JPH0555668A - 固体レーザ装置 - Google Patents
固体レーザ装置Info
- Publication number
- JPH0555668A JPH0555668A JP3210660A JP21066091A JPH0555668A JP H0555668 A JPH0555668 A JP H0555668A JP 3210660 A JP3210660 A JP 3210660A JP 21066091 A JP21066091 A JP 21066091A JP H0555668 A JPH0555668 A JP H0555668A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitor
- switching element
- energy
- solid
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 固体レーザにおいて、励起用ランプへの供給
エネルギーを制御することにより、パルスレーザ発振の
パルスエネルギーの波形を変化させ、レーザエネルギー
の過多または不足等のない、安定で適正なレーザ加工が
行える固体レーザ装置を提供する。 【構成】 従来の固体パルスレーザ用電源に、複数のサ
ブコンデンサ９と、複数のスイッチング素子３，６，
７，８と、ゲート信号制御回路１２を付加し、複数のス
イッチング素子３，６，７，８を連携させ種々の組合せ
で開閉させることにより、パルスレーザ発振の個々のパ
ルスエネルギー波形を連続的かつ任意に変化させる。
エネルギーを制御することにより、パルスレーザ発振の
パルスエネルギーの波形を変化させ、レーザエネルギー
の過多または不足等のない、安定で適正なレーザ加工が
行える固体レーザ装置を提供する。 【構成】 従来の固体パルスレーザ用電源に、複数のサ
ブコンデンサ９と、複数のスイッチング素子３，６，
７，８と、ゲート信号制御回路１２を付加し、複数のス
イッチング素子３，６，７，８を連携させ種々の組合せ
で開閉させることにより、パルスレーザ発振の個々のパ
ルスエネルギー波形を連続的かつ任意に変化させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、産業機器や医療機器に
利用され、フラッシュランプ等の光によって励起される
固体レーザ装置に関する。
利用され、フラッシュランプ等の光によって励起される
固体レーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】固体レーザ装置は産業機器としては半導
体分野のトリミング，スクライビングをはじめとしてマ
ーキング，半田付け，溶接および切断とその利用分野は
年々拡大し、医療分野においても内科，外科および歯科
治療器としての利用拡大が著しい。
体分野のトリミング，スクライビングをはじめとしてマ
ーキング，半田付け，溶接および切断とその利用分野は
年々拡大し、医療分野においても内科，外科および歯科
治療器としての利用拡大が著しい。
【０００３】まず、固体レーザ装置について図面を参照
して説明する。図２は固体レーザ装置の構成を示してい
る。図２において、１０はレーザ媒質を励起するための
フラッシュランプ等の励起用ランプ、１５はレーザ媒
質、１６は光エネルギー（以下、励起光という）を反射
するための反射体（以下、リフレクタという）、１７は
部分反射鏡、１８は全反射鏡、１９は励起用ランプの駆
動電源である。なお、リフレクタ１６は励起光を反射し
て効率良くレーザ媒質に入射させるためのもので、この
例では筒状をしているが筒状に限ったものではない。
して説明する。図２は固体レーザ装置の構成を示してい
る。図２において、１０はレーザ媒質を励起するための
フラッシュランプ等の励起用ランプ、１５はレーザ媒
質、１６は光エネルギー（以下、励起光という）を反射
するための反射体（以下、リフレクタという）、１７は
部分反射鏡、１８は全反射鏡、１９は励起用ランプの駆
動電源である。なお、リフレクタ１６は励起光を反射し
て効率良くレーザ媒質に入射させるためのもので、この
例では筒状をしているが筒状に限ったものではない。
【０００４】このような構成の固体レーザ装置におい
