JPH0552792A - セラミツク湿度センサ - Google Patents
セラミツク湿度センサInfo
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- JPH0552792A JPH0552792A JP21094091A JP21094091A JPH0552792A JP H0552792 A JPH0552792 A JP H0552792A JP 21094091 A JP21094091 A JP 21094091A JP 21094091 A JP21094091 A JP 21094091A JP H0552792 A JPH0552792 A JP H0552792A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 抵抗−湿度特性線の対数直線性に優れ、しか
も全体の抵抗値が比較的小さく、抵抗−湿度特性の経時
変化が小さく、安価で小型かつ高性能な湿度センサを提
供する。 【構成】 ＳｒＦｅ1-x Ｗx Ｏ3 （ただし、０．１＜ｘ
≦０．３５）に対し、ＳｒＴｉＯ3 を５０モル％以下、
ＳｒＺｒＯ3 を３０モル％以下添加した組成を有するセ
ラミックス焼結体よりなるセラミック湿度センサ。 【効果】 抵抗−湿度特性線の対数直線性に優れる。抵
抗−湿度特性線の勾配が大きい。全体の抵抗値が小さ
い。抵抗−湿度特性の経時変化が小さい。検出回路構成
が簡単となり、湿度検出装置のシステム全体のコンパク
ト化が可能となる。検出感度及び測定精度が高い。高性
能で信頼性に優れ、しかも小型化、低価格化が可能であ
る。
も全体の抵抗値が比較的小さく、抵抗−湿度特性の経時
変化が小さく、安価で小型かつ高性能な湿度センサを提
供する。 【構成】 ＳｒＦｅ1-x Ｗx Ｏ3 （ただし、０．１＜ｘ
≦０．３５）に対し、ＳｒＴｉＯ3 を５０モル％以下、
ＳｒＺｒＯ3 を３０モル％以下添加した組成を有するセ
ラミックス焼結体よりなるセラミック湿度センサ。 【効果】 抵抗−湿度特性線の対数直線性に優れる。抵
抗−湿度特性線の勾配が大きい。全体の抵抗値が小さ
い。抵抗−湿度特性の経時変化が小さい。検出回路構成
が簡単となり、湿度検出装置のシステム全体のコンパク
ト化が可能となる。検出感度及び測定精度が高い。高性
能で信頼性に優れ、しかも小型化、低価格化が可能であ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はセラミック湿度センサに
係り、特に抵抗−湿度特性線の対数直線性に優れ、しか
も全体の抵抗値が比較的小さいことから、安価で小型か
つ高性能な湿度センサを提供し得るセラミック湿度セン
サに関する。詳しくは、抵抗−湿度特性の経時変化が小
さいという特徴を有したセラミック湿度センサに関す
る。
係り、特に抵抗−湿度特性線の対数直線性に優れ、しか
も全体の抵抗値が比較的小さいことから、安価で小型か
つ高性能な湿度センサを提供し得るセラミック湿度セン
サに関する。詳しくは、抵抗−湿度特性の経時変化が小
さいという特徴を有したセラミック湿度センサに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、マイクロコンピュータの普及に伴
い、産業や家電分野においてセンサを用いた自動制御化
が進み、信頼性が高く、使い易い各種センサの開発が進
められている。中でも、温度や湿度、ガスなどを電気的
に検出できる空調システム用雰囲気センサの要望が、各
種理化学機器、医療機器の使用環境の向上や、都市を中
心とする密閉性の高い住宅構造への快適性の向上の面か
ら、著しく高められている。
い、産業や家電分野においてセンサを用いた自動制御化
が進み、信頼性が高く、使い易い各種センサの開発が進
められている。中でも、温度や湿度、ガスなどを電気的
に検出できる空調システム用雰囲気センサの要望が、各
種理化学機器、医療機器の使用環境の向上や、都市を中
心とする密閉性の高い住宅構造への快適性の向上の面か
ら、著しく高められている。
【０００３】各種センサに要求される性能としては、主
に下記のような項目が挙げられる。 （Ａ） 高性能であること。 （Ｂ） 信頼性（安全性、耐環境性等）に優れること。 （Ｃ） 量産性に優れ、安価であること。 （Ｄ） 小型化が可能であること。 特に、上記（Ａ）については、湿度センサは、湿度によ
る電気的性質の変化、即ち抵抗変化を利用して測定を行
なうことから、 （１） 抵抗−湿度特性線の直線性に優れ、マイクロコ
ンピュータでの測定システムに容易に適応させることが
できる。 （２） 抵抗−湿度特性線の傾きが大きく、測定誤差が
