JPH0555669A - 固体レーザ装置 - Google Patents
固体レーザ装置Info
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- JPH0555669A JPH0555669A JP3218347A JP21834791A JPH0555669A JP H0555669 A JPH0555669 A JP H0555669A JP 3218347 A JP3218347 A JP 3218347A JP 21834791 A JP21834791 A JP 21834791A JP H0555669 A JPH0555669 A JP H0555669A
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- switching element
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 固体レーザにおいて、励起用ランプへの供給
エネルギーを制御することにより、パルスレーザ発振の
パルスレーザエネルギーの波形を変化させ、レーザエネ
ルギーの過多または不足等のない、安定で適正なレーザ
加工が行える固体レーザ装置を提供する。 【構成】 従来の固体パルスレーザ用電源装置に第２の
スイッチング素子１１と強制放電回路９と電圧検出回路
１２とを付加したメインユニット８と、第２の充電電源
１９と第３のスイッチング素子２２と第２のダイオード
２３と第３のインダクタンス２４とサブコンデンサバン
ク２５とにより構成されたサブユニット６とを励起用ラ
ンプ１７の電源装置とする。
エネルギーを制御することにより、パルスレーザ発振の
パルスレーザエネルギーの波形を変化させ、レーザエネ
ルギーの過多または不足等のない、安定で適正なレーザ
加工が行える固体レーザ装置を提供する。 【構成】 従来の固体パルスレーザ用電源装置に第２の
スイッチング素子１１と強制放電回路９と電圧検出回路
１２とを付加したメインユニット８と、第２の充電電源
１９と第３のスイッチング素子２２と第２のダイオード
２３と第３のインダクタンス２４とサブコンデンサバン
ク２５とにより構成されたサブユニット６とを励起用ラ
ンプ１７の電源装置とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、産業機器や医療機器に
利用され、フラッシュランプ等によって励起される固体
レーザ装置に関する。
利用され、フラッシュランプ等によって励起される固体
レーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】固体レーザ装置は産業機器としては半導
体分野のトリミング，スクライビングをはじめとしてマ
ーキング，半田付け，溶接および切断とその利用分野は
年々拡大し、医療分野においても内科，外科および歯科
治療器としての利用拡大が著しい。
体分野のトリミング，スクライビングをはじめとしてマ
ーキング，半田付け，溶接および切断とその利用分野は
年々拡大し、医療分野においても内科，外科および歯科
治療器としての利用拡大が著しい。
【０００３】まず、固体レーザ装置について図面を参照
して説明する。図３は固体レーザ装置の構成を示してい
る。図３において、１７はレーザ媒質２８を励起するた
めのフラッシュランプ等の励起用ランプ、２９は光エネ
ルギー（以下、励起光という）を反射するための反射体
（以下、リフレクタという）、３０は励起用ランプの駆
動用の電源装置、３１は部分反射鏡、３２は全反射鏡で
ある。なお、リフレクタ２９は励起光を反射して効率良
くレーザ媒質に入射させるためのもので、この例では筒
状をしているが筒状に限ったものではない。
して説明する。図３は固体レーザ装置の構成を示してい
る。図３において、１７はレーザ媒質２８を励起するた
めのフラッシュランプ等の励起用ランプ、２９は光エネ
ルギー（以下、励起光という）を反射するための反射体
（以下、リフレクタという）、３０は励起用ランプの駆
動用の電源装置、３１は部分反射鏡、３２は全反射鏡で
ある。なお、リフレクタ２９は励起光を反射して効率良
くレーザ媒質に入射させるためのもので、この例では筒
状をしているが筒状に限ったものではない。
【０００４】このような構成の固体レーザ装置におい
て、励起用ランプ１７から出射した励起光は、直接また
はリフレクタ２９で反射されてレーザ媒体２８に入射吸
収されて、レーザ媒体２８を励起し、レーザ媒質２８と
その両側に配置された部分反射鏡３１と全反射鏡３２と
で構成した光共振器によって共振状態となり、部分反射