て、励起用ランプ１０から出射した励起光は直接または
リフレクタ１６で反射されてレーザ媒体１５に入射吸収
されて、レーザ媒体１５を励起し、レーザ媒質１５とそ
の両側に配置された部分反射鏡１７と全反射鏡１８とで
構成した光共振器によって共振状態となり、部分反射鏡
１７から外部に取り出される。
て、励起用ランプ１０から出射した励起光は直接または
リフレクタ１６で反射されてレーザ媒体１５に入射吸収
されて、レーザ媒体１５を励起し、レーザ媒質１５とそ
の両側に配置された部分反射鏡１７と全反射鏡１８とで
構成した光共振器によって共振状態となり、部分反射鏡
１７から外部に取り出される。
【０００５】次に、従来の固体レーザ用の電源の回路構
成を図５に示す。図５において、１はコンデンサバンク
２の充電電流を制限する第１のインダクタンス、３はコ
ンデンサバンク２の放電を制御するためのスイッチング
素子、４は励起用ランプ１０への流入電流を制限する第
２のインダクタンス、５は逆流防止用のダイオード、７
はスイッチング素子３を制御するためのゲート信号回
路、１１はコンデンサバンク２の充電用電源である。
成を図５に示す。図５において、１はコンデンサバンク
２の充電電流を制限する第１のインダクタンス、３はコ
ンデンサバンク２の放電を制御するためのスイッチング
素子、４は励起用ランプ１０への流入電流を制限する第
２のインダクタンス、５は逆流防止用のダイオード、７
はスイッチング素子３を制御するためのゲート信号回
路、１１はコンデンサバンク２の充電用電源である。
【０００６】以上のように構成された固体レーザ用の電
源について、その動作を説明する。図５に示す固体レー
ザ用の電源において、充電電源１１からインダクタンス
１を介してコンデンサバンク２を充電する。一定電圧に
充電されたコンデンサバンク２の充電エネルギーはスイ
ッチング素子３によって励起用ランプ１０に供給され
る。この時、励起用ランプ１０へ供給されるコンデンサ
バンク２からのエネルギーは、ゲート信号制御回路７に
より制御され一定時間供給される。励起用ランプ１０へ
のエネルギーにより、励起用ランプ１０は一定時間発光
し、図２において説明したように、レーザ媒質１５が励
起され、光共振器により発振状態となり、部分反射鏡１
７からレーザ光として出射される。
源について、その動作を説明する。図５に示す固体レー
ザ用の電源において、充電電源１１からインダクタンス
１を介してコンデンサバンク２を充電する。一定電圧に
充電されたコンデンサバンク２の充電エネルギーはスイ
ッチング素子３によって励起用ランプ１０に供給され
る。この時、励起用ランプ１０へ供給されるコンデンサ
バンク２からのエネルギーは、ゲート信号制御回路７に
より制御され一定時間供給される。励起用ランプ１０へ
のエネルギーにより、励起用ランプ１０は一定時間発光
し、図２において説明したように、レーザ媒質１５が励
起され、光共振器により発振状態となり、部分反射鏡１
７からレーザ光として出射される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上の構成の従来の固
体レーザ用電源では、励起用ランプ１０へ供給されるエ
ネルギーは、コンデンサバンク２の充電エネルギーであ
るため、時間経過に対して一定であり、励起用ランプか
ら出射される励起光を時間軸に対して変化させることが
できない。したがって、固体パルスレーザを用いたレー
ザ加工を行う場合、レーザ光のエネルギーを連続的かつ
任意に変化させることができず、また、レーザ光の時間
軸に対するエネルギー（照射形態）を任意に変化できな
いため、レーザエネルギー過多またはレーザエネルギー
不足により、最適の条件により安定にレーザ加工を行う
ことが困難であり、特にレーザ溶接，レーザ切断等にお
いていは、加工物表面に不必要な酸化層や熱歪みなどの
変質を生じる等の問題を有していた。
体レーザ用電源では、励起用ランプ１０へ供給されるエ
ネルギーは、コンデンサバンク２の充電エネルギーであ
るため、時間経過に対して一定であり、励起用ランプか
ら出射される励起光を時間軸に対して変化させることが
できない。したがって、固体パルスレーザを用いたレー
ザ加工を行う場合、レーザ光のエネルギーを連続的かつ
任意に変化させることができず、また、レーザ光の時間