小さい。 （３） 全体の抵抗値が小さく、応答性に優れる。 などの要件を満たすことが望まれる。
に下記のような項目が挙げられる。 （Ａ） 高性能であること。 （Ｂ） 信頼性（安全性、耐環境性等）に優れること。 （Ｃ） 量産性に優れ、安価であること。 （Ｄ） 小型化が可能であること。 特に、上記（Ａ）については、湿度センサは、湿度によ
る電気的性質の変化、即ち抵抗変化を利用して測定を行
なうことから、 （１） 抵抗−湿度特性線の直線性に優れ、マイクロコ
ンピュータでの測定システムに容易に適応させることが
できる。 （２） 抵抗−湿度特性線の傾きが大きく、測定誤差が
小さい。 （３） 全体の抵抗値が小さく、応答性に優れる。 などの要件を満たすことが望まれる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おいて、上記要求特性をすべて満たすような湿度センサ
は提供されておらず、その改良が望まれている。
おいて、上記要求特性をすべて満たすような湿度センサ
は提供されておらず、その改良が望まれている。
【０００５】本発明は上記従来の実情に鑑みてなされた
ものであって、高性能で、信頼性、量産性に優れ、安価
でしかも小型化が可能なセラミック湿度センサを提供す
ることを目的とする。
ものであって、高性能で、信頼性、量産性に優れ、安価
でしかも小型化が可能なセラミック湿度センサを提供す
ることを目的とする。
【０００６】ところで、本出願人は、かかる目的を達成
するセラミック湿度センサとして、ＳｒＦｅ1-x Ｗx Ｏ
3 （ただし、０．１＜ｘ≦０．３５） …を有するセ
ラミックス焼結体よりなるセラミック湿度センサを特願
平２−４０１８８８号にて提案した。
するセラミック湿度センサとして、ＳｒＦｅ1-x Ｗx Ｏ
3 （ただし、０．１＜ｘ≦０．３５） …を有するセ
ラミックス焼結体よりなるセラミック湿度センサを特願
平２−４０１８８８号にて提案した。
【０００７】その後、さらにこの組成よりなるセラミ
ック湿度センサについて検討を加えたところ、ＳｒＴｉ
Ｏ3 及び／又はＳｒＺｒＯ3 を所定量以下添加すると、
抵抗−湿度特性の経時変化がきわめて小さいことが見出
された。そこで、本発明は、抵抗−湿度特性の経時変化
がきわめて小さいセラミック湿度センサの提供をも目的
とする。
ック湿度センサについて検討を加えたところ、ＳｒＴｉ
Ｏ3 及び／又はＳｒＺｒＯ3 を所定量以下添加すると、
抵抗−湿度特性の経時変化がきわめて小さいことが見出
された。そこで、本発明は、抵抗−湿度特性の経時変化
がきわめて小さいセラミック湿度センサの提供をも目的
とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、下記組成を有
するセラミックス成分に対し、下記，のＳｒ複酸
化物を添加してなり、且つ，，の三元組成系（モ
ル％）において（１００，０，０）、（５０，５０，
０）及び（７０，０，３０）の３点で囲まれる領域内の
組成の焼結体よりなることを要旨とするものである。
（ただし、境界線を含み、組成が１００モル％である
場合を除く。） ＳｒＦｅ1-x Ｗx Ｏ3 （０．１＜ｘ≦０．３５） … ＳｒＴｉＯ3 … ＳｒＺｒＯ3 … 以下に本発明を詳細に説明する。本発明は、組成式 ＳｒＦｅ1-x Ｗx Ｏ3 において、ｘが０．１より大きく、０．３５以下なる組
成を有するセラミックス成分を主成分とするものであ
る。上記組成式において、ｘが０．３５を超えると、抵
抗−湿度特性線の直線性が損なわれ、また、全体の抵抗
値が大きくなり好ましくない。逆に、ｘが０．１以下で
は、抵抗−湿度特性線の勾配が小さくなり、またその直
線性も損なわれ、好ましくない。本発明においては、ｘ
は０．１５〜０．３５、特に０．２〜０．３５、とりわ
け０．２５〜０．３１であることが好ましい。
するセラミックス成分に対し、下記，のＳｒ複酸
化物を添加してなり、且つ，，の三元組成系（モ
ル％）において（１００，０，０）、（５０，５０，
０）及び（７０，０，３０）の３点で囲まれる領域内の
組成の焼結体よりなることを要旨とするものである。
（ただし、境界線を含み、組成が１００モル％である
場合を除く。） ＳｒＦｅ1-x Ｗx Ｏ3 （０．１＜ｘ≦０．３５） … ＳｒＴｉＯ3 … ＳｒＺｒＯ3 … 以下に本発明を詳細に説明する。本発明は、組成式 ＳｒＦｅ1-x Ｗx Ｏ3 において、ｘが０．１より大きく、０．３５以下なる組
成を有するセラミックス成分を主成分とするものであ
る。上記組成式において、ｘが０．３５を超えると、抵
抗−湿度特性線の直線性が損なわれ、また、全体の抵抗
値が大きくなり好ましくない。逆に、ｘが０．１以下で
は、抵抗−湿度特性線の勾配が小さくなり、またその直
