JPH055919A - 高調波発生装置 - Google Patents

高調波発生装置

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JPH055919A
JPH055919A JP18335091A JP18335091A JPH055919A JP H055919 A JPH055919 A JP H055919A JP 18335091 A JP18335091 A JP 18335091A JP 18335091 A JP18335091 A JP 18335091A JP H055919 A JPH055919 A JP H055919A
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JP
Japan
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harmonic
optical material
spherical mirror
resonator
fundamental wave
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JP18335091A
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English (en)
Inventor
Yoshinobu Takano
芳伸 高野
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AGC Inc
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Asahi Glass Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】任意の温度において位相整合許容幅の中にある
共振モードの数を多くして、波長変換効率の高い条件を
容易に見つけることができるようにした高調波発生装置
を提供する。 【構成】非線形光学材料23に平面ミラー24、25、
球面ミラー26を形成してモノリシック型共振器22を
構成する。半導体レーザ12から出射された基本波16
がコリメートレンズ13、モードマッチングレンズ14
を通して球面ミラー26の点Dから入射し、点E、F、
Dで反射されて三角リング型に共振する。基本波16が
結晶軸a方向に沿った点EF間を通るとき、第2高調波
18に変換されて球面ミラー26から出射される。上記
において、共振経路全体の長さ(DE+EF+FD)が
波長変換部の長さ(EF)の2.5倍以上となってい
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザから出射
される基本波を、非線形光学材料によって高調波に変換
する高調波発生装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体レーザ(以下LDとする)
等から出射される基本波を非線形光学材料に通して、波
長変換された第2高調波や第3高調波を得る装置が種々
提案されている。これらの装置では、複数の反射面で構
成される共振器内に非線形光学材料を配置し、基本波を
共振器内に閉じ込めて増幅させることで、高調波を効率
よく発生させるようにしている。そして、共振器として
は、非線形光学材料の端面に反射膜を設けて、その内部
で共振させるモノリシック型共振器と、複数のミラーを
配置して共振器を構成し、この共振器内に非線形光学材
料を配置した外部共振器とが知られている。
【0003】図5には、モノリシック型共振器を用いた
従来の第2高調波発生装置の一例が示されている。
【0004】この第2高調波発生装置11は、半導体レ
ーザ(以下LDとする)12、コリメートレンズ13、
モードマッチングレンズ14及びモノリシック型共振器
15によって構成されている。LD12は、例えば波長
860nmの基本波16を出射する。コリメートレンズ
13は、LD12から出射される基本波16をビームに
し、モードマッチングレンズ14は、モノリシック型共
振器15内の共振モードと入射ビームとを整合させる役
割をなす。
【0005】モノリシック型共振器15は、例えばKN
bO3 結晶等からなる非線形光学材料17の結晶軸a方
向に位置する一方の端面を基本波16に対して一部透
過、第2高調波18に対して反射の球面ミラー19と
し、他方の端面を基本波16に対して反射、第2高調波
