JPH0558665A - 光伝送路用ガラスフアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光伝送路用ガラスフアイバ母材の製造方法Info
- Publication number
- JPH0558665A JPH0558665A JP24262391A JP24262391A JPH0558665A JP H0558665 A JPH0558665 A JP H0558665A JP 24262391 A JP24262391 A JP 24262391A JP 24262391 A JP24262391 A JP 24262391A JP H0558665 A JPH0558665 A JP H0558665A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- preform
- fiber preform
- porous
- fluorine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
- C03B2201/08—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
- C03B2201/12—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant doped with fluorine
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 本発明は多孔質ガラスプリフォームのＯＨ基
量を少なくすることによって伝送損失の小さい光伝送路
用ガラスファイバ母材を得る方法の提供を目的とするも
のである。 【構成】 本発明による光伝送路用ガラスファイバ母材
の製造方法は、光ファイバ用母材の一部となるシリカを
主成分とするガラスロッドの外周部に、火炎加水分解反
応により生成した主成分がシリカであるクラッド用のガ
ラス微粒子層を堆積させて多孔質ガラスプリフォームと
なし、ついでこの多孔質ガラスプリフォームを脱水、透
明ガラス化する光ファイバ母材の製造方法において、前
記クラッド用のガラス微粒子を堆積させる工程でフッ素
含有化合物ガスを供給して堆積温度700 ℃以下でみかけ
密度が0.3g/cm3以上のガラス微粒子堆積体を得るように
してなることを特徴とするものである。
量を少なくすることによって伝送損失の小さい光伝送路
用ガラスファイバ母材を得る方法の提供を目的とするも
のである。 【構成】 本発明による光伝送路用ガラスファイバ母材
の製造方法は、光ファイバ用母材の一部となるシリカを
主成分とするガラスロッドの外周部に、火炎加水分解反
応により生成した主成分がシリカであるクラッド用のガ
ラス微粒子層を堆積させて多孔質ガラスプリフォームと
なし、ついでこの多孔質ガラスプリフォームを脱水、透
明ガラス化する光ファイバ母材の製造方法において、前
記クラッド用のガラス微粒子を堆積させる工程でフッ素
含有化合物ガスを供給して堆積温度700 ℃以下でみかけ
密度が0.3g/cm3以上のガラス微粒子堆積体を得るように
してなることを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光伝送路用ガラスファイ
バ母材の製造方法、特には高品質の要求される光ファイ
バ用母材の製造における中間製品としての多孔質ガラス
プリフォームの製造方法の改良に関するものである。
バ母材の製造方法、特には高品質の要求される光ファイ
バ用母材の製造における中間製品としての多孔質ガラス
プリフォームの製造方法の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用母材の製造における多孔質
ガラスプリフォームの製造については、コア用のガラス
ロッドの外周部に燃焼バーナーにより生成したガラス微
粒子を堆積させ、コア用のガラスロッドまたは燃焼バー
ナーを１回以上トラバースする外付け法が公知とされて
いる（特開昭４８−７３５２２号公報参照）。しかし、
この方法では上記したガラスロッドとその外周に生成さ
れるガラス微粒子との界面に気泡の発生することがよく
あることから、これについてはガラス微粒子を堆積する
前に、ガラスロッドを予熱する方法が提案されている
