JPH0553572B2 - - Google Patents
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- JPH0553572B2 JPH0553572B2 JP59162755A JP16275584A JPH0553572B2 JP H0553572 B2 JPH0553572 B2 JP H0553572B2 JP 59162755 A JP59162755 A JP 59162755A JP 16275584 A JP16275584 A JP 16275584A JP H0553572 B2 JPH0553572 B2 JP H0553572B2
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- JP
- Japan
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- amplitude
- cycles
- translational
- machining
- electrode
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Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 28
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H5/00—Combined machining
- B23H5/06—Electrochemical machining combined with mechanical working, e.g. grinding or honing
- B23H5/08—Electrolytic grinding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/26—Apparatus for moving or positioning electrode relatively to workpiece; Mounting of electrode
- B23H7/28—Moving electrode in a plane normal to the feed direction, e.g. orbiting
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は加工片を滑らかに表面仕上げするため
に、電極工具による放電によつて加工片を研磨す
る方法及び装置に係るものである。
に、電極工具による放電によつて加工片を研磨す
る方法及び装置に係るものである。
放電加工においては、加工片内への電極工具の
送り方向に垂直な面内における相対的な周期的並
進運動に従つて加工片と電極工具とを変位させつ
つ放電強度を徐々に減少させて連続仕上げ段階を
遂行させることが公知である。このようにして得
られた仕上げ表面の質は産業界の要求、即ち平均
値で0.1ミクロン以下のクレータを有する表面を
得たいという要求に常に一致しない限界を有して
いる。
送り方向に垂直な面内における相対的な周期的並
進運動に従つて加工片と電極工具とを変位させつ
つ放電強度を徐々に減少させて連続仕上げ段階を
遂行させることが公知である。このようにして得
られた仕上げ表面の質は産業界の要求、即ち平均
値で0.1ミクロン以下のクレータを有する表面を
得たいという要求に常に一致しない限界を有して
いる。
両電極を相対的な周期的並進運動に従つて所定
の振巾で変位させ、同時に所定の強さの連続放電
を両電極にまたがつて発生させるようにし、並進
運動の振巾を研磨する表面の寸法の減少に対する
電極工具の寸法の減少の関数として選択するよう
にして電極工具によつて放電加工により加工片電
極を研磨する方法が知られている。
の振巾で変位させ、同時に所定の強さの連続放電
を両電極にまたがつて発生させるようにし、並進
運動の振巾を研磨する表面の寸法の減少に対する
電極工具の寸法の減少の関数として選択するよう
にして電極工具によつて放電加工により加工片電
極を研磨する方法が知られている。
本発明の主目的は、所定の開始状態の下で最良
の利用可能表面仕上げを達成することである。研
