半透膜モジュール に係るものである。

【０００８】 具体的には、外圧式平板型半透膜モジュールにおいて、周辺部の枠内に多孔ス ペーサーが四角の場合は１〜４箇所の辺に、円盤の場合は全周又は任意の角度の 周囲に空間を設けることにより、半透膜を通過した透過流体を少ない通過抵抗で サクションノズルに導く方法である。この場合、半透膜を通過した透過流体が中 心より周囲に流れるために断面積が次第に広くなり、平板の中心に透過流体のサ クションノズルを設ける場合より理論上通過抵抗が少ないと言う利点を備えてい る。

【０００９】 本考案の枠付平板状半透膜モジュールは、有機溶剤の蒸気又は液体に含まれる 水分を蒸気透過法又は浸透気化法によって除去するための有機溶剤再生システム を設けた有機溶剤蒸発槽において、前記有機溶剤再生システムの一部として該有 機溶剤蒸発槽内に設置されて用いられるに適している。この場合半透膜モジュー ルを有する有機溶剤蒸発槽が、電子回路製品の製造工程における水洗工程後に用 いられ、該電子回路製品に付着した水を有機溶剤の蒸気により置換乾燥する洗浄 乾燥装置である場合非常に有用である。この様な有機溶媒再生装置については本 出願人等の出願に係る特願平２−297922及び特願平２−297933にも記載されてい る。

【００１０】 図１、図２、図３及び図４は本考案の具体例を示したものである。これらの図 においてＡの部分が本考案の外枠に仕組んだ空間部である。尚、図２と図４では Ｂ、Ｂ’部は接着構造であるが、膜との封止部分であるＢにパッキンを介在させ て枠をＢ’部で接着しても良く、機械的に組付けても良い。

【００１１】

【実施例】

以下、本考案を実施例により説明するが、本考案はこれらの実施例に制限され るものではない。 尚、以下の図を説明するに当って、全ての図における−１と−２は両側に半透 膜を装着する構造の場合の同じ部材の上面と下面を示すもので、以降の説明では 省略する。又、半透膜はこれらの図では両面に使用しているが、片面のみでも良 い。実施例１ 四角形の外圧式平板状半透膜モジュールにおいて、垂直方向にサクションノズ ル４を取付け、枠の３辺に空間Ａを設けた。その場合の平面図を図１に、側断面 図を図２に示す。図１及び図２において、１はプラスチック又は金属より成る枠 を、２はプラスチック又は金属の網目構造物、コルゲート構造物或は焼結体から 成る多孔スペーサーを、３は半透膜を、４は透過流体のサクションノズルを夫々 示す。

【００１２】実施例２ 円型の外圧式平板状半透膜モジュールにおいて、直角にサクションノズル１４ を取付け、円の全周に空間Ａを設けた。その場合の平面図を図３に、側断面図を 図４に示す。図３及び図４において、１１はプラスチック又は金属より成る枠を 、１２はプラスチック又は金属の網目構造物、コルゲート構造物或は焼結体から 成る多孔スペーサーを、１３は半透膜を、１４は透過流体のサクションノズルを 夫々示す。

【００１３】

【考案の効果】

本考案により、多孔スペーサーに通過抵抗を少なくするための特殊な加工とか 、粗目の余分な部材を使用することなく、透過流体の通過抵抗を少なくすること が可能となり、且つ構造を単純にすることが出来て、従来よりも安価で故障の少 ない外圧式平板状半透膜モジュールを提供することが可能となる。 本考案は、ＩＣ等の半導体や液晶表示板等の電子回路製品の製造工程における ウェハーや表示基板等の水によるすすぎ洗浄後に用いられる、有機溶媒による洗 浄乾燥装置において、浸透気化法又は蒸気透過法によって、有機溶媒に混入する 水分を除去して、該有機溶媒を再利用するために利用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す平面図である。

【図２】図１の側断面図である。

【図３】本考案の他の実施例を示す平面図である。

【図４】図３の側断面図である。

【図５】従来の半透膜モジュールを示す各平面図の合成
図である。

【図６】従来の半透膜モジュールの側断面図である。

【図７】従来の別の半透膜モジュールを示す平面図であ
る。

【図８】図７の側断面図である。

【図９】従来のもう一つ別の半透膜モジュールを示す平
面図である。

【図１０】図９の側断面図である。

【符号の説明】

１−１・・・枠 １−２・・・枠 ２ ・・・網目構造物 ３−１・・・半透膜 ３−２・・・半透膜 ４ ・・・サクションノズル １１−１・・枠 １１−２・・枠 １２ ・・・網目構造物 １３ ・・・半透膜 １４ ・・・サクションノズル

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 気体混合物又は液体混合物中に設置し、
   気体混合物又は液体混合物中の特定物質を選択的に分離
   する半透膜モジュールであって、平板状多孔性支持体の
   両表面又は片表面に平板状半透膜を設置し、その周辺部
   を枠で気密に封止し、該周辺部の枠に膜を透過した流体
   を取出すためのサクションノズルを設けて成る外圧式平
   板型半透膜モジュールにおいて、該周辺部の枠内に該平
   板状多孔性支持体と連通する空間を設けることを特徴と
   する枠付平板状半透膜モジュール。
2. 【請求項２】 有機溶剤の蒸気又は液体に含まれる水分
   を蒸気透過法又は浸透気化法によって除去するための有
   機溶剤再生システムを設けた有機溶剤蒸発槽において、
   前記有機溶剤再生システムの一部として該有機溶剤蒸発
   槽内に設置されて用いられることを特徴とする請求項１
   記載の枠付平板状半透膜モジュール。
3. 【請求項３】 有機溶剤蒸発槽が、電子回路製品の製造
   工程における水洗工程後に用いられ、該電子回路製品に
   付着した水を有機溶剤の蒸気により置換乾燥する洗浄乾
   燥装置であることを特徴とする請求項２記載の枠付平板
   状半透膜モジュール。