軸に対するエネルギー（照射形態）を任意に変化できな
いため、レーザエネルギー過多またはレーザエネルギー
不足により、最適の条件により安定にレーザ加工を行う
ことが困難であり、特にレーザ溶接，レーザ切断等にお
いていは、加工物表面に不必要な酸化層や熱歪みなどの
変質を生じる等の問題を有していた。
【０００８】本発明は上記従来の問題点を解消するもの
で、パルスレーザを用いたレーザ加工を行う場合に、パ
ルスレーザ光のエネルギー（光波形）を時間とともに任
意に変化させることにより、レーザエネルギー過多やレ
ーザエネルギー不足等のない安定で最適なレーザ加工を
可能にするとともに、レーザ加工物の表面に生じる変質
の低減を可能にした固体レーザ装置を提供することを目
的とする。
で、パルスレーザを用いたレーザ加工を行う場合に、パ
ルスレーザ光のエネルギー（光波形）を時間とともに任
意に変化させることにより、レーザエネルギー過多やレ
ーザエネルギー不足等のない安定で最適なレーザ加工を
可能にするとともに、レーザ加工物の表面に生じる変質
の低減を可能にした固体レーザ装置を提供することを目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の固体レーザ装置は、主となるコンデンサ（以
下メインコンデンサという）以外に複数のコンデンサ
（以下サブコンデンサという）と、複数のスイッチング
素子を備え、それら複数のスイッチング素子を互いに連
携させて種々の組合せの開閉を制御するゲート信号回路
を付加した構成としたものである。
に本発明の固体レーザ装置は、主となるコンデンサ（以
下メインコンデンサという）以外に複数のコンデンサ
（以下サブコンデンサという）と、複数のスイッチング
素子を備え、それら複数のスイッチング素子を互いに連
携させて種々の組合せの開閉を制御するゲート信号回路
を付加した構成としたものである。
【００１０】
【作用】上記の構成によれば、励起用ランプに供給され
る充電エネルギーを制御するため、励起用ランプへのエ
ネルギー供給時および非供給時において、複数のスイッ
チング素子の開閉の組合せを組み換えることにより、励
起用ランプへの供給エネルギーを連続的かつ種々に変化
させることが可能となり、パルスレーザ発振の個々のパ
ルスエネルギーを連続的かつ種々に変化させることがで
きる固体レーザ装置を実現することができる。
る充電エネルギーを制御するため、励起用ランプへのエ
ネルギー供給時および非供給時において、複数のスイッ
チング素子の開閉の組合せを組み換えることにより、励
起用ランプへの供給エネルギーを連続的かつ種々に変化
させることが可能となり、パルスレーザ発振の個々のパ
ルスエネルギーを連続的かつ種々に変化させることがで
きる固体レーザ装置を実現することができる。
【００１１】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１２】図１は、固体レーザ装置に用いられる本発
明のレーザ電源の一実施例を示す回路図で、１は第１の
インダクタンス、２はメインコンデンサ、３はメインコ
ンデンサの放電を制御するＧＴＯサイリスタまたはトラ
ンジスタ等の第１のスイッチング素子、４はランプ流入
電流制限用の第２のインダクタンス、５は逆流防止用の
第１のダイオード、６はサブコンデンサ９の放電を制御
する第２のスイッチング素子、７および８は電流経路を
切り換えるための第３と第４のスイッチング素子、１０
は励起用ランプとして使用されるフラッシュランプ、１
１はメインコンデンサおよびサブコンデンサを充電させ
るための充電電源、１２は複数のスイッチング素子の開
閉を制御するゲート信号制御回路、１３および１４は逆
流防止用の第３および第４のダイオードである。
明のレーザ電源の一実施例を示す回路図で、１は第１の
インダクタンス、２はメインコンデンサ、３はメインコ
ンデンサの放電を制御するＧＴＯサイリスタまたはトラ
ンジスタ等の第１のスイッチング素子、４はランプ流入
電流制限用の第２のインダクタンス、５は逆流防止用の
第１のダイオード、６はサブコンデンサ９の放電を制御
する第２のスイッチング素子、７および８は電流経路を
切り換えるための第３と第４のスイッチング素子、１０