鏡３１から外部に取り出される。
て、励起用ランプ１７から出射した励起光は、直接また
はリフレクタ２９で反射されてレーザ媒体２８に入射吸
収されて、レーザ媒体２８を励起し、レーザ媒質２８と
その両側に配置された部分反射鏡３１と全反射鏡３２と
で構成した光共振器によって共振状態となり、部分反射
鏡３１から外部に取り出される。
【０００５】次に、従来の固体レーザ用の電源装置の回
路構成を図５に示す。図５において、１はコンデンサバ
ンク２の充電電流を制限するための第１のインダクタン
ス、３はコンデンサバンク２の放電を制御するためのス
イッチング素子、４は励起用ランプ１７への流入電流を
制限する第２のインダクタンス、５は逆流防止用のダイ
オード、７はスイッチング素子３を制御するためのゲー
ト信号制御回路、１０はコンデンサバンク２の充電用電
源である。
路構成を図５に示す。図５において、１はコンデンサバ
ンク２の充電電流を制限するための第１のインダクタン
ス、３はコンデンサバンク２の放電を制御するためのス
イッチング素子、４は励起用ランプ１７への流入電流を
制限する第２のインダクタンス、５は逆流防止用のダイ
オード、７はスイッチング素子３を制御するためのゲー
ト信号制御回路、１０はコンデンサバンク２の充電用電
源である。
【０００６】以上のように構成された固体レーザ用の電
源装置について、その動作を説明する。図５に示す固体
レーザ用の電源装置において、充電電源１０がインダク
タンス１を介してコンデンサバンク２を充電する。一定
電圧に充電されたコンデンサバンク２の充電エネルギー
はスイッチング素子３によって励起用ランプ１７に供給
される。この時、励起用ランプ１７へ供給されるコンデ
ンサバンク２からのエネルギーは、ゲート信号制御回路
７により制御され一定時間供給される。励起用ランプ１
７へのエネルギーにより、励起用ランプ１７は一定時間
発光し、図３において説明したように、レーザ媒質２８
が励起され、光共振器により発信状態となり、部分反射
鏡３１からレーザ光として出射される。
源装置について、その動作を説明する。図５に示す固体
レーザ用の電源装置において、充電電源１０がインダク
タンス１を介してコンデンサバンク２を充電する。一定
電圧に充電されたコンデンサバンク２の充電エネルギー
はスイッチング素子３によって励起用ランプ１７に供給
される。この時、励起用ランプ１７へ供給されるコンデ
ンサバンク２からのエネルギーは、ゲート信号制御回路
７により制御され一定時間供給される。励起用ランプ１
７へのエネルギーにより、励起用ランプ１７は一定時間
発光し、図３において説明したように、レーザ媒質２８
が励起され、光共振器により発信状態となり、部分反射
鏡３１からレーザ光として出射される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上の構成の従来の固
体レーザ用電源では、励起用ランプ１７へ供給されるエ
ネルギーは、コンデンサバンク２の充電エネルギーであ
るため、時間経過に対して一定であり、励起用ランプ１
７から出射される励起光を時間とともに変化させること
ができない。したがって、固体パルスレーザを用いたレ
ーザ加工を行う場合、レーザ光のエネルギーを連続的か
つ任意に変化させることができず、また、レーザ光の時
間経過とともにエネルギー（照射形態）を任意に変化す
ることができないため、レーザエネルギー過多またはレ
ーザエネルギー不足により、最適の条件により安定にレ
ーザ加工を行うことが困難であり、特にレーザ溶接，レ
ーザ切断等においては、加工物表面に不必要な炭化層や
熱歪みなどの変質を生じる等の問題を有していた。
体レーザ用電源では、励起用ランプ１７へ供給されるエ
ネルギーは、コンデンサバンク２の充電エネルギーであ
るため、時間経過に対して一定であり、励起用ランプ１
７から出射される励起光を時間とともに変化させること
ができない。したがって、固体パルスレーザを用いたレ
ーザ加工を行う場合、レーザ光のエネルギーを連続的か
つ任意に変化させることができず、また、レーザ光の時
間経過とともにエネルギー（照射形態）を任意に変化す
ることができないため、レーザエネルギー過多またはレ
ーザエネルギー不足により、最適の条件により安定にレ
ーザ加工を行うことが困難であり、特にレーザ溶接，レ
ーザ切断等においては、加工物表面に不必要な炭化層や
熱歪みなどの変質を生じる等の問題を有していた。
【０００８】本発明は、上記従来の問題点を解消するも
ので、パルスレーザを用いたレーザ加工を行う場合に、
パルスレーザ光のエネルギー（光波形）を時間とともに
