JPH0552583A - 磁気エンコーダ - Google Patents
磁気エンコーダInfo
- Publication number
- JPH0552583A JPH0552583A JP21682691A JP21682691A JPH0552583A JP H0552583 A JPH0552583 A JP H0552583A JP 21682691 A JP21682691 A JP 21682691A JP 21682691 A JP21682691 A JP 21682691A JP H0552583 A JPH0552583 A JP H0552583A
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- JP
- Japan
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- phase
- phase difference
- signal
- amplitude ratio
- circuit
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- Pending
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電気的てい倍法の１つである位相差検出方式
を用いた磁気エンコーダの測定精度を向上させる。 【構成】 磁気抵抗効果素子１（１ａ，１ｂ）と位相差
検出回路１０との間に、磁気抵抗効果素子から得られる
２相信号を、両者の位相差を保持しつつ振幅が等しい２
信号に変換する振幅比調整回路２０を挿入した。
を用いた磁気エンコーダの測定精度を向上させる。 【構成】 磁気抵抗効果素子１（１ａ，１ｂ）と位相差
検出回路１０との間に、磁気抵抗効果素子から得られる
２相信号を、両者の位相差を保持しつつ振幅が等しい２
信号に変換する振幅比調整回路２０を挿入した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ロボットやマニピュ
レータ等を駆動・制御するアクチュエータの速度および
位置を検出する場合などに用いられる磁気エンコーダに
関する。
レータ等を駆動・制御するアクチュエータの速度および
位置を検出する場合などに用いられる磁気エンコーダに
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ロボットやマニピュレータに
組み込まれ回転または直線運動を行うアクチュエータの
位置および速度を瞬時にかつ正確に測定する手段とし
て、角度検出計たる磁気エンコーダが用いられている。
図７に、その構成例を示す。
組み込まれ回転または直線運動を行うアクチュエータの
位置および速度を瞬時にかつ正確に測定する手段とし
て、角度検出計たる磁気エンコーダが用いられている。
図７に、その構成例を示す。
【０００３】ドラム１１の外周上に強磁性体からなる磁
気記録媒体１２を形成し、その全周にわたってピッチＰ
で多極着磁してある。一方、これらの微小磁石の洩れ磁
界に感応する程度のギャップＧを介して、磁気抵抗効果
素子（以下適宜ＭＲ素子と略記する）１を対向させて配
置してある。ＭＲ素子１には、回転方向に（２ｎ＋１）
Ｐ／４（ｎは整数）離して２組のＭＲ素子（要素）１
ａ，１ｂを配置し、回転方向を知ることができるように
してある。
気記録媒体１２を形成し、その全周にわたってピッチＰ
で多極着磁してある。一方、これらの微小磁石の洩れ磁
界に感応する程度のギャップＧを介して、磁気抵抗効果
素子（以下適宜ＭＲ素子と略記する）１を対向させて配
置してある。ＭＲ素子１には、回転方向に（２ｎ＋１）
Ｐ／４（ｎは整数）離して２組のＭＲ素子（要素）１
ａ，１ｂを配置し、回転方向を知ることができるように
してある。
【０００４】ドラム１１が回転するに伴い、ＭＲ素子１
の抵抗は着磁ピッチＰを周期とする正弦波状の変化を示
し、このＭＲ素子１に直流電源１３より電圧を印加する
ことにより、上記抵抗変化を電圧変化として取り出せ
る。また、２組のＭＲ素子１ａ，１ｂからの微小な２相
信号（それぞれＡ相およびＢ相信号という）を増幅器１