18に対して透過の球面ミラー20とし、結晶軸aと平
行な一つの面を基本波16及び第2高調波18に対して
全反射の平面ミラー21とすることにより構成され、一
方の球面ミラー19が基本波16の入射面をなし、他方
の球面ミラー20が第2高調波18の出射面をなしてい
る。
【0006】この第2高調波発生装置11では、LD1
2から出射された基本波16が、コリメートレンズ1
3、モードマッチングレンズ14を通して、モノリッシ
ク型共振器11の球面ミラー19の点Aから非線形光学
材料17内に入射する。この基本波16は、非線形光学
材料17の結晶軸aと平行な方向に伝搬し、球面ミラー
20の点B、平面ミラー21の点Cで反射されて、球面
ミラー19の点Aに戻った後、再び球面ミラー20の点
Bに向かう三角リング状の共振経路をとって増幅され
る。そして、非線形光学材料17の結晶軸aと平行な方
向に伝搬するとき、その一部が第2高調波18に変換さ
れ、球面ミラー20を通して出射される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】このような第2高調波
発生装置11において、基本波16を第2高調波18に
効率よく変換するためには、(A)非線形光学材料の位
相整合条件、(B)共振器の共振条件、(C)LDの発
振波長の3つの条件が整う必要がある。
【0008】図6は、上記各条件について温度と波長と
の関係を示したもので、(1)は非線形光学材料の位相
整合許容幅を示し、(2)は共振器の共振モード(共振
可能な波長)を示し、(3)はLDの発振波長範囲を示
している。したがって、温度T1 のとき、上記(A)〜
(C)の条件を満たす点は2つあり、温度T2 のとき、
上記(A)〜(C)の条件を満たす点は3つある。
【0009】図7は、温度T1 のときの波長と波長変換
効率との関係を示している。図6において(A)〜
(C)の条件を満たす波長λ1 、λ2 は、いずれも位相
整合許容幅の中心からずれたところに位置するため、波
長変換効率が低くなっている。このため、LDから波長
λ1 又はλ2 の基本波を入射させることにより、第2高
調波を発生させることはできるが、高い変換効率は得ら
れない。
【0010】図8は、温度T2 のときの波長と波長変換
効率との関係を示している。図6において(A)〜
(C)の条件を満たす波長λ3 、λ4 、λ5 のうち、波
長λ4 は位相整合許容幅の中心に位置するため、波長変
換効率が最も高くなっている。したがって、LDから波
長λ4 の基本波を入射させれば第2高調波を高い効率で
発生させることができる。
【0011】しかしながら、従来の第2高調波発生装置
11において、ある温度Tにおいて位相整合許容幅の中
にある共振モードの数は、通常1〜2個だけであり、こ
のため、波長変換効率が最も高くなる位相整合許容幅の
中心付近に共振モードがくるのは、まれである。したが
って、そのような条件を探すには、温度を変えて、か
つ、波長を変えて効率のよいところを見つけるという手
間のかかる作業が必要となっていた。
【0012】このような問題を解決するためには、非線
形光学材料の位相整合許容幅に対して共振器の共振モー
ド間隔を狭くし、任意の温度において位相整合条件を満
たす共振モードが多数存在するようにすればよい。この
方法としては、(a) 位相整合許容幅が広い非線形光学材
料を用いること、(b) 共振器の共振モード間隔を狭くす
ることが考えられるが、(a) の方法は、新しい非線形光
学材料の開発が必要とされるため、早急に実現すること
は困難である。
【0013】そこで、(b) の方法について検討すると、
共振器の共振経路を長くすることによって共振モード間
隔を狭くすることは可能である。しかしながら、図5に
示した従来の第2高調波発生装置11では、共振経路の
長さは、AB+BC+CAで計算されるのであるが、波
長変換部であるABの長さが最も長くなっており、共振
経路を長くとると、波長変換部の長さABも長くなって
しまう。そして、位相整合許容幅は、波長変換部の長さ
ABに反比例して狭くなるので、共振経路を長くして共
振モード間隔を狭くした効果が打ち消されてしまう。
【0014】したがって、本発明の目的は、ある温度T
において位相整合許容幅の中にある共振モードの数を多
くして、波長変換効率の高い条件を容易に見つけること
ができるようにした高調波発生装置を提供することにあ
る。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、半導体レーザから出射される基本波を、