任意に変化させることにより、レーザエネルギー過多や
レーザエネルギー不足等のない安定で最適なレーザ加工
を可能にするとともに、レーザ加工物の表面に生じる変
質の低減を可能にした固体レーザ装置を提供することを
目的とする。
ので、パルスレーザを用いたレーザ加工を行う場合に、
パルスレーザ光のエネルギー（光波形）を時間とともに
任意に変化させることにより、レーザエネルギー過多や
レーザエネルギー不足等のない安定で最適なレーザ加工
を可能にするとともに、レーザ加工物の表面に生じる変
質の低減を可能にした固体レーザ装置を提供することを
目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の固体レーザ装置は、メインコンデンサバンク
とそのメインコンデンサバンクに充電するための第１の
充電電源とメインコンデンサバンクに充電される充電電
流を制限するための第１のインダクタンスとメインコン
デンサバンクに充電された電荷の放電を制限するための
第２のインダクタンスと逆流防止用の第１のダイオード
とメインコンデンサバンクに充電された電荷の放電を制
御する第１のスイッチング素子と第１の充電電源の正の
出力端子と第１のインダクタンスの間に直列に接続され
た第２のスイッチング素子とメインコンデンサバンクに
並列に接続されメインコンデンサバンクの充電電圧とと
もに後述サブコンデンサバンクの充電電圧を検出する電
圧検出回路と第１のスイッチング素子を介してメインコ
ンデンサバンクと閉回路を作るように接続された強制放
電回路と励起用ランプを接続するための正負の出力端子
とを備え励起用ランプを正負の出力端子に接続したとき
にメインコンデンサバンクと第１のスイッチング素子と
第１のダイオードと第２のインダクタンスが励起用ラン
プを介して閉回路を形成するように接続されたメインユ
ニットと、サブコンデンサバンクとサブコンデンサバン
クに充電するための第２の充電電源とサブコンデンサバ
ンクに充電された電荷の放電を制御する第３のスイッチ
ング素子と逆流防止用の第２のダイオードとサブコンデ
ンサバンクに充電された電荷の放電を制限するための第
３のインダクタンスと励起用ランプを接続するための正
負の出力端子とを備え励起用ランプを正負の出力端子に
接続したときにサブコンデンサバンクと第３のスイッチ
ング素子と第２のダイオードと第３のインダクタンスが
励起用ランプを介して閉回路を形成するように接続され
たサブユニットと、前記各スイッチング素子の開閉を制
御するゲート信号制御回路と、励起用ランプとから構成
し、励起用ランプによりレーザ媒質を励起するようにし
たものである。
に本発明の固体レーザ装置は、メインコンデンサバンク
とそのメインコンデンサバンクに充電するための第１の
充電電源とメインコンデンサバンクに充電される充電電
流を制限するための第１のインダクタンスとメインコン
デンサバンクに充電された電荷の放電を制限するための
第２のインダクタンスと逆流防止用の第１のダイオード
とメインコンデンサバンクに充電された電荷の放電を制
御する第１のスイッチング素子と第１の充電電源の正の
出力端子と第１のインダクタンスの間に直列に接続され
た第２のスイッチング素子とメインコンデンサバンクに
並列に接続されメインコンデンサバンクの充電電圧とと
もに後述サブコンデンサバンクの充電電圧を検出する電
圧検出回路と第１のスイッチング素子を介してメインコ
ンデンサバンクと閉回路を作るように接続された強制放
電回路と励起用ランプを接続するための正負の出力端子
とを備え励起用ランプを正負の出力端子に接続したとき
にメインコンデンサバンクと第１のスイッチング素子と
第１のダイオードと第２のインダクタンスが励起用ラン
プを介して閉回路を形成するように接続されたメインユ
ニットと、サブコンデンサバンクとサブコンデンサバン
クに充電するための第２の充電電源とサブコンデンサバ
ンクに充電された電荷の放電を制御する第３のスイッチ
ング素子と逆流防止用の第２のダイオードとサブコンデ
ンサバンクに充電された電荷の放電を制限するための第
３のインダクタンスと励起用ランプを接続するための正
負の出力端子とを備え励起用ランプを正負の出力端子に
接続したときにサブコンデンサバンクと第３のスイッチ
ング素子と第２のダイオードと第３のインダクタンスが
励起用ランプを介して閉回路を形成するように接続され
たサブユニットと、前記各スイッチング素子の開閉を制
御するゲート信号制御回路と、励起用ランプとから構成
し、励起用ランプによりレーザ媒質を励起するようにし
たものである。
【００１０】
【作用】上記した構成によれば、励起用ランプへエネル
