JPH0555346A - ワーク搬送システム - Google Patents
ワーク搬送システムInfo
- Publication number
- JPH0555346A JPH0555346A JP23564391A JP23564391A JPH0555346A JP H0555346 A JPH0555346 A JP H0555346A JP 23564391 A JP23564391 A JP 23564391A JP 23564391 A JP23564391 A JP 23564391A JP H0555346 A JPH0555346 A JP H0555346A
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- Japan
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- work
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- Pending
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワークに同期して、ワークのＦＲＯＭ−ＴＯ
や加工方法指示等、ワークに関するデータを伝達する。 【構成】 モービルロボット１のロボットハンド７のワ
ーク把持装置７の下部には、ＩＤカード９が取り付けら
れている。加工装置３の移載台５の下方には、ＩＤカー
ドリーダ／ライタ８が配置されており、ＩＤカード９と
の間でデータの授受を行なう。移載台３からモービルロ
ボット１に移されるワークＷに関するデータは、ＩＤカ
ード９に書き込まれ、モービルロボット１から移載台３
に移されるワークＷに関するデータはＩＤカード９から
読み取られる。
や加工方法指示等、ワークに関するデータを伝達する。 【構成】 モービルロボット１のロボットハンド７のワ
ーク把持装置７の下部には、ＩＤカード９が取り付けら
れている。加工装置３の移載台５の下方には、ＩＤカー
ドリーダ／ライタ８が配置されており、ＩＤカード９と
の間でデータの授受を行なう。移載台３からモービルロ
ボット１に移されるワークＷに関するデータは、ＩＤカ
ード９に書き込まれ、モービルロボット１から移載台３
に移されるワークＷに関するデータはＩＤカード９から
読み取られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ベイに面した複数の装
置及びストッカの間でワークを搬送するモービルロボッ
トを利用したワーク搬送システムに関し、特にワークに
関するデータをワークとともに移動させることのできる
ワーク搬送システムに関する。
置及びストッカの間でワークを搬送するモービルロボッ
トを利用したワーク搬送システムに関し、特にワークに
関するデータをワークとともに移動させることのできる
ワーク搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は、半導体製造工程における、半導
体加工システムの一例を示す。ワーク（半導体ウエハを
複数枚収納したカセット等）はモービルロボット１によ
り搬送される。モービルロボット１は、ロボットハンド
によりスタッカ２及びマスキング装置やスパッタリング
装置等の各加工装置３との間でワークの受け渡しを行な
い、搬送経路４を走行する。搬送経路４には複数のモー
ビルロボット１が走行しており、スタッカ２及び加工装
置３は、通常１０〜２０台が１つの搬送経路４に面して
いる。このような搬送経路４と、搬送経路４に面するス
タッカ及び加工装置３とを含む単位はベイと呼ばれ、１
つのシステムで１０〜２０のベイがある。ワークは、通
常スタッカ２を介して各加工装置３間を搬送され、各加
工装置３に一定の順番で送られてさまざまな加工を施さ
れる。ベイにおけるすべての加工工程が終了したワーク
は、ストッカ２を通じてこのベイから次のシステムへと
送られる。
体加工システムの一例を示す。ワーク（半導体ウエハを
複数枚収納したカセット等）はモービルロボット１によ
り搬送される。モービルロボット１は、ロボットハンド
によりスタッカ２及びマスキング装置やスパッタリング
装置等の各加工装置３との間でワークの受け渡しを行な
い、搬送経路４を走行する。搬送経路４には複数のモー
ビルロボット１が走行しており、スタッカ２及び加工装
置３は、通常１０〜２０台が１つの搬送経路４に面して
いる。このような搬送経路４と、搬送経路４に面するス
タッカ及び加工装置３とを含む単位はベイと呼ばれ、１
つのシステムで１０〜２０のベイがある。ワークは、通
常スタッカ２を介して各加工装置３間を搬送され、各加
工装置３に一定の順番で送られてさまざまな加工を施さ
れる。ベイにおけるすべての加工工程が終了したワーク
