JPH0559768B2

JPH0559768B2 -

Info

Publication number: JPH0559768B2
Application number: JP14153285A
Authority: JP
Inventors: Wataru Takahashi; Katsuhiko Kagami
Original assignee: Nippon Muki Co Ltd
Current assignee: Nippon Muki Co Ltd
Priority date: 1985-06-29
Filing date: 1985-06-29
Publication date: 1993-08-31
Also published as: JPS624418A

Description

【発明の詳細な説明】

（産業上の利用分野）本発明は、半導体工業におけるMOSダイナミ
ツクRAMなどの製造における空気清浄用の超高
性能エアフイルター用ガラス繊維紙に関する。（従来の技術）従来、エアフイルター用ガラス繊維紙とし
て、粒径0.3μの粒子を99.999％以上捕集する
HEPA紙は公知であり、これはジグザク状に
折り曲げ、その波状の折曲げて対向する紙面が
重ならないようにその各面間にジグザグ状のスペ
ーサーを挿入介在させたものを囲枠内に装入し、
その四周をシール材に介して気密に固着せしめて
エアフイルタユニツトとして、半導体工業の
MOSダイナミツクRAMの製造時における空気清
浄用のエアフイルターとして使用されている。こ
の場合、0.3μｍ以上の粒子を99.999％以上捕集し
且つ圧力損失が定格値で25mmAq以下（610×610
×150mm）であることが一般である。（発明が解決しようとする問題点）近年半導体工業における生産技術の進歩はめざ
ましく、ウエハの大口径化、パターン密度の微細
化、集積度の大容量化が進み、超LSI素子の製造
では、MOSダイナミツクRAMの場合、1Mbit〜
4Mbitの高集積化が進み、パターン寸法も0.5〜
1.5μｍと超微細化され、従つて紙除去対象粒子
も0.1〜0.05μｍと極めて微細なものとなり、これ
を低い圧力損失で高捕集効率のエアフイルター用
紙が望まれるが、未だ、粒径0.05μｍの粒子を
99.999％捕集し得る紙は実在せずその実現が望
まれている。（問題点を解決するための手段）本発明は、従来実現し得なかつた微粒子径
0.05μｍの粒子を低圧力損失で99.999％と云う高
捕集率で捕集し得る超高性能エアフイルター用ガ
ラス繊維紙を提供するもので、繊維径0.05μｍ
未満のガラス繊維２〜３重量％と、繊維径0.05〜
0.2μｍのガラス繊維５〜15重量％と、これらと異
なる繊維径のガラス繊維93〜82重量％との配合か
ら成る。（作用）上記の本発明の特徴とする繊維径0.05μｍ未満
のガラス繊維２〜３重量％と、繊維径0.05〜0.2μ
ｍのガラス繊維５〜15重量％と、これらと異なる
繊維径のガラス繊維93〜82重量％とを配合抄造し
たガラス繊維紙により例えば、これを組み込ん
だエアフイルタユニツトとして使用した場合、従
来の紙を組み込んだエアフイルタユニツトに比
し、圧力損失25mmAq（0.7ｍ／ｓ）で以下の低い
値で粒径0.05μｍの粒子を99.999％捕集すること
ができる。（実施例）本発明の実施例を次に説明する。従来のガラス短繊維の製造装置により各種の繊
維径の異なるガラス繊維の配合組成のものが製造
されるが、本発明は特に、これらのガラス繊維径
の異なる各種配合組成のガラス繊維組を色々に混
ぜてサンプルを色々つくり、これを抄造した抄紙
型紙を、特にエアフイルタユニツトとして使用
し、特に粒径が0.05μｍの粒子を99.999％捕集し
得られ而もその時の圧力損失は25mmAq以下と低
いものを得るため種々試験研究していたが、その
結果、その紙として、繊維径0.05μｍ未満のガ
ラス繊維２〜３重量％と、繊維径0.05〜0.2μｍの
ガラス繊維５〜15重量％の範囲に含むように他の
繊維径のガラス繊維と配合し抄造し、好ましく
は、厚さ0.3〜0.50mm、目付量60〜85ｇ／m²の抄
紙とすることにより、これを組み込みフイルタユ
ニツトとして使用した場合に、上記の低圧力損失
下で0.05μｍの微粒子を99.999％捕集し得る紙
の実現をもたらした。次にその詳細な実施例を説明する。実施例１従来のガラス繊維の製造装置により夫々下記の
繊維径分布組成のガラス繊維Ａ組とガラス繊維Ｂ
組とを製造した。