（特開昭６０−６０９３５号公報、特開平２−２４３５
３１号公報）。
ガラスプリフォームの製造については、コア用のガラス
ロッドの外周部に燃焼バーナーにより生成したガラス微
粒子を堆積させ、コア用のガラスロッドまたは燃焼バー
ナーを１回以上トラバースする外付け法が公知とされて
いる（特開昭４８−７３５２２号公報参照）。しかし、
この方法では上記したガラスロッドとその外周に生成さ
れるガラス微粒子との界面に気泡の発生することがよく
あることから、これについてはガラス微粒子を堆積する
前に、ガラスロッドを予熱する方法が提案されている
（特開昭６０−６０９３５号公報、特開平２−２４３５
３１号公報）。
【０００３】そして、これによれば上記ガラスロッドが
予熱されていることから、ガラスロッドに対するガラス
微粒子の付着具合いがよくなり、気泡の発生もなくなる
けれども、これにはその反面においてこの加熱が予熱バ
ーナーに介して行なわれ、上記ガラスロッドの表面から
水分が浸入してＯＨ基が生成されるので、このものは伝
送損失の大きいものになるという問題点が発生する。
予熱されていることから、ガラスロッドに対するガラス
微粒子の付着具合いがよくなり、気泡の発生もなくなる
けれども、これにはその反面においてこの加熱が予熱バ
ーナーに介して行なわれ、上記ガラスロッドの表面から
水分が浸入してＯＨ基が生成されるので、このものは伝
送損失の大きいものになるという問題点が発生する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そのため、このガラス
ファイバ用母材の製造方法については、ガラス原料にな
らない塩素または塩素化合物を含んだ火炎により上記ガ
ラスロッドを予熱し、その後ガラスロッドの外周にガラ
ス微粒子を堆積形成させる方法（特開昭６０−２６４３
３８号公報参照）、また上記ガラス微粒子堆積中にガラ
ス生成用バーナーより塩素を流す方法（特開昭６４−９
８２９号公報参照）、さらには堆積面の温度を６００〜
６５０℃の低温に維持することによって、ＯＨ基の拡散
を防止しようとする方法（特開平−１１７４７号公報参
照）などが提案されているが、これらの方法ではＯＨ基
の生成は抑制できても、ガラス微粒子堆積中の火炎温度
が低くなるので、ガラス微粒子の密度が低くなり、ガラ
ス微粒子堆積中または堆積後、ガラス微粒子堆積体の表
面が割れるという問題が発生するし、火炎温度が高いと
きにはＯＨ基の生成が活発となり、伝送損失が大きくな
るという問題が起こる。
ファイバ用母材の製造方法については、ガラス原料にな
らない塩素または塩素化合物を含んだ火炎により上記ガ
ラスロッドを予熱し、その後ガラスロッドの外周にガラ
ス微粒子を堆積形成させる方法（特開昭６０−２６４３
３８号公報参照）、また上記ガラス微粒子堆積中にガラ
ス生成用バーナーより塩素を流す方法（特開昭６４−９
８２９号公報参照）、さらには堆積面の温度を６００〜
６５０℃の低温に維持することによって、ＯＨ基の拡散
を防止しようとする方法（特開平−１１７４７号公報参
照）などが提案されているが、これらの方法ではＯＨ基
の生成は抑制できても、ガラス微粒子堆積中の火炎温度
が低くなるので、ガラス微粒子の密度が低くなり、ガラ
ス微粒子堆積中または堆積後、ガラス微粒子堆積体の表
面が割れるという問題が発生するし、火炎温度が高いと
きにはＯＨ基の生成が活発となり、伝送損失が大きくな
るという問題が起こる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不利
を解決した光伝送路用ガラスファイバ母材の製造方法に
関するものであり、これは光ファイバ用母材の一部とな
るシリカを主成分とするガラスロッドの外周部に、火炎
加水分解反応により生成した主成分がシリカであるクラ
ッド用のガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラスプリフ
ォームとなし、ついでこの多孔質ガラスプリフォームを
脱水、透明ガラス化する光ファイバ母材の製造方法にお
いて、前記クラッド用のガラス微粒子を堆積させる工程
でフッ素含有化合物ガスを供給して堆積温度700 ℃以下
でみかけ密度が0.3g/cm3以上のガラス微粒子堆積体を得
るようにしてなることを特徴とするものである。
を解決した光伝送路用ガラスファイバ母材の製造方法に
