JPH0556860U - キャリアシートと薄膜シートの剥離機構 - Google Patents

キャリアシートと薄膜シートの剥離機構

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JPH0556860U
JPH0556860U JP9639091U JP9639091U JPH0556860U JP H0556860 U JPH0556860 U JP H0556860U JP 9639091 U JP9639091 U JP 9639091U JP 9639091 U JP9639091 U JP 9639091U JP H0556860 U JPH0556860 U JP H0556860U
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JP
Japan
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thin film
sheet
peeling
film sheet
carrier sheet
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Pending
Application number
JP9639091U
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English (en)
Inventor
晃 上滝
輝雄 町山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【構成】キャリアシート７上に薄膜シート６を塗布した
多層フィルム８と、多層フィルム８の供給機構１と、薄
膜シート６を真空吸着する吸着板２と、キャリアシート
７の下面にて吸着板２の吸着面に対し平行かつ供給機構
側に移動する剥離爪３と、予め剥離剤の薄膜シート６の
先端を固定するクランパ４と、剥離後のキャリアシート
７の巻き取り機構５から構成される。 【効果】薄膜シートを吸着板とクランパで固定後、剥離
爪を移動させ、多層フィルムから薄膜シートを剥離する
ことにより、剥離後の薄膜シートにしわをよりにくくす
る。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は半導体製造工程における積層用の薄膜シート（セラミックグリーンシ ート）においてキャリアシート上に薄膜シートを塗布した多層フィルムから薄膜 シートを剥離する機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のキャリアシートと薄膜シートの剥離機構は、図２に示すように 、多層フィルム１５の供給機構９と、薄膜シート１３の上面部を真空吸着しなが ら薄膜シート面に対し平行かつ供給機構９と反対側に移動する吸着板１０と、キ ャリアシート１４と薄膜シート１３を剥離する剥離爪１１と、薄膜シート１３を 剥離後のキャリアシート１４の巻き取り機構１２とを含んで構成されており、吸 着板１０を図中のＢ方向に移動することにより、キャリアシート１４と薄膜シー ト１３の剥離を行っていた。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
上述した従来のキャリアシートと薄膜シートの剥離機構は、薄膜シートの上面 部を真空吸着した吸着板を薄膜シートに対し平行かつ供給機構と反対側に移動し 剥離を行うようになっている。しかしながら、薄膜シートの厚さがある程度厚い 場合には吸着板に十分吸着されるが、薄膜シートの厚さが益々薄いもの（約１０ μｍ）が要求される現状では、薄膜シートが吸着板に十分に吸着されにくい状態 となり、従って剥離後の薄膜シートにしわが発生するという欠点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本考案のキャリアシートと薄膜シートの剥離機構は、キャリアシート上に薄膜 シートを塗布したロール状の多層フィルムを引き出しシート状で供給する供給機 構と、前記薄膜シートの上面部を真空吸着する吸着板と、前記キャリアシートの 下面において前記吸着板の吸着面に対し平行かつ前記供給機構側に移動しつつ前 記多層フィルムから前記薄膜シートを剥離する剥離爪と、剥離剤の前記薄膜シー トを固定するクランパと、剥離後の前記キャリアシートを巻き取る巻き取り機構 とを備えている。
【０００５】
【実施例】
次に、本考案について図面を参照して説明する。
【０００６】 図１は本考案の一実施例を示し、（ａ）は剥離前の状態、（ｂ）は剥離動作の 状態をそれぞれ示す正面図である。
【０００７】 本実施例の剥離機構は、キャリアシート７上に薄膜シート６を塗布したロール 状の多層フィルム８と、この多層フィルム８をシート状に引き出す供給機構１と 、薄膜シート６の上面部を真空吸着する吸着板２と、キャリアシート７の下面に おいて吸着板２の吸着面に対し平行かつ供給機構１側に移動する剥離爪３と、他 の手段によって予め剥離剤の薄膜シート６の先端を固定するクランパ４と、剥離 後のキャリアシート７を巻き取る巻き取り機構５から構成される。
【０００８】 このような本実施例の動作について説明すると、供給機構１から引き出された 多層フィルム８の薄膜シート６の上面部を固定の吸着板２で真空吸着し、かつ先 端の僅かの部分が他の手段によって剥離された薄膜シート６をクランパ４で固定 した後、キャリアシート７を巻き取り機構５で巻き取りつつ剥離爪３を図中のＡ 方向に移動させ、多層フィルム８から薄膜シート６を剥離する。
【０００９】
【考案の効果】
本考案のキャリアシートと薄膜シートの剥離機構は、薄膜シートを吸着板とク ランパで固定した後、剥離爪を吸着板の吸着面に対し平行かつ供給機構側に移動 させ、薄膜シートが固定された状態で多層フィルムから薄膜シートを剥離するの で、剥離後の薄膜シートにしわが発生しないという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の一実施例を示し、（ａ）は剥離前の状
態、（ｂ）は剥離動作状態をそれぞれ示す正面図であ
る。
【図２】従来のキャリアシートと薄膜シートの剥離機構
の一例を示す正面図である。
【符号の説明】
１，９ 供給機構 ２，１０ 吸着板 ３，１１ 剥離爪 ４ クランパ ５，１２ 巻き取り機構 ６，１３ 薄膜シート ７，１４ キャリアシート ８，１５ 多層フィルム

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 キャリアシート上に薄膜シートを塗布し
    たロール状の多層フィルムを引き出しシート状で供給す
    る供給機構と、前記薄膜シートの上面部を真空吸着する
    吸着板と、前記キャリアシートの下面において前記吸着
    板の吸着面に対し平行かつ前記供給機構側に移動しつつ
    前記多層フィルムから前記薄膜シートを剥離する剥離爪
    と、剥離剤の前記薄膜シートを固定するクランパと、剥
    離後の前記キャリアシートを巻き取る巻き取り機構とを
    含むことを特徴とするキャリアシートと薄膜シートの剥
    離機構。
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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19971104