JPH0555255B2 - - Google Patents
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- JPH0555255B2 JPH0555255B2 JP60142020A JP14202085A JPH0555255B2 JP H0555255 B2 JPH0555255 B2 JP H0555255B2 JP 60142020 A JP60142020 A JP 60142020A JP 14202085 A JP14202085 A JP 14202085A JP H0555255 B2 JPH0555255 B2 JP H0555255B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- machining
- workpiece
- discharge machining
- spindle
- Prior art date
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、工作物を取付けた工作物台が静止
し、電極が少なくとも２軸以上て制御動作する放
電加工装置に関する。
し、電極が少なくとも２軸以上て制御動作する放
電加工装置に関する。
従来の放電加工装置は、ベツド上に配置され、
互いに直角なＸ軸、Ｙ軸方向に移動するテーブル
の上に工作物を設置し、そのテーブルの周囲に側
壁を立てて加工槽を形成し、その中に加工液を入
れるようになつている。工作物を加工する電極の
方はベツドの側部に固定立設したコラムの摺動面
を摺動するラムに支持され、テーブルと鉛直方向
に相対向して相対向に移動するヘツドに、更に回
転摺動可能に支持されたスピンドルの先端に装着
されて鉛直の一軸方向に制御動作している。この
ように工作物と電極とを対峙させて加工間隙を設
け、相対的に移動させながら、両者間に加工電圧
パルスを印加して放電加工をするものである。
互いに直角なＸ軸、Ｙ軸方向に移動するテーブル
の上に工作物を設置し、そのテーブルの周囲に側
壁を立てて加工槽を形成し、その中に加工液を入
れるようになつている。工作物を加工する電極の
方はベツドの側部に固定立設したコラムの摺動面
を摺動するラムに支持され、テーブルと鉛直方向
に相対向して相対向に移動するヘツドに、更に回
転摺動可能に支持されたスピンドルの先端に装着
されて鉛直の一軸方向に制御動作している。この
ように工作物と電極とを対峙させて加工間隙を設
け、相対的に移動させながら、両者間に加工電圧
パルスを印加して放電加工をするものである。
この従来の放電加工装置は加工槽の中にテーブ
ルがあるから、工作物をテーブルに設置する際に
は、加工槽の側壁を開くか、加工槽の側壁全体を
テーブルの下方に下げなければならない不便さが
あり、しかもテーブルに設置することができる工
作物の大きさは、テーブルの大きさと移動量から
制御されることになり、反面小さな工作物も大き
なテーブルに設置して多量の加工液を供給しなが
ら加工しなければならない。このようにしてテー
ブルに設置した工作物を加工する電極は前記した
複雑な構成のもとにスピンドルに装着されて工作
物と対峙しているから、工作物と電極との間に加
工電圧パルスを印加して放電加工を行なうと、電
極及び放電点は一種の発熱源となつているから、
この発熱や室温の変化のためにコラムが変形した
り、ベツドが凸状に変形したりして工作物に対す
る電極の位置や向きを変えることになる。つま
り、従来の放電加工装置は鉛直なＺ軸方向にレシ
プロ制御動作する電極と、Ｘ，Ｙの平面上を制御
移動すると工作物とは遠隔なところから複雑な構
造物を介して接近し対峙しているから、僅かな発
熱による構造物の変形で電極と工作物との相対的
位置関係に狂いが生じ、加工精度を低下させてい
る。しかも、このようにして加工する放電加工は
放電加工機の仕様の範囲内でしかできず、又、そ
れが設置されている特定の場所でしか行なえない
という制限があつた。
ルがあるから、工作物をテーブルに設置する際に
は、加工槽の側壁を開くか、加工槽の側壁全体を
テーブルの下方に下げなければならない不便さが
あり、しかもテーブルに設置することができる工
作物の大きさは、テーブルの大きさと移動量から
制御されることになり、反面小さな工作物も大き
なテーブルに設置して多量の加工液を供給しなが
