JPH0558664A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造方法Info
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- JPH0558664A JPH0558664A JP3227182A JP22718291A JPH0558664A JP H0558664 A JPH0558664 A JP H0558664A JP 3227182 A JP3227182 A JP 3227182A JP 22718291 A JP22718291 A JP 22718291A JP H0558664 A JPH0558664 A JP H0558664A
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- JP
- Japan
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- optical fiber
- core
- glass
- fiber preform
- rare earth
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- Pending
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma- or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
- C03B37/01838—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners for delivering and depositing additional reactants as liquids or solutions, e.g. for solution doping of the deposited glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
- C03B2201/30—Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi
- C03B2201/34—Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi doped with rare earth metals, i.e. with Sc, Y or lanthanides, e.g. for laser-amplifiers
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
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- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 例えば光ファイバレーザ、光増幅器用ファイ
バの製造に用い得る光ファイバ母材の製造方法を提供す
る。 【構成】 本発明はコアとクラツドを有しドーパント化
合物をコアにドープされた光ファイバ母材の製造方法に
おいて、クラツドとなるガラス管の内壁に、Si酸素を
主成分としてドーパント化合物を含み該ガラス管よりも
屈折率が高いガラス膜をゾルゲル法により形成した後、
コラップスしてコアを形成することを特徴とする。ドー
パント化合物として希土類元素の化合物を添加すること
は本発明の特に好ましい実施態様である。本発明によれ
ばコアに希土類元素等のドーパントを高濃度に且つ均一
に添加できる。
バの製造に用い得る光ファイバ母材の製造方法を提供す
る。 【構成】 本発明はコアとクラツドを有しドーパント化
合物をコアにドープされた光ファイバ母材の製造方法に
おいて、クラツドとなるガラス管の内壁に、Si酸素を
主成分としてドーパント化合物を含み該ガラス管よりも
屈折率が高いガラス膜をゾルゲル法により形成した後、
コラップスしてコアを形成することを特徴とする。ドー
パント化合物として希土類元素の化合物を添加すること
は本発明の特に好ましい実施態様である。本発明によれ
ばコアに希土類元素等のドーパントを高濃度に且つ均一
に添加できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は例えば光ファイバレー
ザ、光増幅器用ファイバ等に用いる光ファイバ用の母材
の製造方法に関する。
ザ、光増幅器用ファイバ等に用いる光ファイバ用の母材
の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、石英系ファイバへの希土類元素添