線性も損なわれ、好ましくない。本発明においては、ｘ
は０．１５〜０．３５、特に０．２〜０．３５、とりわ
け０．２５〜０．３１であることが好ましい。
【０００９】また、本発明のセラミック湿度センサを構
成するＳｒＦｅ1-x Ｗx Ｏ3 −ＳｒＴｉＯ3 −ＳｒＺｒ
Ｏ3 セラミックス焼結体は、その気孔率が７％以上、特
に１０％以上、とりわけ１２〜２０％の多孔質であるこ
とが好ましい。即ち、本発明のセラミック湿度センサ
は、湿度を感知して、これを電気特性で表すものである
ことから、その湿度を感知するセンサの表面積が大きい
多孔質であることが好ましい。しかしながら、気孔率は
過度に大きいと、センサの強度が低下することから、本
発明に係るセラミックス焼結体の気孔率は上記範囲とす
るのが好ましい。
成するＳｒＦｅ1-x Ｗx Ｏ3 −ＳｒＴｉＯ3 −ＳｒＺｒ
Ｏ3 セラミックス焼結体は、その気孔率が７％以上、特
に１０％以上、とりわけ１２〜２０％の多孔質であるこ
とが好ましい。即ち、本発明のセラミック湿度センサ
は、湿度を感知して、これを電気特性で表すものである
ことから、その湿度を感知するセンサの表面積が大きい
多孔質であることが好ましい。しかしながら、気孔率は
過度に大きいと、センサの強度が低下することから、本
発明に係るセラミックス焼結体の気孔率は上記範囲とす
るのが好ましい。
【００１０】このような本発明のセラミック湿度センサ
を製造するには、例えば、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣ
Ｏ3 ）、酸化第二鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）、酸化タングステン
（ＷＯ3 ）、酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、酸化ジルコニウ
ム（ＺｒＯ2 ）といった原料粉末を所望の組成となるよ
うに混合し、これを仮焼した後成形し、成形体を本焼成
することにより容易に製造することができる。なお、酸
化物原料のほかに、焼成により酸化物となる炭酸塩、硝
酸塩、酢酸塩、アルコキシド等の有機金属化合物などを
用いても良い。
を製造するには、例えば、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣ
Ｏ3 ）、酸化第二鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）、酸化タングステン
（ＷＯ3 ）、酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、酸化ジルコニウ
ム（ＺｒＯ2 ）といった原料粉末を所望の組成となるよ
うに混合し、これを仮焼した後成形し、成形体を本焼成
することにより容易に製造することができる。なお、酸
化物原料のほかに、焼成により酸化物となる炭酸塩、硝
酸塩、酢酸塩、アルコキシド等の有機金属化合物などを
用いても良い。
【００１１】この製造にあたり、仮焼温度を本焼成温度
と同程度の高温焼成とすることにより、前述のような気
孔率を有する多孔質セラミックス焼結体を得ることがで
きる。
と同程度の高温焼成とすることにより、前述のような気
孔率を有する多孔質セラミックス焼結体を得ることがで
きる。
【００１２】
【作用】ＳｒＦｅ1-x Ｗx Ｏ3 −ＳｒＴｉＯ3 −ＳｒＺ
ｒＯ3 なる組成を有し、Ｘ値及びこれらの含有割合が前
記の範囲のセラミック湿度センサであれば、抵抗−湿度
特性線の対数直線性に優れ、かつその勾配が大きく、全
体の抵抗値が小さく、しかも抵抗−湿度特性の経時変化
が小さい高性能セラミック湿度センサが提供される。
ｒＯ3 なる組成を有し、Ｘ値及びこれらの含有割合が前
記の範囲のセラミック湿度センサであれば、抵抗−湿度
特性線の対数直線性に優れ、かつその勾配が大きく、全
体の抵抗値が小さく、しかも抵抗−湿度特性の経時変化
が小さい高性能セラミック湿度センサが提供される。
【００１３】即ち、本発明のセラミック湿度センサは、
抵抗−湿度特性線の対数直線性に優れるため、マイクロ
コンピュータにおける検出回路構成を簡単にすることが
できる。
抵抗−湿度特性線の対数直線性に優れるため、マイクロ
コンピュータにおける検出回路構成を簡単にすることが
できる。
【００１４】また、抵抗−湿度特性線の勾配が大きく、
全体の抵抗値が小さく抵抗−湿度特性の経時変化が小さ
いことから、測定誤差がなくなると共に、高感度とな
り、高精度で信頼性の高い測定結果を得ることが可能と
される。
全体の抵抗値が小さく抵抗−湿度特性の経時変化が小さ
いことから、測定誤差がなくなると共に、高感度とな