磨動作の持続時間は、得られる表面仕上げ重要な
効果を有している。研磨動作が短か過ぎる場合に
は最適表面仕上げを得ることはできない。しか
し、最良の表面仕上げが得られるまで研磨動作を
続行した後は、それ以上の研磨動作を行なうと加
工表面は徐々に劣化して行く。
の利用可能表面仕上げを達成することである。研
磨動作の持続時間は、得られる表面仕上げ重要な
効果を有している。研磨動作が短か過ぎる場合に
は最適表面仕上げを得ることはできない。しか
し、最良の表面仕上げが得られるまで研磨動作を
続行した後は、それ以上の研磨動作を行なうと加
工表面は徐々に劣化して行く。
本発明は、並進運動の速さを所定値に調整し、
選択された運動の振巾に逆比例する数の並進サイ
クルを遂行することによつて、達成可能な最良の
表面仕上げを自動的に得ることができるものであ
る。
選択された運動の振巾に逆比例する数の並進サイ
クルを遂行することによつて、達成可能な最良の
表面仕上げを自動的に得ることができるものであ
る。
本発明は、本発明の上記の方法を実現する装置
を提供するものでもある。
を提供するものでもある。
以下に添付図面を参照して本発明の実施例を説
明する。
明する。
第1図の曲線は表面粗さCHを円形並進運動の
接線速度Vの関数として示したものである。接線
速度Vは並進運動の角速度Wと振巾Rとの積に等
しい。この曲線から、最小の粗さは所定の接線速
度V0において得られることが解る(この曲線は
所与の加工条件に対して実験的に決定される)。
接線速度Vの関数として示したものである。接線
速度Vは並進運動の角速度Wと振巾Rとの積に等
しい。この曲線から、最小の粗さは所定の接線速
度V0において得られることが解る(この曲線は
所与の加工条件に対して実験的に決定される)。
第2図の曲線は、接線速度V0の値を同じにし
たまま加工表面の定性値を変えた時の表面粗さ
を、加工時間tの関数として示すものである(加
工条件は各形式の放電加工機の加工表に示された
仕上げ条件を加工条件とする)。曲線S1は小さ
い表面領域に関するものであり、曲線S2及びS
3は比較的大きい表面領域に係るものである。驚
くことには、各曲線の示す最小粗さが、加工され
る表面領域には無関係に加工時間t0のところで得
られているのである。実際的には加工時間t0は60
分程度の最適値を有しているのであるが、この最
適加工時間は加工状態に従つて、特定的には2つ
の電極即ち加工片と工具の材料に従つて最適値か
ら多少は変化することは明白であろう。
たまま加工表面の定性値を変えた時の表面粗さ
を、加工時間tの関数として示すものである(加
工条件は各形式の放電加工機の加工表に示された
仕上げ条件を加工条件とする)。曲線S1は小さ
い表面領域に関するものであり、曲線S2及びS
3は比較的大きい表面領域に係るものである。驚
くことには、各曲線の示す最小粗さが、加工され
る表面領域には無関係に加工時間t0のところで得
られているのである。実際的には加工時間t0は60
分程度の最適値を有しているのであるが、この最
適加工時間は加工状態に従つて、特定的には2つ
の電極即ち加工片と工具の材料に従つて最適値か
ら多少は変化することは明白であろう。
実際の例によれば、第1図の曲線の接線速度
V0は1500ミクロン/分であり、加工時間t0が60分
であるので積V0T0は90000である。速度V0は円
形並進運動の半径とは無関係に保たなければなら
ないので、並進運動の毎分サイクル数は選択され
た振巾の逆関数に従つて調整しなければならない
のは当然である。同様に、加工時間t0の間に遂行
さるべき合計サイクル数も選択された振巾の逆関
数である。
V0は1500ミクロン/分であり、加工時間t0が60分
であるので積V0T0は90000である。速度V0は円
形並進運動の半径とは無関係に保たなければなら
ないので、並進運動の毎分サイクル数は選択され
た振巾の逆関数に従つて調整しなければならない
のは当然である。同様に、加工時間t0の間に遂行
さるべき合計サイクル数も選択された振巾の逆関
数である。
上例ではサイクル数と並進運動振巾との積が
90000であるので、もし振巾を100ミクロンとすれ
ば、60分の加工時間で1500ミクロン/分の速度
V0を得るためには900サイクルの並進運動を遂行
しなければならない。
90000であるので、もし振巾を100ミクロンとすれ