は励起用ランプとして使用されるフラッシュランプ、１
１はメインコンデンサおよびサブコンデンサを充電させ
るための充電電源、１２は複数のスイッチング素子の開
閉を制御するゲート信号制御回路、１３および１４は逆
流防止用の第３および第４のダイオードである。
【００１３】以上のように構成されたレーザ電源につい
て、図１とともに図４を用いて説明する。
て、図１とともに図４を用いて説明する。
【００１４】まず、第１のスイッチング素子３および第
４のスイッチング素子８が開の状態において、メインコ
ンデンサ２は充電電源１１から第１のインダクタンス１
を介して充電されており、この状態から、フラッシュラ
ンプ１０へ供給される電気エネルギーを連続的に変化さ
せる制御について説明する。なお、初期状態においては
全てのスイッチング素子は開の状態にあるものとする。
４のスイッチング素子８が開の状態において、メインコ
ンデンサ２は充電電源１１から第１のインダクタンス１
を介して充電されており、この状態から、フラッシュラ
ンプ１０へ供給される電気エネルギーを連続的に変化さ
せる制御について説明する。なお、初期状態においては
全てのスイッチング素子は開の状態にあるものとする。
【００１５】図４（ａ）はフラッシュランプ１０に供給
する電気エネルギーＰLを給電の途中で減少させる場合
における電気エネルギーＰLの波形を示している。この
場合、図１の回路においては、第１のスイッチング素子
３を閉じ、第１のインダクタンス４を介してフラッシュ
ランプ１０にメインコンデンサ２の充電エネルギーを供
給し、任意設定時間ｔ1後ゲート信号制御回路１２から
の指令により、第３のスイッチング素子７を閉じ第３の
ダイオード１３を介してフラッシュランプ１０に供給さ
れている電気エネルギーの一部をサブコンデンサ９に供
給することにより、フラッシュランプ１０への供給エネ
ルギーを減少させる。この供給エネルギーの減少量はサ
ブコンデンサ９の容量と第２のインダクタンス４の大き
さによって決定される。最後に全てのスイッチング素子
を開いてフラッシュランプ１０へのエネルギーの供給を
停止する。
する電気エネルギーＰLを給電の途中で減少させる場合
における電気エネルギーＰLの波形を示している。この
場合、図１の回路においては、第１のスイッチング素子
３を閉じ、第１のインダクタンス４を介してフラッシュ
ランプ１０にメインコンデンサ２の充電エネルギーを供
給し、任意設定時間ｔ1後ゲート信号制御回路１２から
の指令により、第３のスイッチング素子７を閉じ第３の
ダイオード１３を介してフラッシュランプ１０に供給さ
れている電気エネルギーの一部をサブコンデンサ９に供
給することにより、フラッシュランプ１０への供給エネ
ルギーを減少させる。この供給エネルギーの減少量はサ
ブコンデンサ９の容量と第２のインダクタンス４の大き
さによって決定される。最後に全てのスイッチング素子
を開いてフラッシュランプ１０へのエネルギーの供給を
停止する。
【００１６】図４（ｂ）はフラッシュランプ１０に供給
する電気エネルギーＰLを給電の途中で増加させる場合
における電気エネルギーＰLの波形を示している。この
場合、図１の回路においては、まず第４のスイッチング
素子８を閉じ、サブコンデンサ９を充電しておいて、そ
の後第１のスイッチング素子３を閉じ第１のダイオード
５と第２のインダクタンス４を介してメインコンデンサ
２の充電エネルギーをフラッシュランプ１０に供給す
る。その後、任意設定時間ｔ2の後ゲート信号制御回路
１２からの指令により、第２のスイッチング素子６を閉
じるとコンデンサ９に充電されていたエネルギーがフラ
ッシュランプ１０に供給され、フラッシュランプ１０に
供給される全エネルギーが増加する。または、サブコン
デンサ９の充電エネルギーを先にフラッシュランプ１０
に供給し、設定時間ｔ2の後第１のスイッチング素子３
を閉じることによっても図４（ｂ）と同様な供給エネル
ギー特性が得られる。また、第１のスイッチング素子３
と第３のスイッチング素子７を同時に閉じ、メインコン
デンサ２の充電エネルギーの一部をサブコンデンサ９に
供給し、メインコンデンサ２の充電エネルギーの他の部
分をフラッシュランプ１０に供給し、設定時間ｔ2の後
第３のスイッチング素子を開くことによっても図４