り、高精度で信頼性の高い測定結果を得ることが可能と
される。
【００１５】加えて、本発明では、抵抗−湿度特性の経
時変化が小さいため、加熱して付着水蒸気を除去するリ
フレシュクリーニングを不要とする（又は頻度を減少さ
せる）ことが可能となる。
時変化が小さいため、加熱して付着水蒸気を除去するリ
フレシュクリーニングを不要とする（又は頻度を減少さ
せる）ことが可能となる。
【００１６】
【実施例】以下に実施例、参考例及び比較例を挙げて、
本発明をより具体的に説明する。まず、参考例及び比較
例により、前記主成分において０．１＜Ｘ≦０．３５
とした理由を説明する。
本発明をより具体的に説明する。まず、参考例及び比較
例により、前記主成分において０．１＜Ｘ≦０．３５
とした理由を説明する。
【００１７】参考例１〜４、比較例１〜３ＳｒＦｅ 1-x Ｗx Ｏ3 セラミックス焼結体の製造 ｘの値が第１表に示す値であるＳｒＦｅ1-x Ｗx Ｏ3 セ
ラミックス焼結体を製造した。
ラミックス焼結体を製造した。
【００１８】即ち、まず、出発原料としてＳｒＣＯ3
（純度９９．６％）、Ｆｅ2 Ｏ3 （純度９９．５％）、
ＷＯ3 （純度９９．５％）の各粉末を所定の化学組成と
なるように秤量し、ナイロン製ポットミルにて、ジルコ
ニアボール及び水と共に約１８時間湿式混合した後、乾
燥し、３６メッシュの篩に通過させ、アルミナルツボ
中、１２００℃で、５時間仮焼した。その後、再度粉砕
して６０メッシュの篩を通過させ、得られた粉末を、直
径１０ｍｍの金型を用いて約２ｔｏｎ／ｃｍ2 でプレス
成形し、得られた成形体を本焼成した。本焼成は、ジル
コニアセッター上で電気炉にて昇温１０℃／ｍｉｎで１
２００℃に昇温し、１２００℃で３時間保持して行なっ
た。その後、炉内放冷した。
（純度９９．６％）、Ｆｅ2 Ｏ3 （純度９９．５％）、
ＷＯ3 （純度９９．５％）の各粉末を所定の化学組成と
なるように秤量し、ナイロン製ポットミルにて、ジルコ
ニアボール及び水と共に約１８時間湿式混合した後、乾
燥し、３６メッシュの篩に通過させ、アルミナルツボ
中、１２００℃で、５時間仮焼した。その後、再度粉砕
して６０メッシュの篩を通過させ、得られた粉末を、直
径１０ｍｍの金型を用いて約２ｔｏｎ／ｃｍ2 でプレス
成形し、得られた成形体を本焼成した。本焼成は、ジル
コニアセッター上で電気炉にて昇温１０℃／ｍｉｎで１
２００℃に昇温し、１２００℃で３時間保持して行なっ
た。その後、炉内放冷した。
【００１９】得られた焼成体の両面には酸化ルテニウム
ペーストをスクリーン印刷し、昇降温５℃／ｍｉｎで８
５０℃、２０分間電気炉にて焼き付けて、各々試料とし
た。
ペーストをスクリーン印刷し、昇降温５℃／ｍｉｎで８
５０℃、２０分間電気炉にて焼き付けて、各々試料とし
た。
【００２０】
【表１】
【００２１】抵抗−湿度特性の測定 参考例１〜４及び比較例１，２の各試料をホルダーにセ
ットし、分流式精密湿度発生装置（神栄社製「ＳＲＨ−
１ＭＣ １３５ＡＤＲ」）の試験槽内で、温度１５℃、
相対湿度１０，５０，９０％で順に各３０分間保持した
時のインピーダンスを周波数１ｋＨｚのもとで、ＬＣＲ
メーター（ＹＨＰ製「４２６２Ａ」）により測定した。
結果を第２図に示す。
ットし、分流式精密湿度発生装置（神栄社製「ＳＲＨ−
１ＭＣ １３５ＡＤＲ」）の試験槽内で、温度１５℃、
相対湿度１０，５０，９０％で順に各３０分間保持した
時のインピーダンスを周波数１ｋＨｚのもとで、ＬＣＲ
メーター（ＹＨＰ製「４２６２Ａ」）により測定した。
結果を第２図に示す。
【００２２】第２図より次のことが明らかである。即
ち、抵抗−湿度特性線の対数直線性はｘ＝０．３（実施
例３）の時に最も優れ、ｘ＝０．３をはずれると、直線
性が損なわれる。ｘ＝０．４（比較例２）では、抵抗−
湿度特性線の対数直線性に劣る上に、インピーダンスが
高く、不適当である。ｘ＝０．１〜０．３５の間では、
抵抗−湿度特性線の対数直線性が良好であるが、ｘが小
さくなるほど抵抗−湿度特性線の勾配が小さくなり、逆
にｘが大きくなるほどインピーダンスが高くなるため、
好ましくはｘ＝０．１５〜０．３５、より好ましくはｘ
＝０．２〜０．３５、特にｘ＝０．２５〜０．３１、と
りわけｘ＝０．３前後が好ましい。
ち、抵抗−湿度特性線の対数直線性はｘ＝０．３（実施
例３）の時に最も優れ、ｘ＝０．３をはずれると、直線
性が損なわれる。ｘ＝０．４（比較例２）では、抵抗−
湿度特性線の対数直線性に劣る上に、インピーダンスが
高く、不適当である。ｘ＝０．１〜０．３５の間では、
抵抗−湿度特性線の対数直線性が良好であるが、ｘが小
さくなるほど抵抗−湿度特性線の勾配が小さくなり、逆
にｘが大きくなるほどインピーダンスが高くなるため、