４ａ，１４ｂで増幅し、コンパレータ１５ａ，１５ｂに
よってパルス信号に変換した後、計数回路などを用いて
回転角度（位置）の測定を行う。このようにして、Ａ相
およびＢ相信号の関係から、ドラム１１の回転方向、回
転速度および位置信号出力が得られる。ドラム１１の回
転をアクチュエータの運動に対応させておけば、アクチ
ュエータの位置および速度を知ることができる。
の抵抗は着磁ピッチＰを周期とする正弦波状の変化を示
し、このＭＲ素子１に直流電源１３より電圧を印加する
ことにより、上記抵抗変化を電圧変化として取り出せ
る。また、２組のＭＲ素子１ａ，１ｂからの微小な２相
信号（それぞれＡ相およびＢ相信号という）を増幅器１
４ａ，１４ｂで増幅し、コンパレータ１５ａ，１５ｂに
よってパルス信号に変換した後、計数回路などを用いて
回転角度（位置）の測定を行う。このようにして、Ａ相
およびＢ相信号の関係から、ドラム１１の回転方向、回
転速度および位置信号出力が得られる。ドラム１１の回
転をアクチュエータの運動に対応させておけば、アクチ
ュエータの位置および速度を知ることができる。
【０００５】このような磁気エンコーダにおいて、従来
は着磁ピッチＰを小さくすることによって、位置測定精
度の向上が図られてきたが、磁石の寸法が小さくなれば
洩れ磁界も弱くなり、ＭＲ素子１で検出できなくなって
しまうために着磁ピッチＰの縮小には限界がある。そこ
で近年は、ＭＲ素子１から得られたＡ相およびＢ相信号
を電気的にてい倍することで測定精度を向上させる方法
が主流となっている。
は着磁ピッチＰを小さくすることによって、位置測定精
度の向上が図られてきたが、磁石の寸法が小さくなれば
洩れ磁界も弱くなり、ＭＲ素子１で検出できなくなって
しまうために着磁ピッチＰの縮小には限界がある。そこ
で近年は、ＭＲ素子１から得られたＡ相およびＢ相信号
を電気的にてい倍することで測定精度を向上させる方法
が主流となっている。
【０００６】次に、このような電気的てい倍法の１つで
ある位相差検出方式における信号処理の流れを図８によ
り説明する。磁気記録媒体の移動（回転）に伴い、ＭＲ
素子１より相互に９０°位相のずれた微小なＡ相（sin
θ）およびＢ相（cos θ）信号が出力される。これらの
信号を増幅記２ａ，２ｂで増幅し、その各々の出力とオ
シレータ５より得られる高周波２相正弦波信号（sin ω
ｔおよびcos ωｔ）との積（sin ωｔ・sin θおよびco
s ωｔ・cos θ）を乗算器６ａ，６ｂで求め、さらにそ
の差を減算器７で求める。この差信号（sin （ωｔ−
θ））とオシレータ５からのレファレンス信号（sin ω
ｔ）との位相差はθである。したがってこの位相差の検
出がしやすいように両信号をコンパレータ８ａ，８ｂで
パルスに変換し、デジタル計数回路９において、そのパ
ルスを計数することにより位置信号出力が得られる。
ある位相差検出方式における信号処理の流れを図８によ
り説明する。磁気記録媒体の移動（回転）に伴い、ＭＲ
素子１より相互に９０°位相のずれた微小なＡ相（sin
θ）およびＢ相（cos θ）信号が出力される。これらの
信号を増幅記２ａ，２ｂで増幅し、その各々の出力とオ
シレータ５より得られる高周波２相正弦波信号（sin ω
ｔおよびcos ωｔ）との積（sin ωｔ・sin θおよびco
s ωｔ・cos θ）を乗算器６ａ，６ｂで求め、さらにそ
の差を減算器７で求める。この差信号（sin （ωｔ−
θ））とオシレータ５からのレファレンス信号（sin ω
ｔ）との位相差はθである。したがってこの位相差の検
出がしやすいように両信号をコンパレータ８ａ，８ｂで
パルスに変換し、デジタル計数回路９において、そのパ
ルスを計数することにより位置信号出力が得られる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の電気的てい倍法
の１つである位相差検出方式を用いた磁気エンコーダに
おいては、ドラム１１の１周にわたり、磁気記録媒体１
２とＭＲ素子１との間のギャップＧがわずかながら変動
するためにＡ相信号とＢ相信号との振幅比が変動し、ま
たＭＲ素子１のストライプ方向とドラム１１の回転軸と
のわずかな傾きなどにより両信号の位相差が変動し、こ