ば、60分の加工時間で1500ミクロン/分の速度
V0を得るためには900サイクルの並進運動を遂行
しなければならない。
60分間に900並進運動サイクル回数を行うと毎
分当たり15並進運動サイクル回数となり、各回数
は100ミクロンに相当するから1分当たりの並進
運動は15×100=1500ミクロンとなる。
分当たり15並進運動サイクル回数となり、各回数
は100ミクロンに相当するから1分当たりの並進
運動は15×100=1500ミクロンとなる。
第3図の曲線は、速度V0において加工時間t0を
達成するために、即ち考え得る最良の表面仕上げ
を得ることができる加工条件の下で維持しなけれ
ばならない加工サイクル数Nと並進運動の振巾R
との間の関係を示すものである。
達成するために、即ち考え得る最良の表面仕上げ
を得ることができる加工条件の下で維持しなけれ
ばならない加工サイクル数Nと並進運動の振巾R
との間の関係を示すものである。
積V0t0は加工動作中に電極の単一の点が走行す
る合計距離を限定するので、積V0t0が2πRN(R
は円径並進運動の半径、Nは合計サイクル数)に
も等しいことは明白である。従つて最適条件を達
成するためには、第3図に示す逆関数に従つてR
及びNを変化させなければならない。例えばRの
値を選択してしまえば、考え得る最良の表面仕上
げを得るために遂行すべき並進運動サイクルの数
Nを決定することができる。
る合計距離を限定するので、積V0t0が2πRN(R
は円径並進運動の半径、Nは合計サイクル数)に
も等しいことは明白である。従つて最適条件を達
成するためには、第3図に示す逆関数に従つてR
及びNを変化させなければならない。例えばRの
値を選択してしまえば、考え得る最良の表面仕上
げを得るために遂行すべき並進運動サイクルの数
Nを決定することができる。
第4図に示す装置は、パルス発生器Gから得ら
れた放電を用いて電極工具2によつて加工片1を
加工するためのものであつて、2つのステツピン
グモータ4及び5によつて駆動される横送り台3
を備えている。ステツピングモータ4及び5は、
それぞれ並進運動の角速度及び半径を表わすW及
びRのプリセツト値に反応する2つの信号に応答
する回路6によつて制御される。
れた放電を用いて電極工具2によつて加工片1を
加工するためのものであつて、2つのステツピン
グモータ4及び5によつて駆動される横送り台3
を備えている。ステツピングモータ4及び5は、
それぞれ並進運動の角速度及び半径を表わすW及
びRのプリセツト値に反応する2つの信号に応答
する回路6によつて制御される。
2つの制御信号を発生し、考え得る最良の表面
仕上げが得られる時点に加工動作を停止せしめる
命令信号を得るための回路は、第4図の下部に示
す3つのプログラマブル指令入力素子7,8及び
9を備えている。人力素子7は接線速度V0に関
する指令を発生するものであつて、選択された接
線速度に比例する周波数のパルスFVを供給する
パルス発生器からなつている。入力素子8もパル
ス発生器であつて、選択された並進運動の振巾R
に比例する周波数のパルスFRを発生する。最後
に入力素子9はパラメータt0を受入れ、パルス発
生器7から供給される周波数FVと加工時間とし
て選択された時間t0とを乗じたものに比例する周
波数のパルスを供給する周波数マルチプライヤで
ある。即ち周波数マルチプライヤ9の出力の周波
数はt0・FVである。
仕上げが得られる時点に加工動作を停止せしめる
命令信号を得るための回路は、第4図の下部に示
す3つのプログラマブル指令入力素子7,8及び
9を備えている。人力素子7は接線速度V0に関
する指令を発生するものであつて、選択された接
線速度に比例する周波数のパルスFVを供給する
パルス発生器からなつている。入力素子8もパル
ス発生器であつて、選択された並進運動の振巾R
に比例する周波数のパルスFRを発生する。最後
に入力素子9はパラメータt0を受入れ、パルス発
生器7から供給される周波数FVと加工時間とし
て選択された時間t0とを乗じたものに比例する周
波数のパルスを供給する周波数マルチプライヤで
ある。即ち周波数マルチプライヤ9の出力の周波
数はt0・FVである。
パルス発生器7の出力のパルス信号FVはアツ
プダウンカウンタ10の入力に供給される。カウ