（ｂ）と同様な供給エネルギー特性が得られる。最後に
全てのスイッチング素子を開いてフラッシュランプ１０
へのエネルギーの供給を停止する。
する電気エネルギーＰLを給電の途中で増加させる場合
における電気エネルギーＰLの波形を示している。この
場合、図１の回路においては、まず第４のスイッチング
素子８を閉じ、サブコンデンサ９を充電しておいて、そ
の後第１のスイッチング素子３を閉じ第１のダイオード
５と第２のインダクタンス４を介してメインコンデンサ
２の充電エネルギーをフラッシュランプ１０に供給す
る。その後、任意設定時間ｔ2の後ゲート信号制御回路
１２からの指令により、第２のスイッチング素子６を閉
じるとコンデンサ９に充電されていたエネルギーがフラ
ッシュランプ１０に供給され、フラッシュランプ１０に
供給される全エネルギーが増加する。または、サブコン
デンサ９の充電エネルギーを先にフラッシュランプ１０
に供給し、設定時間ｔ2の後第１のスイッチング素子３
を閉じることによっても図４（ｂ）と同様な供給エネル
ギー特性が得られる。また、第１のスイッチング素子３
と第３のスイッチング素子７を同時に閉じ、メインコン
デンサ２の充電エネルギーの一部をサブコンデンサ９に
供給し、メインコンデンサ２の充電エネルギーの他の部
分をフラッシュランプ１０に供給し、設定時間ｔ2の後
第３のスイッチング素子を開くことによっても図４
（ｂ）と同様な供給エネルギー特性が得られる。最後に
全てのスイッチング素子を開いてフラッシュランプ１０
へのエネルギーの供給を停止する。
【００１７】図４（ｃ）はフラッシュランプ１０に供給
する電気エネルギーＰLを給電の途中で段階的に減少さ
せる場合について電気エネルギーＰLの波形を示してい
る。この場合、第１のスイッチング素子３を閉じ、次に
第３のスイッチング素子７を閉じ、その後第４のスイッ
チング素子８を閉じ、第１のスイッチング素子３を開き
同時に第２のスイッチング素子６を閉じることによって
実現する。最後に第２のスイッチング素子６を開いてフ
ラッシュランプ１０に供給するエネルギーは停止する。
する電気エネルギーＰLを給電の途中で段階的に減少さ
せる場合について電気エネルギーＰLの波形を示してい
る。この場合、第１のスイッチング素子３を閉じ、次に
第３のスイッチング素子７を閉じ、その後第４のスイッ
チング素子８を閉じ、第１のスイッチング素子３を開き
同時に第２のスイッチング素子６を閉じることによって
実現する。最後に第２のスイッチング素子６を開いてフ
ラッシュランプ１０に供給するエネルギーは停止する。
【００１８】上記のスイッチング素子の開閉は、ゲート
信号制御回路１２により設定した時間と開閉の順序に従
って制御される。このように、図１に示す４個のスイッ
チング素子をゲート信号制御回路１２の信号により、種
々の時間および順番で開閉することにより、フラッシュ
ランプ１０に供給する電気エネルギーＰLの波形を変え
ることができる。なお、図４においてＴはパルス幅を表
している。
信号制御回路１２により設定した時間と開閉の順序に従
って制御される。このように、図１に示す４個のスイッ
チング素子をゲート信号制御回路１２の信号により、種
々の時間および順番で開閉することにより、フラッシュ
ランプ１０に供給する電気エネルギーＰLの波形を変え
ることができる。なお、図４においてＴはパルス幅を表
している。
【００１９】また、図３に示すように、図１の回路にメ
インコンデンサ２への充電を制御するスイッチング素子
２０を追加し、充電および放電によるメインコンデンサ
２の充電電圧の上昇または下降を利用することにより、
より多様なパルス波形を実現することが可能となり、パ
ルスレーザによるレーザ加工の加工品質の向上をより効
果的に行うことができる。
インコンデンサ２への充電を制御するスイッチング素子
２０を追加し、充電および放電によるメインコンデンサ
２の充電電圧の上昇または下降を利用することにより、
より多様なパルス波形を実現することが可能となり、パ
ルスレーザによるレーザ加工の加工品質の向上をより効
果的に行うことができる。
【００２０】
【発明の効果】以上の発明から明らかなように本発明に
よれば、メインコンデンサ以外に付加したサブコンデン
サと複数のスイッチング素子とゲート信号制御回路にお