加方法として、気相添加法と溶液含浸法が知られてい
る。気相添加法の一例として、MCVD法により石英パ
イプの内側にコーティング部を合成する際、ガラス原料
であるSiCl4 およびGeCl 4 の蒸気とともに、1
000℃前後で希土類化合物を加熱し、この蒸気を石英
パイプに移送し、バーナにて加熱してガラス化を行な
い、これにより得られたパイプをコラップスして線引き
しファイバ化する方法がある。
加方法として、気相添加法と溶液含浸法が知られてい
る。気相添加法の一例として、MCVD法により石英パ
イプの内側にコーティング部を合成する際、ガラス原料
であるSiCl4 およびGeCl 4 の蒸気とともに、1
000℃前後で希土類化合物を加熱し、この蒸気を石英
パイプに移送し、バーナにて加熱してガラス化を行な
い、これにより得られたパイプをコラップスして線引き
しファイバ化する方法がある。
【0003】溶液含浸法の一例としては、VAD法で作
成したコア用スートを利用する方法がある。この方法で
は、希土類化合物をアルコールに溶解させ、これにコア
用スート母材を浸漬する。次にこのスート中のアルコー
ルを室温にて蒸発させ、コア用スート中に希土類化合物
を沈着させ、通常のヘリウムガス雰囲気条件にて焼結、
透明ガラス化を行い光ファイバ母材を得る。
成したコア用スートを利用する方法がある。この方法で
は、希土類化合物をアルコールに溶解させ、これにコア
用スート母材を浸漬する。次にこのスート中のアルコー
ルを室温にて蒸発させ、コア用スート中に希土類化合物
を沈着させ、通常のヘリウムガス雰囲気条件にて焼結、
透明ガラス化を行い光ファイバ母材を得る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】希土類元素添加石英ガ
ラスファイバを光ファイバレーザや光増幅器用ファイバ
に応用するためには、添加される希土類元素等のドーパ
ント化合物の濃度は高い方が望ましい。しかしながら、
従来の方法ではガラス化には1500℃以上の高温が必
要なため、高濃度に添加しようとしても希土類元素がガ
ラス中で結晶化し、均一に添加されたガラスが得られな
いという問題があった。本発明はこのような問題を解消
して高濃度の希土類元素がコアに均一に添加された光フ
ァイバ母材を製造できる方法を課題としてなされたもの
である。
ラスファイバを光ファイバレーザや光増幅器用ファイバ
に応用するためには、添加される希土類元素等のドーパ
ント化合物の濃度は高い方が望ましい。しかしながら、
従来の方法ではガラス化には1500℃以上の高温が必
要なため、高濃度に添加しようとしても希土類元素がガ
ラス中で結晶化し、均一に添加されたガラスが得られな
いという問題があった。本発明はこのような問題を解消
して高濃度の希土類元素がコアに均一に添加された光フ
ァイバ母材を製造できる方法を課題としてなされたもの
である。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する手段
として、本発明者等は高濃度に希土類元素をドープした
ガラス膜をゾルゲル法を利用して形成しておき、これを
光ファイバ母材の作成方法に適用することを考えつい
た。すなわち、本発明はコアとクラッドを有しドーパン
ト化合物をコアにドープされた光ファイバ母材の製造方
法において、クラッドとなるガラス管の内壁に、SiO
2 を主成分としてドーパント化合物を含み該ガラス管よ
りも屈折率が高いガラス膜をゾルゲル法により形成した
後、コラップスしてコアを形成することを特徴とする光
ファイバ母材の製造方法を提供する。本発明における特
に好ましい実施態様としては、シリコンアルコキシド、
チタンアルコキシド、ゲルマニウムアルコキシド、アル
ミニウムアルコキシドのうちから選ばれる1種以上の金
属アルコキシドに水、アルコール、酸を加え、更にドー
パント化合物を溶解させてなるゾルゲル溶液をガラス管
内壁に均一にコーティングすることによりSiO2 を主
成分としてドーパント化合物を含み且つ該ガラス管より
も屈折率が高いガラス膜を形成することを挙げることが
できる。また、該ドーパント化合物が希土類元素の化合
物であることも特に好ましい実施態様である。
として、本発明者等は高濃度に希土類元素をドープした
ガラス膜をゾルゲル法を利用して形成しておき、これを
光ファイバ母材の作成方法に適用することを考えつい
た。すなわち、本発明はコアとクラッドを有しドーパン
ト化合物をコアにドープされた光ファイバ母材の製造方
法において、クラッドとなるガラス管の内壁に、SiO
2 を主成分としてドーパント化合物を含み該ガラス管よ
りも屈折率が高いガラス膜をゾルゲル法により形成した
後、コラップスしてコアを形成することを特徴とする光
