JPH0715066A - パルスｙａｇレーザ装置 - Google Patents
パルスｙａｇレーザ装置Info
- Publication number
- JPH0715066A JPH0715066A JP5153081A JP15308193A JPH0715066A JP H0715066 A JPH0715066 A JP H0715066A JP 5153081 A JP5153081 A JP 5153081A JP 15308193 A JP15308193 A JP 15308193A JP H0715066 A JPH0715066 A JP H0715066A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitor
- lamp
- energy
- yag laser
- laser device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】各種加工に利用されるパルスＹＡＧレーザにお
いて、全く違った条件などに対しても最適な発振条件を
２つ以上セットできるようにして、最適な加工を連続し
て可能とする。 【構成】電源回路を構成する定電圧直流電源１により充
電され、ランプ５にエネルギーを供給するコンデンサー
２を有し、コンデンサー２の充電エネルギーをランプ５
に供給するスイッチング素子としてのトランジスタ３の
他に所定の充電電圧を得るためのスイッチング回路４と
放電インピーダンス１５の直列回路をコンデンサーと並
列に接続して、発振条件を２つ以上事前にセットできる
機能を有せしめた。
いて、全く違った条件などに対しても最適な発振条件を
２つ以上セットできるようにして、最適な加工を連続し
て可能とする。 【構成】電源回路を構成する定電圧直流電源１により充
電され、ランプ５にエネルギーを供給するコンデンサー
２を有し、コンデンサー２の充電エネルギーをランプ５
に供給するスイッチング素子としてのトランジスタ３の
他に所定の充電電圧を得るためのスイッチング回路４と
放電インピーダンス１５の直列回路をコンデンサーと並
列に接続して、発振条件を２つ以上事前にセットできる
機能を有せしめた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は産業分野で利用されるフ
ラッシュランプ、アークランプの光によって励起される
パルスＹＡＧレーザ装置に関するものである。
ラッシュランプ、アークランプの光によって励起される
パルスＹＡＧレーザ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、固体ＹＡＧレーザ装置は産業機械
としては半導体分野のトリミング、スクライビングをは
じめとしてマーキング、半田付け、溶接、切断とその利
用分野が年々拡大している。
としては半導体分野のトリミング、スクライビングをは
じめとしてマーキング、半田付け、溶接、切断とその利
用分野が年々拡大している。
【０００３】以下に従来のパルスＹＡＧレーザ装置につ
いて説明する。図２は従来から用いられるフラッシュラ
ンプを用いたパルスＹＡＧレーザの光共振部構造と電源
部構成を示す図である。図２において、１はコンデンサ
ーを充電するための定電圧直流電源、２はランプへエネ
ルギーを供給するためのコンデンサー、３はコンデンサ
ー２によるランプ発光時間を制限するスイッチング素子
としてのトランジスタ、１２はトランジスタ３の制御を
つかさどる制御回路、５はフラッシュランプであり、電
源部を構成する。６はランプ５の発光を吸収するレーザ
媒質、７はランプの光を効率よくレーザ媒質に入射させ
るための反射面を表面に有するキャビティであり、光共
振部を構成する。
いて説明する。図２は従来から用いられるフラッシュラ
ンプを用いたパルスＹＡＧレーザの光共振部構造と電源
部構成を示す図である。図２において、１はコンデンサ
ーを充電するための定電圧直流電源、２はランプへエネ
ルギーを供給するためのコンデンサー、３はコンデンサ
ー２によるランプ発光時間を制限するスイッチング素子
としてのトランジスタ、１２はトランジスタ３の制御を
つかさどる制御回路、５はフラッシュランプであり、電
源部を構成する。６はランプ５の発光を吸収するレーザ
媒質、７はランプの光を効率よくレーザ媒質に入射させ
るための反射面を表面に有するキャビティであり、光共
振部を構成する。
【０００４】このように構成されたパルスＹＡＧレーザ
装置について、以下その動作を説明する。定電圧直流電
源１により一定電圧に充電されたコンデンサー２のエネ
ルギーはスイッチング素子であるトランジスタ３によ
り、一定時間だけランプ５に供給される。ランプ５への
入力エネルギーにより、一定時間のランプ発光はレーザ