いて、スイッチング素子の種々の組合せの開閉を行うこ
とにより、励起用ランプへの供給エネルギーを連続的か
つ種々に変化させることが可能となり、パルスレーザ発
振のパルスエネルギーを連続的に任意に変化させること
ができる固体レーザ装置を実現し、被加工物表面に不必
要な変質が生じることを抑制し、良好なレーザ加工を可
能とすることができる。
よれば、メインコンデンサ以外に付加したサブコンデン
サと複数のスイッチング素子とゲート信号制御回路にお
いて、スイッチング素子の種々の組合せの開閉を行うこ
とにより、励起用ランプへの供給エネルギーを連続的か
つ種々に変化させることが可能となり、パルスレーザ発
振のパルスエネルギーを連続的に任意に変化させること
ができる固体レーザ装置を実現し、被加工物表面に不必
要な変質が生じることを抑制し、良好なレーザ加工を可
能とすることができる。
【図１】本発明の固体レーザ装置に用いる電源の一実施
例を示す回路図
例を示す回路図
【図２】本発明および従来の固体レーザ装置の機器構成
図
図
【図３】本発明の固体レーザ装置に用いる電源の他の実
施例を示す回路図
施例を示す回路図
【図４】（ａ）は本発明の電源によって通電の途中でエ
ネルギーが減少するパルス波形図 （ｂ）は本発明の電源によって通電の途中でエネルギー
が増加するパルス波形図 （ｃ）は本発明の電源によって通電の途中でエネルギー
が段階的に減少するパルス波形図
ネルギーが減少するパルス波形図 （ｂ）は本発明の電源によって通電の途中でエネルギー
が増加するパルス波形図 （ｃ）は本発明の電源によって通電の途中でエネルギー
が段階的に減少するパルス波形図
【図５】固体レーザ装置に用いる従来の電源を示す回路
図
図
１ 第１のインダクタンス ２ メインコンデンサ（主となるコンデンサ） ３ 第１のスイッチング素子 ４ 第２のインダクタンス ５ 第１のダイオード ６ 第２のスイッチング素子 ７ 第３のスイッチング素子 ８ 第４のスイッチング素子 ９ サブコンデンサ（第２のコンデンサ） １０ フラッシュランプ（励起用ランプ） １１ 充電電源 １２ ゲート信号制御回路
Claims (2)
- 【請求項１】 主となるコンデンサと、その主となるコ
ンデンサを充電するための充電電源と、主となるコンデ
ンサへの充電電流を制限する第１のインダクタンスと、
励起用ランプと、励起用ランプへの流入電流を制限する
ための第２のインダクタンスと、逆流防止用の第１のダ
イオードと、主となるコンデンサと励起用ランプと第２
のインダクタンスと逆流防止用の第１のダイオードとに
接続され閉回路を形成し主となるコンデンサの電荷の放
電を制御する第１のスイッチング素子と、主となるコン
デンサ以外に第２のコンデンサと、第２のコンデンサと
励起用ランプと第２のインダクタンスとに接続され閉回
路を形成し第２のコンデンサの放電を制御する第２のス
イッチング素子と、第１のダイオードに第２のスイッチ
ング素子を介して並列に接続された逆流防止用の第２の
ダイオードと第２のコンデンサの充放電を制御する第３
のスイッチング素子の直列回路と、第１のスイッチング
素子と第１のダイオードの直列回路に第２のスイッチン
グ素子を介して並列に接続された逆流防止用の第３のダ
イオードと第２のコンデンサの充放電を制御する第４の
スイッチング素子の直列回路と、前記４個のスイッチン
グ素子を制御するゲート信号制御回路とからなり、励起
用ランプによりレーザ媒質を励起する固体レーザ装置。 - 【請求項２】 主となるコンデンサへの充電電流を開閉
するためのスイッチング素子を備えた請求項１記載の固
体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3210660A JPH0555668A (ja) | 1991-08-22 | 1991-08-22 | 固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3210660A JPH0555668A (ja) | 1991-08-22 | 1991-08-22 | 固体レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0555668A true JPH0555668A (ja) | 1993-03-05 |