ファイバ母材の製造方法を提供する。本発明における特
に好ましい実施態様としては、シリコンアルコキシド、
チタンアルコキシド、ゲルマニウムアルコキシド、アル
ミニウムアルコキシドのうちから選ばれる1種以上の金
属アルコキシドに水、アルコール、酸を加え、更にドー
パント化合物を溶解させてなるゾルゲル溶液をガラス管
内壁に均一にコーティングすることによりSiO2 を主
成分としてドーパント化合物を含み且つ該ガラス管より
も屈折率が高いガラス膜を形成することを挙げることが
できる。また、該ドーパント化合物が希土類元素の化合
物であることも特に好ましい実施態様である。
【0006】
【作用】希土類元素をガラス中にドープする方法とし
て、前記したように気相法、溶液含浸法が知られてい
る。これらの方法は、気相法により合成したシリカガラ
スの多孔質体に希土類元素の蒸気あるいは希土類元素の
溶液を拡散させ、多孔質体を透明ガラス化させるもので
あり、この際1500℃以上の高温を必要とする。ガラ
ス内に添加された希土類元素は低濃度の場合は均一に分
散しているが、高濃度に添加しようとした場合、結晶化
しやすい。この傾向は高温ほど著しく、高濃度添加ガラ
スの作製を困難にしている。ところで、ガラスの合成法
としてゾルゲル法はガラス原料としてシリコンアルコキ
シドを用い、1000℃程度の比較的低温プロセスでガ
ラスが得られるという特徴を有する。この方法によれば
従来法と比較してはるかに高い濃度の希土類元素をドー
プしたガラスの合成が可能である。そこで希土類元素を
添加したコア部の形成にこのゾルゲル法を応用すること
を考え、本発明に至った。
て、前記したように気相法、溶液含浸法が知られてい
る。これらの方法は、気相法により合成したシリカガラ
スの多孔質体に希土類元素の蒸気あるいは希土類元素の
溶液を拡散させ、多孔質体を透明ガラス化させるもので
あり、この際1500℃以上の高温を必要とする。ガラ
ス内に添加された希土類元素は低濃度の場合は均一に分
散しているが、高濃度に添加しようとした場合、結晶化
しやすい。この傾向は高温ほど著しく、高濃度添加ガラ
スの作製を困難にしている。ところで、ガラスの合成法
としてゾルゲル法はガラス原料としてシリコンアルコキ
シドを用い、1000℃程度の比較的低温プロセスでガ
ラスが得られるという特徴を有する。この方法によれば
従来法と比較してはるかに高い濃度の希土類元素をドー
プしたガラスの合成が可能である。そこで希土類元素を
添加したコア部の形成にこのゾルゲル法を応用すること
を考え、本発明に至った。
【0007】本発明によれば、コアおよびクラツドから
なる光ファイバ母材として、クラツドとなるガラス管の
内面にゾルゲル法により希土類元素をドープしたコーテ
ィング膜を形成する。この膜を透明ガラス化およびガラ
ス管のコラップスを行うが、この際管内に塩素ガスと酸
素ガスとの混合ガスを流すことが望ましい。塩素ガスを
流すことによりコーティング膜の水分を除去し、伝送損
失の低いガラスを得ることができる。また、酸素ガスを
流すことによりガラス内の希土類元素の気化を防ぎ、高
濃度に安定にドープすることができる。このように本発
明により作製された光ファイバ母材は、コア・クラッド
を有し、コアに希土類元素を高濃度にドープした部分を
有するものである。コアとクラッドの外径比は任意に調
整することができることは言うまでもない。
なる光ファイバ母材として、クラツドとなるガラス管の
内面にゾルゲル法により希土類元素をドープしたコーテ
ィング膜を形成する。この膜を透明ガラス化およびガラ
ス管のコラップスを行うが、この際管内に塩素ガスと酸
素ガスとの混合ガスを流すことが望ましい。塩素ガスを
流すことによりコーティング膜の水分を除去し、伝送損
失の低いガラスを得ることができる。また、酸素ガスを
流すことによりガラス内の希土類元素の気化を防ぎ、高
濃度に安定にドープすることができる。このように本発
明により作製された光ファイバ母材は、コア・クラッド
を有し、コアに希土類元素を高濃度にドープした部分を
有するものである。コアとクラッドの外径比は任意に調
整することができることは言うまでもない。
【0008】本発明を更に具体的に説明する。本発明に
いうゾルゲル法の加水分解溶液に用いる金属アルコキシ
ドの金属としては各種の金属アルコキシドを用いること
ができるが、特に好ましいものとしては例えばシリコ
ン、ゲルマニウム、アルミニウム等が挙げられ、これら
のメトキシド、エトキシド、プロポキシド、ブトキシド
等が好ましいアルコキシドとして挙げられる。本発明の
ゾルゲル法で使用されるアルコールとしては、例えばメ
タノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタ
ノール等である。触媒としては酸又はアルカリを加える