媒質６に入射し、吸収される。吸収されずに通過した光
はキャビティ７の反射面によって反射され、再びレーザ
媒質６に入射する。吸収された光のエネルギーは部分透
過鏡８と全反射鏡９に囲まれてなる光共振器１０によっ
て発振状態となり、一部がレーザ光１１となり外部に放
出される。
装置について、以下その動作を説明する。定電圧直流電
源１により一定電圧に充電されたコンデンサー２のエネ
ルギーはスイッチング素子であるトランジスタ３によ
り、一定時間だけランプ５に供給される。ランプ５への
入力エネルギーにより、一定時間のランプ発光はレーザ
媒質６に入射し、吸収される。吸収されずに通過した光
はキャビティ７の反射面によって反射され、再びレーザ
媒質６に入射する。吸収された光のエネルギーは部分透
過鏡８と全反射鏡９に囲まれてなる光共振器１０によっ
て発振状態となり、一部がレーザ光１１となり外部に放
出される。
【０００５】この際、ランプ５へ供給されるエネルギー
はコンデンサー２の充電エネルギーであるため、時間軸
に対して一定であり、ランプより発光されるエネルギー
を短時間に任意に変化させたり、コンデンサー両端の電
圧を短時間に変化させ、ランプの発光エネルギー条件を
即座に変えることは難しい。
はコンデンサー２の充電エネルギーであるため、時間軸
に対して一定であり、ランプより発光されるエネルギー
を短時間に任意に変化させたり、コンデンサー両端の電
圧を短時間に変化させ、ランプの発光エネルギー条件を
即座に変えることは難しい。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の構成では、パルスＹＡＧレーザを用いたレーザ加
工を行う際、時間経過とともに任意にレーザのエネルギ
ーを変えることができず、特に加工条件が極端に違う発
振条件にて用いる場合、被加工対象に合わせて設定する
ことが必要であり、この条件設定を怠ると、エネルギー
過多になったり、エネルギー不足になったりする問題点
を有していた。
従来の構成では、パルスＹＡＧレーザを用いたレーザ加
工を行う際、時間経過とともに任意にレーザのエネルギ
ーを変えることができず、特に加工条件が極端に違う発
振条件にて用いる場合、被加工対象に合わせて設定する
ことが必要であり、この条件設定を怠ると、エネルギー
過多になったり、エネルギー不足になったりする問題点
を有していた。
【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、パルスＹＡＧレーザを用いて、被加工対象に合わせ
て複数のレーザ加工条件を設定することができ、最適な
加工を連続的に可能としたパルスＹＡＧレーザ装置を提
供することを目的とする。
で、パルスＹＡＧレーザを用いて、被加工対象に合わせ
て複数のレーザ加工条件を設定することができ、最適な
加工を連続的に可能としたパルスＹＡＧレーザ装置を提
供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のパルスＹＡＧレーザ装置は、電源部の中で前
もって２つ以上の発振条件を設定できるようにするため
に、直流電源により充電されて、レーザ媒質に発光を入
射するランプにエネルギーを供給するコンデンサーと並
列に、コンデンサー充電電圧調整用の放電インピーダン
スとスイッチング回路の直列回路を接続した構成にした
ものである。
に本発明のパルスＹＡＧレーザ装置は、電源部の中で前
もって２つ以上の発振条件を設定できるようにするため
に、直流電源により充電されて、レーザ媒質に発光を入
射するランプにエネルギーを供給するコンデンサーと並
列に、コンデンサー充電電圧調整用の放電インピーダン
スとスイッチング回路の直列回路を接続した構成にした
ものである。
【０００９】
【作用】この構成によって、コンデンサーの放電エネル
ギーをランプに供給する際に、コンデンサーの充電電圧
を低下させるために、充電電圧調整用のスイッチング回
路をオンさせると、コンデンサー充電ラインに供給され
るエネルギーを変化させることができるので、被加工対
象に合わせて複数のレーザ加工条件を設定でき、最適な
加工が連続して可能となる。
ギーをランプに供給する際に、コンデンサーの充電電圧
を低下させるために、充電電圧調整用のスイッチング回
路をオンさせると、コンデンサー充電ラインに供給され
るエネルギーを変化させることができるので、被加工対
象に合わせて複数のレーザ加工条件を設定でき、最適な
加工が連続して可能となる。
【００１０】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。図１は本発明の一実施例によるパル
スＹＡＧレーザ装置の構成を示す図である。図１におい
て、１はコンデンサーを充電するための定電圧直流電