好ましくはｘ＝０．１５〜０．３５、より好ましくはｘ
＝０．２〜０．３５、特にｘ＝０．２５〜０．３１、と
りわけｘ＝０．３前後が好ましい。
【００２３】なお、粉末Ｘ線回折により、結晶相の測定
を行なったところ、ｘ＝０．４（比較例２）、ｘ＝０．
７（比較例３）では、Ｗ成分のＦｅサイトへの固溶限界
を超えるために別の化合物として主にＳｒＷＯ4 が生成
していることが認められた。この結果から、ｘの値が大
きくなることによる抵抗値の増大は、ＳｒＦｅＯ3 相の
他に高抵抗な化合物ＳｒＷＯ4 相が共存するためと考え
られる。
を行なったところ、ｘ＝０．４（比較例２）、ｘ＝０．
７（比較例３）では、Ｗ成分のＦｅサイトへの固溶限界
を超えるために別の化合物として主にＳｒＷＯ4 が生成
していることが認められた。この結果から、ｘの値が大
きくなることによる抵抗値の増大は、ＳｒＦｅＯ3 相の
他に高抵抗な化合物ＳｒＷＯ4 相が共存するためと考え
られる。
【００２４】また、上記参考例１，２，３のセラミック
湿度センサの抵抗−湿度特性の経時変化を測定した。こ
の結果を第３図、第４図及び第５図に併せて示す。
湿度センサの抵抗−湿度特性の経時変化を測定した。こ
の結果を第３図、第４図及び第５図に併せて示す。
【００２５】実施例１〜５、比較例４ ＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3 Ｏ3 −ＳｒＴｉＯ3 の２成分系にお
いて、ＳｒＴｉＯ3 を下記配合としたほかは参考例１〜
４と同様にしてセラミック湿度センサを製造した。
いて、ＳｒＴｉＯ3 を下記配合としたほかは参考例１〜
４と同様にしてセラミック湿度センサを製造した。
【００２６】 実施例１：ＳｒＴｉＯ3 ５モル％ ＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3 Ｏ3 残部 実施例２：ＳｒＴｉＯ3 １０モル％ ＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3 Ｏ3 残部 実施例３：ＳｒＴｉＯ3 ２０モル％ ＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3 Ｏ3 残部 実施例４：ＳｒＴｉＯ3 ３０モル％ ＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3 Ｏ3 残部 実施例５：ＳｒＴｉＯ3 ５０モル％ ＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3 Ｏ3 残部 比較例４：ＳｒＴｉＯ3 ６０モル％ ＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3 Ｏ3 残部 この実施例１〜５及び比較例４における抵抗−湿度特性
の経時変化を第６〜１１図に示す。第６〜１１図より、
実施例１〜５のセラミック湿度センサは、抵抗−湿度特
性の経時変化が前記参考例３（ＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3Ｏ3
が１００モル％のもの）に比べてきわめて小さいことが
認められる。なお、ＳｒＴｉＯ3 の含有量の増加に伴っ
て抵抗が高くなり、比較例４は抵抗がかなり高いものと
なることが認められる。
の経時変化を第６〜１１図に示す。第６〜１１図より、
実施例１〜５のセラミック湿度センサは、抵抗−湿度特
性の経時変化が前記参考例３（ＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3Ｏ3
が１００モル％のもの）に比べてきわめて小さいことが
認められる。なお、ＳｒＴｉＯ3 の含有量の増加に伴っ
て抵抗が高くなり、比較例４は抵抗がかなり高いものと
なることが認められる。
【００２７】実施例６〜８、比較例５ ＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3 Ｏ3 −ＳｒＺｒＯ3 の２成分系にお
いて、ＳｒＺｒＯ3 を下記配合としたほかは参考例１〜
４と同様にしてセラミック湿度センサを製造した。
いて、ＳｒＺｒＯ3 を下記配合としたほかは参考例１〜
４と同様にしてセラミック湿度センサを製造した。