こともできる。酸としては例えば塩酸、硝酸、硫酸、リ
ン酸等を、アルカリとしてはアンモニア水等を使用でき
る。ゾルゲル溶液(加水分解溶液)の組成比はこの種の
技術分野で通常行われる範囲のものでよく、例えばアル
コールと水との割合はモル比で0.5〜5倍程度、加水
分解溶液中に加える水は金属アルコキシドに対してモル
比で2〜5倍程度、触媒としての酸はpH1〜5程度と
なる量が一般的である。本発明のドーパント化合物とし
ては、例えばランタノイド系希土類が挙げられ、特に好
ましくはEr、Nd、Pr等が挙げられる。これらの希
土類元素は塩化物、硝酸塩等の形でゾルゲル溶液に添加
すればよい。
いうゾルゲル法の加水分解溶液に用いる金属アルコキシ
ドの金属としては各種の金属アルコキシドを用いること
ができるが、特に好ましいものとしては例えばシリコ
ン、ゲルマニウム、アルミニウム等が挙げられ、これら
のメトキシド、エトキシド、プロポキシド、ブトキシド
等が好ましいアルコキシドとして挙げられる。本発明の
ゾルゲル法で使用されるアルコールとしては、例えばメ
タノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタ
ノール等である。触媒としては酸又はアルカリを加える
こともできる。酸としては例えば塩酸、硝酸、硫酸、リ
ン酸等を、アルカリとしてはアンモニア水等を使用でき
る。ゾルゲル溶液(加水分解溶液)の組成比はこの種の
技術分野で通常行われる範囲のものでよく、例えばアル
コールと水との割合はモル比で0.5〜5倍程度、加水
分解溶液中に加える水は金属アルコキシドに対してモル
比で2〜5倍程度、触媒としての酸はpH1〜5程度と
なる量が一般的である。本発明のドーパント化合物とし
ては、例えばランタノイド系希土類が挙げられ、特に好
ましくはEr、Nd、Pr等が挙げられる。これらの希
土類元素は塩化物、硝酸塩等の形でゾルゲル溶液に添加
すればよい。
【0009】本発明においてクラツドとするガラス管
は、コアより屈折率が低いものであればよく、SiO2
膜をコーティングするときにはフッ素をドープしたガラ
ス管を用い、チタン,ゲルマニウム等をドープした屈折
率を上げた膜をコーティングする場合にはフッ素ドープ
ガラス又はシリカガラスのいずれからなる管でもよい。
クラツドとなるガラス管内壁にゾルゲル溶液を付着させ
る方法としては、ディップコーティング法があり、ガラ
ス管をゾルゲル溶液に浸漬して一定速度で引き上げる
か、ガラス管内にゾルゲル溶液を満たして一定速度で抜
くなどしてコーティングする。付着後はこの種の分野で
公知の技術により乾燥、ゲル化するが、例えば温度15
0℃程度で乾燥後、1000℃程度で加熱する方法等が
ある。 以上でガラス管内にSiO2 を主成分としてド
ーパント化合物を含み該ガラス管より高屈折率のガラス
膜が形成できる。続いて、例えば温度1500〜180
0℃で焼結、中実化してガラスロッドを得るが、この膜
の透明ガラス化及びガラス管のコラップスの際、前記の
ように塩素と酸素の混合ガスを流すことが好ましい。混
合ガス中の酸素ガス濃度は10〜60%とすることが好
ましい。これにより、ドーパント化合物が均一に添加さ
れたコアとクラツドからなるガラス母材が得られる。
は、コアより屈折率が低いものであればよく、SiO2
膜をコーティングするときにはフッ素をドープしたガラ
ス管を用い、チタン,ゲルマニウム等をドープした屈折
率を上げた膜をコーティングする場合にはフッ素ドープ
ガラス又はシリカガラスのいずれからなる管でもよい。
クラツドとなるガラス管内壁にゾルゲル溶液を付着させ
る方法としては、ディップコーティング法があり、ガラ
ス管をゾルゲル溶液に浸漬して一定速度で引き上げる
か、ガラス管内にゾルゲル溶液を満たして一定速度で抜
くなどしてコーティングする。付着後はこの種の分野で
公知の技術により乾燥、ゲル化するが、例えば温度15
0℃程度で乾燥後、1000℃程度で加熱する方法等が
ある。 以上でガラス管内にSiO2 を主成分としてド
ーパント化合物を含み該ガラス管より高屈折率のガラス
膜が形成できる。続いて、例えば温度1500〜180
0℃で焼結、中実化してガラスロッドを得るが、この膜
の透明ガラス化及びガラス管のコラップスの際、前記の
ように塩素と酸素の混合ガスを流すことが好ましい。混
合ガス中の酸素ガス濃度は10〜60%とすることが好
ましい。これにより、ドーパント化合物が均一に添加さ
れたコアとクラツドからなるガラス母材が得られる。
【0010】
実施例1 ゾルゲル法によりコア溶液を調製する。シリコンエトキ
シド50ml、1N塩酸20mlとエタノール20ml
を混合した溶液に塩化エルビウム1.6gを溶解させ
た。VAD法により純シリカに対して0.34%屈折率