れら２つの変動量、とりわけ振幅比の変動によって位置
測定精度が左右される。例えば図９および図１０は、上
述したような従来の磁気エンコーダについて上記ＡＢ相
の振幅比および位相差の変動を測定した一例を示すが、
振幅比および位相差がこのように変動することによっ
て、それぞれ３．０％および０．２％の検出誤差が生じ
た。Ａ相とＢ相の振幅比の変動による検出誤差が、全検
出誤差３．２％の９４％を占めている。
の１つである位相差検出方式を用いた磁気エンコーダに
おいては、ドラム１１の１周にわたり、磁気記録媒体１
２とＭＲ素子１との間のギャップＧがわずかながら変動
するためにＡ相信号とＢ相信号との振幅比が変動し、ま
たＭＲ素子１のストライプ方向とドラム１１の回転軸と
のわずかな傾きなどにより両信号の位相差が変動し、こ
れら２つの変動量、とりわけ振幅比の変動によって位置
測定精度が左右される。例えば図９および図１０は、上
述したような従来の磁気エンコーダについて上記ＡＢ相
の振幅比および位相差の変動を測定した一例を示すが、
振幅比および位相差がこのように変動することによっ
て、それぞれ３．０％および０．２％の検出誤差が生じ
た。Ａ相とＢ相の振幅比の変動による検出誤差が、全検
出誤差３．２％の９４％を占めている。
【０００８】この発明の目的は、従来の位相差検出方式
による磁気エンコーダにおいて位置測定精度向上の大き
な妨げになっていたＡ相とＢ相の振幅比の変動による検
出誤差をなくし、高い測定精度の磁気エンコーダを得る
ことにある。
による磁気エンコーダにおいて位置測定精度向上の大き
な妨げになっていたＡ相とＢ相の振幅比の変動による検
出誤差をなくし、高い測定精度の磁気エンコーダを得る
ことにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、ＭＲ素子と位
相差検出回路との間に、ＭＲ素子から得られるＡ相信号
とＢ相信号とを、両者の位相情報を保持しつつ振幅が等
しい２信号に変換する振幅比調整回路を挿入したもので
ある。
相差検出回路との間に、ＭＲ素子から得られるＡ相信号
とＢ相信号とを、両者の位相情報を保持しつつ振幅が等
しい２信号に変換する振幅比調整回路を挿入したもので
ある。
【００１０】
【作用】振幅比を１にした２信号を用い、位置検出回路
により位相差から位置信号出力を得る。検出誤差の主要
因となっていたＡＢ相の振幅比の変動の影響が除かれる
ため、位置測定精度の向上が可能となる。
により位相差から位置信号出力を得る。検出誤差の主要
因となっていたＡＢ相の振幅比の変動の影響が除かれる
ため、位置測定精度の向上が可能となる。
【００１１】
【実施例】以下、図１〜図６によりこの発明の一実施例
を説明する。図１は本実施例の磁気エンコーダの回路構
成を示す図で、図８と同一符号は同一もしくは相当部分
を示している。ＭＲ素子１、増幅器２ａ，２ｂおよび位
相差検出回路１０の部分は図８と同様であるが、本実施
例では位相差検出回路１０の前段に、振幅比調整回路２
０を備えている。振幅比調整回路２０は、それぞれ演算
増幅器によって構成された減算器３ａおよび加算器３ｂ
ならびに外付固定抵抗４ａ〜４ｈからなり、減算器３ａ
と加算器３ｂとは増幅度を同じにしてある。
を説明する。図１は本実施例の磁気エンコーダの回路構
成を示す図で、図８と同一符号は同一もしくは相当部分
を示している。ＭＲ素子１、増幅器２ａ，２ｂおよび位
相差検出回路１０の部分は図８と同様であるが、本実施
例では位相差検出回路１０の前段に、振幅比調整回路２
０を備えている。振幅比調整回路２０は、それぞれ演算
増幅器によって構成された減算器３ａおよび加算器３ｂ
ならびに外付固定抵抗４ａ〜４ｈからなり、減算器３ａ
と加算器３ｂとは増幅度を同じにしてある。
【００１２】ＭＲ素子１から得られる微小信号ａsin θ
（Ａ相）とｂcos θ（Ｂ相）とを、増幅器２ａ，２ｂで
増幅する。その出力Ａsinθ（Ａ相）とＢcos θ（Ｂ
相）との振幅比は、先に図９に示したように０．９８５
＜Ａ／Ｂ＜１．０１５の間で変動する。これらのＡ相信
号およびＢ相信号をそれぞれ減算器３ａ、加算器３ｂに
入力する。その結果、各出力（これをＡ′相およびＢ′