ら加工しなければならない。このようにしてテー
ブルに設置した工作物を加工する電極は前記した
複雑な構成のもとにスピンドルに装着されて工作
物と対峙しているから、工作物と電極との間に加
工電圧パルスを印加して放電加工を行なうと、電
極及び放電点は一種の発熱源となつているから、
この発熱や室温の変化のためにコラムが変形した
り、ベツドが凸状に変形したりして工作物に対す
る電極の位置や向きを変えることになる。つま
り、従来の放電加工装置は鉛直なＺ軸方向にレシ
プロ制御動作する電極と、Ｘ，Ｙの平面上を制御
移動すると工作物とは遠隔なところから複雑な構
造物を介して接近し対峙しているから、僅かな発
熱による構造物の変形で電極と工作物との相対的
位置関係に狂いが生じ、加工精度を低下させてい
る。しかも、このようにして加工する放電加工は
放電加工機の仕様の範囲内でしかできず、又、そ
れが設置されている特定の場所でしか行なえない
という制限があつた。
そこで本発明は、垂下スピンドルの先端に電極
を取付けた電極ヘツドと、工作物を位置決め固定
する工作物台と、該工作物台と相対向して前記電
極ヘツドを保持する電極台と、前記電極のスピン
ドル軸方向と直角方向の変位を規制するように電
極又はスピンドルに係合させて電極ヘツドに取付
けた補助支持部材と、前記工作物台と電極台とを
前記対向方向と直角な方向の面に沿つて平行を保
つた状態で、対向方向に近接開離移動可能に、互
いに嵌合摺接して案内するように両者に対とし
て、且つ前記直角な方向の面上の複数の部位に設
けたガイド装置と、該各ガイド装置に設けられた
前記対向方向の送り機構及びその各駆動装置と、
前記電極を取付けた電極ヘツドを電極台に対し前
記対向方向と直角な水平直角２軸方向に夫々移動
可能に取付保持する送り機構と、その各２軸送り
機構の各駆動装置とから成り、加工液が収納され
る加工槽に搬送設置して放電加工するものである
ことを特徴とする。
を取付けた電極ヘツドと、工作物を位置決め固定
する工作物台と、該工作物台と相対向して前記電
極ヘツドを保持する電極台と、前記電極のスピン
ドル軸方向と直角方向の変位を規制するように電
極又はスピンドルに係合させて電極ヘツドに取付
けた補助支持部材と、前記工作物台と電極台とを
前記対向方向と直角な方向の面に沿つて平行を保
つた状態で、対向方向に近接開離移動可能に、互
いに嵌合摺接して案内するように両者に対とし
て、且つ前記直角な方向の面上の複数の部位に設
けたガイド装置と、該各ガイド装置に設けられた
前記対向方向の送り機構及びその各駆動装置と、
前記電極を取付けた電極ヘツドを電極台に対し前
記対向方向と直角な水平直角２軸方向に夫々移動
可能に取付保持する送り機構と、その各２軸送り
機構の各駆動装置とから成り、加工液が収納され
る加工槽に搬送設置して放電加工するものである
ことを特徴とする。
即ち、電極台又は工作物台を１個、又は複数の
サーボモータで接離させながら制御移動するよう
し、更に電極を垂下スピンドルの先端に取付けた
電極ヘツドは、電極台に互いに直角なＸ，Ｙ方向
に制御送りをすることができるものであつて、こ
のようにして組立てた電極台、又は工作物台を吊
り上げて加工槽の中に入れて、加工液の中で往復
移動させたり、加工槽を往復移動させることによ
つて加工間隙に加工液を流通せしめながら放電加
工を行なうようにしたとから、電極及び支持スピ
ンドルのスピンドル軸方向と直角方向の変位が生
じ易いもので、本発明は係る点の改善のために電
極又はスピンドルを補助支持部材で補強したもの
である。
サーボモータで接離させながら制御移動するよう
し、更に電極を垂下スピンドルの先端に取付けた
電極ヘツドは、電極台に互いに直角なＸ，Ｙ方向
に制御送りをすることができるものであつて、こ
のようにして組立てた電極台、又は工作物台を吊
り上げて加工槽の中に入れて、加工液の中で往復
移動させたり、加工槽を往復移動させることによ
つて加工間隙に加工液を流通せしめながら放電加
工を行なうようにしたとから、電極及び支持スピ
ンドルのスピンドル軸方向と直角方向の変位が生
じ易いもので、本発明は係る点の改善のために電
極又はスピンドルを補助支持部材で補強したもの
である。
工作物を取付けた工作物台と、電極を取付けた
電極台とを、嵌合、摺動により案内するガイド装
置によつて連係し、しかも熱的に平衡を保つて構