関するものであり、これは光ファイバ用母材の一部とな
るシリカを主成分とするガラスロッドの外周部に、火炎
加水分解反応により生成した主成分がシリカであるクラ
ッド用のガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラスプリフ
ォームとなし、ついでこの多孔質ガラスプリフォームを
脱水、透明ガラス化する光ファイバ母材の製造方法にお
いて、前記クラッド用のガラス微粒子を堆積させる工程
でフッ素含有化合物ガスを供給して堆積温度700 ℃以下
でみかけ密度が0.3g/cm3以上のガラス微粒子堆積体を得
るようにしてなることを特徴とするものである。
【０００６】すなわち、本発明者らは伝送損失の少ない
光伝送路用ガラスファイバ母材の製造方法を開発すべく
種々検討した結果、ガラスロッドの外周部に火炎加水分
解反応で生成したシリカを堆積させて多孔質ガラスプリ
フォームを形成する際に、この原料ガスにフッ素含有化
合物ガスを添加すると原料ガスとしてのけい素化合物が
火炎中でフッ素反応してフッ化けい素化合物となり、ガ
ラス軟化点が下がってガラス微粒子堆積体のみかけ密度
が上昇して0.3g/cm3以上となるので、ガラス微粒子堆積
体の密度を下げることなく火炎温度を下げることがで
き、これによって得られる多孔質ガラスプリフォーム中
におけるＯＨ基含有量を下げることができることを見出
し、したがってこれによれば伝速損失の小さい光伝送路
用ガラスファイバ母材を容易に得ることができることを
確認して本発明を完成させた。以下にこれをさらに詳述
する。
光伝送路用ガラスファイバ母材の製造方法を開発すべく
種々検討した結果、ガラスロッドの外周部に火炎加水分
解反応で生成したシリカを堆積させて多孔質ガラスプリ
フォームを形成する際に、この原料ガスにフッ素含有化
合物ガスを添加すると原料ガスとしてのけい素化合物が
火炎中でフッ素反応してフッ化けい素化合物となり、ガ
ラス軟化点が下がってガラス微粒子堆積体のみかけ密度
が上昇して0.3g/cm3以上となるので、ガラス微粒子堆積
体の密度を下げることなく火炎温度を下げることがで
き、これによって得られる多孔質ガラスプリフォーム中
におけるＯＨ基含有量を下げることができることを見出
し、したがってこれによれば伝速損失の小さい光伝送路
用ガラスファイバ母材を容易に得ることができることを
確認して本発明を完成させた。以下にこれをさらに詳述
する。
【０００７】
【作用】本発明は光伝送路用ガラスファイバ母材の製造
方法に関するものであり、これはガラスロッドの外周部
に火炎加水分解反応で発生したシリカを堆積して多孔質
ガラスプリフォームを形成する際に、この原料ガスにフ
ッ素含有化合物ガスを供給することを特徴とするもので
ある。
方法に関するものであり、これはガラスロッドの外周部
に火炎加水分解反応で発生したシリカを堆積して多孔質
ガラスプリフォームを形成する際に、この原料ガスにフ
ッ素含有化合物ガスを供給することを特徴とするもので
ある。
【０００８】本発明における多孔質ガラスプリフォーム
の製造自体は公知の方法で行なわれる。すなわち、この
多孔質ガラスプリフォームの製造は公知の方法で作られ
た光ファイバ部材の一部となるシリカを主成分とする合
成石英ガラスなどからなるガラスロッドの外周に、四塩
化けい素などのけい素化合物をキャリアガスによって酸
水素火炎バーナーに送り、ここでの火炎加水分解反応で
生成したシリカを主成分とするガラス微粒子を堆積させ
ることによって行なわれる。
の製造自体は公知の方法で行なわれる。すなわち、この
多孔質ガラスプリフォームの製造は公知の方法で作られ
た光ファイバ部材の一部となるシリカを主成分とする合
成石英ガラスなどからなるガラスロッドの外周に、四塩
化けい素などのけい素化合物をキャリアガスによって酸
水素火炎バーナーに送り、ここでの火炎加水分解反応で
生成したシリカを主成分とするガラス微粒子を堆積させ
ることによって行なわれる。
【０００９】しかし、本発明においてはこの多孔質ガラ
スプリフォームを製造する際に使用される四塩化けい素
などのけい素化合物からなる原料ガス中にフッ素含有化
合物ガスが供給、添加され、この混合ガスが酸水素火炎
バーナーのような燃焼バーナーに供給されるのである
が、ここに使用されるフッ素含有化合物ガスとしてはＣ