複数の反射面で構成される共振器内に閉じ込めてリング
状に共振させ、前記共振器内に存在する非線形光学材料
によって高調波に変換して取り出す高調波発生装置にお
いて、前記共振器の共振経路全体の長さを、前記非線形
光学材料の波長変換部の長さの2.5倍以上としたこと
を特徴とする。
【0016】以下、本発明について好ましい態様を挙げ
て更に詳細に説明する。
【0017】LDとしては、例えばGaAs、GaAl
As、InGaAlPなどの材料を用いて半導体を構成
し、p−n接合面の両端を平行平面ミラーとし、電流を
流して発生した光を上記平行平面ミラーで共振させ、レ
ーザ発振させるものが用いられる。LDの発振波長は、
材料の選択、温度、電流などの条件によって、所定の波
長範囲で変化させることが可能である。
【0018】また、本発明において、非線形光学材料と
しては、例えばKNbO3 、KTiOPO4 、KH2
4 、LiNbO3 等の非線形光学結晶を用いることが
できる。なお、モノリシック型共振器を構成する場合、
材料コストを低減し、加工を容易にするため、これらの
非線形光学材料に、ガラス、プラスチックなどの透明基
材を接合したブロックを使用してもよい。
【0019】本発明の好ましい態様では、1つの球面ミ
ラーと、2つの平面ミラーとで共振器を構成し、2つの
平面ミラー間に非線形光学材料の波長変換部を設け、2
つの平面ミラー間の距離よりも、それぞれの平面ミラー
と球面ミラーとの間の距離を長くする。ここで、波長変
換部とは、基本波が非線形光学材料中を位相整合がとれ
る方向に伝搬する部分を意味している。この態様では、
共振経路全体の長さは波長変換部の長さの3倍以上とな
る。
【0020】上記において、2つの平面ミラーは、基本
波と高調波のいずれも反射する面とし、球面ミラーは、
基本波に対して一部反射、高調波に対して透過の面と
し、球面ミラーから基本波を入射させて、上記3つのミ
ラー間で三角リング型に共振させ、球面ミラーから基本
波の入射方向とは違う方向に高調波を取り出すことが好
ましい。
【0021】本発明の更に好ましい態様では、非線形光
学材料の位相整合がとれる方向に位置する2つの端面
に、テーパ状に傾斜した平面ミラーをそれぞれ形成し、
位相整合がとれる方向と平行な1つの端面に球面ミラー
を形成して、非線形光学材料の内部で上記三角リング型
の共振がなされるようにする。
【0022】本発明の別の好ましい態様においては、非
線形光学材料のブロックと、透明基材のブロックとを接
合し、非線形光学材料のブロックの端面に2つの平面ミ
ラーを形成し、透明基材のブロックの端面に1つの球面
ミラーを形成し、接合されたブロックの内部で上記三角
リング型の共振がなされるようにする。
【0023】
【作用】本発明の高調波発生装置では、共振器の共振経
路全体の長さを、非線形光学材料の波長変換部の長さの
2.5倍以上としたので、非線形光学材料の波長変換部
の長さは短いままで、共振経路全体の長さを長くするこ
とができ、任意の温度において位相整合許容幅の中にあ
る共振モードの数を多くすることができる。
【0024】すなわち、図3に示すように、非線形光学
材料の波長変換部の長さを従来のものと同じにした場
合、位相整合許容幅(1)は、非線形光学材料の材質が
同じならば従来のものと変わらない。しかし、共振経路
全体の長さは、上記波長変換部の長さの2.5倍以上と
したことにより従来のものより長くなるため、共振モー
ド(2)の間隔を狭くすることができる。このため、位
相整合許容幅(1)がLDの発振波長範囲(3)に入る
任意の温度T1 において、位相整合許容幅(1)に入る
共振モード(2)が多数存在することとなる。
【0025】図4は、上記温度T1 における波長と波長
変換効率との関係を示すものであるが、図3において
(A)〜(C)の条件を満たす多数の波長λ1 〜λ7
存在し、位相整合許容幅のほぼ中心に位置して変換効率
がほぼ最大となるような波長λ4 が必ず存在することと
なる。したがって、この温度T1 において、LDから基
本波の波長を少しずつ変えて入射し、発生する高調波の
強度を測定することにより、高調波を最も効率よく発生
する波長λ4 を容易に求めることができる。
【0026】
【実施例】図1には、本発明を第2高調波発生装置に適
用した一実施例が示されている。ただし、本発明は、第
2高調波発生装置に限定されることなく、第3高調波発
生装置に適用することもできる。