成にすることができる簡単な構成であつて、工作
物と電極とを取付けるにあたつては、加工槽外の
電極、工作物の着脱作業台等の測定器具や治具の
完備しているところで正確に行なうことができ
る。このように工作物と電極とを装着した電極台
と工作物台の結合体を吊り上げて加工槽の加工液
の中に浸したならば電極と工作物とを加工電源と
制御装置とに接続して、電極を補助支持部材で支
持しながらＺ軸方向にレシプロ動作を含む制御動
作を行なわせ、電極台をＸ軸、Ｙ軸方向に制御動
作させながら放電加工を行なう。
電極台とを、嵌合、摺動により案内するガイド装
置によつて連係し、しかも熱的に平衡を保つて構
成にすることができる簡単な構成であつて、工作
物と電極とを取付けるにあたつては、加工槽外の
電極、工作物の着脱作業台等の測定器具や治具の
完備しているところで正確に行なうことができ
る。このように工作物と電極とを装着した電極台
と工作物台の結合体を吊り上げて加工槽の加工液
の中に浸したならば電極と工作物とを加工電源と
制御装置とに接続して、電極を補助支持部材で支
持しながらＺ軸方向にレシプロ動作を含む制御動
作を行なわせ、電極台をＸ軸、Ｙ軸方向に制御動
作させながら放電加工を行なう。
即ち、前記電極の補助支持部材は、電極スビン
ドルを介して支持する電極ヘツドは電極台に対し
Ｘ，Ｙ軸２軸方向に制御移動可能に保持された構
成で電極を加工槽の加工液中に挿入した状態で、
上記制御移動を行なうことから電極が電極ヘツド
部を支点として水平方向に変位するのを防止する
ものである。
ドルを介して支持する電極ヘツドは電極台に対し
Ｘ，Ｙ軸２軸方向に制御移動可能に保持された構
成で電極を加工槽の加工液中に挿入した状態で、
上記制御移動を行なうことから電極が電極ヘツド
部を支点として水平方向に変位するのを防止する
ものである。
このような構成であるから本機ユニツトを加工
槽の中に置いた際に多少傾いたとしても、工作物
と電極との関係位置はガイドによつて保持されて
いて変わらないことからも極めて精度の良い放電
加工を行なうことができる。
槽の中に置いた際に多少傾いたとしても、工作物
と電極との関係位置はガイドによつて保持されて
いて変わらないことからも極めて精度の良い放電
加工を行なうことができる。
このように構成が簡単な放電加工用本機ユニツ
トと加工電気源及び制御装置と加工槽があればど
こでも放電加工を行なうことができ、例えば、小
形のこの放電加工用本機ユニツトを机上に載せた
小さな加工液箱の中に納めて時計部品やチツプの
加工をしたり、プールのような大きな加工槽に大
形のこの放電加工用本機ユニツトを置いて放電加
工を行なう等大小様々な加工物に対応して放電加
工を行なうことができる。
トと加工電気源及び制御装置と加工槽があればど
こでも放電加工を行なうことができ、例えば、小
形のこの放電加工用本機ユニツトを机上に載せた
小さな加工液箱の中に納めて時計部品やチツプの
加工をしたり、プールのような大きな加工槽に大
形のこの放電加工用本機ユニツトを置いて放電加
工を行なう等大小様々な加工物に対応して放電加
工を行なうことができる。
第１図に於て、工作物１が位置決め固定されて
いる工作物台２の四隅に設けた各孔３に筒状のガ
イド４に溶接又はカシメ等によつて固着した軸５
を挿入して、それをねじ６で固定する。このガイ
ド４の外周を案内として摺動する筒状のガイド７
が電極台８の対応箇所に固定され、両者によりガ
イド装置が構成されている。このガイド７の中に
はガイド４に形成したねじ孔と螺合スクリユ９が
軸受１０によつて回転自在に支持され、その端部
は電極台８に固定したシンクロモータ１１とカツ
プリング１２によつて連結して設けることにより
電極台８と工作物台２間の対向方向の送り機構と
その駆動装置を構成している。第１図を上方より
視た第２図は、第２図をＡ−Ａ断面した第３図に
示すように、電極台８に固定した軌道１３の軌道
台１４にスライド１５が固定されている。このス
ライド１５に螺合するスクリユ１６は電極台８に
枢支され、その端部を電極台８に固定したサーボ
モータ等の駆動装置１７に連結する。スライド１
５に設けた一対のガイド軸１８にはテーブル等の
電極ヘツド１９が枢支され、この電極ヘツド１９
にスクリユ２０が螺合する。そのスクリユ２０は
スライド１５に固定したブラケツト２１，２２に
よつと枢支され、一方の端部はブラケツト２２に