ギーを供給するとき、複数個のスイッチング素子と強制
放電回路を種々に組合せて、複数のコンデンサバンクの
充放電を制御することにより、励起用ランプに供給する
総エネルギーを変化させることが可能となり、励起用ラ
ンプから発せられる光量（光エネルギー）を種々に変化
させることにより、パルス発振の個々のパルスエネルギ
ーを連続的にかつ種々に変化させる、最適な条件により
レーザ加工ができる固体レーザ装置を提供することがで
きる。
ギーを供給するとき、複数個のスイッチング素子と強制
放電回路を種々に組合せて、複数のコンデンサバンクの
充放電を制御することにより、励起用ランプに供給する
総エネルギーを変化させることが可能となり、励起用ラ
ンプから発せられる光量（光エネルギー）を種々に変化
させることにより、パルス発振の個々のパルスエネルギ
ーを連続的にかつ種々に変化させる、最適な条件により
レーザ加工ができる固体レーザ装置を提供することがで
きる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の固体レーザ装置の一実施例に
ついて、図面を参照しながら説明する。
ついて、図面を参照しながら説明する。
【００１２】図１に本発明の固体レーザ装置の全体回路
図を示す。図１において従来例の回路を示す図５と同一
部分には同じ番号を付しているので、図５と異なる点に
ついて説明する。まず、８はメインユニットで、メイン
ユニット８において、コンデンサバンク２（以下、メイ
ンコンデンサバンクという）に並列に電圧検出回路１２
が接続され、メインコンデンサバンク２の充電電圧と後
述するサブコンデンサバンク２５の充電電圧を検出し種
々の制御に対応する。第１のスイッチング素子３のカソ
ードと充電電源１０（以下、第１の充電電源という）の
負の端子１４に接続されたグランドラインとの間に強制
放電回路９と、第１の充電電源１０の正端子１３と第１
のインダクタンス１の間に第２のスイッチング素子１１
が接続されている。なお、１５はメインユニット８の正
の出力端子、１６は負の出力端子である。６はサブユニ
ットで、第２の充電電源１９、第３のスイッチング素子
２２と、逆流防止用の第２のダイオード２３と、サブユ
ニット６からの充電電流を制限する第３のインダクタン
ス２４とから構成されている。なお、２０は充電電源１
９の正の出力端子、２１は負の出力端子、２５はサブコ
ンデンサバンク、２６はサブユニット６の正の出力端
子、２７は負の出力端子である。
図を示す。図１において従来例の回路を示す図５と同一
部分には同じ番号を付しているので、図５と異なる点に
ついて説明する。まず、８はメインユニットで、メイン
ユニット８において、コンデンサバンク２（以下、メイ
ンコンデンサバンクという）に並列に電圧検出回路１２
が接続され、メインコンデンサバンク２の充電電圧と後
述するサブコンデンサバンク２５の充電電圧を検出し種
々の制御に対応する。第１のスイッチング素子３のカソ
ードと充電電源１０（以下、第１の充電電源という）の
負の端子１４に接続されたグランドラインとの間に強制
放電回路９と、第１の充電電源１０の正端子１３と第１
のインダクタンス１の間に第２のスイッチング素子１１
が接続されている。なお、１５はメインユニット８の正
の出力端子、１６は負の出力端子である。６はサブユニ
ットで、第２の充電電源１９、第３のスイッチング素子
２２と、逆流防止用の第２のダイオード２３と、サブユ
ニット６からの充電電流を制限する第３のインダクタン
ス２４とから構成されている。なお、２０は充電電源１
９の正の出力端子、２１は負の出力端子、２５はサブコ
ンデンサバンク、２６はサブユニット６の正の出力端
子、２７は負の出力端子である。
【００１３】さらに、励起用ランプ１７は、メインユニ
ット８の正負の出力端子１５および１６と、サブユニッ
ト６の正負の出力端子２５および２６に、三者が並列に
なるように接続され、ゲート信号制御回路１８は各スイ
ッチング素子３と１１と２２のゲートに信号を入力する
ように接続されている。
ット８の正負の出力端子１５および１６と、サブユニッ
ト６の正負の出力端子２５および２６に、三者が並列に
なるように接続され、ゲート信号制御回路１８は各スイ
ッチング素子３と１１と２２のゲートに信号を入力する
ように接続されている。
【００１４】以上のように構成された固体レーザ装置の
電源装置について、図１と図４を参照しながら説明す
る。図４において、ＳＷはスイッチング素子を示してお
り、ＳＷに続く数字は、図１の回路図におけるスイッチ
ング素子の部品符号（番号）を示している。
電源装置について、図１と図４を参照しながら説明す