相とする）はそれぞれ次のようになる。
（Ａ相）とｂcos θ（Ｂ相）とを、増幅器２ａ，２ｂで
増幅する。その出力Ａsinθ（Ａ相）とＢcos θ（Ｂ
相）との振幅比は、先に図９に示したように０．９８５
＜Ａ／Ｂ＜１．０１５の間で変動する。これらのＡ相信
号およびＢ相信号をそれぞれ減算器３ａ、加算器３ｂに
入力する。その結果、各出力（これをＡ′相およびＢ′
相とする）はそれぞれ次のようになる。
【００１３】
【数１】
【００１４】このように振幅のそろったＡ′相信号と
Ｂ′相信号とを用い、位相差検出回路１０によって従来
例と同様に位置信号出力を得る。
Ｂ′相信号とを用い、位相差検出回路１０によって従来
例と同様に位置信号出力を得る。
【００１５】図２および図３に、本実施例におけるＡ′
相とＢ′相との振幅比および位相差の変動を測定した結
果を示すが、振幅比はドラム１１の１周にわたって１．
００であった。位相差は、９０°±０．８°で、図１０
に示したＡ相とＢ相との位相差の変動に比較して大きく
なっているが、これはＡ′相とＢ′相との位相差２αが
Ａ相とＢ相との振幅比Ａ／Ｂに依存するためである。当
該振幅比が０．９８５＜Ａ／Ｂ＜１．０１５の間で変化
した場合、２αは８９．１３°〜９０．８５°と、１．
７２°の幅で変動することが算出される。従来Ａ相とＢ
相との位相差がドラム１１の１周にわたって０．２°変
動したことを考慮すれば、Ａ′相とＢ′相との位相差の
変動幅は最大１．９２°となる。
相とＢ′相との振幅比および位相差の変動を測定した結
果を示すが、振幅比はドラム１１の１周にわたって１．
００であった。位相差は、９０°±０．８°で、図１０
に示したＡ相とＢ相との位相差の変動に比較して大きく
なっているが、これはＡ′相とＢ′相との位相差２αが
Ａ相とＢ相との振幅比Ａ／Ｂに依存するためである。当
該振幅比が０．９８５＜Ａ／Ｂ＜１．０１５の間で変化
した場合、２αは８９．１３°〜９０．８５°と、１．
７２°の幅で変動することが算出される。従来Ａ相とＢ
相との位相差がドラム１１の１周にわたって０．２°変
動したことを考慮すれば、Ａ′相とＢ′相との位相差の
変動幅は最大１．９２°となる。
【００１６】Ａ′相とＢ′相との振幅比および位相差が
上述したように変化することにより、本実施例による測
定結果には図４および図５に白丸で示すような検出誤差
が生ずる。実際は振幅比の変動は皆無であるためそれに
よる検出誤差は全くない。図４および図５には、従来例
におけるＡ相とＢ相との振幅比および位相差の変動が検
出誤差に及ぼす影響についても黒丸で示したが、従来例
に比して本実施例では２相信号の振幅比の変動による検
出誤差は３％小さくなる。位相差の変動による検出誤差
は１．８％増大するものの、全検出誤差は差し引き１．
２％の向上となり、位置測定精度は図６に示すように従
来の３．２％（黒丸）から２．０％（白丸）と、１．６
倍もの向上をみた。
上述したように変化することにより、本実施例による測
定結果には図４および図５に白丸で示すような検出誤差
が生ずる。実際は振幅比の変動は皆無であるためそれに
よる検出誤差は全くない。図４および図５には、従来例
におけるＡ相とＢ相との振幅比および位相差の変動が検
出誤差に及ぼす影響についても黒丸で示したが、従来例
に比して本実施例では２相信号の振幅比の変動による検
出誤差は３％小さくなる。位相差の変動による検出誤差
は１．８％増大するものの、全検出誤差は差し引き１．
２％の向上となり、位置測定精度は図６に示すように従
来の３．２％（黒丸）から２．０％（白丸）と、１．６
倍もの向上をみた。
【００１７】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、２組の
ＭＲ素子と位相検出回路との間に、上記２組のＭＲ素子
から得られるＡＢ２相の電気的信号を、両者の位相情報
を保持しつつ振幅が等しい２信号に変換する振幅比調整
回路を挿入したことにより、位相差検出方式の磁気エン
コーダの測定精度を向上させることができる。
ＭＲ素子と位相検出回路との間に、上記２組のＭＲ素子
から得られるＡＢ２相の電気的信号を、両者の位相情報
を保持しつつ振幅が等しい２信号に変換する振幅比調整
回路を挿入したことにより、位相差検出方式の磁気エン