固定されたサーボモータ２３と連結する。このよ
うな構成で任意の方向に移動することができる電
極ヘツド１９に垂下支持されたスピンドル先端に
電極２４が固定される。
いる工作物台２の四隅に設けた各孔３に筒状のガ
イド４に溶接又はカシメ等によつて固着した軸５
を挿入して、それをねじ６で固定する。このガイ
ド４の外周を案内として摺動する筒状のガイド７
が電極台８の対応箇所に固定され、両者によりガ
イド装置が構成されている。このガイド７の中に
はガイド４に形成したねじ孔と螺合スクリユ９が
軸受１０によつて回転自在に支持され、その端部
は電極台８に固定したシンクロモータ１１とカツ
プリング１２によつて連結して設けることにより
電極台８と工作物台２間の対向方向の送り機構と
その駆動装置を構成している。第１図を上方より
視た第２図は、第２図をＡ−Ａ断面した第３図に
示すように、電極台８に固定した軌道１３の軌道
台１４にスライド１５が固定されている。このス
ライド１５に螺合するスクリユ１６は電極台８に
枢支され、その端部を電極台８に固定したサーボ
モータ等の駆動装置１７に連結する。スライド１
５に設けた一対のガイド軸１８にはテーブル等の
電極ヘツド１９が枢支され、この電極ヘツド１９
にスクリユ２０が螺合する。そのスクリユ２０は
スライド１５に固定したブラケツト２１，２２に
よつと枢支され、一方の端部はブラケツト２２に
固定されたサーボモータ２３と連結する。このよ
うな構成で任意の方向に移動することができる電
極ヘツド１９に垂下支持されたスピンドル先端に
電極２４が固定される。
今、後述する加工槽２５外の電極、工作物の着
脱作業ステイシヨン部等に於て、ねじ６を緩めて
クレーンや治具等を用い軸５を工作物台２から抜
いて作業台等に配置し、工作物台２には工作物１
を、電極台８の電極ヘツド１９には電極２４を、
測定器や治具を用いて正確に設置する。電極台８
の電極ヘツド１９にスピンドルを介して固定して
ある電極２４を取付けるチヤツク４０に補助支持
部材４１が設けられている。ここに例示する補助
支持部材４１は電極ヘツド１９と一体のチヤツク
４０から放射状に設けた複数のリンク４２と、こ
のリンク４２の先端部から垂下下リンク４３と、
このリンク４３の下端部から電極２４に向かう支
持リンク４４とからなり、各リンクの接合部分は
蝶ナツト等を緩めて回動し、緩めて固定する構造
になつていて、支持リンク４４の先端を電極２４
に当接させて、各リンクの接合部分を固定する。
このようにして電極２４を測定器や治具を用いて
正確に電極台８に固定したならば、ガイド装置
４，７の軸５を工作物台２の孔３に挿入してねじ
６で固定する。このようにして工作物台２と電極
台８とをガイド装置４，７によつて一体的に連結
した放電加工用本機ユニツトを、クレーンや治具
等により吊持搬送し、加工槽２５の加工液２６の
中に挿入設置し、図示していない加工槽２５周り
に設置してある放電加工用の加工電源と、制御装
置とをコネクタで接続して準備を完了する。次に
シンクロモータ１１で４本あるスクリユ９を同期
して回動し、工作物１と電極２４とを接近させて
適切な加工間隙を保ちながら工作物１と電極２４
とに加工電圧パルスを印加して放電加工を行な
う。電極２４は第２図に示すように、サーボモー
タ１７で矢印ａ，ｂの方向に制御移動し、サーボ
モータ２３で前記矢印ａ，ｂで示す方向と直角な
ｃ，ｄ方向に制御移動することにより、所望の並
進運動による加工、及び寄せ加工や棒状電極によ
る倣い加工をすることができる。
脱作業ステイシヨン部等に於て、ねじ６を緩めて
クレーンや治具等を用い軸５を工作物台２から抜
いて作業台等に配置し、工作物台２には工作物１
を、電極台８の電極ヘツド１９には電極２４を、
測定器や治具を用いて正確に設置する。電極台８
の電極ヘツド１９にスピンドルを介して固定して
ある電極２４を取付けるチヤツク４０に補助支持
部材４１が設けられている。ここに例示する補助
支持部材４１は電極ヘツド１９と一体のチヤツク
４０から放射状に設けた複数のリンク４２と、こ
のリンク４２の先端部から垂下下リンク４３と、
このリンク４３の下端部から電極２４に向かう支
持リンク４４とからなり、各リンクの接合部分は
蝶ナツト等を緩めて回動し、緩めて固定する構造
になつていて、支持リンク４４の先端を電極２４
に当接させて、各リンクの接合部分を固定する。
このようにして電極２４を測定器や治具を用いて