る。図４において、ＳＷはスイッチング素子を示してお
り、ＳＷに続く数字は、図１の回路図におけるスイッチ
ング素子の部品符号（番号）を示している。
【００１５】まず、メインユニット８においてメインコ
ンデンサバンク２に充電された電気エネルギーをスイッ
チング素子３を介して励起用ランプ１７に時間とともに
変化しない一定値で供給する。図４（ａ）に示すように
エネルギー供給時間Ｔの途中で励起用ランプ１７への入
力エネルギーを増加させるためには、サブユニット６の
サブコンデンサバンク２５の充電エネルギーを、時間Ｔ
の途中で第３のスイッチング素子２２を導通させて励起
用ランプ１７に供給することによって実現できる。この
場合、図１に示す回路図のＡ点とＢ点の電圧の関係がＶ
B＞ＶAとなるように電圧検出回路１２、第１の充電電源
１０および第２の充電電源１９によって設定し、ゲート
信号制御回路１８によって第３のスイッチング素子２２
を制御する。
ンデンサバンク２に充電された電気エネルギーをスイッ
チング素子３を介して励起用ランプ１７に時間とともに
変化しない一定値で供給する。図４（ａ）に示すように
エネルギー供給時間Ｔの途中で励起用ランプ１７への入
力エネルギーを増加させるためには、サブユニット６の
サブコンデンサバンク２５の充電エネルギーを、時間Ｔ
の途中で第３のスイッチング素子２２を導通させて励起
用ランプ１７に供給することによって実現できる。この
場合、図１に示す回路図のＡ点とＢ点の電圧の関係がＶ
B＞ＶAとなるように電圧検出回路１２、第１の充電電源
１０および第２の充電電源１９によって設定し、ゲート
信号制御回路１８によって第３のスイッチング素子２２
を制御する。
【００１６】また、逆に図４（ｂ）に示すようにエネル
ギー供給時間Ｔの途中で励起用ランプ１７への入力エネ
ルギーを急激に減少させるには、あらかじめＶA＞ＶBと
なるように第１の充電電源１０と第２の充電電源１９の
電圧を設定しておいて、時間Ｔの始めに励起用ランプ１
７にメインユニット８とサブユニット６の両方からエネ
ルギーを供給しておき、時間Ｔの途中で図１の回路図に
示す強制放電回路９を閉じて、メインコンデンサバンク
２の充電エネルギーをグランドラインに放出することに
よって達成できる。
ギー供給時間Ｔの途中で励起用ランプ１７への入力エネ
ルギーを急激に減少させるには、あらかじめＶA＞ＶBと
なるように第１の充電電源１０と第２の充電電源１９の
電圧を設定しておいて、時間Ｔの始めに励起用ランプ１
７にメインユニット８とサブユニット６の両方からエネ
ルギーを供給しておき、時間Ｔの途中で図１の回路図に
示す強制放電回路９を閉じて、メインコンデンサバンク
２の充電エネルギーをグランドラインに放出することに
よって達成できる。
【００１７】さらに、図４（ｃ）に示すように、エネル
ギー供給時間Ｔの途中で励起用ランプへの入力エネルギ
ーを緩やかに減少させるには、図４（ｂ）の場合と同様
に、あらかじめＶA＞ＶBとなるように第１の充電電源１
０と第２の充電電源１９の電圧を設定しておいて、時間
Ｔの始めに励起用ランプ１７にメインユニット８とサブ
ユニット６の両方からエネルギーを供給しておき、時間
Ｔの途中で第２のスイッチング素子１１を開くことによ
って、メインコンデンサバンク２を第１の充電電源１０
から切り放し、メインコンデンサバンク２の充電エネル
ギーを補充しないで放電だけ行わせることによって、メ
インコンデンサバンク２の充電電圧を緩やかに低下さ
せ、励起用ランプ１７への供給エネルギーを減少させる
ことができる。
ギー供給時間Ｔの途中で励起用ランプへの入力エネルギ
ーを緩やかに減少させるには、図４（ｂ）の場合と同様
に、あらかじめＶA＞ＶBとなるように第１の充電電源１
０と第２の充電電源１９の電圧を設定しておいて、時間
Ｔの始めに励起用ランプ１７にメインユニット８とサブ
ユニット６の両方からエネルギーを供給しておき、時間
Ｔの途中で第２のスイッチング素子１１を開くことによ
って、メインコンデンサバンク２を第１の充電電源１０
から切り放し、メインコンデンサバンク２の充電エネル
ギーを補充しないで放電だけ行わせることによって、メ
インコンデンサバンク２の充電電圧を緩やかに低下さ
せ、励起用ランプ１７への供給エネルギーを減少させる
ことができる。
【００１８】このように、メインユニット８の強制放電
回路９とメインユニット８とサブユニット６に設けられ
た複数のスイッチング素子を、ゲート信号制御回路１８
により、種々の組合せで協調させて開閉制御することに
より、エネルギー供給時間Ｔの途中でパルス波形を変化
させることが可能となる。