が低くなるようにフッ素をドープしたガラスロッドを作
製し、中心に直径4mmの穴をあけた。このガラスロッ
ドの外径は20mmであった。このガラス管を前記ゾル
ゲル溶液に浸漬し、100mm/分の速度で引き上げる
ことにより管内面にコーティングした。このときの膜厚
は2μmとした。次にこのガラス管内に塩素50cc、
酸素50ccを流しつつ、酸水素バーナでガラス管を加
熱してコーティング膜をガラス化し、さらにガラス管を
コラップスし、光ファイバ母材とした。この母材を線引
きしたところ、クラッド径125μm、コア径10μm
のファイバが得られ、EPMAにより分析したところ、
コア全体に5重量%のErがドープされていることが確
認された。更に蛍光寿命を測定したところ、12mse
c.となり、均一にErが分散されている場合の蛍光寿
命と同等の値が得られた。
シド50ml、1N塩酸20mlとエタノール20ml
を混合した溶液に塩化エルビウム1.6gを溶解させ
た。VAD法により純シリカに対して0.34%屈折率
が低くなるようにフッ素をドープしたガラスロッドを作
製し、中心に直径4mmの穴をあけた。このガラスロッ
ドの外径は20mmであった。このガラス管を前記ゾル
ゲル溶液に浸漬し、100mm/分の速度で引き上げる
ことにより管内面にコーティングした。このときの膜厚
は2μmとした。次にこのガラス管内に塩素50cc、
酸素50ccを流しつつ、酸水素バーナでガラス管を加
熱してコーティング膜をガラス化し、さらにガラス管を
コラップスし、光ファイバ母材とした。この母材を線引
きしたところ、クラッド径125μm、コア径10μm
のファイバが得られ、EPMAにより分析したところ、
コア全体に5重量%のErがドープされていることが確
認された。更に蛍光寿命を測定したところ、12mse
c.となり、均一にErが分散されている場合の蛍光寿
命と同等の値が得られた。
【0011】実施例2 シリコンエトキシド50ml、チタンイソプロポキシド
0.86ml、1N塩酸20mlとエタノール20ml
を混合し、塩化エルビウム1.6gを溶解させてコーテ
ィング溶液を調製した。VAD法により作成した純シリ
カロッドに直接4mmの穴をあけた。ガラスロッドの外
径は20mmであった。この開口部の中に前記ゾルゲル
溶液を満たし、ガラス管下部に予め取り付けておいたバ
ルブを開いて一定速度の抜くことにより、コーティング
した。膜厚は2μmであった。以下実施例1と同様に処
理して光ファイバ母材を得た。この母材を線引したとこ
ろ、クラッド径125μm、コア径10μmのファイバ
が得られ、EPMAによりコア全体にErが5重量%ド
ープされていることを確認し、蛍光寿命も12mse
c.であった。また、コアの屈折率を測定したところ、
純シリカのクラッドに対して、0.35%高いことがわ
かった。
0.86ml、1N塩酸20mlとエタノール20ml
を混合し、塩化エルビウム1.6gを溶解させてコーテ
ィング溶液を調製した。VAD法により作成した純シリ
カロッドに直接4mmの穴をあけた。ガラスロッドの外
径は20mmであった。この開口部の中に前記ゾルゲル
溶液を満たし、ガラス管下部に予め取り付けておいたバ
ルブを開いて一定速度の抜くことにより、コーティング
した。膜厚は2μmであった。以下実施例1と同様に処
理して光ファイバ母材を得た。この母材を線引したとこ
ろ、クラッド径125μm、コア径10μmのファイバ
が得られ、EPMAによりコア全体にErが5重量%ド
ープされていることを確認し、蛍光寿命も12mse
c.であった。また、コアの屈折率を測定したところ、
純シリカのクラッドに対して、0.35%高いことがわ
かった。
【0012】
【発明の効果】以上述べてきたように、本発明によれば
コアに高濃度にドーパント化合物を添加できた光ファイ
バ母材が得られるので、高効率のファイバレーザや高利
得の得られる光増幅器用ファイバを作製することが可能
である。
コアに高濃度にドーパント化合物を添加できた光ファイ
バ母材が得られるので、高効率のファイバレーザや高利
得の得られる光増幅器用ファイバを作製することが可能
である。
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G02B 6/00 356 A 7036−2K
Claims (3)
- 【請求項1】 コアとクラッドを有しドーパント化合物
をコアにドープされた光ファイバ母材の製造方法におい
て、クラッドとなるガラス管の内壁に、SiO2 を主成
分としてドーパント化合物を含み該ガラス管よりも屈折
率が高いガラス膜をゾルゲル法により形成した後、コラ
ップスしてコアを形成することを特徴とする光ファイバ
母材の製造方法。 - 【請求項2】 シリコンアルコキシド、チタンアルコキ