正確に電極台８に固定したならば、ガイド装置
４，７の軸５を工作物台２の孔３に挿入してねじ
６で固定する。このようにして工作物台２と電極
台８とをガイド装置４，７によつて一体的に連結
した放電加工用本機ユニツトを、クレーンや治具
等により吊持搬送し、加工槽２５の加工液２６の
中に挿入設置し、図示していない加工槽２５周り
に設置してある放電加工用の加工電源と、制御装
置とをコネクタで接続して準備を完了する。次に
シンクロモータ１１で４本あるスクリユ９を同期
して回動し、工作物１と電極２４とを接近させて
適切な加工間隙を保ちながら工作物１と電極２４
とに加工電圧パルスを印加して放電加工を行な
う。電極２４は第２図に示すように、サーボモー
タ１７で矢印ａ，ｂの方向に制御移動し、サーボ
モータ２３で前記矢印ａ，ｂで示す方向と直角な
ｃ，ｄ方向に制御移動することにより、所望の並
進運動による加工、及び寄せ加工や棒状電極によ
る倣い加工をすることができる。
第４図に示すものは、本発明放電加工用本機ユ
ニツトを吊持搬送により加工槽に搬入設置及び吊
持搬出するようにしたものであつて、ベツド２７
に直立して回動することができるコラム２８を設
け、このコラム２８にアーム２９を枢支する。こ
のアーム２９にはスクリユ３０を螺合し、スクリ
ユ３０はコラム２８に固定したブラケツト３１に
枢支し、その端部をブラケツト３１に固定したモ
ータ３２に連結する。このモータ３２によつてス
クリユ３０を回動し、それと螺合するアーム２９
を上下方向に移動する。このアーム２９にジヨイ
ント３３を介して電極台８を着脱可能に接続し、
加工槽２５内に工作物１と電極２４とを吊して加
工液２６に浸漬設置する。一方加工槽２５はベツ
ド２７に設けたリフタ３４に乗つて微小上下動さ
せ、加工間隙の加工液が流動するようにする。３
５は加工液が飛散するのを防ぐために設けたカバ
ーである。
ニツトを吊持搬送により加工槽に搬入設置及び吊
持搬出するようにしたものであつて、ベツド２７
に直立して回動することができるコラム２８を設
け、このコラム２８にアーム２９を枢支する。こ
のアーム２９にはスクリユ３０を螺合し、スクリ
ユ３０はコラム２８に固定したブラケツト３１に
枢支し、その端部をブラケツト３１に固定したモ
ータ３２に連結する。このモータ３２によつてス
クリユ３０を回動し、それと螺合するアーム２９
を上下方向に移動する。このアーム２９にジヨイ
ント３３を介して電極台８を着脱可能に接続し、
加工槽２５内に工作物１と電極２４とを吊して加
工液２６に浸漬設置する。一方加工槽２５はベツ
ド２７に設けたリフタ３４に乗つて微小上下動さ
せ、加工間隙の加工液が流動するようにする。３
５は加工液が飛散するのを防ぐために設けたカバ
ーである。
本発明の放電加工用本機ユニツトは工作物を設
置した工作物台と、電極を取付けた電極ヘツドを
保持する電極台とは両者を対向方向に案内する複
数のガイド装置によつて一体的に結合支持されて
おり、そして斯種装置ユニツトは、加工槽の加工
液中に挿入設置し、そして放電加工に際しては、
上記電極ヘツドを電極台に対し水平方向に並進移
動させながら、又はユニツトと加工槽を揺動させ
ながら加工するものであるところから、本発明は
液により電極、スピンドルが変位しないように補
助支持部材を電極ヘツドに設け、電極に係合させ
て補強支持する構成とした。
置した工作物台と、電極を取付けた電極ヘツドを
保持する電極台とは両者を対向方向に案内する複
数のガイド装置によつて一体的に結合支持されて
おり、そして斯種装置ユニツトは、加工槽の加工
液中に挿入設置し、そして放電加工に際しては、
上記電極ヘツドを電極台に対し水平方向に並進移
動させながら、又はユニツトと加工槽を揺動させ
ながら加工するものであるところから、本発明は
液により電極、スピンドルが変位しないように補
助支持部材を電極ヘツドに設け、電極に係合させ
て補強支持する構成とした。
従つて、電極と工作物とを中心にして対称的に
釣合いのとれた構成にすることができることか
ら、機械的にも熱的にも平衡を保つた放電加工用
本機ユニツトとなる。従来の片持の電極を一方の
支持点でサーボ駆動した場合、支持点よりの長さ
ｌに対して精度はl3で振れることになるのである
が、本発明の電極台は両端を複数のサーボモータ
でサーボ駆動するのでより安定となる。更に、
又、左右駆動の場合にも補強支持部材によつて補