ンタ10の内容はデイジタル信号Wとして、ステ
ツピングモータ4及び5の制御回路6の別の入力
に印加される。このW信号はバイナリレートマル
チプライヤBRM1にも印加される。BRM1の
乗算レートは信号Wによつて決定される。
プダウンカウンタ10の入力に供給される。カウ
ンタ10の内容はデイジタル信号Wとして、ステ
ツピングモータ4及び5の制御回路6の別の入力
に印加される。このW信号はバイナリレートマル
チプライヤBRM1にも印加される。BRM1の
乗算レートは信号Wによつて決定される。
バイナリレートマルチプライヤBRM1の別の
入力には、並進運動の所望振巾を限定する周波数
を有するパルスFRがパルス発生器8から印加さ
れている。従つてバイナリレートマルチプライヤ
BRM1の出力信号は周波数FRと乗算レートWと
の積である信号WFRであり、この信号WFRはカ
ウンタ10のダウンカウンテイング入力に供給さ
れる。カウンタ10のアツプカウンテイング入力
に印加される周波数FVのパルスは、バイナリレ
ートマルチプライヤBRM1の出力パルスが周波
数FVと同じ周波数に達するまで、従つて出力信
号が安定するまでカウンタ10の出力のデイジタ
ル信号の値を増加させて行く。この時点に達する
と、FV=WFRとなる(これはV0=WRと同じ関
係である)のでこのデイジタル信号がWを限定す
ることになる。
入力には、並進運動の所望振巾を限定する周波数
を有するパルスFRがパルス発生器8から印加さ
れている。従つてバイナリレートマルチプライヤ
BRM1の出力信号は周波数FRと乗算レートWと
の積である信号WFRであり、この信号WFRはカ
ウンタ10のダウンカウンテイング入力に供給さ
れる。カウンタ10のアツプカウンテイング入力
に印加される周波数FVのパルスは、バイナリレ
ートマルチプライヤBRM1の出力パルスが周波
数FVと同じ周波数に達するまで、従つて出力信
号が安定するまでカウンタ10の出力のデイジタ
ル信号の値を増加させて行く。この時点に達する
と、FV=WFRとなる(これはV0=WRと同じ関
係である)のでこのデイジタル信号がWを限定す
ることになる。
第4図の回路には、Wの値のデイジタル表示を
決定するものと同じように、遂行すべき並進運動
のサイクル数を表わすデイジタル信号を発生する
配列が含まれている。この配列は、周波数マルチ
プライヤ9からの信号t0FVと、アツプダウンカ
ウンタ11の出力デイジタル信号によつて乗算レ
ートが定まる第2のバイナリレートマルチプライ
ヤBRM2からの信号とを受けているアツプダウ
ンカウンタ11からなつている。
決定するものと同じように、遂行すべき並進運動
のサイクル数を表わすデイジタル信号を発生する
配列が含まれている。この配列は、周波数マルチ
プライヤ9からの信号t0FVと、アツプダウンカ
ウンタ11の出力デイジタル信号によつて乗算レ
ートが定まる第2のバイナリレートマルチプライ
ヤBRM2からの信号とを受けているアツプダウ
ンカウンタ11からなつている。
これらの状態の下では、アツプダウンカウンタ
11の出力信号は、合計加工時間中に電極工具の
何れかの点が走行する合計長に比例する値を表わ
すようになる。即ち、周波数マルチプライヤ9に
接続されている入力が受ける信号はt0を並進運動
の接続速度倍したものであり、アツプダウンカウ
ンタ11の平衡を得るためにはバイナリレートマ
ルチプライヤBRM2からの出力信号は1並進運
動サイクルの長さ2πRと並進運動サイクルの合計
数Nとの積に一致しなければならない。アツプダ
ウンカウンタ11が平衡状態にあると、その出力
のデイジタル信号が2πNを限定することになる。
この出力信号はデイスクリミネータ12の入力に
印加される。デイスクリミネータ12の別の入力
は、ステツピングモータ制御回路6の出力から並
進運動のサイクルを計数することによつて得たN
に比例する信号をカウンタ13から受けている。
これらのサイクル数がカウンタ11によつてセツ
トされたサイクル数に達すると、デイスクリミネ
ータ12は信号をパルス発生器Gに供給して加工
を停止させ、またカウンタ13に供給してそれを
ゼロにリセツトさせる。
11の出力信号は、合計加工時間中に電極工具の
何れかの点が走行する合計長に比例する値を表わ
すようになる。即ち、周波数マルチプライヤ9に