Family
ID=16592998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3210660A Pending JPH0555668A (ja) | 1991-08-22 | 1991-08-22 | 固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0555668A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120079013A (ko) * | 2010-12-30 | 2012-07-11 | 제너럴 일렉트릭 캄파니 | 회로 보호 장치 및 제어기 |
-
1991
- 1991-08-22 JP JP3210660A patent/JPH0555668A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120079013A (ko) * | 2010-12-30 | 2012-07-11 | 제너럴 일렉트릭 캄파니 | 회로 보호 장치 및 제어기 |
| JP2012142279A (ja) * | 2010-12-30 | 2012-07-26 | General Electric Co <Ge> | プラズマ銃電極間のエレクトロマイグレーションを防止するためのシステム、方法、および装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5514918A (en) | Pulse generator | |
| WO2000076037A1 (en) | Pulsed diode-pumped solid-state laser | |
| US7072370B2 (en) | Arrangement for generating pulsed currents with a high repetition rate and high current strength for gas discharge pumped radiation sources | |
| JPH0555668A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JP2010073948A (ja) | パルスレーザ用電源装置 | |
| US4394764A (en) | Laser processing apparatus | |
| JPH0116317Y2 (ja) | ||
| JPH0555669A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JPH05327077A (ja) | 固体レーザ用電源装置 | |
| Togatov et al. | Electronic discharge module for pump systems of solid-state lasers | |
| JPH06237153A (ja) | パルス電源 | |
| JPH05327079A (ja) | 固体レーザ用電源装置 | |
| JP2747109B2 (ja) | パルスレーザ電源 | |
| JP3847460B2 (ja) | パルス電源装置 | |
| JPH05327078A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JP3866868B2 (ja) | パルスレーザ用電源装置 | |
| JPS6311796B2 (ja) | ||
| JPH07226658A (ja) | パルス電源 | |
| JPH05145157A (ja) | 可飽和トランスを用いた完全固体素子化磁気パルス圧縮電源回路 | |
| JPS5830717B2 (ja) | 放電灯点灯装置 | |
| JPS5882584A (ja) | レ−ザ発振器 | |
| JPS5849647Y2 (ja) | レ−ザ発振装置 | |
| JPS6235871B2 (ja) | ||
| JPS6140157B2 (ja) | ||
| JPH04280485A (ja) | Ｌｃ反転形パルスレーザ励起回路 |