強することができ、極めて精度の良い放電加工が
できる。しかも吊持等により搬送移動自在である
から、工作物と電極とを設置するにあたつては、
測定器具や治具の完備している着脱ステイシヨン
部等に搬送していつて行なうことができ、放電加
工も加工槽と電源さえあれば任意の場所で行なう
ことができる。しかも加工槽と電源とは何れも搬
送することができるものであるから、任意の場所
で放電加工をすることができるようになつた。例
えば、机上に、小さな加工箱を置いて、その中で
チツプ等の放電加工をすることができ、反対にプ
ールのように大きな加工槽に、クレーン等で本発
明の放電加工用本機ユニツトを搬入して、極めて
大きな工作物に対しても放電加工をすることがで
きる等、従来のベツド、コラム、テーブル、加工
槽等で構成した放電加工機にとらわれない優れた
精度と一つの加工槽に複数の放電加工用本機ユニ
ツトを搬入して放電加工する等極めて自由度の多
い放電加工を行なうことができる効果を有するも
のである。
釣合いのとれた構成にすることができることか
ら、機械的にも熱的にも平衡を保つた放電加工用
本機ユニツトとなる。従来の片持の電極を一方の
支持点でサーボ駆動した場合、支持点よりの長さ
ｌに対して精度はl3で振れることになるのである
が、本発明の電極台は両端を複数のサーボモータ
でサーボ駆動するのでより安定となる。更に、
又、左右駆動の場合にも補強支持部材によつて補
強することができ、極めて精度の良い放電加工が
できる。しかも吊持等により搬送移動自在である
から、工作物と電極とを設置するにあたつては、
測定器具や治具の完備している着脱ステイシヨン
部等に搬送していつて行なうことができ、放電加
工も加工槽と電源さえあれば任意の場所で行なう
ことができる。しかも加工槽と電源とは何れも搬
送することができるものであるから、任意の場所
で放電加工をすることができるようになつた。例
えば、机上に、小さな加工箱を置いて、その中で
チツプ等の放電加工をすることができ、反対にプ
ールのように大きな加工槽に、クレーン等で本発
明の放電加工用本機ユニツトを搬入して、極めて
大きな工作物に対しても放電加工をすることがで
きる等、従来のベツド、コラム、テーブル、加工
槽等で構成した放電加工機にとらわれない優れた
精度と一つの加工槽に複数の放電加工用本機ユニ
ツトを搬入して放電加工する等極めて自由度の多
い放電加工を行なうことができる効果を有するも
のである。
第１図本発明の正面図、第２図は平面図、第３
図は第２図のＡ−Ａ断面図矢視図、第４図は本発
明の装置を吊つたところの実施例図である。 １……工作物、２……工作物台、８……電極
台、２４……電極、４１……加工槽。
図は第２図のＡ−Ａ断面図矢視図、第４図は本発
明の装置を吊つたところの実施例図である。 １……工作物、２……工作物台、８……電極
台、２４……電極、４１……加工槽。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 垂下スピンドルの先端に電極を取付けた電極
ヘツドと、工作物を位置決め固定する工作物台
と、該工作物台と相対向して前記電極ヘツドを保
持する電極台と、前記電極のスピンドル軸方向と
直角方向の変位を規制するように電極又はスピン
ドルに係合させて電極ヘツドに取付けた補助支持
部材と、前記工作物台と電極台とを前記対向方向
と直角な方向の面に沿つて平行を保つた状態で、
対向方向に近接開離移動可能に、互いに嵌合摺接
して案内するように両者に対として、且つ前記直
角な方向の面上の複数の部位に設けたガイド装置
と、該各ガイド装置に設けられた前記対向方向の
送り機構及びその各駆動装置と、前記電極を取付
けた電極ヘツドを電極台に対し前記対向方向と直
角な水平直角２軸方向に夫々移動可能に取付保持
する送り機構と、その各２軸送り機構の各駆動装
置とから成り、加工液が収納される加工槽に搬送
設置して放電加工するものであることを特徴とす
る放電加工用本機ユニツト。 ２ 前器補助支持部材がリンク機構から成ること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の放電加
