JPH0553247U - ウエハソータを内蔵したストッカ装置 - Google Patents
ウエハソータを内蔵したストッカ装置Info
- Publication number
- JPH0553247U JPH0553247U JP10539091U JP10539091U JPH0553247U JP H0553247 U JPH0553247 U JP H0553247U JP 10539091 U JP10539091 U JP 10539091U JP 10539091 U JP10539091 U JP 10539091U JP H0553247 U JPH0553247 U JP H0553247U
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- JP
- Japan
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- wafer
- cassette
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- sorter
- built
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Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体製造工程において、カセットにウエハの
挿入又は排出する手作業を廃止し、作業ミスを防止す
る。 【構成】多数のカセットを収納している立体的ストッカ
内の一部にウエハソータを内蔵し、ソートを要するカセ
ットに供給し、ウエハの挿入、排出等の作業を行う。
挿入又は排出する手作業を廃止し、作業ミスを防止す
る。 【構成】多数のカセットを収納している立体的ストッカ
内の一部にウエハソータを内蔵し、ソートを要するカセ
ットに供給し、ウエハの挿入、排出等の作業を行う。
Description
【０００１】
本考案は半導体製造工場におけるウエハソータを内蔵したストッカ装置に関す る。
【０００２】
半導体製造工程では、現在の技術のバッチ処理を実施するため、及び処理の確 認のために、モニターウエハやダミーウエハをオペレータが手でカセットに挿入 するか、もしくはウエハソーターにカセットを手で設置し、カセット内にモニタ ーウエハ又はダミーウエハを挿入している。また、ＡＳＩＣ等の対応として４つ のカセットに複数の製品を入れて生産しているため、ホト工程等のために、カセ ット内の製品を仕分けたり、合併させたりする時に、ウエハを挿入又は排出をし ている。モニターウエハ又はダミーウエハの種類が多いことと、ウエハ挿入又は ウエハ排出の作業が複雑であることと、また手作業であること等のため作業ミス を発生し易かった。
【０００３】
本考案はこのような人力に依存する作業を廃止すると共に、ウエハのカセット への挿入又は排出の際に、作業ミスを除くことを目的とする。
【０００４】
本考案は、コントローラの機能を付したウエハソータをストッカ内のストッカ 内ロボットの操作区域内に配設したことを特徴とするウエハソータを内蔵したス トッカ装置である。
【０００５】
本考案のストッカはストッカ内にウエハソータを内蔵する。従って、ウエハを 外部に運搬する必要がない。オペレータコンソールからのオペレータの指示、又 はホストコンピュータの指示に従い、ストッカのコントローラはスタッカクレー ンを操作し、モニターウエハ又はダミーウエハの入っているカセットを選択し、 ウエハソータに供給する。ウエハソータにコントローラの機能を持たせることに より、ウエハソータは挿入指示の出ているカセットにモニターウエハ又はダミー ウエハを挿入する。また複数の製品の入っているカセットと空カセットをウエハ ソータに供給し、製品を仕分ける。
【０００６】 また逆に、ウエハコントローラの持っているカセット内のモニターウエハ又は ダミーウエハの位置情報を用いて、モニターウエハ又はダミーウエハをカセット より排除し、指定のカセットに格納する。また、仕分けられた製品カセットをウ エハソータに供給し、指定のカセットに合併させる。
【０００７】
多数のカセットを収納する立体的ストッカ内の一部に、ウエハソータを内蔵す る。図１はこれを示す側面図、図２はその平面図である。ストッカ１内にはカセ ット２を棚３から出し入れして搬送するスタッカクレーン４が稼動している。そ のスタッカクレーン４の作業区域内に、ウエハソータ５が内蔵されている。スタ ッカクレーン４はホストコンピュータ又はオペレータの指示により、ソートを必 要とするカセット２を選び出してウエハソータ５に供給する。ウエハソータ５は カセット２内のウエハを適切に並べ、モニターウエハ又はダミーウエハの挿入、 排出等の作業を行う。
【０００８】 図３はその制御ブロック図で、ホストコンピュータ１０又はオペレータコンソ ール１１からの指示によりストッカコントローラ１２がカセット２を運搬する指 示をスタッカ−クレーン４に指示し、ウエハソータ５にカセット２を供給する。 一方ストッカコントローラ１２はウエハソータ５のソータコントローラ１３に指 示を与え、ウエハソータ５を作動させる。
【０００９】
【考案の効果】 本考案によれば、手作業によるウエハのよごれを回避できると共に、作業ミス を防ぐことができる。また排除するウエハを下位のコンピュータが把握している ので位置の指定をしなくてよい。ウエハソータにカセットを挿入する時はウエハ 有無センサにて位置を確認しながら挿入するので位置指定をしなくてよい。
【図１】ストッカの平面図である。
【図２】ストッカの側面図である。
【図３】制御ブロック図である。
１ ストッカ ２ カセット ３ 棚 ４ スタッカクレ
ーン ５ ウエハソータ １０ ホストコンピ
ュータ １１ オペレータコンソール １２ ストッカコン
トローラ １３ ソータコントローラ
ーン ５ ウエハソータ １０ ホストコンピ
ュータ １１ オペレータコンソール １２ ストッカコン
トローラ １３ ソータコントローラ
Claims (1)
- 【請求項１】 コントローラの機能を付したウエハソー
タをストッカ内のストッカ内ロボットの操作区域内に配
設したことを特徴とするウエハソータを内蔵したストッ
カ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10539091U JPH0553247U (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | ウエハソータを内蔵したストッカ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10539091U JPH0553247U (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | ウエハソータを内蔵したストッカ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0553247U true JPH0553247U (ja) | 1993-07-13 |
Family
ID=14406323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10539091U Withdrawn JPH0553247U (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | ウエハソータを内蔵したストッカ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0553247U (ja) |
-
1991
- 1991-12-20 JP JP10539091U patent/JPH0553247U/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19960404 |