コーダの測定精度を向上させることができる。
【図１】この発明の一実施例を示す磁気エンコーダの回
路図である。
路図である。
【図２】振幅比調整回路の２相出力の振幅比の変動を示
す図である。
す図である。
【図３】振幅比調整回路の２相出力の位相差の変動を示
す図である。
す図である。
【図４】２相出力の振幅比の変動が検出誤差に与える影
響を示す図である。
響を示す図である。
【図５】２相出力の位相差の変動が検出誤差に与える影
響を示す図である。
響を示す図である。
【図６】全検出誤差を従来例との比較において示す図で
ある。
ある。
【図７】磁気エンコーダの一般的構成を示す図である。
【図８】従来の位相差検出方式の磁気エンコーダを示す
回路図である。
回路図である。
【図９】ＭＲ素子の２相出力の振幅比の変動を示す図で
ある。
ある。
【図１０】ＭＲ素子の２相出力の位相差の変動を示す図
である。
である。
１（１ａ，１ｂ） 磁気抵抗効果素子 １０ 位相差検出回路 １２ 磁気記録媒体 ２０ 振幅比調整回路
【手続補正書】
【提出日】平成４年１０月１３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】次に、このような電気的てい倍法の１つで
ある位相差検出方式における信号処理の流れを図８によ
り説明する。磁気記録媒体の移動（回転）に伴い、ＭＲ
素子１より相互に９０°位相のずれた微小なＡ相（sin
θ）およびＢ相（cos θ）信号が出力される。これらの
信号を増幅器２ａ，２ｂで増幅し、その各々の出力とオ
シレータ５より得られる高周波２相正弦波信号（sin ω
ｔおよびcos ωｔ）との積（sin ωｔ・sin θおよびco
s ωｔ・cos θ）を乗算器６ａ，６ｂで求め、さらにそ
の差を減算器７で求める。この差信号（sin （ωｔ−
θ））とオシレータ５からのレファレンス信号（sin ω
ｔ）との位相差はθである。したがってこの位相差の検
出がしやすいように両信号をコンパレータ８ａ，８ｂで
パルスに変換し、デジタル計数回路９において、そのパ
ルスを計数することにより位置信号出力が得られる。
ある位相差検出方式における信号処理の流れを図８によ
り説明する。磁気記録媒体の移動（回転）に伴い、ＭＲ
素子１より相互に９０°位相のずれた微小なＡ相（sin
θ）およびＢ相（cos θ）信号が出力される。これらの
信号を増幅器２ａ，２ｂで増幅し、その各々の出力とオ
シレータ５より得られる高周波２相正弦波信号（sin ω
ｔおよびcos ωｔ）との積（sin ωｔ・sin θおよびco
s ωｔ・cos θ）を乗算器６ａ，６ｂで求め、さらにそ
の差を減算器７で求める。この差信号（sin （ωｔ−
θ））とオシレータ５からのレファレンス信号（sin ω
ｔ）との位相差はθである。したがってこの位相差の検
出がしやすいように両信号をコンパレータ８ａ，８ｂで
パルスに変換し、デジタル計数回路９において、そのパ
ルスを計数することにより位置信号出力が得られる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、ＭＲ素子と位
相差検出回路との間に、ＭＲ素子から得られるＡ相信号
とＢ相信号とを、両者の位相を保持しつつ振幅が等しい
２信号に変換する振幅比調整回路を挿入したものであ
る。
相差検出回路との間に、ＭＲ素子から得られるＡ相信号
とＢ相信号とを、両者の位相を保持しつつ振幅が等しい
２信号に変換する振幅比調整回路を挿入したものであ
る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、２組の
ＭＲ素子と位相検出回路との間に、上記２組のＭＲ素子
から得られるＡＢ２相の電気的信号を、両者の位相を保
持しつつ振幅が等しい２信号に変換する振幅比調整回路
を挿入したことにより、位相差検出方式の磁気エンコー
ダの測定制度を向上させることができる。
ＭＲ素子と位相検出回路との間に、上記２組のＭＲ素子
から得られるＡＢ２相の電気的信号を、両者の位相を保
持しつつ振幅が等しい２信号に変換する振幅比調整回路
を挿入したことにより、位相差検出方式の磁気エンコー