工用本機ユニツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14202085A JPS624524A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 放電加工用本機ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14202085A JPS624524A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 放電加工用本機ユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS624524A JPS624524A (ja) | 1987-01-10 |
| JPH0555255B2 true JPH0555255B2 (ja) | 1993-08-16 |
Family
ID=15305499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14202085A Granted JPS624524A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 放電加工用本機ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS624524A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7381599B2 (en) | 1993-09-20 | 2008-06-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5786557A (en) * | 1993-09-10 | 1998-07-28 | Charmilles Technologies S.A. | Electroerosion machine with a frame with a new structure |
| TW299677U (en) * | 1993-09-10 | 1997-03-01 | Charmilles Technologies Co Ltd | Electrical discharge machinine allowing the machininc of a stationary workpiece with a setting of high wear |
| KR102395091B1 (ko) * | 2015-11-27 | 2022-05-09 | 주식회사 다스 | 치가공용 금형의 방전가공용 지그와 이를 이용한 방전가공 방법 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4927580U (ja) * | 1972-06-12 | 1974-03-09 | ||
| JPS6059100B2 (ja) * | 1977-08-11 | 1985-12-23 | 三菱電機株式会社 | 放電加工装置 |
| JPS59152018A (ja) * | 1983-02-19 | 1984-08-30 | Amada Co Ltd | 放電加工装置 |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP14202085A patent/JPS624524A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7381599B2 (en) | 1993-09-20 | 2008-06-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
| US7525158B2 (en) | 1993-09-20 | 2009-04-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device having pixel electrode and peripheral circuit |
| US7569856B2 (en) | 1993-09-20 | 2009-08-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS624524A (ja) | 1987-01-10 |
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