は、ストッカ２を通じてこのベイから次のシステムへと
送られる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ストッカ２に一時保管
されるワークは、上記のように各加工装置３に順に送ら
れるが、搬送する際には、ワークがどの段階まで加工が
進んでいるかを把握して正確な順番で次工程に送るよう
モービルロボット１に指示し、また送られて来た各ワー
クに対してどのような加工を行なえばよいかを加工装置
３に指示する必要がある。
されるワークは、上記のように各加工装置３に順に送ら
れるが、搬送する際には、ワークがどの段階まで加工が
進んでいるかを把握して正確な順番で次工程に送るよう
モービルロボット１に指示し、また送られて来た各ワー
クに対してどのような加工を行なえばよいかを加工装置
３に指示する必要がある。
【０００４】よって本発明の目的は、ワークとともにワ
ークに関するデータを送ることのできるワーク搬送シス
テムを提供することにある。
ークに関するデータを送ることのできるワーク搬送シス
テムを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、各装置間でワークを搬送するモービルロボ
ットと各装置との間でワークの移載を行なう時に、各装
置の移載台に近接して備えられたＩＤカードリーダ／ラ
イタと、モービルロボットに備えられたＩＤカードとの
間で、移載されるワークに関するデータを、ワークを渡
す方から渡される方に送信するようにワーク搬送システ
ムを構成した。
に本発明は、各装置間でワークを搬送するモービルロボ
ットと各装置との間でワークの移載を行なう時に、各装
置の移載台に近接して備えられたＩＤカードリーダ／ラ
イタと、モービルロボットに備えられたＩＤカードとの
間で、移載されるワークに関するデータを、ワークを渡
す方から渡される方に送信するようにワーク搬送システ
ムを構成した。
【０００６】
【作用効果】本発明は上記の構成としたので、次のよう
な作用効果を奏する。
な作用効果を奏する。
【０００７】本発明に係るワーク搬送システムにおいて
は、ワークに関するデータは、ワーク移載時にＩＤカー
ドリーダ／ライタとＩＤカードとの間で授受される。モ
ービルロボット側にはＩＤカードが備えられ、各装置に
は、移載台に近接してＩＤカードリーダ／ライタが備え
られている。モービルロボットからワークを各装置に渡
す時には、ＩＤカードに書き込まれているデータをＩＤ
カードリーダ／ライタが読み取り、モービルロボットが
ワークを各装置から受け取る時には、ＩＤカードリーダ
／ライタがＩＤカードにデータを書き込む。モービルロ
ボット及び各装置は、ＩＤカードを介して移載されるワ
ークに関するデータを受取り、データに基づいて制御さ
れる。
は、ワークに関するデータは、ワーク移載時にＩＤカー
ドリーダ／ライタとＩＤカードとの間で授受される。モ
ービルロボット側にはＩＤカードが備えられ、各装置に
は、移載台に近接してＩＤカードリーダ／ライタが備え
られている。モービルロボットからワークを各装置に渡
す時には、ＩＤカードに書き込まれているデータをＩＤ
カードリーダ／ライタが読み取り、モービルロボットが
ワークを各装置から受け取る時には、ＩＤカードリーダ
／ライタがＩＤカードにデータを書き込む。モービルロ
ボット及び各装置は、ＩＤカードを介して移載されるワ
ークに関するデータを受取り、データに基づいて制御さ
れる。
【０００８】よって本発明に係るワーク搬送システムに
よると、ワークに関するデータは、ワークとともに移動
する。よってワークの搬送や加工についてのデータをモ
ービルロボット及び各装置にワークとともに送り、モー
ビルロボット及び各装置を制御することができる。
よると、ワークに関するデータは、ワークとともに移動
する。よってワークの搬送や加工についてのデータをモ
ービルロボット及び各装置にワークとともに送り、モー
ビルロボット及び各装置を制御することができる。
【０００９】
【実施例】以下図示の実施例について説明する。
【００１０】図１は、本発明に係るワーク搬送システム
の一実施例が適用されたモービルロボット１及び加工装
置３を示す斜視図であり、図２は同じ実施例の構成を示
すブロック図である。
の一実施例が適用されたモービルロボット１及び加工装
置３を示す斜視図であり、図２は同じ実施例の構成を示
すブロック図である。
【００１１】加工装置３にはモービルロボット１の搬送
経路に面して、移載台５が開口している。移載台５には
４つのワークＷを載せることができる。モービルロボッ
ト１は２つのワークＷを搬送することができる。モービ
ルロボット１にはロボットハンド６が備えられており、
ロボットハンド６の先端のワーク把持装置７はワークＷ
を把持して移載台５とモービルロボット１との間でワー