【0027】この第2高調波発生装置21は、LD12
と、コリメートレンズ13と、モードマッチングレンズ
14と、モノリシック型共振器22とによって構成され
ている。LD12、コリメートレンズ13、モードマッ
チングレンズ14は、前述した従来の装置と同じもので
ある。
【0028】モノリシック型共振器22は、KNbO3
結晶からなる非線形光学材料23で形成されており、位
相整合がとれる結晶軸a方向に直交する方向に細長いブ
ロック形状をなしている。そして、結晶軸a方向に位置
する2つの角部をテーパ状にカットし、それらの面に基
本波16、第2高調波18に対して反射の蒸着膜を設け
て、平面ミラー24、25を形成してある。また、これ
らの平面ミラー24、25と対向する、結晶軸a方向と
平行な1つの面を球面に加工し、この面に基本波16に
対して一部透過、第2高調波18に対して透過の蒸着膜
を設けて、球面ミラー26としてある。
【0029】そして、LD12から出射される基本波1
6は、上記球面ミラー26の所定の点Dに入射するよう
に設定され、基本波16が、平面ミラー24の点E、平
面ミラー25の点F、球面ミラー26の点Dで反射され
て、三角リング型の共振がなされるようになっている。
この場合、モノリシック型共振器22が結晶軸a方向に
直交する方向に細長いブロック形状をなしているので、
DE+EF+FD≧2.5EFとなっている。
【0030】したがって、この第2高調波発生装置21
ではLD12から出射された基本波16が、コリメート
レンズ13、モードマッチングレンズ14を通して、モ
ノリッシク型共振器22の球面ミラー26の点Dから非
線形光学材料23内に入射する。この基本波16は、平
面ミラー24の点E、平面ミラー25の点F、球面ミラ
ー26の点Dで反射され三角リング型に共振して増幅さ
れる。そして、平面ミラー24の点Eから平面ミラー2
5の点Fに向かうとき、非線形光学材料23の位相整合
がとれる結晶軸a方向に伝搬し、その一部が第2高調波
18に変換され球面ミラー26を透過して、図中矢印で
示す方向に出射される。
【0031】上記共振経路において、第2高調波18へ
の波長変換部をなすのは、基本波16が平面ミラー24
の点Eから平面ミラー25の点Fに向かう部分であり、
その長さはEFであるが、前述したように共振経路全体
の長さDE+EF+FDはEFの3倍以上となってい
る。したがって、図3、4で説明したように、ある温度
1 において、位相整合許容幅(1)の中にある共振モ
ード(2)の数を多くすることができる。この温度T1
においてLD12から基本波16の波長を少しずつ変え
て入射し、発生する第2高調波18の強度を測定するこ
とにより、第2高調波18を最も効率よく発生する波長
λ4 を容易に求めることができる。
【0032】図2には、本発明を第2高調波発生装置に
適用した他の実施例が示されている。なお、前記実施例
と実質的に同一部分には、同符合を付してその説明を省
略することにする。
【0033】この第2高調波発生装置31では、モノリ
シック型共振器32が、KNbO3結晶からなる非線形
光学材料33と、ガラスブロック34とを接合して構成
されている。非線形光学材料33は、位相整合がとれる
結晶軸a方向に細長い形状をなし、その両端面をテーパ
状にカットして蒸着膜を設けることにより、前記実施例
と同様な平面ミラー24、25が形成されている。ま
た、非線形光学材料33の結晶軸aと平行な一つの面
に、ガラスブロック34が光学用接着剤を介して接合さ
れている。
【0034】なお、光学用接着剤はガラスと同じ屈折率
のものが用いられ、非線形光学材料33の接合面には、
接着剤との界面で基本波16及び第2高調波18の反射
を防止する反射防止膜が設けられている。そして、ガラ
スブロック34の上記接合面に対向する面を球面にして
蒸着膜を設けることにより、前記実施例と同様な球面ミ
ラー26が形成されている。
【0035】第2高調波発生装置31においても、基本
波16は球面ミラー26の点Dから入射し、平面ミラー
24の点E、平面ミラー25の点F、球面ミラー26の
点Dで反射され三角リング型に共振して増幅する。そし
て、平面ミラー24の点Eから平面ミラー25の点Fに
向かう時、非線形光学材料33の位相整合がとれる結晶
軸a方向に伝搬し、一部が第2高調波18に変換されて
球面ミラー26から出射する。また、前記実施例と同様
に共振経路全体の長さDE+EF+FDが波長変換部の
長さEFの2.5倍以上であるので、位相整合許容幅の