【００２８】 実施例６：ＳｒＺｒＯ3 ５モル％ ＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3 Ｏ3 残部 実施例７：ＳｒＺｒＯ3 １０モル％ ＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3 Ｏ3 残部 実施例８：ＳｒＺｒＯ3 ３０モル％ ＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3 Ｏ3 残部 比較例４：ＳｒＺｒＯ3 ４０モル％ ＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3 Ｏ3 残部 この実施例６〜８及び比較例５における抵抗−湿度特性
の経時変化を第１２〜１５図に示す。第１２〜１５図よ
り、実施例６〜８のセラミック湿度センサは、抵抗−湿
度特性の経時変化が前記参考例３に比べてきわめて小さ
いことが認められる。なお、ＳｒＺｒＯ3 の含有量の増
加に伴って抵抗が高くなり、比較例５は抵抗がかなり高
いものとなることが認められる。
の経時変化を第１２〜１５図に示す。第１２〜１５図よ
り、実施例６〜８のセラミック湿度センサは、抵抗−湿
度特性の経時変化が前記参考例３に比べてきわめて小さ
いことが認められる。なお、ＳｒＺｒＯ3 の含有量の増
加に伴って抵抗が高くなり、比較例５は抵抗がかなり高
いものとなることが認められる。
【００２９】実施例９〜１２ ＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3 Ｏ3 ， ＳｒＴｉＯ3 ，
ＳｒＺｒＯ3 の配合割合を下記の通りとしたほかは参考
例１〜４と同様にしてセラミック湿度センサを製造し
た。
ＳｒＺｒＯ3 の配合割合を下記の通りとしたほかは参考
例１〜４と同様にしてセラミック湿度センサを製造し
た。
【００３０】 この実施例９〜１２における抵抗−湿度特性の経時変
化を第１６〜１９図に示す。第１６〜１９図より、実施
例９〜１２のセラミック湿度センサは、抵抗−湿度特性
の経時変化が前記参考例に比べてきわめて小さいことが
認められる。
化を第１６〜１９図に示す。第１６〜１９図より、実施
例９〜１２のセラミック湿度センサは、抵抗−湿度特性
の経時変化が前記参考例に比べてきわめて小さいことが
認められる。
【００３１】実施例１３，１４ 実施例９において、のＳｒＦｅ0.7 Ｗ0.3 Ｏ3 の代わ
りにＸ＝０．１５のＳｒＦｅ0.85Ｗ0.15Ｏ3 （実施例１
３）、Ｘ＝０．２のＳｒＦｅ0.8 Ｗ0.2 Ｏ3 （実施例１
４）を用いたほかは参考例１〜４と同様にしてセラミッ
ク湿度センサを製造した。この実施例１３，１４におけ
る抵抗−湿度特性の経時変化を第２０〜２１図に示す。
第２０〜２１図より、実施例１３，１４のセラミック湿
度センサは抵抗−湿度特性の経時変化が前記参考例１，
２に比べてきわめて小さいことが認められる。
りにＸ＝０．１５のＳｒＦｅ0.85Ｗ0.15Ｏ3 （実施例１
３）、Ｘ＝０．２のＳｒＦｅ0.8 Ｗ0.2 Ｏ3 （実施例１
４）を用いたほかは参考例１〜４と同様にしてセラミッ
ク湿度センサを製造した。この実施例１３，１４におけ
る抵抗−湿度特性の経時変化を第２０〜２１図に示す。
第２０〜２１図より、実施例１３，１４のセラミック湿
度センサは抵抗−湿度特性の経時変化が前記参考例１，
２に比べてきわめて小さいことが認められる。
【００３２】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明のセラミック
湿度センサによれば、 抵抗−湿度特性線の対数直線性に優れる。 抵抗−湿度特性線の勾配が大きい。 全体の抵抗値が小さい。 抵抗−湿度特性の経時変化が小さい。 より検出回路構成が簡単となり、湿度検出装置の
システム全体のコンパクト化が可能となる。 、、より、検出感度及び測定精度が高い。
湿度センサによれば、 抵抗−湿度特性線の対数直線性に優れる。 抵抗−湿度特性線の勾配が大きい。 全体の抵抗値が小さい。 抵抗−湿度特性の経時変化が小さい。 より検出回路構成が簡単となり、湿度検出装置の
システム全体のコンパクト化が可能となる。 、、より、検出感度及び測定精度が高い。
【００３３】等の利点を有し、高性能で信頼性に優れ、
しかも小型化、低価格化が可能なセラミック湿度センサ
が提供される。
しかも小型化、低価格化が可能なセラミック湿度センサ
が提供される。
【図１】実施例組成を示す三元組成図である。