クＷの移載を行なうことができる。
経路に面して、移載台５が開口している。移載台５には
４つのワークＷを載せることができる。モービルロボッ
ト１は２つのワークＷを搬送することができる。モービ
ルロボット１にはロボットハンド６が備えられており、
ロボットハンド６の先端のワーク把持装置７はワークＷ
を把持して移載台５とモービルロボット１との間でワー
クＷの移載を行なうことができる。
【００１２】加工装置３の移載台５の下方には、２つの
ＩＤカードリーダ／ライタ８が配置されている。またモ
ービルロボット１のロボットハンド６のワーク把持装置
７の下部には、ＩＤカード９が取り付けられており、Ｉ
Ｄカードリーダ／ライタ８との間でデータの授受を行な
うことができる。他のすべての加工装置３及びスタッカ
２にも同様のＩＤカードリーダ／ライタ８が備えられて
いる。
ＩＤカードリーダ／ライタ８が配置されている。またモ
ービルロボット１のロボットハンド６のワーク把持装置
７の下部には、ＩＤカード９が取り付けられており、Ｉ
Ｄカードリーダ／ライタ８との間でデータの授受を行な
うことができる。他のすべての加工装置３及びスタッカ
２にも同様のＩＤカードリーダ／ライタ８が備えられて
いる。
【００１３】図２に示すように、ホストコンピュータ１
０は、スタッカ２を制御するスタッカコントローラ１１
に、特定のワークＷについてのＦＲＯＭ−ＴＯデータ及
びその他のデータを送信する。スタッカコントローラ１
１は、ワークＷがモービルロボット１に移載される時
に、そのワークＷに関するデータをＩＤカードリーダ／
ライタ８を制御してＩＤカード９に書き込む。ＩＤカー
ドリーダ／ライタ８とＩＤカード９との通信可能な距離
は約２０ｃｍであり、ワークＷの受け渡し時に確実に動
作させ、かつ隣のＩＤカードリーダ／ライタ８等と干渉
しないような性能のものが選択されている。
０は、スタッカ２を制御するスタッカコントローラ１１
に、特定のワークＷについてのＦＲＯＭ−ＴＯデータ及
びその他のデータを送信する。スタッカコントローラ１
１は、ワークＷがモービルロボット１に移載される時
に、そのワークＷに関するデータをＩＤカードリーダ／
ライタ８を制御してＩＤカード９に書き込む。ＩＤカー
ドリーダ／ライタ８とＩＤカード９との通信可能な距離
は約２０ｃｍであり、ワークＷの受け渡し時に確実に動
作させ、かつ隣のＩＤカードリーダ／ライタ８等と干渉
しないような性能のものが選択されている。
【００１４】ＩＤカード９に書き込まれたデータはモー
ビルロボット１を制御するモービルロボットコントロー
ラ１２により読み取られ、モービルロボット１をデータ
通りの加工装置３に走行させる。
ビルロボット１を制御するモービルロボットコントロー
ラ１２により読み取られ、モービルロボット１をデータ
通りの加工装置３に走行させる。
【００１５】目的の加工装置３に到着し、ワークＷを移
載する時に、そのワークＷに関するデータをＩＤカード
リーダ／ライタ８が読み取る。読み取られたデータは加
工装置３を制御する加工装置コントローラ１３に送信さ
れ、データに基づいて加工が施される。
載する時に、そのワークＷに関するデータをＩＤカード
リーダ／ライタ８が読み取る。読み取られたデータは加
工装置３を制御する加工装置コントローラ１３に送信さ
れ、データに基づいて加工が施される。
【００１６】図３を参照しつつ、さらに詳細にワークＷ
及びワークＷに関するデータの授受の過程について説明
する。
及びワークＷに関するデータの授受の過程について説明
する。
【００１７】図３に〜で示される順番で、ワークＷ
は入れ替えられる。すなわち、移載台３の台Ａからモ
ービルロボット１の台ａ、ｃからＡ、Ｂからｂ、
ｄからＢである。これにより、モービルロボット１の台
ｃ，ｄに載せられていたワークＷは移載台３の台Ａ，Ｂ
に、移載台３の台Ａ，Ｂに載せられていたワークＷはモ
ービルロボット１の台ａ，ｂにそれぞれ移載される。
は入れ替えられる。すなわち、移載台３の台Ａからモ
ービルロボット１の台ａ、ｃからＡ、Ｂからｂ、
ｄからＢである。これにより、モービルロボット１の台
ｃ，ｄに載せられていたワークＷは移載台３の台Ａ，Ｂ
に、移載台３の台Ａ，Ｂに載せられていたワークＷはモ
ービルロボット１の台ａ，ｂにそれぞれ移載される。
【００１８】このとき、ＩＤカードリーダ／ライタ８に
より、移載台３に載せられていたワークＷに関するデー
タは、ＩＤカード９に書き込まれ、モービルロボット１
に載せられていたワークＷに関するデータは、ＩＤカー
ド９から読み取られる。読み取られたデータは、ＩＤカ
ードリーダ／ライタ８により消去される。
より、移載台３に載せられていたワークＷに関するデー
タは、ＩＤカード９に書き込まれ、モービルロボット１
に載せられていたワークＷに関するデータは、ＩＤカー
ド９から読み取られる。読み取られたデータは、ＩＤカ