回路９とメインユニット８とサブユニット６に設けられ
た複数のスイッチング素子を、ゲート信号制御回路１８
により、種々の組合せで協調させて開閉制御することに
より、エネルギー供給時間Ｔの途中でパルス波形を変化
させることが可能となる。
【００１９】これらのパルス波形制御は、１セットのメ
インユニット８に対しサブユニット６を複数セット設け
ることによって、さらに多彩に制御することが可能とな
り、その効果を一層拡大することができる。図２に１セ
ットのメインユニット８と１個の励起用ランプに対し、
サブユニット６を３セット接続した一例を示している。
インユニット８に対しサブユニット６を複数セット設け
ることによって、さらに多彩に制御することが可能とな
り、その効果を一層拡大することができる。図２に１セ
ットのメインユニット８と１個の励起用ランプに対し、
サブユニット６を３セット接続した一例を示している。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、１セッ
トのメインユニットと１個の励起用ランプに対して、複
数セットのサブユニットを設けることにより、複数のコ
ンデンサバンクと複数のスイッチング素子を備えること
になり、さらにメインユニットが有する電圧検出回路と
強制放電回路を含め、ゲート信号制御回路の信号によ
り、種々の組合せの制御を行うことにより、励起用ラン
プへのエネルギーの供給を時間の経過とともに連続的か
つ種々に変化させることが可能となり、被加工物表面に
不必要な変質が生じることを抑制し、最適な加工条件で
レーザ加工を行うことができる。
トのメインユニットと１個の励起用ランプに対して、複
数セットのサブユニットを設けることにより、複数のコ
ンデンサバンクと複数のスイッチング素子を備えること
になり、さらにメインユニットが有する電圧検出回路と
強制放電回路を含め、ゲート信号制御回路の信号によ
り、種々の組合せの制御を行うことにより、励起用ラン
プへのエネルギーの供給を時間の経過とともに連続的か
つ種々に変化させることが可能となり、被加工物表面に
不必要な変質が生じることを抑制し、最適な加工条件で
レーザ加工を行うことができる。
【図１】本発明のレーザ加工装置に用いる電源装置の一
実施例を示す回路図
実施例を示す回路図
【図２】同電源装置にサブユニットを複数セット使用し
た例を示すブロック図
た例を示すブロック図
【図３】本発明および従来の固体レーザ装置の機器構成
図
図
【図４】（ａ）は本発明の電源装置によって通電の途中
でエネルギーが増加するパルス入力波形図 （ｂ）は本発明の電源装置によって通電の途中でエネル
ギーが急激に減少するパルス入力波形図 （ｃ）は本発明の電源装置によって通電の途中でエネル
ギーが緩やかに減少するパルス入力波形図
でエネルギーが増加するパルス入力波形図 （ｂ）は本発明の電源装置によって通電の途中でエネル
ギーが急激に減少するパルス入力波形図 （ｃ）は本発明の電源装置によって通電の途中でエネル
ギーが緩やかに減少するパルス入力波形図
【図５】固体レーザ装置に用いる従来の電源装置の回路
図
図
１ 第１のインダクタンス ２ メインコンデンサバンク ３ 第１のスイッチング素子 ４ 第２のインダクタンス ５ 第１のダイオード ６ サブユニット ８ メインユニット ９ 強制放電回路 １０ 第１の充電電源 １１ 第２のスイッチング素子 １２ 電圧検出回路 １３ 第１の充電電源の正の出力端子 １５ メインユニットの正の出力端子（正の出力端子） １６ メインユニットの負の出力端子（負の出力端子） １７ 励起用ランプ １８ ゲート信号制御回路 １９ 第２の充電電源 ２２ 第３のスイッチング素子 ２３ 第２のダイオード ２４ 第３のインダクタンス ２５ サブコンデンサバンク ２６ サブユニットの正の出力端子（正の出力端子） ２７ サブユニットの負の出力端子（負の出力端子） ２８ レーザ媒質
Claims (1)
- 【請求項１】メインコンデンサバンクとそのメインコン
デンサバンクに充電するための第１の充電電源とメイン
コンデンサバンクに充電される充電電流を制限するため
の第１のインダクタンスとメインコンデンサバンクに充
電された電荷の放電を制限するための第２のインダクタ
ンスと逆流防止用の第１のダイオードとメインコンデン
サバンクに充電された電荷の放電を制御する第１のスイ
ッチング素子と第１の充電電源の正の出力端子と第１の
インダクタンスの間に直列に接続された第２のスイッチ
ング素子とメインコンデンサバンクに並列に接続されメ
インコンデンサバンクの充電電圧とともに後述のサブコ
ンデンサバンクの充電電圧を検出する電圧検出回路と第