ＨＦ3 ，ＣＦ2 Ｃｌ2 ，ＣＦ3 Ｃｌ，Ｃ2 Ｆ3 Ｃｌ，Ｃ
3 Ｆ3 などが例示される。なお、このフッ素含有化合物
ガスの添加量は原料ガス１モルに対し0.05モル未満では
すくなすぎて効果がみられず、 0.5 モルより多くすると
堆積効率が低下するので、これは0.05〜0.5モルの範
囲、特に好ましくは0.05〜0.2 モルの範囲とすることが
よい。
スプリフォームを製造する際に使用される四塩化けい素
などのけい素化合物からなる原料ガス中にフッ素含有化
合物ガスが供給、添加され、この混合ガスが酸水素火炎
バーナーのような燃焼バーナーに供給されるのである
が、ここに使用されるフッ素含有化合物ガスとしてはＣ
ＨＦ3 ，ＣＦ2 Ｃｌ2 ，ＣＦ3 Ｃｌ，Ｃ2 Ｆ3 Ｃｌ，Ｃ
3 Ｆ3 などが例示される。なお、このフッ素含有化合物
ガスの添加量は原料ガス１モルに対し0.05モル未満では
すくなすぎて効果がみられず、 0.5 モルより多くすると
堆積効率が低下するので、これは0.05〜0.5モルの範
囲、特に好ましくは0.05〜0.2 モルの範囲とすることが
よい。
【００１０】この燃焼バーナー中において原料ガスは火
炎加水分解反応によってシリカを主体とするガラス微粒
子となるのであるが、この原料ガスとしてのけい素化合
物はここにフッ素含有化合物ガスが添加されているので
火炎での反応でフッ化けい素化合物となり、この火炎加
水分解で発生したガラス微粒子はガラス軟化点が下がっ
てガラス微粒子の堆積により得られるガラス微粒子堆積
体の密度が上がるようになる。
炎加水分解反応によってシリカを主体とするガラス微粒
子となるのであるが、この原料ガスとしてのけい素化合
物はここにフッ素含有化合物ガスが添加されているので
火炎での反応でフッ化けい素化合物となり、この火炎加
水分解で発生したガラス微粒子はガラス軟化点が下がっ
てガラス微粒子の堆積により得られるガラス微粒子堆積
体の密度が上がるようになる。
【００１１】したがって、これによればガラス微粒子堆
積体の密度を下げることなく、火炎温度を下げることが
でき、ガラス微粒子堆積時の界面温度を下げることがで
きるので、得られる多孔質ガラスプリフォーム中におけ
る残留ＯＨ基量を少なくすることができ、目的とする多
孔質ガラスプリフォーム中におけるＯＨ基量を著しく低
下させることができるという効果が与えられる。
積体の密度を下げることなく、火炎温度を下げることが
でき、ガラス微粒子堆積時の界面温度を下げることがで
きるので、得られる多孔質ガラスプリフォーム中におけ
る残留ＯＨ基量を少なくすることができ、目的とする多
孔質ガラスプリフォーム中におけるＯＨ基量を著しく低
下させることができるという効果が与えられる。
【００１２】本発明の光伝送路用ガラスファイバ母材は
このようにして得られた多孔質ガラスプリフォームを定
法により脱水し、透明ガラス化して合成石英ガラス体と
し、線引きすることによって得ることができるが、この
多孔質ガラスプリフォームがＯＨ基量の少ないものとさ
れているので、このガラスファイバもＯＨ基量の少ない
ものとなり、したがって伝送損失の小さいものとするこ
とができるという有利性が与えられる。
このようにして得られた多孔質ガラスプリフォームを定
法により脱水し、透明ガラス化して合成石英ガラス体と
し、線引きすることによって得ることができるが、この
多孔質ガラスプリフォームがＯＨ基量の少ないものとさ
れているので、このガラスファイバもＯＨ基量の少ない
ものとなり、したがって伝送損失の小さいものとするこ
とができるという有利性が与えられる。
【００１３】つぎに本発明による多孔質ガラスプリフォ
ーム製造方法を図面にもとづいて説明する。図１は本発
明により多孔質ガラスプリフォームを製造するために使
用される製造装置の縦断面図を示したものであるが、こ
の酸水素火炎バーナー１には原料ガスとしての四塩化け
い素がガス導水口２から供給され、これにはガス導入口
３からフッ素含有化合物ガスが供給される。また、この
酸水素火炎バーナー１にはガス導入口４から酸素ガス、
水素ガス、燃料用制御ガスが供給されているので、この
酸水素火炎バーナー１には酸水素火炎５が形成される。
ーム製造方法を図面にもとづいて説明する。図１は本発
明により多孔質ガラスプリフォームを製造するために使
用される製造装置の縦断面図を示したものであるが、こ