接続されている入力が受ける信号はt0を並進運動
の接続速度倍したものであり、アツプダウンカウ
ンタ11の平衡を得るためにはバイナリレートマ
ルチプライヤBRM2からの出力信号は1並進運
動サイクルの長さ2πRと並進運動サイクルの合計
数Nとの積に一致しなければならない。アツプダ
ウンカウンタ11が平衡状態にあると、その出力
のデイジタル信号が2πNを限定することになる。
この出力信号はデイスクリミネータ12の入力に
印加される。デイスクリミネータ12の別の入力
は、ステツピングモータ制御回路6の出力から並
進運動のサイクルを計数することによつて得たN
に比例する信号をカウンタ13から受けている。
これらのサイクル数がカウンタ11によつてセツ
トされたサイクル数に達すると、デイスクリミネ
ータ12は信号をパルス発生器Gに供給して加工
を停止させ、またカウンタ13に供給してそれを
ゼロにリセツトさせる。
以上のように、上述の装置は最適加工時間t0に
なると研磨動作を自動的に停止する。更に、最適
速度V0をプログラマブル入力素子7に与えると、
並進運動角速度がその並進運動のために選択され
た振巾Rを考慮に入れて計算されるようになつて
いる。
なると研磨動作を自動的に停止する。更に、最適
速度V0をプログラマブル入力素子7に与えると、
並進運動角速度がその並進運動のために選択され
た振巾Rを考慮に入れて計算されるようになつて
いる。
第4図において素子9,11,12,13及び
第2のバイナリレートマルチプライヤBRM2
は、所定の加工時間t0が経過したならば(これは
並進運動のサイクルの合計数をセツトするのと等
価である)加工パルス発生器Gをカツトオフする
ことが可能な経過時間カウンタと置換できること
は明白である。
第2のバイナリレートマルチプライヤBRM2
は、所定の加工時間t0が経過したならば(これは
並進運動のサイクルの合計数をセツトするのと等
価である)加工パルス発生器Gをカツトオフする
ことが可能な経過時間カウンタと置換できること
は明白である。
並進運動振巾の選択は、遂行すべき仕事の関数
として装置の操作員によつて行なわれるものであ
る。例えばメダルをみがくのであれば並進運動の
半径を20ミクロンとするであろうし、均一な表面
を有する大きい加工片を研磨するのであれば並進
運動の半径を800ミクロン程度とするのが有利で
あろう。
として装置の操作員によつて行なわれるものであ
る。例えばメダルをみがくのであれば並進運動の
半径を20ミクロンとするであろうし、均一な表面
を有する大きい加工片を研磨するのであれば並進
運動の半径を800ミクロン程度とするのが有利で
あろう。
更に、並進運動が円形である必要はなく、例え
ば矩形或は楕円通路のような異なる型の変進通路
にも同じ原理を適用できることも明白であろう。
上記動作例は電極工具2の前面によつて加工片1
の表面を研磨するものであるが、同じ原理を用い
て加工片1の横壁を研磨できることを理解された
い。最良の表面仕上げを得るには加工片と電極工
具とにまたがる加工パルスは比較的低い電力のも
のが好ましく、また加工ゾーン新らしい加工流体
を供給せずに加工ゾーンに加工流体を維持するこ
とが好ましいことに注意されたい。
ば矩形或は楕円通路のような異なる型の変進通路
にも同じ原理を適用できることも明白であろう。
上記動作例は電極工具2の前面によつて加工片1
の表面を研磨するものであるが、同じ原理を用い
て加工片1の横壁を研磨できることを理解された
い。最良の表面仕上げを得るには加工片と電極工
具とにまたがる加工パルスは比較的低い電力のも
のが好ましく、また加工ゾーン新らしい加工流体
を供給せずに加工ゾーンに加工流体を維持するこ
とが好ましいことに注意されたい。
実施例では加工片を電極工具に対して並進運動
させているが、電極工具を加工片に対して並進運
動させてもよい。
させているが、電極工具を加工片に対して並進運
動させてもよい。
以上に本発明の方法を実施するために良く設計
された構造例を説明したが、当業者ならばこの典
型例に多くの変更が可能であろう。
された構造例を説明したが、当業者ならばこの典
型例に多くの変更が可能であろう。
第1図及び第2図は2つのパラメータの関数と
しての表面仕上げの質を示すグラフであり、第3
図は本発明によるパラメータ間の典型的関係を示
すグラフであり、そして第4図は本発明の方法を
実施する装置の概要図である。 1……加工片、2……電極工具、3……横送り
台、4,5……ステツピングモータ、6……制御
回路、7……接線速度指令入力素子、8……振巾
指令入力素子、9……時間X速度指令入力素子、
10,11……アツプダウンカウンタ、12……
デイスクリミネータ、13……カウンタ、BRM
……バイナリレートマルチプライヤ、G……パル
ス発生器。
しての表面仕上げの質を示すグラフであり、第3
図は本発明によるパラメータ間の典型的関係を示
すグラフであり、そして第4図は本発明の方法を
実施する装置の概要図である。 1……加工片、2……電極工具、3……横送り
台、4,5……ステツピングモータ、6……制御
回路、7……接線速度指令入力素子、8……振巾
指令入力素子、9……時間X速度指令入力素子、
10,11……アツプダウンカウンタ、12……
デイスクリミネータ、13……カウンタ、BRM
……バイナリレートマルチプライヤ、G……パル
ス発生器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 電極加工片と電極工具とを所定振幅の周期的
並進運動に従つて互いに対して変位させ、前記加
工片と前記電極工具とにまたがつて所定電力の電
気パルスを印加し、そして前記並進運動の振幅を
研磨すべき表面の寸法の減少に対する前記電極工
具の寸法の減少の関数として選択して電極工具に
よつて加工片を放電加工により研磨する方法にお
いて、 並進運動の接線速度を所定値に設定し、 選択した並進運動の振幅に逆比例する数の並進
運動サイクル回数を遂行し、 その並進運動サイクル回数に到達したときに加
工を中断する ことを特徴とする方法。 2 電極加工片と電極工具とにまたがつて所定電
力の連続放電を発生させつつ両電極を所定振幅の
周期的並進運動に従つて互いに他方に対して変位
させ、前記並進運動の振幅を研磨すべき表面の寸
法の減少に対する前記電極工具の寸法の減少の関
数として選択して電極工具によつて電極加工片を
放電加工により研磨する装置において、 前記両電極間に前記周期的並進運動を生じさせ
る機構、 前記並進運動の振幅及び接線速度を調整する手
段、 遂行すべき前記並進運動のサイクル回数を該運
動の振幅の逆比例の関数として計算する論理回
路、 加工中に遂行されたサイクル回数を計数する計
数手段、及び 計算されたサイクル回数に到達したときに加工
を中断させる制御手段 を備えることを特徴とする装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH6722/83-6 | 1983-12-16 | ||
| CH6722/83A CH655030A5 (fr) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | Procede et dispositif pour le polissage par electroerosion. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60131126A JPS60131126A (ja) | 1985-07-12 |
| JPH0553572B2 true JPH0553572B2 (ja) | 1993-08-10 |
Family
ID=4314026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59162755A Granted JPS60131126A (ja) | 1983-12-16 | 1984-08-01 | Edm研磨装置及び方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4623772A (ja) |
| EP (1) | EP0163800B1 (ja) |
| JP (1) | JPS60131126A (ja) |
| CH (1) | CH655030A5 (ja) |
| DE (1) | DE3480533D1 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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