源、２はランプへのエネルギーを供給するためのコンデ
ンサー、３はコンデンサー２によるランプ発光時間を制
限するためのスイッチング素子であるトランジスタ、４
はコンデンサー２の充電電圧を調整するためのスイッチ
ング回路、１３はコンデンサー２の充電電圧を検出する
充電電圧検出回路、１２はこれらの動作を制御する制御
回路、１４はレーザ発振のための必要な条件を設定して
おく条件設定入力機能回路、１５はスイッチング回路４
に接続された放電インピーダンスであり、この放電イン
ピーダンス１５とスイッチング回路４の直列回路はコン
デンサー２に接続されている。また共振部の構造は従来
のものと同じである。
しながら説明する。図１は本発明の一実施例によるパル
スＹＡＧレーザ装置の構成を示す図である。図１におい
て、１はコンデンサーを充電するための定電圧直流電
源、２はランプへのエネルギーを供給するためのコンデ
ンサー、３はコンデンサー２によるランプ発光時間を制
限するためのスイッチング素子であるトランジスタ、４
はコンデンサー２の充電電圧を調整するためのスイッチ
ング回路、１３はコンデンサー２の充電電圧を検出する
充電電圧検出回路、１２はこれらの動作を制御する制御
回路、１４はレーザ発振のための必要な条件を設定して
おく条件設定入力機能回路、１５はスイッチング回路４
に接続された放電インピーダンスであり、この放電イン
ピーダンス１５とスイッチング回路４の直列回路はコン
デンサー２に接続されている。また共振部の構造は従来
のものと同じである。
【００１１】このように構成されたパルスＹＡＧレーザ
装置について、以下その動作を説明する。一定電圧に充
電されたコンデンサー２のエネルギーはスイッチング素
子であるトランジスタ３により、一定時間だけランプ５
に供給される。ランプ５への入力エネルギーにより、一
定時間のランプ発光はレーザ媒質６に入射する。吸収さ
れた光のエネルギーは部分透過鏡８と全反射鏡９に囲ま
れてなる光共振器１０によって発振状態となり、一部が
レーザ光１１となり外部に放出される。
装置について、以下その動作を説明する。一定電圧に充
電されたコンデンサー２のエネルギーはスイッチング素
子であるトランジスタ３により、一定時間だけランプ５
に供給される。ランプ５への入力エネルギーにより、一
定時間のランプ発光はレーザ媒質６に入射する。吸収さ
れた光のエネルギーは部分透過鏡８と全反射鏡９に囲ま
れてなる光共振器１０によって発振状態となり、一部が
レーザ光１１となり外部に放出される。
【００１２】この際、ランプ５へエネルギーを供給する
にはトランジスタ３をオンさせるが、供給されるエネル
ギーはコンデンサー２の充電エネルギーであるため、時
間軸に対して一定である。そこで、ランプ５に供給され
るエネルギーを小さくするには充電電圧調整用のスイッ
チング回路４をオンして、コンデンサー２の充電電圧を
小さくし、ランプ５へのエネルギーを少なくする。逆に
エネルギーを大きくするにはスイッチング回路４をオフ
してコンデンサー２の充電電圧を高くする。この動作を
コンデンサー２の充電電圧を常に充電電圧検出回路１３
で検出し、それぞれの動作を制御回路１２で制御するこ
とにより、１つのランプ発光条件から次の発光条件へ短
時間に対応することができる。したがって、レーザ発振
のための必要な条件（充電電圧、パルスの幅、パルスの
繰り返し数、発振の持続時間、各発振条件間の移行の時
間など）を事前にセットしておくことにより、最適な加
工条件を連続的に行うことができる。
にはトランジスタ３をオンさせるが、供給されるエネル
ギーはコンデンサー２の充電エネルギーであるため、時
間軸に対して一定である。そこで、ランプ５に供給され
るエネルギーを小さくするには充電電圧調整用のスイッ
チング回路４をオンして、コンデンサー２の充電電圧を
小さくし、ランプ５へのエネルギーを少なくする。逆に
エネルギーを大きくするにはスイッチング回路４をオフ
してコンデンサー２の充電電圧を高くする。この動作を
コンデンサー２の充電電圧を常に充電電圧検出回路１３
で検出し、それぞれの動作を制御回路１２で制御するこ
とにより、１つのランプ発光条件から次の発光条件へ短
時間に対応することができる。したがって、レーザ発振
のための必要な条件（充電電圧、パルスの幅、パルスの
繰り返し数、発振の持続時間、各発振条件間の移行の時
間など）を事前にセットしておくことにより、最適な加
工条件を連続的に行うことができる。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明のパルスＹＡＧレー
ザ装置によれば、発振条件が前もって２つ以上設定可能
であり、コンデンサーの充電電圧を低下させるときは充
電電圧調整用のスイッチング回路をオンさせることによ