【図２】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図３】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図４】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図５】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図６】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図７】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図８】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図９】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図１０】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図１１】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図１２】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図１３】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図１４】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図１５】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図１６】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図１７】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図１８】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図１９】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図２０】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
【図２１】抵抗−湿度特性線を示すグラフである。
Claims (1)
- 【請求項１】 下記組成を有するセラミックス成分に
対し、下記，のＳｒ複酸化物を添加してなり、且つ
，，の三元組成系（モル％）において（１００，
０，０）、（５０，５０，０）及び（７０，０，３０）
の３点で囲まれる領域内の組成の焼結体よりなることを
特徴とするセラミック湿度センサ。（ただし、境界線を
含み、組成が１００モル％である場合を除く。） ＳｒＦｅ1-x Ｗx Ｏ3 （０．１＜ｘ≦０．３５） … ＳｒＴｉＯ3 … ＳｒＺｒＯ3 …
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21094091A JPH0552792A (ja) | 1991-08-22 | 1991-08-22 | セラミツク湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21094091A JPH0552792A (ja) | 1991-08-22 | 1991-08-22 | セラミツク湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0552792A true JPH0552792A (ja) | 1993-03-02 |
Family
ID=16597612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21094091A Pending JPH0552792A (ja) | 1991-08-22 | 1991-08-22 | セラミツク湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0552792A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115541659A (zh) * | 2022-10-18 | 2022-12-30 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于高价态铁酸锶的湿度传感器制备方法 |
-
1991
- 1991-08-22 JP JP21094091A patent/JPH0552792A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115541659A (zh) * | 2022-10-18 | 2022-12-30 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于高价态铁酸锶的湿度传感器制备方法 |
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