ダの測定制度を向上させることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
Claims (1)
- 【請求項１】 周期的磁場を発生すべくピッチＰで少な
くとも１つの磁化パターン列が書き込まれた磁気記録媒
体と、この磁気記録媒体に近接して、かつ当該磁気記録
媒体の移動方向に相互に（２ｎ＋１）Ｐ／４隔てて配置
された２組の磁気抵抗効果素子と、これら両磁気抵抗効
果素子から得られるＡＢ２相の電気的信号をそれぞれ電
気的にてい倍する機能を含んだ位相差検出回路とを備え
た位相差検出方式の磁気エンコーダにおいて、磁気抵抗
効果素子と位相差検出回路との間に、Ａ相信号とＢ相信
号とを、両者の位相情報を保持しつつ振幅が等しい２信
号に変換する振幅調整回路を挿入したことを特徴とする
磁気エンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21682691A JPH0552583A (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | 磁気エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21682691A JPH0552583A (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | 磁気エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0552583A true JPH0552583A (ja) | 1993-03-02 |
Family
ID=16694504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21682691A Pending JPH0552583A (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | 磁気エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0552583A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008249370A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Canon Electronics Inc | 磁性体検出センサ及び磁性体検出装置 |
| JP2009092400A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Ntn Corp | ドライブシャフトの軸トルク測定装置・測定方法 |
| JP2009097895A (ja) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Ntn Corp | ドライブシャフトの軸トルク測定装置および測定方法 |
| JP2009097896A (ja) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Ntn Corp | ドライブシャフトの軸トルク測定装置および測定方法 |
| JP2009097950A (ja) * | 2007-10-16 | 2009-05-07 | Ntn Corp | ドライブシャフトの軸トルク測定装置および測定方法 |
| JP5473595B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2014-04-16 | Ｔｈｋ株式会社 | 磁極検出方法および駆動案内システム |
-
1991
- 1991-08-28 JP JP21682691A patent/JPH0552583A/ja active Pending
Cited By (6)
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|---|---|---|---|---|
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