の酸水素火炎バーナー１には原料ガスとしての四塩化け
い素がガス導水口２から供給され、これにはガス導入口
３からフッ素含有化合物ガスが供給される。また、この
酸水素火炎バーナー１にはガス導入口４から酸素ガス、
水素ガス、燃料用制御ガスが供給されているので、この
酸水素火炎バーナー１には酸水素火炎５が形成される。
【００１４】この装置内には従来法で作られた石英ガラ
スロッドのようなガラスロッド６が設けられており、こ
れはこの上にガラス微粒子を均一に堆積させるために回
転させられているが、これに酸水素火炎５があてられる
と、酸水素火炎中での火炎加水分解反応で発生したシリ
カを主体とするガラス微粒子がこのガラスロッド６の周
囲に堆積されて堆積体７を形成するので、これにより目
的とする多孔質ガラスプリフォーム８を得ることができ
るが、このものはフッ素含有化合物ガスの導入によりＯ
Ｈ基量の少ないものとなる。
スロッドのようなガラスロッド６が設けられており、こ
れはこの上にガラス微粒子を均一に堆積させるために回
転させられているが、これに酸水素火炎５があてられる
と、酸水素火炎中での火炎加水分解反応で発生したシリ
カを主体とするガラス微粒子がこのガラスロッド６の周
囲に堆積されて堆積体７を形成するので、これにより目
的とする多孔質ガラスプリフォーム８を得ることができ
るが、このものはフッ素含有化合物ガスの導入によりＯ
Ｈ基量の少ないものとなる。
【００１５】
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例、比較例１〜２ 図１に示した装置を使用し、酸水素火炎バーナーとして
石英製の同心円状５重管バーナーを使用し、これに原料
ガスとして四塩化けい素（ＳｉＣｌ4 ）、水素ガス、酸
素ガス、キャリアガスとしてのアルゴンガス、フッ素含
有化合物ガスとしてのＣＨＦ3 ガスを表１に示した量で
供給し、回転している石英ガラスロッドの上にこの酸水
素火炎中で発生したガラス微粒子を堆積させて多孔質ガ
ラスプリフォームを作ったところ、このもののガラス微
粒子密度およびその界面ＯＨ基は表１に示したとおりの
結果を示した。
石英製の同心円状５重管バーナーを使用し、これに原料
ガスとして四塩化けい素（ＳｉＣｌ4 ）、水素ガス、酸
素ガス、キャリアガスとしてのアルゴンガス、フッ素含
有化合物ガスとしてのＣＨＦ3 ガスを表１に示した量で
供給し、回転している石英ガラスロッドの上にこの酸水
素火炎中で発生したガラス微粒子を堆積させて多孔質ガ
ラスプリフォームを作ったところ、このもののガラス微
粒子密度およびその界面ＯＨ基は表１に示したとおりの
結果を示した。
【００１６】しかし、比較のために表１に示したように
実施例とはその水素量または酸素量を変えたほかフッ素
含有化合物ガスを供給せず、実施例と同じ方法で多孔質
ガラスプリフォームを作ったところ、得られた多孔質ガ
ラスプリフォームのガラス微粒子堆積体の密度および界
面ＯＨ基は表１に示したとおりとなり、この場合にはＯ
Ｈ基量が大巾に増加していた。
実施例とはその水素量または酸素量を変えたほかフッ素
含有化合物ガスを供給せず、実施例と同じ方法で多孔質
ガラスプリフォームを作ったところ、得られた多孔質ガ
ラスプリフォームのガラス微粒子堆積体の密度および界
面ＯＨ基は表１に示したとおりとなり、この場合にはＯ
Ｈ基量が大巾に増加していた。
【００１７】なお、この実施例、比較例１による方法を
条件を変えてくり返し行なったところ、この火炎温度と
得られた多孔質ガラスプリフォームにおけるＯＨ基含有
量（ｐｐｍ）について図２に示したとおりの結果が得ら
れ、この火炎温度と得られたガラス微粒子堆積体のみか
け密度との関係については図３に示したとおりの結果が
得られた。
条件を変えてくり返し行なったところ、この火炎温度と
得られた多孔質ガラスプリフォームにおけるＯＨ基含有
量（ｐｐｍ）について図２に示したとおりの結果が得ら
れ、この火炎温度と得られたガラス微粒子堆積体のみか
け密度との関係については図３に示したとおりの結果が
得られた。
【００１８】
【表１】
【００１９】
【発明の効果】本発明は光伝送路用ガラスファイバ母材
の製造方法に関するものであり、これは前記したように
ガラスロッドの外周部に火炎加水分解反応で発生したシ
リカを堆積させて多孔質ガラスプリフォームを形成する
際に、この原料ガスにフッ素含有化合物ガスを供給する