１のスイッチング素子を介してメインコンデンサバンク
と閉回路を作るように接続された強制放電回路と励起用
ランプを接続するための正の出力端子と負の出力端子と
を備え励起用ランプを正負の出力端子に接続したときに
メインコンデンサバンクと第１のスイッチング素子と第
１のダイオードと第２のインダクタンスが励起用ランプ
を介して閉回路を形成するように接続されたメインユニ
ットと、サブコンデンサバンクとサブコンデンサバンク
に充電するための第２の充電電源とサブコンデンサバン
クに充電された電荷の放電を制御する第３のスイッチン
グ素子と逆流防止用の第２のダイオードとサブコンデン
サバンクに充電された電荷の放電を制限するための第３
のインダクタンスと励起用ランプを接続するための正の
端子と負の出力端子とを備え励起用ランプを正負の出力
端子に接続したときにサブコンデンサバンクと第３のス
イッチング素子と第２のダイオードと第３のインダクタ
ンスが励起用ランプを介して閉回路を形成するように接
続されたサブユニットと、前記各スイッチング素子の開
閉を制御するゲート信号制御回路と、励起用ランプとか
らなり、励起用ランプによりレーザ媒質を励起する固体
レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3218347A JPH0555669A (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3218347A JPH0555669A (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 固体レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0555669A true JPH0555669A (ja) | 1993-03-05 |
Family
ID=16718451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3218347A Pending JPH0555669A (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0555669A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07115238A (ja) * | 1993-10-18 | 1995-05-02 | Shinyoo:Kk | レーザ装置 |
| JPH08204262A (ja) * | 1995-01-09 | 1996-08-09 | Korea Atom Energ Res Inst | 閃光燈励起形連続発振レーザーにおいて電流合成による高尖頭出力パルス発生法 |
| US8977177B2 (en) | 2011-03-09 | 2015-03-10 | Ricoh Company, Ltd. | Fixing device employing electromagnetic induction heating system capable of effectively using magnetic flux and image forming apparatus with fixing device |
-
1991
- 1991-08-29 JP JP3218347A patent/JPH0555669A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07115238A (ja) * | 1993-10-18 | 1995-05-02 | Shinyoo:Kk | レーザ装置 |
| JPH08204262A (ja) * | 1995-01-09 | 1996-08-09 | Korea Atom Energ Res Inst | 閃光燈励起形連続発振レーザーにおいて電流合成による高尖頭出力パルス発生法 |
| US8977177B2 (en) | 2011-03-09 | 2015-03-10 | Ricoh Company, Ltd. | Fixing device employing electromagnetic induction heating system capable of effectively using magnetic flux and image forming apparatus with fixing device |
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