り、ランプに供給されるエネルギーを連続的に変化させ
ることができる。したがって、パルスレーザを用いたレ
ーザ加工を行う際、被加工対象に合わせた条件を事前に
設定することにより、特にパルス幅、繰り返し数だけで
はなくコンデンサーの充電電圧を大きく変える最適加工
に対し、エネルギー過多になったり、エネルギー不足に
なったりすることなく、最適な加工を可能にしたパルス
ＹＡＧレーザ装置を提供することができる。
ザ装置によれば、発振条件が前もって２つ以上設定可能
であり、コンデンサーの充電電圧を低下させるときは充
電電圧調整用のスイッチング回路をオンさせることによ
り、ランプに供給されるエネルギーを連続的に変化させ
ることができる。したがって、パルスレーザを用いたレ
ーザ加工を行う際、被加工対象に合わせた条件を事前に
設定することにより、特にパルス幅、繰り返し数だけで
はなくコンデンサーの充電電圧を大きく変える最適加工
に対し、エネルギー過多になったり、エネルギー不足に
なったりすることなく、最適な加工を可能にしたパルス
ＹＡＧレーザ装置を提供することができる。
【図１】本発明の一実施例のパルスＹＡＧレーザ装置の
構成図
構成図
【図２】従来例のパルスＹＡＧレーザ装置の構成図
１ 定電圧直流電源 ２ コンデンサー ３ トランジスタ ４ スイッチング回路 ５ フラッシュランプ ６ レーザ媒質 ７ キャビティ ８ 部分透過鏡 ９ 全反射鏡 １０ 光共振器 １１ レーザ光 １２ 制御回路 １３ 充電電圧検出回路 １４ 条件設定入力機能回路 １５ 放電インピーダンス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 誠 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 直流電源により充電され、レーザ媒質に
発光を入射するランプにエネルギーを供給するためのコ
ンデンサーと並列に、コンデンサー充電電圧調整用の放
電インピーダンスとスイッチング回路の直列回路を接続
し、発振条件を前もって２つ以上設定可能に構成したパ
ルスＹＡＧレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5153081A JPH0715066A (ja) | 1993-06-24 | 1993-06-24 | パルスｙａｇレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5153081A JPH0715066A (ja) | 1993-06-24 | 1993-06-24 | パルスｙａｇレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0715066A true JPH0715066A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=15554567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5153081A Pending JPH0715066A (ja) | 1993-06-24 | 1993-06-24 | パルスｙａｇレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0715066A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000183432A (ja) * | 1998-12-14 | 2000-06-30 | Amada Eng Center Co Ltd | Ｙａｇレーザの加工条件の設定方法 |
| EP0887899A3 (en) * | 1997-06-27 | 2000-07-19 | Miyachi Technos Corporation | Power supply apparatus for laser |
-
1993
- 1993-06-24 JP JP5153081A patent/JPH0715066A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0887899A3 (en) * | 1997-06-27 | 2000-07-19 | Miyachi Technos Corporation | Power supply apparatus for laser |
| JP2000183432A (ja) * | 1998-12-14 | 2000-06-30 | Amada Eng Center Co Ltd | Ｙａｇレーザの加工条件の設定方法 |
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