ことを特徴とするものであるが、これによればフッ素含
有化合物ガスの添加により目的とする多孔質ガラスプリ
フォームがＯＨ基含有量の著しく低下したものとなるの
で、これを脱水、ガラス化し、線引きして得られる光伝
送路用ガラスファイバ母材は伝送損失の非常に小さいも
のになるという有利性が与えられる。
の製造方法に関するものであり、これは前記したように
ガラスロッドの外周部に火炎加水分解反応で発生したシ
リカを堆積させて多孔質ガラスプリフォームを形成する
際に、この原料ガスにフッ素含有化合物ガスを供給する
ことを特徴とするものであるが、これによればフッ素含
有化合物ガスの添加により目的とする多孔質ガラスプリ
フォームがＯＨ基含有量の著しく低下したものとなるの
で、これを脱水、ガラス化し、線引きして得られる光伝
送路用ガラスファイバ母材は伝送損失の非常に小さいも
のになるという有利性が与えられる。
【図１】本発明により多孔質ガラスプリフォームを製造
するために使用される製造装置の縦断面図を示したも
の、
するために使用される製造装置の縦断面図を示したも
の、
【図２】本発明の実施例、比較例で得られた多孔質ガラ
スプリフォームの温度とＯＨ基量との関係グラフを示し
たもの、
スプリフォームの温度とＯＨ基量との関係グラフを示し
たもの、
【図３】本発明による多孔質ガラスプリフォーム製造時
における温度とガラス微粒子堆積体のみかけ密度との関
係グラフを示したもの。
における温度とガラス微粒子堆積体のみかけ密度との関
係グラフを示したもの。
Claims (2)
- 【請求項１】 光ファイバ用母材の一部となるシリカを
主成分とするガラスロッドの外周部に、火炎加水分解反
応により生成した主成分がシリカであるクラッド用のガ
ラス微粒子層を堆積させて多孔質ガラスプリフォームと
なし、ついでこの多孔質ガラスプリフォームを脱水、透
明ガラス化する光ファイバ母材の製造方法において、前
記クラッド用のガラス微粒子を堆積させる工程でフッ素
含有化合物ガスを供給して堆積温度700 ℃以下でみかけ
密度が0.3g/cm3以上のガラス微粒子堆積体を得るように
してなることを特徴とする光伝送路用ガラスファイバ母
材の製造方法。 - 【請求項２】 フッ素含有化合物ガスがＣＨＦ3 ，ＣＦ
2 Ｃｌ2 ，ＣＦ3 Ｃｌ，Ｃ2 Ｆ3 Ｃｌ，Ｃ3 Ｆ8 から選
択されるものである請求項１に記載した光伝送路用ガラ
スファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24262391A JP3517250B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | 光伝送路用ガラスファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24262391A JP3517250B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | 光伝送路用ガラスファイバ母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0558665A true JPH0558665A (ja) | 1993-03-09 |
| JP3517250B2 JP3517250B2 (ja) | 2004-04-12 |
Family
ID=17091812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24262391A Expired - Fee Related JP3517250B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | 光伝送路用ガラスファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3517250B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002187733A (ja) * | 2000-12-14 | 2002-07-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ母材の製造方法および光ファイバの製造方法 |
-
1991