【表】

【表】上記のＡ組ガラス繊維（0.05〜0.2μｍの繊維径
のガラス繊維45重量％含有）を25重量％とＢ組ガ
ラス繊維（0.05〜0.2μｍの繊維径のガラス繊維３
重量％含有）を65重量％と更に繊維径7μｍのガ
ラス長繊維（チヨツプドストランド）10重量％と
を繊維濃度0.35％となるようにパルパーに投入し
混合離解し、これを抄造した。得られた湿式紙を
乾燥し、アクリル樹脂及び撥水剤の混合液でデイ
ツピングし、乾燥し、目付量75ｇ／m²、厚さ0.40
mmのガラス繊維紙を得た。該紙の繊維径分布
組成は下記の通りである。

【表】尚、抄造時の水は、酸でPH３に調製したもの或
は酸を添加せずPH6.8の中性水に微量の例えば
8PPMのカチオン高分子を添加して調製したもの
のいづれを使用してもよい。実施例２前記のＡ組ガラス繊維33重量％と別に製造した
下記の繊維径分布のＣ組ガラス繊維57重量％と繊
維径7μｍの長繊維であるチヨツプドストランド
ガラス繊維10重量％とを、繊維濃度0.35％となる
ようにパルパーに投入し、混合離解し、これを前
記実施例１と同様に抄造し目付量85ｇ／m²、厚さ
0.45mmの紙を得た。その紙の繊維径分布組成
は下記の通りである。

【表】

【表】比較例繊維径0.3〜4μｍのガラス短繊維を90重量％と
繊維径7μｍの長繊維ガラス繊維（チヨツプドス
トランド）10重量％とを配合し実施例１と同様に
抄造した目付量75ｇ／m²、厚さ0.40mmの従来の
紙を作成した。上記の本発明実施例１及び２の紙及び比較例
の紙につき、エアフイルターユニツトに組み込
まない紙自体のフイルター特性並びにエアフイ
ルタユニツトに構成したもののエアフイルター特
性を夫々試験した。その結果は下記表１の通りで
あつた。エアフイルタユニツトの寸法は全て610
×610×150mmとした。

【表】上記表１から明らかなように、繊維径0.05μｍ
未満のガラス短繊維２〜３重量％と、繊維径0.05
〜0.2μｍのガラス短繊維５〜15重量％を含有する
本発明の紙をエアフイルタとして使用するとき
は、0.05μｍ粒径の微細粒子を99.999％、25mmAq
（0.7ｍ／ｓで）以下の低い圧力損失で捕集でき、
超高性能エアフイルター用に適用し得ることが認
められる。多くの実験研究の結果、繊維径0.05〜
0.2μｍのガラス短繊維の含有量が５％未満では上
記の高捕集効率を維持できず、一方15％を越える
ときは、圧力損失が増大し実用的でなくなる。又繊維径が0.05μｍ未満のガラス繊維の含有は、
数％までは差支えないが、それ以上の増加は、そ
の割には0.05μDOPの捕集効率の増大に効果がな
いことが認められた。紙の残部は繊維径0.2μｍ
を超える繊維径は9μｍまでから選んだ任意の短
繊維で構成することにより上記の効果をもたらす
が、ジグザグ状の折り曲げ強度を増大するには７
〜9μｍのチヨツプドストランド（ガラス長繊維）
を含有せしめることが好ましい。又、本発明紙の秤量は60〜85ｇ／m²、厚さ
0.3〜0.5mmであることが実用上好ましい。又繊維
径0.05μｍ未満、および繊維径0.05〜0.2μｍの著し
い細かい短繊維は抄造時に抄造ネツトから抜けや
すいためガラス繊維の離解濃度0.5％以下望まし
くは0.35％で離解することにより、離解時に繊維
が短くなることを防ぐことができる。（発明の効果）本発明のガラス繊維紙は、繊維径0.05μｍ未
満のガラス繊維を２〜３重量％と、繊維径0.05〜
0.2μｍのガラス繊維を５〜15重量％と、これらと
は異なる繊維径のガラス繊維を93〜82重量％との
配合から成るので、従来実現できなかつた粒径
0.05μｍの粒子を、低圧力損失で、99.999％捕集
することができるフイルター特性を有し、電子工
業等における超高性能エアフイルタユニツトとし
て優れた性能をもたらす効果を有する。

Claims

【特許請求の範囲】１繊維径0.05μｍ未満のガラス繊維２〜３重量
％と、繊維径0.05〜0.2μｍのガラス繊維５〜15重
量％と、これらと異なる繊維径のガラス繊維93〜
82重量％との配合から成る超高性能エアフイルタ
ー用ガラス繊維紙。２厚さ0.3〜0.5mm、目付量60〜85ｇ／m²である
特許請求の範囲第１項に記載の紙。