中にある共振モードの数を多くし、波長変換効率の高い
条件を容易に見つけることができる。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
共振器の共振経路全体の長さを、非線形光学材料の波長
変換部の長さの2.5倍以上としたので、位相整合許容
幅を狭めることなく共振モード間隔を狭くして、位相整
合許容幅の中にある共振モードの数を多くすることがで
き、任意の温度において共振モードが適合し、しかも波
長変換効率の高い波長を容易に見つけることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を第2高調波発生装置に適用した一実施
例の側面図
【図2】本発明を第2高調波発生装置に適用した他の実
施例の部分側面図
【図3】本発明の高調波発生装置における位相整合許容
幅と共振モードとの関係を示した図表
【図4】図3の温度T1 における共振モードに適合する
波長と波長変換効率との関係を示した図表
【図5】従来の第2高調波発生装置の一例を示す側面図
【図6】従来の第2高調波発生装置における位相整合許
容幅と共振モードとの関係を示した図表
【図7】図6の温度T1 における共振モードに適合する
波長と波長変換効率との関係を示した図表
【図8】図6の温度T2 における共振モードに適合する
波長と波長変換効率との関係を示した図表
【符号の説明】
12 半導体レーザ(LD) 13 コリメートレンズ 14 モードマッチングレンズ 16 基本波 18 第2高調波 21 第2高調波発生装置 22 モノリシック型共振器 23 非線形光学材料 24 平面ミラー 25 平面ミラー 26 球面ミラー 31 第2高調波発生装置 32 モノリシック型共振器 33 非線形光学材料 34 ガラスブロック

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】半導体レーザから出射される基本波を、複
    数の反射面で構成される共振器内に閉じ込めてリング状
    に共振させ、前記共振器内に存在する非線形光学材料に
    よって高調波に変換して取り出す高調波発生装置におい
    て、前記共振器の共振経路全体の長さを、前記非線形光
    学材料の波長変換部の長さの2.5倍以上としたことを
    特徴とする高調波発生装置。 【請求項2】前記共振器を1つの球面ミラーと2つの平
    面ミラーとで構成し、前記平面ミラー間に前記非線形光
    学材料の波長変換部を設け、前記平面ミラー間の距離よ
    りも、前記それぞれの平面ミラーと前記球面ミラーとの
    間の距離を長くした請求項1の高調波発生装置。 【請求項3】前記非線形光学材料の端面に、前記1つの
    球面ミラーと前記2つの平面ミラーとを形成し、前記非
    線形光学材料の内部で共振がなされるようにした請求項
    2の高調波発生装置。 【請求項4】非線形光学材料のブロックと透明基材のブ
    ロックとを接合し、前記非線形光学材料のブロックの端
    面に前記2つの平面ミラーを形成し、前記透明基材のブ
    ロックの端面に前記1つの球面ミラーを形成し、前記接
    合されたブロックの内部で共振がなされるようにした請
    求項2の高調波発生装置。
JP18335091A 1991-06-28 1991-06-28 高調波発生装置 Withdrawn JPH055919A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6172800B1 (en) 1997-07-16 2001-01-09 Nec Corporation Laser wavelength conversion method and device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6172800B1 (en) 1997-07-16 2001-01-09 Nec Corporation Laser wavelength conversion method and device

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Legal Events

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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19980903