ードリーダ／ライタ８により消去される。
【００１９】以上示したように、本実施例のワーク搬送
システムによると、ワークＷに関するデータは、ワーク
Ｗと同期して移動する。従ってワークＷの搬送や加工に
ついてのデータをモービルロボット１及び各加工装置３
にワークＷとともに送り、モービルロボット１及び各加
工装置３を制御することができる。また、この方式によ
れば他の方式に比べて配線工事が少なくて済む。さら
に、ワークＷにＩＤカードを取り付けずにモービルロボ
ット１に取り付けるようにしたので、ＩＤカード９の数
が少なくて済む。
システムによると、ワークＷに関するデータは、ワーク
Ｗと同期して移動する。従ってワークＷの搬送や加工に
ついてのデータをモービルロボット１及び各加工装置３
にワークＷとともに送り、モービルロボット１及び各加
工装置３を制御することができる。また、この方式によ
れば他の方式に比べて配線工事が少なくて済む。さら
に、ワークＷにＩＤカードを取り付けずにモービルロボ
ット１に取り付けるようにしたので、ＩＤカード９の数
が少なくて済む。
【００２０】以上本発明の実施例について説明したが、
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明
の要旨の範囲内において適宜変形実施可能であることは
言うまでもない。
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明
の要旨の範囲内において適宜変形実施可能であることは
言うまでもない。
【図１】本発明に係るワーク搬送システムの一実施例が
適用されたモービルロボット及び移載台を示す斜視図で
ある。
適用されたモービルロボット及び移載台を示す斜視図で
ある。
【図２】同じ実施例の構成を示すブロック図である。
【図３】同じ実施例におけるワーク移載の手順について
示す概略平面図である。
示す概略平面図である。
【図４】同じ実施例が適用可能な半導体加工システムの
一例を示す概略平面図である。
一例を示す概略平面図である。
１ モービルロボット ３ 加工装置 ５ 移載台 ６ ロボットハンド ７ ワーク把持装置 ８ ＩＤカードリーダ／ライタ ９ ＩＤカード
Claims (1)
- 【請求項１】 各装置間でワークを搬送するモービルロ
ボットと各装置との間でワークの移載を行なう時に、各
装置の移載台に近接して備えられたＩＤカードリーダ／
ライタと、モービルロボットに備えられたＩＤカードと
の間で、移載されるワークに関するデータを、ワークを
渡す方から渡される方に送信することを特徴とするワー
ク搬送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23564391A JPH0555346A (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | ワーク搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23564391A JPH0555346A (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | ワーク搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0555346A true JPH0555346A (ja) | 1993-03-05 |
Family
ID=16989057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23564391A Pending JPH0555346A (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | ワーク搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0555346A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10293499B2 (en) | 2017-02-06 | 2019-05-21 | Fanuc Corporation | Movable robot |
-
1991
- 1991-08-23 JP JP23564391A patent/JPH0555346A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10293499B2 (en) | 2017-02-06 | 2019-05-21 | Fanuc Corporation | Movable robot |
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