シド、ゲルマニウムアルコキシド、アルミニウムアルコ
キシドのうちから選ばれる1種以上の金属アルコキシド
に水、アルコール、酸を加え、更にドーパント化合物を
溶解させてなるゾルゲル溶液をガラス管内壁に均一にコ
ーティングすることによりSiO2 を主成分としてドー
プ化合物を含み且つ該ガラス管よりも屈折率が高いガラ
ス膜を形成することを特徴とする請求項1記載の光ファ
イバ母材の製造方法。 - 【請求項3】 該ドーパント化合物が希土類元素の化合
物であることを特徴とする請求項1または請求項2記載
の光ファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3227182A JPH0558664A (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 光フアイバ母材の製造方法 |
| AU18433/92A AU649845B2 (en) | 1991-06-24 | 1992-06-22 | Method for producing glass preform for optical fiber |
| KR1019920010897A KR950004059B1 (ko) | 1991-06-24 | 1992-06-23 | 광파이버모재의 제조법 |
| US07/902,821 US5314518A (en) | 1991-06-24 | 1992-06-23 | Method for producing glass preform for optical fiber |
| TW081104914A TW260654B (ja) | 1991-06-24 | 1992-06-23 | |
| EP92110629A EP0520402B1 (en) | 1991-06-24 | 1992-06-24 | Method for producing glass preform for optical fiber |
| DE69219677T DE69219677D1 (de) | 1991-06-24 | 1992-06-24 | Verfahren zum Herstellen einer Glasvorform für optische Faser |
| DE69215901T DE69215901T2 (de) | 1991-06-24 | 1992-06-24 | Verfahren zum Herstellen einer Glasvorform für optische Fasern |
| EP94112767A EP0626352B1 (en) | 1991-06-24 | 1992-06-24 | Method for producing glass preform for optical fiber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3227182A JPH0558664A (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0558664A true JPH0558664A (ja) | 1993-03-09 |
Family
ID=16856777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3227182A Pending JPH0558664A (ja) | 1991-06-24 | 1991-09-06 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0558664A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009167049A (ja) * | 2008-01-15 | 2009-07-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | プリフォーム製造方法、希土類元素添加光ファイバおよび光ファイバ増幅器 |
-
1991
- 1991-09-06 JP JP3227182A patent/JPH0558664A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009167049A (ja) * | 2008-01-15 | 2009-07-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | プリフォーム製造方法、希土類元素添加光ファイバおよび光ファイバ増幅器 |
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