- 1991-08-28 JP JP24262391A patent/JP3517250B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002187733A (ja) * | 2000-12-14 | 2002-07-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ母材の製造方法および光ファイバの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3517250B2 (ja) | 2004-04-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0185106B1 (en) | Method of producing a rod containing fluorine | |
| US4610709A (en) | Method for producing glass preform for optical fiber | |
| JPH0372583B2 (ja) | ||
| US4627867A (en) | Method for producing highly pure glass preform for optical fiber | |
| US4880452A (en) | Method for producing glass preform for optical fiber containing fluorine in cladding | |
| US4765815A (en) | Method for producing glass preform for optical fiber | |
| JPS6168340A (ja) | 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 | |
| JP4124198B2 (ja) | 脱水及び脱塩素工程を含むｍｃｖｄ法を用いた光ファイバ母材の製造方法及びこの方法により製造された光ファイバ | |
| JPH0135779B2 (ja) | ||
| JPH0558665A (ja) | 光伝送路用ガラスフアイバ母材の製造方法 | |
| JPH0558666A (ja) | 光伝送路用ガラスフアイバ母材の製造方法 | |
| EP0156370B1 (en) | Method for producing glass preform for optical fiber | |
| JP2793617B2 (ja) | 光ファイバー母材の製造方法 | |
| JPH0788231B2 (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
| JPH0479981B2 (ja) | ||
| JPS6036343A (ja) | 光伝送用ガラス素材の製法 | |
| JP2659066B2 (ja) | シングル・モード・光ファイバ用母材の製造方法 | |
| AU643451B2 (en) | Method for producing porous glass preform for optical fiber | |
| JP2001180959A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JPH0798671B2 (ja) | 光フアイバ用プリフオ−ムの製造方法 | |
| JPS60239334A (ja) | 光フアイバ用母材の製造方法 | |
| JPH1059730A (ja) | 合成石英ガラスの製造方法 | |
| JP3174682B2 (ja) | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 | |
| JPS63147840A (ja) | 石英ガラス材の製造方法 | |
| KR910000731B1 (ko) | 불소를 클래드부에 함유하는 광파이버용 모재의 제조방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040123 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |